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测量系统(MSY.0001 v1.1) uoI7'
:Nv }\?9Prsd 应用示例简述 C$1W+( +K`A2&F9 1. 系统说明 &~H ed_ nwUz}em?O 光源 ZDW=>}~_y — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) IUFc_uL@\ 元件 qGV_oa74 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 z m$Sw0#( 探测器 ^F+7<$2 — 干涉条纹 lt&(S) 建模/设计 Jq'8" — 光线追迹:初始系统概览 =zcvR {Dkp — 几何场追迹加(GFT+): 3>aEP5 计算干涉条纹。 XAU%B-l: 分析对齐误差的影响。 P U/<7P* gYc]z5` 2. 系统说明 -PE_q Z^ ZhA_d#qH 参考光路 *c94'T cl  <]M.K3> 3. 建模/设计结果 .PUp3X- jfY7ich '%QCNO/ 4. 总结
<Kv$3y !B}9gT 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {}$7B p @a?7D;+< 1. 仿真 Mz(Vf1pi% 以光线追迹对干涉仪的仿真。 QkdcW>:a7 2. 计算 WK>|IgK 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Yg^ &4ZF 3. 研究 d}[cX9U/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 -V|"T+U w#|L8VAh 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 rR> X< "s(~k 应用示例详细内容 E5bVCAz 系统参数 ){5Nod{}a 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 LKu\M h| W-=6:y#A 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ;/j2(O^ \g39>;iR 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 #hZ$;1. =1l6(pJ 2. 说明:光源 E+]9!fDy< _F;v3|`D@< 0Ds3wNz 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ) CP 因此,相干长度大于1m @Nek;xJ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 KhHFJo[8sf 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "La;$7ds "]+g5G
O,Q.- j<B9$8x& 3. 说明:光源 8b2 =n hzqJ! 69g{oo 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 YX0ysE*V:& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 5I622d 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ]%' AZ`8 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 %c }V/v_h 4. 说明:光学元件 o$rjGa l ?l0eU@rwQ >NRppPqL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 iVXt@[ 位相延迟平板材料为N-BK7。 HC%Hbc~S_Q 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 7zb^Z] 透镜材料为N-BK7。 xh;V4zK@` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 8D='N`cN+ .-KI,IU )/T[Cnx.Nc 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ZEP?~zV\A *GT=U(d U lYFloZ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 $Habhw 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 h.jJAVPi
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