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测量系统(MSY.0001 v1.1) q@yabuN@,j M@ZpgAfq 应用示例简述 }@0. ?BZ`mrH^ 1. 系统说明 [#fqyg Y `p&*O 光源 QL!+.y% — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) qBrZg 元件 T7nX8{l[RG — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +uXnFf d^ 探测器 .Eyk?"^ — 干涉条纹 C^v- &*v 建模/设计 l]=$< — 光线追迹:初始系统概览 h/~BUg' — 几何场追迹加(GFT+): *wyLX9{: 计算干涉条纹。 f;dU72]q+ 分析对齐误差的影响。 gx
R|S
Fd.d( 2. 系统说明 T}x%=4<E zC;lfy{f= 参考光路 m8A1^ R  xJ5!`#= 3. 建模/设计结果 j@\/]oL^We _jKVA6_E @a3v[}c* 4. 总结 P&,cCR> |W];v@b\y 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 l:}4
6% <R%6L& 1. 仿真 ;P#*R3
以光线追迹对干涉仪的仿真。 [,X,2 2. 计算 %+J*oFwQu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 QP0X8%+p 3. 研究 |.W;vc < 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?E@[~qq_ rs+37 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 (ZsR=:9( ^PpFI 应用示例详细内容 k=
1+mG 系统参数 aBLb i 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 e:occT a}hM}U! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 iP_Xr~w (j"MsCwE 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 >xgd< )S?}huX 2. 说明:光源 y5h[^K3 YNk|UwJi ?QVI'R:Z? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7?#32B
Gr 因此,相干长度大于1m n/D]r 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;wB3H 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 I%xJ)fIK [GM<Wt0
mr.DP~O:9p 4/_|Qy 3. 说明:光源 P://Zi6> MqH~L?~}| yK3z3"1M? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 5,Zn$zosJC 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #IDCCD^1= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 %Ski5q 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 E3.s8}} 4. 说明:光学元件 PD4E&k R0'EoX cIjsUqKa 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ObzlZP
r@ 位相延迟平板材料为N-BK7。 TaG-^bX8B 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 CVp<SS( 透镜材料为N-BK7。 ?Pc3*. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 k6S<46}h| Y?cw9uYB iSHl_/I< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 l-EQh*!j _#B/#^a C"<@EMU9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -^DB?j+ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 oJ:J'$W(
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