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测量系统(MSY.0001 v1.1) wAu[pWD'6; k~1j/VHv 应用示例简述 6/[Z178m (lN;xT`= 1. 系统说明 OHHNWg_5 UEEBWz H 光源 xi?P(sA — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) lHcZi 元件 WO.0K5nfk — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ;v,9v;T 探测器 Ns.3s7& — 干涉条纹 vQKn= 建模/设计 BEXQTM3])I — 光线追迹:初始系统概览 #ox9& — 几何场追迹加(GFT+): [;?"R-V"z 计算干涉条纹。 msc 1^2 分析对齐误差的影响。 C{UF~ 0~+NB-L} 2. 系统说明 b8N[."~: selP=Q! 参考光路 <AI>8j6#B 
w.J%qWJq 3. 建模/设计结果 !Tn0M; (]3ERPn#y HQ^9[HN. 4. 总结 QFW0KD`5 L289'Gzg 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 01LZE,. RDs,sj/Y9? 1. 仿真 Kajkw>z 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ZjU=~)O}H 2. 计算 kqVg2#<@M 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ^oQekga\l 3. 研究
bKk CW 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 T&1-eq>l xClRO,- 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ug^om{e- -|m$YrzG 应用示例详细内容
6Xdtr 系统参数 Mjb 1 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 EHpu*P~W uu}a:qrY 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 6xQ"bFm bnijM/73 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $d'CBsu|<
<1aa~duT 2. 说明:光源 j#N(1}r=1 R{*_1cyW :3*`IB ! 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7dSh3f! 因此,相干长度大于1m ZV!R#Xv 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Uh|TDuM 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 mR" uhm}q d,)}+G
Ns'FH(: "
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3. 说明:光源 x.I][(} 1'Nh jL 7egq4gN]2Y 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 D899gGe 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 z4CJn[m9 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 $zdd=.!KiK 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 z~F37]W3[ 4. 说明:光学元件 XmP;L(wa dIma{uv V
{p*z 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 iwUv`>l& 位相延迟平板材料为N-BK7。 LyIKP$t 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Ujf,6=M 透镜材料为N-BK7。 R0{Qy*YQ` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Fav?,Q,n v' C@jsxM -(!uC+BZX 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 )&>L !,z WhH!U0 fTBVvY4( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 4iwf\# 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 a_Jb>}
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