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测量系统(MSY.0001 v1.1) 5
ed|]LP kSEgq<i! 应用示例简述 *Ea)b- trB-(B%5 1. 系统说明 ./^8L( &h_Y?5k K 光源 cp0yr:~ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ta^$&$l 元件 h6n!"z8H — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 <p-@XzyE 探测器 .zTkOkL — 干涉条纹 Zr =B8wuT 建模/设计 HTMg{_r(% — 光线追迹:初始系统概览 <$d2m6 J — 几何场追迹加(GFT+): T#i~/ 计算干涉条纹。 +ej5C:El_} 分析对齐误差的影响。 ?*ZQ:jH a*iKpr- : 2. 系统说明 c
*<m. ,_s.amL3O{ 参考光路 P1Eg%Y6  Z 3. 建模/设计结果 *{5/" H5 'St?nW3 .}T- R? 4. 总结 VJl0UM3{J }E[vW 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 RLzqpE<rJ .J8 gW 1. 仿真 Z9q4W:jyS 以光线追迹对干涉仪的仿真。 -$_FKny 2. 计算 E7hs+Mh 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ma!C:C9#J 3. 研究 [_(uz,' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 {d]B+' G)c+GoK 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 D:?"Rf{) !&3"($-U3G 应用示例详细内容 2(Yg',aMY- 系统参数 MgN;[4|[h 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 cIC/3g}] Om>?"=yD E 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "%S-(ue:
?^MH:o 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 A$n.'*gK %++S;#)~ 2. 说明:光源 ;l<Hen* 9`5.0** /~7M @`1 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ' V*}d 因此,相干长度大于1m #7]>ozKm 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 [;4ak)! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 4:733Q3oK vRD(* S9^
{f*{dSm9b m!!;CbPo 3. 说明:光源 &B=z*m :_2:Fh.}3~ O U9{Y9e 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 B#.xs>{N 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <7B;_3/ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 pU,\ &3N 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 2chT^3e 4. 说明:光学元件 3UZ_1nY uC#]F@ .L^;aL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 hp}rCy|01 位相延迟平板材料为N-BK7。 /X#OX8gb] 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 i=M[$ 透镜材料为N-BK7。 xlgT1b:6 其中心厚度与位相平板厚度相等。 <S;YNHLC 7)Tix7:9S; IF//bgk- 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 LUz`P6 //Xz -(}N-yu 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @wP.Rd 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ~EYdE qS)
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