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测量系统(MSY.0001 v1.1) 8O0]hz (]$&.gE.F 应用示例简述 |9mGX9q <q=]n%nX 1. 系统说明 uExYgI`<%& 5yf`3vV|3@ 光源 rGzGbI= — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) "F?p Y@4 元件 >~uKkQ_p — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 *a`_,Q{x 探测器 E :UJ"6 — 干涉条纹 LHs^Xo18 建模/设计 |^O3~!JP(> — 光线追迹:初始系统概览 ]E1|^[y — 几何场追迹加(GFT+): J74kK#uF= 计算干涉条纹。 T/q*k)IoR 分析对齐误差的影响。 C+0BV~7J<< #^w8Y'{? 2. 系统说明 JiGS[tR UC!"1)~mt` 参考光路 :-j/Y'H_  qR^+K@*| 3. 建模/设计结果 u9{Z*w3L7 (n2=.9k! 1(/rg 4. 总结 I} \`l+ u4Z
Accj 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 YGZa##i C{YTHNn 1. 仿真 S>R40T=e 以光线追迹对干涉仪的仿真。 \ZC0bHsA 2. 计算 F#|mN0op 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 V""3#Tw 3. 研究 ^;;gPhhWV 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Su k;##I TWU1@5?Ct 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 8e_9u@p+w [UB]vPXm$ 应用示例详细内容 &IFXU2t} 系统参数 >x${I`2w 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 )>!y7/3 s+a#x(7{ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 2~@Cj@P] f1I/aR V:+ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 8-)@q| $lF\FC 2. 说明:光源 !8o;~PPVl 8b $e) $wqi^q*) 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 t8Giv89{ 因此,相干长度大于1m cB7'>L 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Sp@{5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 'l._00yu Ki%RSW(_`
YF13&E2`\ hJ(S]1B~G 3. 说明:光源 N)X51;+ A )xfO- cnM`ywKW 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 0|~3\e/QV 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 D__*?frWpW 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 fUB+9G(Bx 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 {Pe+d3Eoo 4. 说明:光学元件 trL8oZ6 h\*I*I8C 2%@<A 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 TL([hR _
位相延迟平板材料为N-BK7。 6"La`}B(T8 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 /XwwB 透镜材料为N-BK7。 g y1i% 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Cx
;n#dn* t<znz6 'dcO-A:> 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Med0O~T% ;h7O_|<% >('Z9<|r: 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ]}BT'fky# 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 <O]B'Wc [
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