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测量系统(MSY.0001 v1.1) pymT- Y,0O&'> 应用示例简述 2D-*Z=5^ :;JJvYIs 1. 系统说明 qH-dT,`"{ Bf7RW[ -v 光源 B!Qdf8We — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }^QY<Cp| 元件 2x{3' ^+l — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >N*QK6"=| 探测器 IUZsLNW — 干涉条纹 X-ml0
=M[ 建模/设计 wRuJein# — 光线追迹:初始系统概览 R
sujKh/ — 几何场追迹加(GFT+): rbJ-vEzo.# 计算干涉条纹。 O" z=+79q 分析对齐误差的影响。 I*24%z9 J%}}(G~ 2. 系统说明 wPW9 bu 2{ptV\f]D 参考光路 yEz2F3[ S  GI~;2 `V 3. 建模/设计结果 v&?Bqj ]{y ';MZ 8gx^e./ 4. 总结 \V&ly/\
) ;hKn$' ' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 e0hT ;`xu)08a 1. 仿真 lh5k@\X 以光线追迹对干涉仪的仿真。 lID5mg31 2. 计算 ` "9Y.KU 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 !,1~:*: 3. 研究 B[Tw0rQ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 N/y.=] _o`'b80; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 )\s:.<?EQ OCX?U50am 应用示例详细内容 y[}BFUy 系统参数 sGzd c 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 6%5A&&O(b "PuP J| 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 U"ga0X5 zS?L3*u 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 =si<OB "3!4 hiU9 2. 说明:光源 Bg34YmZ cOS|B1xG {wd.aUB 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ukZL 因此,相干长度大于1m W<58TCd 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 )~WxNn3rx 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?B[Z9Ef"8l T9(~^}_+9
TpnkJygIm MEo+S 3. 说明:光源 wCkkfTO fE M8/bhq
kH{axMNc 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 LtCkDnXk 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 &hZcjdB 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 !iZ*Z Pu 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ! 5[?n3 4. 说明:光学元件 cU*7E39 kR'!;}s ZL-@2ZU{1 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 =:#$_qR 位相延迟平板材料为N-BK7。 o6svSS 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 cDLS) 透镜材料为N-BK7。 {U&Mo97rzX 其中心厚度与位相平板厚度相等。 "ua/65cq9 whvM^ \ar.(J 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 & {B,m%G ]1gt|M^ B9+oI cO 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Inr ~9hz 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 /X8b=:h
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