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测量系统(MSY.0001 v1.1) GK2IY `LVXK|m+ $ 应用示例简述 :~{XL >:S to(OVg7_ 1. 系统说明 8pg?g'A~} w[n|Sauy, 光源 HRC5z<k% — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) VsNqYFHes& 元件 8~Rja — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )p).}" 探测器 4ehajK — 干涉条纹 KAO}*? 建模/设计 /px*v<Aw1 — 光线追迹:初始系统概览 j}X4#{jgC — 几何场追迹加(GFT+): \Llrs-0 M 计算干涉条纹。 JwRdr8q 分析对齐误差的影响。 _|g(BK2} \"<&8 2. 系统说明 HEhdV5B
4;7<)&#h 参考光路 k'xnl"q ~2S`y=*: 3. 建模/设计结果 -$.$6"] 3Yp_k N`Zm[Sv7 4. 总结 ]j}zN2[A ZL+{?1&- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 );@@>~ !3-mPG<
] 1. 仿真 9 %,_G. 以光线追迹对干涉仪的仿真。 +pnT6kU| 2. 计算 UFyGp>/06 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 L>).o%(R 3. 研究 BT2[@qH|qF 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 i('z~ ~bWqoJ;Q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 VjMd&>G q(\$-Dk.Vv 应用示例详细内容 tV[?WA[xt 系统参数 lF 8B+ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `i9WnPRt ^8
AV #a 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 <(>v|5K0] st:[|` 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ePrbG4xv ahhVl=9/ao 2. 说明:光源 C.C\(2- Rr \$yI'q qV@xEgW#r 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 jQ4Pv` 因此,相干长度大于1m 6(ju!pE` 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 hkRv0q.' 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?:lOn(0& 2j=3i@ !:c7I@ )qzJu*cQ 3. 说明:光源 b0rC\^x n?YGXW/ 3 ^{U:"N0 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 cJ&l86/l1 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 "3Ag+>tuRW 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 sog?Mvoq 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 lh(A=hn"n 4. 说明:光学元件 ;k (}~_ $gJMF( Nr|.]=K)5n 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 nm*1JA.: 位相延迟平板材料为N-BK7。 pn{.oXomf 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 V tZ 透镜材料为N-BK7。 0 -=onX 其中心厚度与位相平板厚度相等。 jQ%}e" dU:s^^f&R YZr^;jfP 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 e@L+z |uj1T=ZY q.K >v' 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 oT\B-lx 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 z]gxkol\
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