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测量系统(MSY.0001 v1.1) G&oD;NY@/ A7L; ims7 应用示例简述 8m0*89HEu Snkb^Kt 1. 系统说明 xp|1yud y[7M(K 光源 h8/tKyr8( — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) By1Tum+I1 元件 JD*HG] — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 k$$SbStD 探测器 pA8bFtt — 干涉条纹 ]!ai?z%cK# 建模/设计 4Sh8w%s — 光线追迹:初始系统概览 rWr'+v? — 几何场追迹加(GFT+): g 4+K"Q/M 计算干涉条纹。 `+w= p7ET 分析对齐误差的影响。 onuG 3EY Ed39E 2. 系统说明 L2@:?WW[ uO4
LD}A 参考光路 2TGND-(j  +3o
vO$g 3. 建模/设计结果 xd{.\!q. 4q.;\n JV_`E_! 4. 总结 HS|Gz3~ EMnz;/dMt 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 (Z<@dkO?) )j2#5`?"j 1. 仿真 h;q&B9 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ZV{C9S& 2. 计算 U*+-# 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 7c\W&ZEmb- 3. 研究 N[eLQe]q 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 dEYw_qJ2 b'pwRKpx 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 X>$Wf3 gw)z*3]~s 应用示例详细内容 c&PsT4Wh 系统参数 5&%M L 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 XoD:gf
u^xnOVE 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 @95p [ @7}XBg[pI 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 !,ODczWvh TDw~sxtv& 2. 说明:光源 >V8!OaY5n A$p&<# wfO-bzdw 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 YnnK]N;\x 因此,相干长度大于1m E 14DZ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 G-i2#S 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 !{*yWpZ: z?13~e[D
`XF[A8@h wdj?T`4 3. 说明:光源 yl?LXc[) -W6@[5 c 6<@mBZ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 X8v)yDtw 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 (}F@0WYT^O 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 'bRf>= 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 $m
;p@#n 4. 说明:光学元件 @5&57R3> <Z t ]V`- Tp@Yn 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 X"3p/!W.4 位相延迟平板材料为N-BK7。 ]2L11"erP 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 0Gj/yra9MO 透镜材料为N-BK7。 Z:^<NdKe 其中心厚度与位相平板厚度相等。 T$mT;k \4qF3# o#"yFP1 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >/Z*\6|Zx# +|;Ri68 =oXlJ[)h 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 8m
H6?,@6 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Q~"Lyy8
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