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测量系统(MSY.0001 v1.1) qOk4qbl[ 0gt/JI($ 应用示例简述 x.45!8Zb 27Lya!/ 1. 系统说明 X|8Yz3:o b@5bN\"x$ 光源 W'6*$Ron — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) o'yR^` 元件 Ebp8})P/~ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 3xj<ATSe 探测器 op}x}Ioz — 干涉条纹 }3vB_0[r 建模/设计 aY"qEH7] — 光线追迹:初始系统概览 JU"!qXQr — 几何场追迹加(GFT+): ,ZH)[P)5P 计算干涉条纹。 ef|Y2<P 分析对齐误差的影响。 E!ZDqq ;ATk?O4T 2. 系统说明 Ij4\* D! )B8[w 参考光路 A03PEaZO  )V9$ P) 3. 建模/设计结果 i(Y P(8 *D`,z3/* hJaqW'S 4. 总结 *]F3pP[ f^0vkWI2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 F,4Q NO6. qWl 1. 仿真 ~;U!? 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >~XX'} 2. 计算 Lmj?V1% V 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~~kIA"U 3. 研究 W+1V&a}E 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 +mAMCM2N "I_3!Yu 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 M@csB. ' !fz`O>-mZ 应用示例详细内容 (&X"~:nm2 系统参数 Lu-owP7nB 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 V1j&>-]]9* |nocz]yU$ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ^S, "iV \@I.K+hj$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +F 5 Dc 6
*Q5.g 2. 说明:光源 r+
vtKb in B}ydk +Mg^u-(A 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 x6F\|nb 因此,相干长度大于1m zRsA[F# 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 IK}T.*[ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i?|K+"=D mflI> J=g
o@;w!' 8f29Hj+ 3. 说明:光源 d8Upr1_ I] &I d^n 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 q9Fc0(&Vf 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 7N'F]x 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 '}XW 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 4e*0kItC 4. 说明:光学元件 uw]e$,x? u,oxUySeG 21cIWvy 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 GW}KmTa]& 位相延迟平板材料为N-BK7。 #|$7. e 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 0<i~XN0g 透镜材料为N-BK7。 hvpn=0@M 其中心厚度与位相平板厚度相等。 $SXF>n{} SuuWrt}5 XFBk:~}sI 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 nP0}vX)< c&R . dQ^k- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 J-X5n 3I& 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 OFUN hbg
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