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测量系统(MSY.0001 v1.1) liB>~DVC Stw6%T- 应用示例简述 U5PCj ]-Xt 0\o'd\ 1. 系统说明 }R'oAE}$ Q'Tn+}B& 光源 ZqGq%8\.s — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) `'QPe42 元件
t|DYz#] — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 5VcYdu3 探测器 ={oO9.9 — 干涉条纹 lqs_7HhvRS 建模/设计 *]=)mM# — 光线追迹:初始系统概览 }bTMeCgI — 几何场追迹加(GFT+): #>V;ZV5" 计算干涉条纹。 uQNoIy J) 分析对齐误差的影响。 tpctz~ . <.2Z{;z 2. 系统说明 q.t5L=l^
r N!3f1d7RQ 参考光路 .PxM
#;i2  v]!7=>/2 3. 建模/设计结果 dd+).* s'^#[%EgB |g{AD` 4. 总结 5*r6#[S\ 1,J. 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 T_dd7Ym'8 cG'Wh@ 1. 仿真 YGO@X(ej, 以光线追迹对干涉仪的仿真。 90!Ib~7zH 2. 计算 ^s*} 0 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zl[JnVF\6 3. 研究 |"<
I\Vs: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 GXl?Zg >seB["C 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 GwULtRa/ 4Ojw&ys@V 应用示例详细内容 1DP)6{x 系统参数 dw|0K+-PH 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 2vC=.1k ;<A/e 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 L9@jmh*E 9vu8koL 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 11sW$@xs
9 QFYy$T+W 2. 说明:光源 5PPpX =\ |*5nr5c_L c"ztrKQQ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 M=A9ax 因此,相干长度大于1m CmOb+:4@K 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 <GN?J.B 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
_1'Pb/1 `N|CL
fL;p^t u3 4;||g@f'[ 3. 说明:光源 s|T7)PgR F e.*O` )QD}R36Ic 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 [Bo$? 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 >``GDjcJ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 @UJmbD{ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 rE:>G]j6 4. 说明:光学元件 v"+EBfx aw1J#5j`n : 4WbDeR 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 G
m! ]
位相延迟平板材料为N-BK7。 dk/*%a
+ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 }i:'f2/ 透镜材料为N-BK7。 *lAdS]I 其中心厚度与位相平板厚度相等。 3~ZVAg[c W)cLMGet 8)8oR&(f 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >ULp! ".?{Y(~ )g_zPt 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 m=B0!Z1xx 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 rgKn=8+a
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