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测量系统(MSY.0001 v1.1) Iy 8E$B; N55=&-p 应用示例简述 e hB1`%@ qt&"cw 1. 系统说明 ^OcfM_4pN }4ghT(C}$ 光源 d/99!+r — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) p<nBS"/ 元件 m$UT4,Ol — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 KD3To% 探测器 !Z2n;.w — 干涉条纹 ";Xbr;N 建模/设计 b2@x(5# — 光线追迹:初始系统概览 =$z$VbBv — 几何场追迹加(GFT+): zinl.8Uk 计算干涉条纹。 m_U6"\n 5 分析对齐误差的影响。 a} fS2He fvAV[9/- 2. 系统说明 \ A UtGP 8'\,&f`Y 参考光路 i&G`ah>  uV:uXQni`` 3. 建模/设计结果 ?m7" G) >-o:>
5 `1v!sSR0R 4. 总结 I; }%k;v6 d/zX% 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Fmle| i/EiUH/~ 1. 仿真 i|noYo_Ah\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 =5_F9nk- 2. 计算 fJlN'F7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 (_5+`YsV 3. 研究 v@s`l# 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 -6 Si F"TI9ib 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~u&O {OoNhN9 应用示例详细内容 Sqt"G6< 系统参数 q5?mP6 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 [bVP2j &Gwh<%=U 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Donf9]&U 0J-ux"kfI 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 X}FF4jE]D( *
rANf&y 2. 说明:光源 kx(:Z8DX &WU*cfJn)A O5*uL{pvT{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Q&a<9e& 因此,相干长度大于1m ?qW|k6{O 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 a~EEow;A 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 z2zp c^i Lcb59Cs6e
*4VP5]! M8Lj*JN 3. 说明:光源 L%s""nP "G)?
E| sb5kexGxkc 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 sgsMlZ3/ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ]F-6KeBc 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 <Y6>L}; 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 'Em($A( 4. 说明:光学元件 },ZL8l{ HJrg "t`e68{Ls 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 e%>E| 9*u 位相延迟平板材料为N-BK7。 b#^D8_9h 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 t\0JNi$2 透镜材料为N-BK7。 U]3JCZ{]0E 其中心厚度与位相平板厚度相等。 1S#bV} ! u8=|{)yL h*%1Jkxu 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2yc\A3ft# Y[,C1, \bE~iz3b9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 :9qB{rLi} 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 xB[#
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