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测量系统(MSY.0001 v1.1) r)jj]$0 ?#F}mOVAa 应用示例简述 D0?l$]aE ^O
cM)Z6h 1. 系统说明 8$fiq}a s=lkK/ [ 光源 d#@N2 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?]S!-6: 元件 :tu_@3bg- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 pn6 e{ 探测器 Vi~9[&.E\! — 干涉条纹 G]fl33_}l 建模/设计 ~F`t[p — 光线追迹:初始系统概览 ;!(.hCHvr — 几何场追迹加(GFT+): }.<%46_Z- 计算干涉条纹。 f#:7$:{F1 分析对齐误差的影响。 W&[}-E8<Y 56Q9RU(M 2. 系统说明 @g*=xwve=~ 'l$<DcBj 参考光路 ?`Oh]2n)6  X!0s__IOc 3. 建模/设计结果 A*ImruV v*Qr(4 i"uAT$x e 4. 总结 w,
u`06 Xp]tL3-p 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 K
(yuL[p` _zQ3sm 1. 仿真 &Y2mLPB 以光线追迹对干涉仪的仿真。 f!}c0nb 2. 计算 |q?I(b4 Q@ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 h<oQ9zW) 3. 研究 .S&S#}$/] 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :('7ly!h \*#9Ry^f 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 `F:PWG` hia_CuY# 应用示例详细内容 X*Mw0;+T 系统参数 }Y(yDg;" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ruM16*S{= ;8UHnhk_O 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 8Ua;< h% =R)9_D6I 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 y: @[QhV 9
|Iq&S 2. 说明:光源 2RDos# Qci<cVgP Z3=DM=V;v 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 MT" 2^&R 因此,相干长度大于1m K /h9x9^ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 F"9f6<ge 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ]@bo; . zO`54^
T`46\KkN vkan+~H 3. 说明:光源 Ml8 '=KN_ kWL\JDZ`. e[}R1/!L 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 GeN8_i[ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 'j];tO6GfC 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 v/f&rK* > 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 t#mW`rGE_ 4. 说明:光学元件 %&9tn0B
HUurDgRi] ni gp83: 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `zAo IQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 `P9vZR; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Nko;I?Fn 透镜材料为N-BK7。 v`B7[B4K3 其中心厚度与位相平板厚度相等。 +O:Qw[BL/Z + oyW_!( O&]Y.Z9,A 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 u79.`,Ad& NG@9}O r7sPFM 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Dm6WSp1|b 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 N4"%!.Y
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