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测量系统(MSY.0001 v1.1) n1{[CCee@ / Ws>;0 应用示例简述 |Q%P4S"B? ah hl 1. 系统说明 C#nT@;VO5 5{oc 光源 +Wg/O
- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) M:GpyE% 元件 U 7.k Yu — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 pB\:.?.pd 探测器 `MCiybl,&P — 干涉条纹 $8rnf 建模/设计 Vj 9X6u}{ — 光线追迹:初始系统概览 h?p_jI — 几何场追迹加(GFT+): N|$9v{ j_ 计算干涉条纹。 ]t~.?)Ad+2 分析对齐误差的影响。 S'8+jY mjWU0. 2. 系统说明 NI#]#yM+ _%=CW'
B 参考光路 OPDT:e86Y=  'I&0$< 3. 建模/设计结果 /0H}-i s$isDG#Sr #55:qc>m 4. 总结 ofV0L 84.L1|k 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 )f|`mM4DW! 6" * <0 1. 仿真 qvSYrnpn 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ;W|NG3_y 2. 计算 cJaA*sg 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 pT->qQ3; 3. 研究 ;7qIm83 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ];hqI O#nM zUL,~u 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~q}L13^k qWheoyAB 应用示例详细内容 sFz0:SqhE 系统参数 cVW7I 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 u6Gqg(7hw NOQ^HEi 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 B6
(\1 k3qQU) 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 a%B&F|u |Q3d7y 2. 说明:光源 ?-<lIFFh UgGa]b[9A @d0f +9d 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 O*l,&5 因此,相干长度大于1m I U" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 "ktuq\a@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 [w'Q9\,p p?y2j
c%/b*nQ(= XqmB%g( 3. 说明:光源 'JMW.;Lh?X g=$U&Hgs g77M5(ME 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 6/S.sj~ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 o@zxzZWg 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 9)1Ye 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 NSz} 4. 说明:光学元件 iibG$?( 71R,R, ce\d35x! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 qX-ptsQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 4n1g4c-
所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 b!@PS$BTxq 透镜材料为N-BK7。 d#0:U
Y% ~ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6P{^j X>[i<ei T06(Q[) 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 3@I0j/1#k1 $o?U= z)^|. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 xUdGSr50 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 .U0Gm_c0
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