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测量系统(MSY.0001 v1.1) )ZI9n7 WRWcB 应用示例简述 @fVCGV?'
.LX8ko 1. 系统说明 b)eKa40Z 96&Y 光源 R4R SXV — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) mOUIGlv 元件 >;;tX3( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ^uy2qO4Yw 探测器 s|1BqoE — 干涉条纹 M_4:~&N$ 建模/设计 y+C.2 ca — 光线追迹:初始系统概览 p=U/l#xO — 几何场追迹加(GFT+): A|D]e)/6+B 计算干涉条纹。 N9M''H*VS 分析对齐误差的影响。 iSZiJ4AUq DB^"iof 2. 系统说明 ^rDT+ x 2`o}neF{ 参考光路 Ifc}=:nr  Y\qiYra 3. 建模/设计结果 {c3u!}mW ;bZIj`D( DM-8azq $ 4. 总结 7sQw&yUL) % 1+\N 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 XQ{G) ]vPa
A 1. 仿真 _V9 O,"DDc 以光线追迹对干涉仪的仿真。 G2nL#l~@) 2. 计算 qXGAlCq@ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 9 pGND]tIi 3. 研究 O>E2G]K]\ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 @R|Gz/ Y{ho[% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 CZ/bO#~ Y!kz0([ 应用示例详细内容 ohdWEU, 系统参数 z_dorDF8`> 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ',MiD=_ |vZ\tQ
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 L29,Y=n@ o|s JTY 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 y=H^U. R|%R-J] 2. 说明:光源 a:oZ5PX= 2 NgEzY5 5!55v 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 %0PdN@I 因此,相干长度大于1m xb!h?F& 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
?/_8zpW 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 )U`"3R yn0OPjH
*nB fF{y U8Pnt|0 M 3. 说明:光源 VOYuog 5o AQ!FJ(X( %"Y7 b2pPa 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 %`%xD>![ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 rx*1S/\PPc 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 )
0x*>;"o 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 3dnL\AqC 4. 说明:光学元件 xg}RpC! jb' hqz ?"p:6%GFz 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 S8O^^jJq; 位相延迟平板材料为N-BK7。 5q`d=L, 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3U&QonCV 透镜材料为N-BK7。 rSIb1zJ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 f:k3j}& $X%GzrN l-yQ3/: 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ve,_;<F]S s D]W/ |H.(?!nTb 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {4Q4aL( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 %d+:0.+`n
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