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测量系统(MSY.0001 v1.1) a(*"r:/lD l_$>$d 应用示例简述 ssS"X@VZ
\ Y0-?"R8 1. 系统说明 evD=]iVD vM]5IHqeE 光源 8 a]g>g — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) |(TEG.<g 元件 dtTfV.y4w — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 L+T'TC: 探测器 \IYv9ScAx — 干涉条纹 jcvq:i{ 建模/设计 zDEgC — 光线追迹:初始系统概览 I<,~>'cq. — 几何场追迹加(GFT+): I Z*) 计算干涉条纹。 -!mtLaLw 分析对齐误差的影响。 <P ?gP1_zi hO{&bY0 2. 系统说明 0VNpd~G$ ?u;m
],w! 参考光路 9o6[4Q}  SK&1l`3 3. 建模/设计结果 (UhJ Pco" ~%
t'}JDZ O"kb*// 4. 总结 1zG6^U k%\y,b* 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 zBwqIJfM &OE-+z 1. 仿真 m\CU,9;;( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ~`^kP.() 2. 计算 +4Wl 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
W/u(9 3. 研究 \CE+P5 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 KF@%tR}V{ d0|{/4IWw; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 !FyO5`v . XbDb 应用示例详细内容 p,|)qr:M 系统参数 ]N0B.e~D 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 }.U(Gxu$ n9 FA`e 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 wS?K c^2O bG* l_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 d(d3@b4Ta uHbbPtk 2. 说明:光源 f\=,_AQ 8 $H\b &u PY4a3dp
U 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 {R[ V 因此,相干长度大于1m s?; V!t 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 bF*Kb"!CF 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 sh0x<_ |0>rojMq
lX/7 B-L@ 0gH 3. 说明:光源 uh#E^~5S @"98u$5 d!Ws-kzE 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 &z*4Uij 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 *%_M?^ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 `WxGU 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 g2}aEfp!H 4. 说明:光学元件 X|g5tnsj` Z\QNn
E5|GP 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ;0$qT$, 位相延迟平板材料为N-BK7。 -Gl!W`$I` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 @m:'
L7+ 透镜材料为N-BK7。 jJ@@W~/)B 其中心厚度与位相平板厚度相等。 C R't 'u%_Ab_H W$l4@A 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 "]'W^Fg qT4`3nH: N>P" $ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -cZuP7oA
由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 -sle7 k
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