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测量系统(MSY.0001 v1.1) Hu9-<upc& ^W[B[Y<k 应用示例简述 :^-HVT)qF ??zABV 1. 系统说明 8~s-t ~0[G/A$] 光源 "Yfr"1RmO — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ^tg6JB;s 元件 'tV"^KQHI — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 <7FP"YU 探测器 0bPJEEd — 干涉条纹 ^{fi^lL= 建模/设计 $E`iqRB — 光线追迹:初始系统概览 ,LW(mdIe( — 几何场追迹加(GFT+): 76IALJ00V 计算干涉条纹。 *`g-gk 分析对齐误差的影响。 @u"kX2>Eq B=q)}aWc 2. 系统说明 %KJhtd"q d)hzi 参考光路 -@ UN]K  9#s95RO 3. 建模/设计结果 3<jAp#bE C6D=>%uY 36^C0uNdX 4. 总结 mHI4wS>()+ 7SA-OFM 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 vSYunI e}?1T7NPG] 1. 仿真 @;m@Luk 以光线追迹对干涉仪的仿真。 -VreBKn 2. 计算 J/]o WC`u 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 2sd ) w 3. 研究 EG(`E9DZ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 5Aa31"43n 7}#*3*] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 H)j[eZP ,Ou1!`6?t 应用示例详细内容 U+9-li 系统参数 ]uStn 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 qL%.5OCn( "LP,
TC 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 M!&_qj&N, nCffBc 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 n!kk~65| %?]{U($? 2. 说明:光源 kwDh|K LY\ddI*s WIEx
'{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (E"&UC[ 因此,相干长度大于1m Vp(D|}P 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 hapB! ~M? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Nl=m'4@` RI[7M (
q9>Ls-k xUiWiOihr6 3. 说明:光源 &jXca| wAR 2A*X Hvwb
^MWEfPt 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 m0xJ05Zx 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 aW`:)y&f 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ?o(ZTlT 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 AkYupP2]v 4. 说明:光学元件 xQNw&'|UU
K;<NBnH Lf,CxZL5 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ]+}ZfHp 位相延迟平板材料为N-BK7。 `DgaO-Dg3 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 71k!k&Im 透镜材料为N-BK7。 Fe_::NVvk 其中心厚度与位相平板厚度相等。 38V $ <w 9]]!8_0=r hw&ke$Fg# 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 b{~fVil$y ]k[Q]:q YXczyZA`x 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V;>9&'Z3 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 =&di4'`
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