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测量系统(MSY.0001 v1.1) fBctG~CJH ]d-.Mw,' 应用示例简述 R"9wVM;*c as|w} $ 1. 系统说明 D[ #V M:{Aq&. 光源 /.<v,CR — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 6[4VbIBSI 元件 g27'il — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !&>` 探测器 )S(Ly. — 干涉条纹 "I)zi]vk 建模/设计 8\!E )M|4 — 光线追迹:初始系统概览 *=2W:,$ — 几何场追迹加(GFT+): ?q9]H5\ 计算干涉条纹。 (nt`8 0 分析对齐误差的影响。 eu9*3'@A QcW8A ,\q 2. 系统说明 @anjjC5a~ gWGDm~+ 参考光路 P|bow+4 @;tfHoXD 3. 建模/设计结果 %Qlc?Wl: 3g;, #YYJ4^":k 4. 总结 HyU: BW;
P+}~6}wJE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 V7Cnu:0_ LCH\;07V# 1. 仿真 cQyN@W 以光线追迹对干涉仪的仿真。 .Mb[j1L^ 2. 计算 :86:U 0^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 7>__ fQu 3. 研究 ,
:#bo]3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 {9U!0h-2" hj9TiH/+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 #~|k EGt ;na%*G` 应用示例详细内容 3X`9&0:j% 系统参数 KU/r"lMNlU 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8YQuq.(>a \X:e9~ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 oNAnJ+_ vKG\8+ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 iVI& oCaYmi=: 2. 说明:光源 p)yP_P gmRc4o )N&SrzqTK 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !S':G 因此,相干长度大于1m #5@(^N5p` 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 FOsd{Fw 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i D IY| 1@}F8&EZ hpF_@n
h#hr'3bI1 3. 说明:光源 T+}|$/Tv mvEhP{w K=[7<b,:3 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 2{rWAPHgz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 -[7+g 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 6(bN*. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 l#KcmOz 4. 说明:光学元件 Cdz&'en^ )t|:_Z l/'GbuECm 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 2!sPgIz 位相延迟平板材料为N-BK7。 qPq]%G*{ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 |q*yuK/ 透镜材料为N-BK7。 @ep.wW 其中心厚度与位相平板厚度相等。 &)1.z7T >zW2w2O3 4>jHS\jc 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2X@9o4_4q ?'MkaG0g x.+T65X~4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 T7,]^
1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ;'n%\*+fHH
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