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测量系统(MSY.0001 v1.1) #i%it d2Z5HFtY 应用示例简述 /v
U$62KA UP58Cln* 1. 系统说明 =;l.<{<VH E2Q;1Re@ 光源 QpBgG~h" — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =$X5O&E3' 元件 3yszfWr — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 "4<RMYQ 探测器 FWq+'GkSV — 干涉条纹 /a[i:Oa# 建模/设计 4`I2tr — 光线追迹:初始系统概览 ylUxK{ — 几何场追迹加(GFT+): P6u9Ngay 计算干涉条纹。 Y}&//S A 分析对齐误差的影响。 Y4_/G4C f-F+Y`P 2. 系统说明 9y{[@KG )D{L<.i_ 参考光路 9E'fM  Oz'x5/%G 3. 建模/设计结果 <4ccT l yS^";$2Tc f=+|e"i#p 4. 总结 5Ev9u),D+v ]i(tou-[i 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 x{6KsYEY ~Z9Eb|B 1. 仿真 NoTEbFrV 以光线追迹对干涉仪的仿真。 c@wSv2o$ 2. 计算 DzydS=`w 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i ?&t@"' 3. 研究 m2F2
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Cc/h|4 Ebw1 %W KC 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ELf cZfJ O-J;iX } 应用示例详细内容 )h6hN"#V5 系统参数 dw#K!,g 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `%IzW2v6 H.*:+ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 $&&mGD;?K a8ya5EO 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 #5)0~4%l 7r;7'X5 2. 说明:光源 7#d>a=$h TUHm.!+a *`2.WF@E) 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 BmR++ ?L 因此,相干长度大于1m &|yQwNA*a" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 l/1u>' 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `B6*wE-| +`tl<rg;
G&=4@pLY5 uu ahR 3. 说明:光源 p)6!GdT z"#iG&>a, %LyZaU_sB 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 mN^w?R41m 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Loz5[L 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 XJg8-)T# 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 NwAvxN<R(f 4. 说明:光学元件 o>WB,i^ G V`P8oIOh] nhV\< 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <A|X4; 位相延迟平板材料为N-BK7。 s%M# 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 (-S<9u-r 透镜材料为N-BK7。 Pq\
`0/4_ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 krqz;q-p~ NSe Huk ot\ FZ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 yP$@~L[! xgDd5`W L& = a( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 (~>uFH 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 b a5,?FVI~
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