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测量系统(MSY.0001 v1.1) %/!n]g- 5&]|p'"W\ 应用示例简述 (.TkvUj` jT/SZ|S 1. 系统说明 Z(LDAZG iR
j/Tm*T' 光源 _[}r2,e — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 5qo^SiB. 元件 OU+oS, — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 1{\{'EP{ 探测器 b5u_x_us| — 干涉条纹 G!},jO*" 建模/设计 F#S^Q` — 光线追迹:初始系统概览 IgH[xwzy[ — 几何场追迹加(GFT+): -N`j` zb| 计算干涉条纹。 {6Tw+/`P 分析对齐误差的影响。 P7r?rbO" ='f<_FD 2. 系统说明 Yjxa=CD ~@=:I 参考光路 5
OR L  |0:&dw?*! 3. 建模/设计结果 Pnq[r2#]: w$ Lpuun{ @=ABO"CQ 4. 总结 L12m ; J0xOB;rd 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Isv@V. xzF@v>2S+ 1. 仿真 b%>vhj&F 以光线追迹对干涉仪的仿真。 V~-<VM6 2. 计算 JzH\_,, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T)Z2=5V 3. 研究 AP.WTFf 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 2b+cz R o :/J 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Q:?]:i/* t{t*.{w 应用示例详细内容 %v=z|d5-3 系统参数 `?VtB!p@x= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 oeKI9p13\ q,-bw2 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 '9cShe w^N xR, 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ]$/TsN 7M#2Tze} 2. 说明:光源 _U)BOE0o )f]E<*k'E l]RO' 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 N}x\Ll 因此,相干长度大于1m m@o/ W 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 xvP<~N- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "e62g +^$FA4<~
t(/b'Peq O57n<J'6 3. 说明:光源 p]=a:kd4J i6w LM-.) I$sJ8\|gw' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 1zNH[
扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Unev[! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 3~H_UGw 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 xZAc~~9tD 4. 说明:光学元件 1<a+91*=e t4)~A5s '6i"pJ0% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 E/x``,k 位相延迟平板材料为N-BK7。 M@@l>"g@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 6jjmrc[#}X 透镜材料为N-BK7。 <a%9d<@m 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~oO>6 eqD|3YX K!^x+B| 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 zr%2oFeX, e"HA.t[A
;w";s$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 m~"<k d 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 EGWm0 F_
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