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测量系统(MSY.0001 v1.1) Pgs4/ *>zr'Tt,W 应用示例简述 JzCfs<D 0.bmVN< 1. 系统说明 cM.q^{d` k
h#|`E#, 光源 h"M}Iz~|V? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) n"d~UV^Uw 元件 [m!$01= — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 a'XCT@B 探测器 Y |n_Ro^~ — 干涉条纹 5H;* Nj@ 建模/设计 .KTDQA\ — 光线追迹:初始系统概览 nEyPNm) — 几何场追迹加(GFT+): 5|wQeosXxI 计算干涉条纹。 wzT+V, 分析对齐误差的影响。 C&K%Q3V }a|SgI 2. 系统说明 ~\Fde^1 |]Pigi7y- 参考光路 U/wY;7{)#  !5Z?D8dcx 3. 建模/设计结果 1K4LEga` V=QvwQlZ u;J9aKD 4. 总结 &3S;5{7_e ;m@>v?zE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 oI/@w `Nc3I\tCM 1. 仿真 Dbz\8gmY 以光线追迹对干涉仪的仿真。 0XvMaQXQF 2. 计算 y/4 4((O 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 !V7VM_}@Y 3. 研究 ~)Ny8Dh 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Js'COO .@ /5Ln 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 hDjsGB|Fz l{_>?]S5 应用示例详细内容 pjrVPi5&t 系统参数 DZ(e^vq 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ex&&7$CXc L)HuQVc g 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3sHC1+ d #y{eV$Q 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 d cYUw] RkP7}ZA; 2. 说明:光源 t.485L% d\'M ~VQ 0JKbp*H 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 f+-w~cN 因此,相干长度大于1m 64hr|v 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 :q0C$xF 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 V92e#AR M@
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%fK"g2: 'hg, W] 3. 说明:光源 ?v8B;="#w YmNBtGhT
=y[eQS$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 j;J4]]R;o 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 X 4;+` 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 +.b~2K1 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 SI8mr`gJ 4. 说明:光学元件 H:a(&Zb g>T'R Vb &&Vz=6N 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 /$/\$f$ 位相延迟平板材料为N-BK7。 8&3+=<U 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :
R.,<DQM 透镜材料为N-BK7。 f:=q=i 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |!flR? OU rR^VW^|f 6 @'v6 1' 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Cf@WjgR
oT_k"]~Q~2 enDjP 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 M5[AA/@ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 UXR$ 7<D+
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