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测量系统(MSY.0001 v1.1) nKO&ffb'< ^%d{i'9? 应用示例简述 )
G{v>Z, RI(uG-Y 1. 系统说明 9C$!tz>>+i 6a?y$+pr 光源 K_5&_P1 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) duS #&w 元件 /wTf&_"mTL — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )ziQ=k6d6 探测器 zK 2wLX — 干涉条纹 *[H+8/n_ 建模/设计 F^YIZ,=p! — 光线追迹:初始系统概览 8w&rj- — 几何场追迹加(GFT+): XNUqZ-M: 计算干涉条纹。 9^='&U9sr 分析对齐误差的影响。 W~%~^2g ;k z6lz*%Yi 2. 系统说明 #:|Y(,c kYB
<FwwB 参考光路 tD]&et 
@__;RVQ 3. 建模/设计结果 Hl;p>>n m-8 9nOls {+2cRr. 4. 总结 tA-B3 ] 9oP{Al 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 skz]@{38 D5pF:~tQ(j 1. 仿真 !XG&=Rd?
以光线追迹对干涉仪的仿真。 $3'+V_CZ3 2. 计算 u-{l,p_H 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 -;\+uV 3. 研究 @MB _gt)7? 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4w( vRe xacLlX+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Qcy`O
m^2 DOVX$N$3 应用示例详细内容 ~n^G<iXLp 系统参数 #(
sNk,^Ax 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 DME?kh>7 {z /^X<T 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 U"+ ry.3` Zd U{`>v 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 *Qx|5L!_ o#P3lz 2. 说明:光源 \Byk`}
9 WcwW@cY7\ kqW<e[ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 V;-.38py 因此,相干长度大于1m n u8j_grW 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g&3#22z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 SrtVoe[ /iy*3P,`
5^K#Tj ;2 ~H|LWCU)K8 3. 说明:光源 g]<Z]R` 'UVv(- d?M!acB 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 bmVgTm& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 2nU
NI
U 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 @xm~T|[7 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 'e>sHL 4. 说明:光学元件 DRW.NL o 1Bk*G>CX9( z|]oM#Gt 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 y3nm!tjyM 位相延迟平板材料为N-BK7。 z8(R.TB 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 F|Dz]ar 透镜材料为N-BK7。 tnF9Vj[#%_ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 L%K_.!d^ .Spi$>v Flujwh@rg 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [du>ff >3`ctbe te*Y]-&I|/ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 q9 brpbg_ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 5uV"g5?w
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