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测量系统(MSY.0001 v1.1) *}_/:\v H~ZSw7!M8 应用示例简述 sRZ:9de+ 4iLU "~ 1. 系统说明 M)J *Df0@ W1@;94Sb~ 光源 6gKOpa — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) wFJK!9KA8 元件 Dz50,*}J — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 gNqV>p 探测器 zJnVO$A' — 干涉条纹 Un/fP1 建模/设计 {;4PP463 — 光线追迹:初始系统概览 _#gsR"FZ$ — 几何场追迹加(GFT+): DO\EB6xH>% 计算干涉条纹。 t~M<j|]k 分析对齐误差的影响。 b{I`$E<[ ~d8>#v=Q` 2. 系统说明 o 4b{>x RE .@ +A 参考光路 S!q}Pn  ZWa#}VS}-n 3. 建模/设计结果 A$F;fCV* ;:|KfXiC8 2Y4&Sba^Y 4. 总结 btF%}<o) gr?pvf!I 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 2wBU@T1 7[H`;l 1. 仿真 /K!,^Xn 以光线追迹对干涉仪的仿真。 {T.Vu]L80 2. 计算 D9C}Dys 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 NNE,|
: 3. 研究 ^d9raYE`' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 BP[U`
! +zdkdS,2< 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 "r
V4[MVxt N 9&@,3 应用示例详细内容 ee_\_" 系统参数 >Y'yM4e* 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ]'h)7 L%d?eHF 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 na3kHx@ X{xJ*T y' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 N ]7a= }AiS83B 2. 说明:光源 ;0!Wd tTFoS[V x#0@$ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4) iEj 因此,相干长度大于1m {@ y, 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 qX'a&~s)n 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 k6-n.Rl01 r65NKiQD
_A|\.(t `7%eA9*.m 3. 说明:光源 ?+O|mX}`- LXC`Zq\ 5SL>q`t.bd 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 I*t)x,~3 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 >v_5xd9 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 +Jka :]MW! 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ]XGn2U\ 4. 说明:光学元件 4D8y b|o |~uzQU7 A] ?O&m| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 _
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位相延迟平板材料为N-BK7。 z83:a)U 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 M y"!j,Up 透镜材料为N-BK7。 !J=;Z9 其中心厚度与位相平板厚度相等。 !-RpRRR[Co @
KPv&UB DVoV:pk 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `/JR}g{O ;9 &1JX A%*DQ1N 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 UeQ9G 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 <oaBh)=7
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