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测量系统(MSY.0001 v1.1) 5#Et.P' `gz/?q 应用示例简述 ~'0W(~Q8 4q*mEV 1. 系统说明 4%5 + rT';7>{g 光源 O6n]l — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) VvTi>2(. 元件 LTcZdQd$ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !YIW8SP) 探测器 u1ahAk7 — 干涉条纹 ?xw0kXK4 建模/设计 I8VCR8q — 光线追迹:初始系统概览 6-QcHJ>m6U — 几何场追迹加(GFT+): B~2M/&rM\ 计算干涉条纹。 5G l:jRu 分析对齐误差的影响。 r>g5_"FL 0ni/!}YP_ 2. 系统说明 ahg]OWn# *H~&hs>k 参考光路 0X}0,  +^ `n- m 3. 建模/设计结果 `_!R;f n a+P|'6 gbziEjRe 4. 总结 1@xdzKua1 _*CbtQb5 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 bVOJp% *s F[*/D/y( 1. 仿真 Ca
?d8 以光线追迹对干涉仪的仿真。 70.Tm#qh 2. 计算 o8fY!C) 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i!yE#zew 3. 研究 CvRO' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 @k)[p+)E $^`@ lyr 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 a V#phP 0A')zKik 应用示例详细内容 96i# 系统参数 i9D<jkc 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 O3tw@ &k 5IfC8drAs 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Pxf /*z q_Z6s5O 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 xc,Wm/[ SLda>I(p7& 2. 说明:光源 2b&Fu\2Dmv R)6"P?h._4 X<&Y5\%F 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 xB5QM #w\ 因此,相干长度大于1m Dq+S'x~> 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 8~AL+*hn 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v(p<88.!m ~W-5-Nl{s
3EH7HW ;*cCaB0u 3. 说明:光源 !Y10UmMu PxA
OKUpI 4@QR2K| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 C(kL=WD 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 'oF
XNO 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Qcn;:6_&W 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 g0#w
4rGF) 4. 说明:光学元件 v(zfq'^%` NRazI_Z K9ek 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 hG>kx8h 位相延迟平板材料为N-BK7。 u>/Jb+ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 =3dd1n;8> 透镜材料为N-BK7。 kAq#cLprG 其中心厚度与位相平板厚度相等。 -PTfsQk OO\$'%
y` N v6=[_D 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Z29aRi US\h,J\Ju Qh+zs^-? 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0+/ew8~$ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 (wf3HEb_
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