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测量系统(MSY.0001 v1.1) `:3&@.{T( %^U"Spv; 应用示例简述 kYtHX~@ <4$YO-:E 1. 系统说明 fO+UHSC U%,;N\:_ 光源 _Z.;u0Zp8 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 8 >dq=0: 元件 z.j4tc9F/5 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 p_gA/. v= 探测器 D{W
SKn — 干涉条纹 ?"u'#f_ 建模/设计 T N Ist — 光线追迹:初始系统概览 FdM<;}6T — 几何场追迹加(GFT+): IO6MK&R 计算干涉条纹。 9nO(xJ"e4 分析对齐误差的影响。 r
hZQQOQ F'ENq6 2. 系统说明 G V=OKf# b_ZNI0Hp@ 参考光路 p4y6R4kyT  e@yx}:]h 3. 建模/设计结果 sU0Stg8&b IuDT=A )*Vj3Jx 4. 总结 p&QmIX]BZ +`9yZOaC# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 f!EOYowW i<bxc 1. 仿真 Pwg/Vhfh 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ,Q+\h>I 2. 计算 p!QR3k.9s 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 sl% #u9r= 3. 研究 e$H|MdYIA 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
wFp~ Mc!2mE%47m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 nZ541o@t9 gh'kUZG
a 应用示例详细内容 ~ t"n%SgY 系统参数 <3)|44.o& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 :|zp8| m'3OGvd 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 uvR0TIF4 xSx&79Ez<* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 XNKtL]U}$ *&h6*zP? 2. 说明:光源 L!?v BL
ypgliq( kHGeCJe\{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^4RO 因此,相干长度大于1m LgO i3 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 vNPfUEnA 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Z(l9>A7! ,eyp$^ 2
8?A@/ i[o&z$JO 3. 说明:光源 $^]
9 =kwb`
Z/a ]!]`~ Z/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 0BT;"B1 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 FK-}i|di 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 e',hC0&S 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 =_K%$y* 4. 说明:光学元件 \)uy"+ Z` A>4l/ >F,$;y52 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 +[>yO _} 位相延迟平板材料为N-BK7。 *Ro8W-+ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Z@<q/2).| 透镜材料为N-BK7。 u![4=w 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6{cybD`Ef& d]^\w'w$ |*lH9lWJ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [[#xES21F >oVc5} A"Tc^Ij 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 I/u'bDq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 s'R~r
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