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测量系统(MSY.0001 v1.1) *z'yk* J1XL<7 应用示例简述 5b/ojr7 hAj1{pA, 1. 系统说明 c)&>$S8* 4'p=p#o 光源 _W3Y\cs,- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) p*5\+WO>!( 元件 ^2]LV6I — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >5G>D~b 探测器 a iCn"j — 干涉条纹 an2AX%u 建模/设计 Ol$WpM — 光线追迹:初始系统概览 tvd0R$5} — 几何场追迹加(GFT+): h O
emt 计算干涉条纹。 6bBdIqGb} 分析对齐误差的影响。 Z X~
_g@
6x=YQwn~ 2. 系统说明 LEEC W_: abxDB 参考光路 TzBzEiANn s/Xb^XjS1 3. 建模/设计结果 &L^CCi &6Il(3-^ #0;HOeIiH 4. 总结 zX{ .^| ESb
]}c: 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 $j)hNWI X5
ITF)& 1. 仿真 E2B>b[ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 @/%{15s. 2. 计算 R.s|j= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 YxJD _R 3. 研究 ?*r!{3T ,u 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 hY<{t.ws x|eeRf| 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 X5g[ :QKP7 BKU'`5` 应用示例详细内容 d77r9 系统参数 ,)~E>[=+ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 6aOp[-Le N]5m(@h
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 _x1EZ&dh bXM/2Z?6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 =neL}Fav56 8cHE[I 2. 说明:光源 u1K\@jlw AY_Q""v P,bd' 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +pqM ^3t|y 因此,相干长度大于1m =7
,Kf}6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 EP7AP4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 wb"RB
A9 V:bV ?lt o07IcIo }fhHXGK. 3. 说明:光源 2Ohp]G |)_-Bi;MW` ``?6=mO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 >qT 'z$ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 4}KU>9YRA 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 TF+
l5fv 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 J7-^F)lu- 4. 说明:光学元件 l54|Q :XT?jdg g?qKNY 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e&X>F"z2 位相延迟平板材料为N-BK7。 C>|@& o1 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 iRmQ5ezk 透镜材料为N-BK7。 \+qOO65/+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 g8pm2o@S 2Eh@e([PMs
f1+qXMs 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 J.M.L$ k ~6-cx e-D4'lu 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 lUh*?l 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 6 o[/F3`
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