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测量系统(MSY.0001 v1.1) T%@qlEmf o(Q='kK 应用示例简述 7DB!s@"
X~rHNRIU 1. 系统说明 PaBqv] F=V_ACU 光源 m8z414o — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \)+s)&JLb 元件 ]3~X!(O — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 d^G5Pq 探测器 ^e:rRk7 & — 干涉条纹 ? W2Wy\ 建模/设计 '9Xw_1B — 光线追迹:初始系统概览 )B5(V5-!| — 几何场追迹加(GFT+): ; d :i 计算干涉条纹。 fR,7l9<%Zp 分析对齐误差的影响。 l~$Od jf -"w&g0Z 2. 系统说明 0r ilg g?e-D.pSF 参考光路 z1~FE  K&%YTA 3. 建模/设计结果 LO;Z3Q>#0 SkMBdkS9z[ KL+, [M@ F 4. 总结 <UBB&}R0 %^<A`Q_ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 _|KeB(W x#TWZ; 1. 仿真 H^0`YQJ3 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Tsl0$(2W 2. 计算 "jAEZ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 D(^ |'1 3. 研究 P:tl)ob 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 uJ>_
2 f*GdHUZ* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 q@&.)sLPgO ,?>:Cdz4 应用示例详细内容 I,YP{H 4 系统参数 GeCyq%dN 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 A]mXV4RmI 2a[_^v $v 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 p/%B>Y> pk:2>sx/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 o _DZ xN]88L}Tn 2. 说明:光源 x $=-lB SBqx_4} %.n 7+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Q7@
m.w%` 因此,相干长度大于1m @qWes@ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `PeWV[? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 >aV
Q K#oF=4_/|
SSG}'W!z c=A)_ZFg 3. 说明:光源 K h;jiK ! 6=xbi{m$ }Qo:;&"3 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 iv]*HE 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 YJEL'k<l 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ^GN |}W 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 YQk<1./}I 4. 说明:光学元件 0(~,U!g[= VvTs87 H3Z"u 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 h(VF 位相延迟平板材料为N-BK7。 FtL{f=
所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 %T:7I[f 透镜材料为N-BK7。 |6}:n,KA. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 $Q!J.}P@ fooQqWC) zIjUfgO/M 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 235wl ]jL`*tI\S -8r9DS-/W 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 q[w.[] 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 p|b&hgA
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