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测量系统(MSY.0001 v1.1) n6*En7IVh 4Ue_Y'LmM 应用示例简述 $we]91(:: uKz,SqX 1. 系统说明 PzV@umC1#f ?gO8kPg/D 光源 Kx.X 7R — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 2:BF[c` 元件 b+6"#/s — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Y 2Q=rj 探测器 :Gu+m — 干涉条纹 >_c5r?]S G 建模/设计 s0*0 'f — 光线追迹:初始系统概览 |\dZ' — 几何场追迹加(GFT+): ZxG}ViS4I 计算干涉条纹。 $`8Ar,Xz` 分析对齐误差的影响。 U9&k;` j,t#B"hOnp 2. 系统说明 UWZa|I~:J <W`#gn0b6 参考光路 &X|<@'933  !" JfOu 3. 建模/设计结果 7R3fqU.Rq ;>%~9j1C 'DCFezdf3 4. 总结 j}BHj.YuP Zes+/.sA}] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o7TN,([W |+:h|UIUQ 1. 仿真 2[B4f7 以光线追迹对干涉仪的仿真。 d'*]ns 2. 计算 aZet0?Qr 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 9Ew7A(BG_3 3. 研究 SVa6V}"Iv 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `gpQW~*R-; Q \]Xm> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 6 CC &Z> !Y<oN~<%) 应用示例详细内容 tu>{ 系统参数 p0{EQT`tMG 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1^dJg8 `_5GG3@Ff 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 8L5!T6+D& IN7<@OS7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 "BVdPS DBk Te{ *6-gO3 2. 说明:光源 +'#oz+ w%c 1%J.WH6eQ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 C+F*690h 因此,相干长度大于1m PzZZ>7_6S 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 wU`!B<,j 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i2J q|9,g Zg:gY"^
?Qqd "=k4 68R1AqU_ 3. 说明:光源 M R'o{?{e` XD-^w_ !asqr1/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Qu%D 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 WxGSv#u 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 %do1i W 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 #T~&]|{, 4. 说明:光学元件 V+Xl9v4O C:\(~D*GS Wv K(G3 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 {UH9i'y:t 位相延迟平板材料为N-BK7。 $E(XjuS 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 -NM0LTF 透镜材料为N-BK7。 \
Aq;Q? 其中心厚度与位相平板厚度相等。 zuL7%qyv xi'<y tkuc/Z/@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 h3Fo-]0 TYjA:d9YH I__ 4I{nI 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 _$/
+D:K 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 8SnS~._9
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