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测量系统(MSY.0001 v1.1) #w_cos[I Rs*]I\ 应用示例简述 DL$O274uZ O2z{>\ 1. 系统说明 1nHQ)od ECq(i( 光源 1?k{jt~ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) z u53mZ 元件 -2Bkun4Pt — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 $H}G'LqiG 探测器 prJ]uH, — 干涉条纹 3QNu7oo 建模/设计 ']]Czze — 光线追迹:初始系统概览 9eG{"0) — 几何场追迹加(GFT+): :xqhPr]e 计算干涉条纹。 ,ddoII 分析对齐误差的影响。 _Z9HOl@ aNd6#yU$ 2. 系统说明 ddR*&.Y!a cOz8YVR- 参考光路 -|Z[GN:  )w3?o#@ 3. 建模/设计结果 5%` fh% ^ud-N;]MKs <]{$XcNm 4. 总结 'E_M,Y dXwfOC\\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 VTM*=5|c zVeQKN9^Z 1. 仿真 d2cslDd 以光线追迹对干涉仪的仿真。 D jzHEqiH 2. 计算 |AgdD 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 M`_RkDmy< 3. 研究 hDPZj#(c 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `;X~$uS }bkQr)us 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 V?_:-!NJ( l:' 0 应用示例详细内容 Q:nBx[% 系统参数 q oA?
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 0O@UT1M;v '+%<\.$ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 i!AFXVX B4uJT~,7> 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 `Mg&s* p=fj1* 2. 说明:光源 yaDK_fk O{P@fv%~(o whoM$ & 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 KM'*+.I 因此,相干长度大于1m ~OdE!! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 rzl0*CR 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 *F4"mr|\ O1C|{
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jUtFDw .zm/GtOV@ 3. 说明:光源 ~tw#Q 9i^dQV.U=
4y:pj7h 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 T6Oah:50EM 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 j'\!p):H 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Ne!0 `^`~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 W{)RJ1 4. 说明:光学元件 DK6^\k][V Es7+bFvsE8 E((U=P}+g 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 {jK:hQX 位相延迟平板材料为N-BK7。 gG?sLgL: 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 tAi
~i;? 透镜材料为N-BK7。 +VE]
.*T 其中心厚度与位相平板厚度相等。 per$%;5E" g`n5-D@3 cN?}s0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 @Yu=65h fN|'aq*Pd G(Ky7SZ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 DI>SW%)> 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 hxT{!g
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