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测量系统(MSY.0001 v1.1) !lj| cT9 &FF"nE* 应用示例简述 LILQ\I<<' ,"HL~2:~ 1. 系统说明 :(M(>4t vy\RcP 光源 "-+\R}q$ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) b)e
*$) 元件 Vz= PiMO — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 i}B2R$Z3 探测器 x3o]U)^ — 干涉条纹 !X;1 } 建模/设计 u[DfzH — 光线追迹:初始系统概览 CD~z=vlK- — 几何场追迹加(GFT+): n}!PO[m~ 计算干涉条纹。 AMyIAZnYq) 分析对齐误差的影响。 V{:A3C41 pUV/Ul] 2. 系统说明 4*Hgv:0?kI 4\4FolsK 参考光路 Cd>WUw  2AO~HxF 3. 建模/设计结果 Vnr[}<L %)0*&a 4 @CZT 4. 总结 /Sc l#4bW id2j7|$, 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 yL2o}ZbS Jc|6& 1. 仿真 7Z-O_h3;)@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aPm`^
q 2. 计算 Na?!;1]_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 {;:/-0s 3. 研究 1ke g9] 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l@\#Ywz 6y9t(m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 <cqbUL 4DL) rkO 应用示例详细内容 2gCX}4^3b 系统参数 s#)5h0t#du 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 {6_|/KE9_ WYEKf9} 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 h3z{(-~y 'i4_`^:+ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 w[IE S&b*rA02zp 2. 说明:光源 #nK>Z[ %\H|B0 ](wvu(y\E 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
/#VhkC _ 因此,相干长度大于1m ^`)) C; 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 R}4So1 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 e= .njMqW5 Pl"Nus
zY"1drE> G xK6n0] A 3. 说明:光源 :F{:Z*Fi0 .2v_H5< O]1y0BOQ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 (<}&DE 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 37|&?|| 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 z2QP)150 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 [N#,K02mk 4. 说明:光学元件 b#hDHSdZ, i5K[>5 }A7j/uy}s 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
sSi6wO$ 位相延迟平板材料为N-BK7。 w &(|e < 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 I.94v
#r 透镜材料为N-BK7。 |qmu_x\ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 \3S8 62B7 <\}KT*Xp C@L$~iG 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 jg\Z;_!W '-"/ =j&d[ $}jssnoU 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ^k#P5oV 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 4*cU<
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