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测量系统(MSY.0001 v1.1) -ADb5-px efyGjfoO 应用示例简述 P?=}}DI <?rdhx 1. 系统说明 t4zKI~cO
Fp+fZU 光源 EP{ji"/7[ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }o=s"0 a 元件 BE!WCDg, — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 }F_=.w0 探测器 Jk`0yJi$q — 干涉条纹 @ +>>TGC 建模/设计 PmUq~YZ7 — 光线追迹:初始系统概览
6(B[(Af — 几何场追迹加(GFT+): >)F)@KAuN4 计算干涉条纹。 xn<x/e 分析对齐误差的影响。 qwuA[QkPi ZjgfkZAS 2. 系统说明 dsZ-|C ]%(X}]} 参考光路 pQCW6X  \uOR1z 3. 建模/设计结果 _.GHtu/I P.Qz>c^-C 9'O@8KB_ 4. 总结 \`?4PQ a;G>56iw 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?2S<D5MSb &A&2z l %# 1. 仿真 Ye\&_w"
以光线追迹对干涉仪的仿真。 wEix 8Ow* 2. 计算 JF9r[% 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 =nUzBL%~ 3. 研究 p v*f]Yzx 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Y-v6M3$ RAoY`AWI 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 WHR6/H ^}Gu'!z9D 应用示例详细内容 BK foeN)% 系统参数 AgJPtzs
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 )#Id=c eq4Yc*|9 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 d?jzh1 `6Yk-5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 4#D>]AX bx3kd+J7 2. 说明:光源 iRI7x)^0"z 7eyx cr;z ga|-~~ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 gYa
(-o 因此,相干长度大于1m ~J1UzUxX2 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 k mX:~KMb 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 >^adxXw.o 0?,%B?A8O
,M9Hdm 2]_fNCNLN 3. 说明:光源 I~>Ye<g# 0t0m?rVW aeTVcq
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 x|A{|oFC 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 6$\'dkufQ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 2~!+EH
与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 VuA)Ye 4. 说明:光学元件 a*{ -r] >?^_JEC6 %g=SkQ&d 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e/y\P&"eI 位相延迟平板材料为N-BK7。 Y2P%0 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 9>[*y8[:0 透镜材料为N-BK7。 Tf.DFfV#y 其中心厚度与位相平板厚度相等。 W< :7z S0p[Kt ~|=goHmm[ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 PG'+vl kPFqsq \WZ]'o6 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .#}`r`/ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 = ^_4u%}
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