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测量系统(MSY.0001 v1.1) fqS
cf}s d&5GkD.P 应用示例简述 "RM vWuNt \|q.M0 1. 系统说明 qD/FxR-! |,OTGZgc 光源 SWM6+i
p — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) *'hvYl/?> 元件 ?ne!LDlE| — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ZeP3
Yjr3 探测器 N~@VZbS(6 — 干涉条纹 7z4u?>pne* 建模/设计 NP5;&}uv*! — 光线追迹:初始系统概览 sKuPV — 几何场追迹加(GFT+): o= N_0. 计算干涉条纹。 I6,sN9`
K 分析对齐误差的影响。 Zfn390 _ .3*VkAs 2. 系统说明 &+>)H$5 W_z?t; 参考光路 [Q*aJLG  )XAD#GYM 3. 建模/设计结果 ~TEKxgU O`W&`B(*k l\Or.I7n
4. 总结 Z`lCS
o; %Jc>joU 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 zO07X*Bw IRW%*W# 1. 仿真 M`kR2NCi 以光线追迹对干涉仪的仿真。 MOEB{~v`; 2. 计算 B[rxV 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 :g[G&Ds8 3. 研究 $6]7>:8mz 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 OY/sCx+c )wwQv2E 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 * 5Y.9g3)Q |. zotEh 应用示例详细内容 1@Zjv>jy[ 系统参数 M1f^Lx 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 &]2z)&a 32*FI SH^ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 {%;KkC8=R #e:*]A'I 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %Pb 5PIk4 {!C ';^ 2. 说明:光源 (gl/NH! VIxt;yE y`EcBf 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 SEc3`y;j% 因此,相干长度大于1m =Xc[EUi<;g 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 c=T^)~$$ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 {m/\AG)1I 3=r8kh7,
sgn,]3AUq U&mJ_f#M 3. 说明:光源 @lP<Mq~] Z Tx~+'( i7[CqObzc 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 f*g>~! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <M1XG7_I 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 .FnO 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Lw]:/x 4. 说明:光学元件 QJ
ueU%| q(Y<cJ?X w\'Zcw,d 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 VT\o=3_ 位相延迟平板材料为N-BK7。 w
1E}F 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
]8q5k5~ 透镜材料为N-BK7。 cf|<~7 其中心厚度与位相平板厚度相等。 kQ$Q}3f .d5|Fs~B OjCT*qyU< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <)zh2UI ZpHT2-baVe >,` /
z 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 'r%`(Z{~ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 PiZt?r?5w|
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