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测量系统(MSY.0001 v1.1) Ul}<@d9: B -!K&\hEjj 应用示例简述 &9"Y:), B{p74
> 1. 系统说明 g's!\kr 6YV"H 光源 \
FJ ae — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) [B +:)i 元件 Q7i(M >|O — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 TKgN31 ` 探测器 )PW|RW — 干涉条纹 CxSh.$l 建模/设计 A;dD'Kgl — 光线追迹:初始系统概览 @;N(3| n7 — 几何场追迹加(GFT+): ;cZp$
xb3 计算干涉条纹。 w'E?L`c 分析对齐误差的影响。 $cU7)vmK` rm-;Z< 2. 系统说明 tGzp=PyA drk BW}_ 参考光路 upX@8WxR  _pDfPLlY& 3. 建模/设计结果 6As%<g= ^@{"a %(W8WLz} 4. 总结 +S`cUn7 9!kp3x/` 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 <q>d@Foi B2a#:E,6 1. 仿真 l(}MM|ka 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :@eHV=|+> 2. 计算 WtaOf_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 -GM"gkz 3. 研究 f=u +G 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 i5&,Bpfo-
;NrPMz 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 )Y9\>Xj7 =LKM)d=1 应用示例详细内容 =N8_S$nx( 系统参数 r-*6#
" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ;r&Z?B$ -ZyY95E< 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 m l@%H 8FZC0j.^DH 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 e+D]9wM8 "tK|/R+ 2. 说明:光源 57 Bx- |0?v4%g >tx[UF@P@ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 DHv86TvJt 因此,相干长度大于1m GZKYRPg 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ';c 6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 +8x_f0< *?]<=IV?
IkjJqz E`<ou_0N@q 3. 说明:光源 {@3v$W~7M [u37Hy_Gi s{8=Q0^ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 EtaKo}!A} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 4y?n62N8$ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 &/ED.K 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Xo]2iQy 4. 说明:光学元件 S' kgpF"bm ?6hd(^ YD;d*E%t 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 0a^bAEP 位相延迟平板材料为N-BK7。 u@`a~ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 wfpl]d! 透镜材料为N-BK7。 `JpFqZ'58 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ey,f igjd. ,UNk]vd LExm#T` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Lo#G. s| ]8DTk! 32?'jRN(ue 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 $eG_LY 1v 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 H{,1-&>|
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