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测量系统(MSY.0001 v1.1) *Z_C4Tj !~Q2|r 应用示例简述 yjJ5P`j] pIbdN/z 1. 系统说明 eHDef p _d:eZ 光源 pHoEa7: — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) w,Ee>cV]a 元件 L. ]$6Q0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 $<ld3[l i 探测器 wu"&|dt — 干涉条纹 tl'n->G>v 建模/设计 Dde]I_f} — 光线追迹:初始系统概览 X*,Kb(3 — 几何场追迹加(GFT+): Jjl`_X$CB 计算干涉条纹。 97)/"i e 分析对齐误差的影响。 wCk~CkC? ki>~H!zB 2. 系统说明 U\rh[0 f-nz{U 参考光路 }-~T<egF  4Z|vnj)Z 3. 建模/设计结果 <w\:<5e ' r\;ut4wy jSc#+_y 4. 总结 vf4{$Oag % >;#9"O4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 :NJ(r(QG> ?bw4~ 1. 仿真 d,$d~alY 以光线追迹对干涉仪的仿真。 F7")]q3I~ 2. 计算 r]ShZBAbYp 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ]\ngX;h8G 3. 研究 R>`}e+-D 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 jmg!Ml n&A'C\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 @*
il3h, ](F#`zUQ 应用示例详细内容 /s];{m|>
系统参数 HHjt/gc}` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `>o?CIdp ;60.l! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 z6py"J@ lgpW@g 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 bqQq=SO -)vEWn$3< 2. 说明:光源 G^"Vo x4 Ej7 /X ~ nL:SG{7 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 hXGwP4 因此,相干长度大于1m RI2f`p8k 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 *._|- L 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 (Z5##dS3 fSDi-I
PR|R`.QSs ( )sTb>L 3. 说明:光源 ET];%~ ^ OGiV{9U +\Q?w?DE| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 G|8%qd 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 )bx_;9Y{ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1c+]gIe 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 !A1)|/a@ 4. 说明:光学元件 Xtq{% I]!^;)) ?OdJqw0,G 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 09o~9z0 位相延迟平板材料为N-BK7。 VOsqJJ3 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ^KB~*'DN~s 透镜材料为N-BK7。 Jx#k,Z4 其中心厚度与位相平板厚度相等。 DP/J(>eG .}')f;jH5< `MP|Ovns:H 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 VDB;%U*D H&b3{yOa 22(*J< 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 C6_@\&OA 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 "!K'A7.^
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