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测量系统(MSY.0001 v1.1) PN:`SWP 'hV(1Mw 应用示例简述 1LAd5X oN%zpz;OR 1. 系统说明 {<-wm-]mo S?J(VJqE 光源 ;jN1n
xF — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) lnLy"f"zV 元件 99CK [G — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (:?bQA'Td 探测器 +{C)^!zBK — 干涉条纹 rK`^A 建模/设计 dQ9W40g1 — 光线追迹:初始系统概览 H)EL0
Kv/ — 几何场追迹加(GFT+): LZ.Xcy 计算干涉条纹。 u3E =r 分析对齐误差的影响。 `%"x'B`mM ,v#n\LD` 2. 系统说明 V{w &RJ c2fSpvz 参考光路 K2e*AE*  -K H"2q 3. 建模/设计结果 jZ:/d!$S !
Vlx N:'!0|6?x- 4. 总结 FQ`1c[M@
)N607 Fa- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 PHY!yc-LjV @)vQ>R\k< 1. 仿真 NGkxg: 以光线追迹对干涉仪的仿真。 AXSip 2. 计算 w-xigm>{Z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 f?ibyoXL 3. 研究 2N]8@a 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :N"&o(^ p]/[ji 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 2FV@?x0po m<kJH<!j 应用示例详细内容 hvNK"^\p 系统参数 HW,v" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 BHYguS^qz -!O8V 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 F]r'j
ZL $p&eS_f 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 |yzv o"3 U1pE2o- 2. 说明:光源 wU<j=lY?f o?t H[ vCSC: 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
OVU)t] 因此,相干长度大于1m /x$JY\cq` 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 '@h 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 g,M-[o=Fk (xVx|:R[<H
I"x|U[*B &GJVFr~z 3. 说明:光源 JMo r[* c$L1aZo GEh( pJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 <)T~_s 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 >A6W^J|[ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ztX$kX:_m 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 YM'4=BlJHv 4. 说明:光学元件 ?eX/vqk QRBx}!:NZ# C4.GtY8,d 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ag47 $9( 位相延迟平板材料为N-BK7。 t8h*SHD9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 C58o="L3S 透镜材料为N-BK7。 nXoDI1<[ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 /V/NL#(R .74C~{}$ a|oh Ad 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `67i1w` Q~svtN udA@9a^; 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {"{]S12N 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 \y(3b#
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