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测量系统(MSY.0001 v1.1) "%sW/ph :|d3BuY 应用示例简述 /
AW]12_ +tO V+6Uz 1. 系统说明 {0[qERj"z uL1-@D, 光源 !e%#Zb
MIo — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \K>6-0r| 元件 /njN*rhx&Z — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 s^E%Ukm 探测器 W;o\}irep — 干涉条纹 :,cSEST 建模/设计 )!OEa] — 光线追迹:初始系统概览 [jY_e`S — 几何场追迹加(GFT+): $A ( #^& 计算干涉条纹。 ^6obxwVG 分析对齐误差的影响。 v/(< fI^ Qg4qjX](? 2. 系统说明 iHR?]]RF d*!,McBn 参考光路 @90)  ./[t'dgC 3. 建模/设计结果 2avSsN{^ 4s3n|6 v dhV=;'
4. 总结 j]kx~ rH & ^SNc 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 PInU-"gG fD
V:ueO 1. 仿真 {@({po 以光线追迹对干涉仪的仿真。 t\'URpa+5% 2. 计算 Pxl7zz&pl= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `L0}^|`9 3. 研究 $Y>LUZ)b&8 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 y%z$_V] |2^cPnv?G& 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 2#p6.4h= ]G&d`DNV 应用示例详细内容 [NyR$yD{ 系统参数 X}_kLfP/9 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 qd(`~a vJK0>":G 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Xul<,U~w6 @VVBl I 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 }Vk#w%EJ #_|6yo} 2. 说明:光源 -2bu`oD
` +Z/Pj_.o h=?#D0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 TLw.rEN!; 因此,相干长度大于1m P>Pw;[b>O 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 YY'46 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 O57
eq.aT S9U`-\L0
ub7|'+5 v2/@Pu!kg 3. 说明:光源 qfx= l3rr2t a%V6RyT4qW 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 3~%9;.I3! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 K+2<{qwh 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 eG =Hyc 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 %h(J+_"L6 4. 说明:光学元件 p^MV<}kk e@w-4G(; _e7Y R+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7c5+8k3 位相延迟平板材料为N-BK7。 o@XhL9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 +VCG/J 透镜材料为N-BK7。 =0
mf 其中心厚度与位相平板厚度相等。 1 cvoI \mbm$E+X T2Ms/1FH/@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 !.Eua3:V* M4~^tML>Ey V*Ta[)E 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 n&y'Mb
PB 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 fX^<H_1$G
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