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测量系统(MSY.0001 v1.1) S {H8}m|MW J{ Vl2P?@ 应用示例简述 5-QXvw(TH iB`m!g6$ 1. 系统说明 'mM5l*{ q.t5L=l^
r 光源 N!3f1d7RQ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) lb('r"*. 元件 G#C)]4[n — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 xVPGlU 探测器 &Hqu`A/^ — 干涉条纹 V+q RDQ 建模/设计 re*/JkDq3K — 光线追迹:初始系统概览 1XKk~G"D — 几何场追迹加(GFT+): ^b#E%Rd 计算干涉条纹。 @wPmx*SF 分析对齐误差的影响。 z=U!D `]v |+bG~~~%j 2. 系统说明 G!IQ<FuY )Fw)&5B! 参考光路 B+LNDnjO]  A0ToX) |C 3. 建模/设计结果 GwULtRa/ 4Ojw&ys@V 1DP)6{x 4. 总结 dw|0K+-PH ]lY9[~
v 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ^q`*!B9@ P.:T
zk6 1. 仿真 NC}#P<U 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ZIp=JR8o$ 2. 计算 pS\>X_G3 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 5PPpX =\ 3. 研究 |*5nr5c_L 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 K;l'IN"N "q.uiz+1: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 !)=o,sVA a5M>1&j/eC 应用示例详细内容 Q:\hh=^ 系统参数 4o3GS8 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 %-Z~f~<? \t@`]QzG: 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (% P=#vZ |_*$+ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 4/?Zp4g s|'L0` <B 2. 说明:光源 v3Yj2LSqx 3XtGi<u z<>_*Lfj 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 t^5_;sJQ 因此,相干长度大于1m }nl)*l 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 $wTX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 HV.7IyBA^ P1n@E*~V5
F948%?a (SK5pU 3. 说明:光源 Pa +BE[z Rjl __90
W)cLMGet 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _4$DnQ6& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 sIsu >eL 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 c^IEj1@}'? 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
h$\hPLx 4. 说明:光学元件 su;S)yZb ?y)X $D^ Ui!|!V- 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 dAl<'~g 位相延迟平板材料为N-BK7。 |$2N$6\SP 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 K3DJ"NJ<Ji 透镜材料为N-BK7。
3 H2;mqq 其中心厚度与位相平板厚度相等。 j:3Hm0W3 z_@zMLs qI*1+R} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 'Y\"^'OU\ [uQZD1<q t}*!UixE 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )fc"])&8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 e622{dfVS
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