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测量系统(MSY.0001 v1.1) q UY;CEf ;Bd0 =C 应用示例简述 P`v%<
9~ GE\@mu *pO 1. 系统说明 >}\!'3)_ M@[{j 光源 JVD#wwic — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) X8~cWW 元件 I@08F — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 "i<i.6| 探测器 ~^2Y*|{) — 干涉条纹 -4mUGh1dy 建模/设计 U{"&Jj — 光线追迹:初始系统概览 \(R(S!xr_
— 几何场追迹加(GFT+): H5j~<@STC 计算干涉条纹。 rQC{"hS1 分析对齐误差的影响。 hub1rY|No ]d&6 ?7 !> 2. 系统说明 cxFfAk\,en />S=Y"a/7 参考光路 ~Y<x-)R  U<|kA(5 3. 建模/设计结果 B8NOPbT yk5-@qo iqig~fjK~ 4. 总结 UxzZr%>s <v&>&;>3 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0.4c|-n RcitW;{|Kg 1. 仿真 {aqceg 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !n~p?joJ* 2. 计算 kep.+t[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /[`bPKr 3. 研究 / Li?;H 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ^|5bK_Z& y+\nj3v6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 'oBT*aL LGGC=;{} 应用示例详细内容 `{s:lf 系统参数 BX;Z t9"* 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 J~9l+? c~[L;_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Jb
Hn/$ P(8zJk6h), 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 !>W _3Ea @x3x/gU 2. 说明:光源 'z0@|a y)X1!3~( D|}
y{~ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 O+A/thI%*S 因此,相干长度大于1m .e%PK[o 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 m!L&_Z|j 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 T},Nqt< {.v-
73OFFKbsk fmILkXKz 3. 说明:光源 ^5x\cR HWG5Ghu8,) `6koQZm 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Z%Q[W}iD 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ZNNgi@6> 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ?NoG. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Vi[* a 4. 说明:光学元件 422d4Zu ,E2Tw-% DyIuM{Owj 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 RI9&KS 位相延迟平板材料为N-BK7。 UM%]A'h2O" 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 . S4Xw2MS 透镜材料为N-BK7。 m?VA 1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 & F\HR =Bu>}$BD MgyV{` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 o5)lTVQ~~ 8`l bKV H5j6$y|I|N 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 qKag'0e 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 -}Vnr\f
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