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测量系统(MSY.0001 v1.1) a4u ^f5)@ yfq>, 应用示例简述 6UI>GQ 6J;i,/ky 1. 系统说明 ;fx1!:;. _ _=s' 光源 i+RD]QL — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) L?.7\a@ 元件 R2Yl)2
D — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 -eq=4N=s 探测器 xSOoIsL[ — 干涉条纹 LT(?#)D
建模/设计 +3HPA#A — 光线追迹:初始系统概览 U6a zhi&, — 几何场追迹加(GFT+): 5m3'Gt4 计算干涉条纹。 b_mWu@$ 分析对齐误差的影响。 7*g(@d N&N 82OG 2. 系统说明 [,nfAY r_=p,#}# 参考光路 qSR?,G  wXcMt>3 3. 建模/设计结果 &@"w-M xcnt?%%M XqX
I(q^ 4. 总结 %Il ;B~t cb4b,Ri 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @LHtt/& RSFJu\0}N 1. 仿真 Es~DHX 以光线追迹对干涉仪的仿真。 2|
$k`I, 2. 计算 {NY]L==H 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8k%H[Smn: 3. 研究 `:R-[>5P8 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 pr)K{~m]{< 9Yd-m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 R;.d/U|av 6_Fpca3L 应用示例详细内容 !rz)bd3$ 系统参数 &E`9>&~J 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 5(KG=EHj_ 6l<1A$BQ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 EuLXtq G+fd.~aGE 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 oAC^4-Ld C*$|#.l 2. 说明:光源 ]|;7R^o3| *|sxa# z,M'Tr.1| 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 /AoVl'R 因此,相干长度大于1m z?I+u*rF6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
0&f\7z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v)%[ N JXa_&_
|z ]aa kz$(V(k< 3. 说明:光源 ~.iA`${y% j,Pwket S ]vW&r3` 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 +tPx0>p; 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |x*{fXdMhr 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 dEL3?-;' 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 VPdwSW[eM 4. 说明:光学元件 hyM'x* aX:#'eDB *O!T!J 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 bx;yHIRb 位相延迟平板材料为N-BK7。 Al=(sHc' 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ~v^%ze 透镜材料为N-BK7。 jC#`PA3m= 其中心厚度与位相平板厚度相等。 `Fz\wPd x GwTk C{DlcZ< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 te4F"SEf r[6#G2 c6f|y_2 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 F\zkyk4 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 \nrgAC-b
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