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测量系统(MSY.0001 v1.1) b _#r_` Nn%[J+F 应用示例简述 "0(
_ K~B@8az 1. 系统说明 C0$KpUB OLS. 0UEc 光源 & NO:S — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) xJ18M@"j 元件 AvS<b3EoN — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 HMymoh$Q 探测器 ev_4!+ko — 干涉条纹 bdUe,2Yi n 建模/设计 z|:3,$~sN — 光线追迹:初始系统概览 vdLBf+Zi — 几何场追迹加(GFT+): CtO `t5 计算干涉条纹。 / .ddx< 分析对齐误差的影响。 LyB &u() 1D/9lR, 2. 系统说明 r(#]Z d?uN6JH9 参考光路 O4mSr{HCp  x8]5> G8(r 3. 建模/设计结果 8IX,q a$r<%a6 -N3fhW#) 4. 总结 r#xq 8H=_m j(|9>J*,~G 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6pHn%yE* \q0wY7w 1. 仿真 ^-yEb\\i 以光线追迹对干涉仪的仿真。 '8$*gIQ8 2. 计算 @6N$!Q? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 XsVp7zk\ 3. 研究 uFzvb0O`O
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 5#|f:M]Bo| eiJ13`T 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 drr n&y
hZ ve8J 应用示例详细内容 l*`2EJ
系统参数 xElHYh(\ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 t[ Zoe+& m1mA:R\zM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Kn!n}GtR d0Jaa1b~O 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $T)EJe j~IX 2. 说明:光源 Z?7XuELKV p%8v+9+h2 =%O@%v 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +~6Nq(kV 因此,相干长度大于1m jgfl|;I?pg 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 l20fA-T
_I 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 zuq7 x7 wstH&^
Vh WF(* )9.i'{{ 0 3. 说明:光源 _Py/,Ks.q 'DB4po. u0)~Im,X 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Ax9a5;5WM 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Y~|C]O 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 o:E_k#Fi 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 /ynvQ1#uA 4. 说明:光学元件 u9.x31^ Zr&~gXmVS )@X
`B d 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 S-M|
6fv 位相延迟平板材料为N-BK7。 7(q EHZEr 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 5iG+O4n% 透镜材料为N-BK7。 xS4B"/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Jj~c&LxrO +, SUJ| :|GC~JElo5 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 @dy<=bh~ DH#n7s'b F)W7,^=X>- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 J73B$0FP 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 .3{PgrZ
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