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测量系统(MSY.0001 v1.1) zEFS\nP}E k!x|oC0 应用示例简述 j7Fb4;o{ r\Y,*e 1. 系统说明 3GF67] :ZY%-]u7 光源 (0.oE%B",1 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \85%d0@3 元件 t9U6\ru — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 r%f Q$q> 探测器 kVQm|frUz — 干涉条纹 Lbrl CB+ 建模/设计 4,LS08&gh — 光线追迹:初始系统概览 _jG|kjFTc — 几何场追迹加(GFT+): AB/${RGf+ 计算干涉条纹。 AuQ|CXG-\ 分析对齐误差的影响。 -c&=3O! %TQ4ZFD3 2. 系统说明 ;/$pxD Y"bm4&' 参考光路 g@^ y$wt V\zcv @ 3. 建模/设计结果 `15}jTi Q,5PscE6&k dP_QkO 4. 总结 ,WWd%DF) AVQcD`V3B 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 a%Q`R;W S. `y%t.GP 1. 仿真 +pqbl*W;1 以光线追迹对干涉仪的仿真。 6"G(Iq'2t3 2. 计算 "qq$i35x 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8*u'D@0 3. 研究 %U{sn\V 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 I%r7L >KuNHuHu 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 P1[.[q/-e Db Qp(W0 应用示例详细内容 ,JdBVt 系统参数 s U`#hL6; 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 n R, QG8 NW6;7nWb 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (E0WZ$f} h>!h|Ma 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 []@@ MXaik+2 2. 说明:光源 Q.$8>) L-E &m* % [!%5(Ro_ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 /E<Q_/'Z 因此,相干长度大于1m ppIXS( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 VQ('ejv}/ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 aU;X&g+_) }}k%.Qb 3\Xk)a_ (.N n|lY<i 3. 说明:光源 ,Dv*<La`\ 7fypUQ:y <7`k[~)VB 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 z{3`nd, 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 (enr{1 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 b)IQa,enH 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 AAfU]4u0S 4. 说明:光学元件 +Iuu8t ^!^M Gzu vX>{1`e{S 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 -_9*BvS]R 位相延迟平板材料为N-BK7。 >uZc#Zt 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 @:w^j0+h 透镜材料为N-BK7。 %m6qL 其中心厚度与位相平板厚度相等。 y$fMMAN7 |s/Kb]t "
l|`LjP5M 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2<UC^vZ
P'B|s/) L=;T$4+p 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &I
~'2mpk 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 =,it`8;
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