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测量系统(MSY.0001 v1.1) W[LQ$uj 79uAsI2-Y 应用示例简述 J ql$
g bo#?,80L}` 1. 系统说明 J u"/#@ E~S~Ld% 光源 QsPZ dC — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) -n:;/ere7- 元件 *-3*51 jW — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 D1V^DbUm_ 探测器 B$G9#G6pZ — 干涉条纹 UW Px|]RC 建模/设计 [33=+Ca — 光线追迹:初始系统概览 Xc9NM1bp= — 几何场追迹加(GFT+): <Q8d{--o 计算干涉条纹。 ),@m
3wQ 分析对齐误差的影响。 _4LDzVjNRe ]V,#>' 2. 系统说明 ^3C%& ,_bG'Hmt 参考光路 8"ulAx74>  $*j)ey> 3. 建模/设计结果 r@CbhD K7ZRj\(CJv b~;M&Y 4. 总结 dW%;Z acI%fYw5p` 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 /~+j[oB fS4 Ru 1. 仿真 X
CHN'l' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 nc?Oj
B 2. 计算 yG<Q t+D 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 k^%F4d3z@C 3. 研究 H284
]i 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 v"sN
K ~V/?/J$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 rs@qC>_C0 {;= {abj 应用示例详细内容 ,ysn7Y{Y 系统参数 zLjQ,Lp.I 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 nC\LDeKc 1ifPc5j} 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 |Gt]V`4 Px`z$~*B: 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 `llSHsIkXb TYedem<$ 2. 说明:光源 | EFbT> -P'c0I9z \Bn$b2j!% 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 A"B[F# 因此,相干长度大于1m 6S?*z
`v 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 I_'0!@Nn7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 0{>P^z ys9MV%*
SA.,Q~_T7 ANd#m9(x 3. 说明:光源 HNV"'p; +w+qTZyky Jek)`D 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
MU~nvs;: 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 y_Nn%(j 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,IG?(CK| 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 {pEbi)CF,} 4. 说明:光学元件 d+g+{p>? zbP#y~[
!\_li+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 /-1 F9 位相延迟平板材料为N-BK7。 G
4C 7 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :_+Fe,h>| 透镜材料为N-BK7。 f"A?\w @ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 4vf,RjB-5 qjd8Q u9) <i]2 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ' Y.s}Duj 44_CT?t< YGr^uTQb 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .\b# 0w 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 LxxFosi8
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