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测量系统(MSY.0001 v1.1) bH+NRNI] eKLvBa-{@ 应用示例简述 4!sK>l! m.++nF 1. 系统说明 6R :hs C$ *eg0^ByeD 光源 0 u*a=f= — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) loA/d 元件 ?}`-?JB1 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 l]G
iz& 探测器 X~IilGL8: — 干涉条纹 =
#-zK:4 建模/设计 b}TvQ+W]2 — 光线追迹:初始系统概览 aiPm.h> — 几何场追迹加(GFT+): 0"7+;(\1Rk 计算干涉条纹。 gWgp:;Me 分析对齐误差的影响。 +-tFg XG ]QlW{J 2. 系统说明 =%8 yEb*5# `h'+4 参考光路 l%}q&_  89>}`:xS^ 3. 建模/设计结果 {|>'(iqH"w UvGxA[~2+ % PzkV s 4. 总结 Q u2
~wp< jyD~ER}J 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 (F^R9G| ^g4Gw6q6 1. 仿真 IP/%=m)\% 以光线追迹对干涉仪的仿真。 [.4{s 2. 计算 Mf14> `<` 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Xfg3q.q 3. 研究 (s&:D`e 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 -E1-(TS inh:b .,B 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 W`PJflr| U',C-56z 应用示例详细内容 7;|"1H:cmw 系统参数 |K_%]1*riC 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x</4/d e_e\Ie/pDc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ?fH1?Z\'K PwW$=M{\. 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 )T"Aji-hy zc8^#D2y& 2. 说明:光源 fD@d.8nXd #&T O(bk YIwa = ^ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ,z.l#hj,{ 因此,相干长度大于1m @*|VWHR 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 #WZat
?-N 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ~<!j]@. 6&0@k^7~
R/x3+_.f !*Is0`` 3. 说明:光源 Wz.iDRFl P}~MO)*1 ;Tnid7:S 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 lXTE#,XVf 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <4.Exha;= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _|["}M"? 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 pk9Ics;y 4. 说明:光学元件 0&sa#g2 b]b>i]n 0Qa0 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 K7`6G[RMb 位相延迟平板材料为N-BK7。 j yD3Sa3 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 =_ pSfKR; 透镜材料为N-BK7。 =oI[E~1< 其中心厚度与位相平板厚度相等。 iGhvQmd(/* )9"^ D ,5v'hG 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ~g/"p`2-N SM8N*WdiU nQmHYOF% 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 3h:~NL 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 |gI>Sp%Fu
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