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测量系统(MSY.0001 v1.1) G]k[A=dg 8+gp"!E 应用示例简述 I9+h-t RDHK'PGA 1. 系统说明 K.wRz/M&g ;K8}Yq9p9 光源
A~nqSe — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) H^S<bZ 元件 }`QZV_ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 59j`Z^e 探测器 8[X"XThj — 干涉条纹 tR<#CCtRp' 建模/设计 B1~`*~@
— 光线追迹:初始系统概览 Yq|_6zbYf — 几何场追迹加(GFT+): L(Twclrb 计算干涉条纹。 "k @[7
7 分析对齐误差的影响。 e/+.^ '{ rBQ<5. 2. 系统说明 *`w>\},su VUUnB<j 参考光路 mCg^Y)Q  ?K2EK'-q 3. 建模/设计结果 5ta;C G YfT
D aL&egM* 4. 总结 9<3}zwJ '9.@r\g 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 hwe6@T.# Gchs$^1`t 1. 仿真 :'<;]~f 以光线追迹对干涉仪的仿真。 SODHn9) 2. 计算 Lks+FW 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
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7gHp 3. 研究 4l*cX1! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?d?.&nt ;g#nGs> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ](s5;ta .kuNn-$ 应用示例详细内容 7@gH{p1 系统参数 mpk+]n@ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 S`
U, #Pd__NV"\ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 0!%G#~th eA]8M^ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ;J+iwS*Z T&6>Eb0{ 2. 说明:光源 1CZO+MB&"$
MYVVI1A fNx!'{o" 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 }L|B@fW 因此,相干长度大于1m ~QUNR?h 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
2<8l&2}7] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^4]=D nd% :!CnGKgt
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=|_ "S'Yn- 3. 说明:光源 +Z_VF30pa k_u!E3{~ qk^/&j 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 =IX-n$d`> 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 NM:$Q<n 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 SfY 5Xgp 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 <a_(qh@B 4. 说明:光学元件 <"p-0=IgJ wS,fj gX :'q$emtY 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 KCZ<#ca^ 位相延迟平板材料为N-BK7。 Ug0c0z!b 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 %o\+R0K 透镜材料为N-BK7。 dJrUcZBr 其中心厚度与位相平板厚度相等。 -\%5aXr }zkFl{/u s"$K2k;J 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 6/g
82kqpk `w4'DB-R) G"(aoy,
co 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 `wj' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 7KUf,0D
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