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测量系统(MSY.0001 v1.1) [(81-j1v $~G=Hcl9 应用示例简述 ^Gt9. +G.F' 1. 系统说明 H)5V \ GEd JB= 光源 _v\L'`bif — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) '#*5jn]CqB 元件 ~N!-4-~p — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 aP`[O]8j 探测器 f8AgTw,K8 — 干涉条纹 {E3329t|' 建模/设计 QPZ|C{Ce — 光线追迹:初始系统概览 .I1k+
— 几何场追迹加(GFT+): s9 \HjK*+ 计算干涉条纹。 IPTEOA<M[ 分析对齐误差的影响。 m|8ljXX $Y3mO~ 2. 系统说明 jn:9Cr,o;g ;Q{~jT 参考光路 F,)\\$=,  >P_/a,O8 3. 建模/设计结果 ^?Y x{r~9 ?z/ )Hkw "I
n[= 2w 4. 总结 \|wUxijJ*, p2)563#RS 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 /t$J<bU v "Yo 1. 仿真 :,~]R,tJQ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >I&'Rj&Mc 2. 计算 -V\$oVS0S 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 %]iE(!>3oy 3. 研究 cZFG~n/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .^ o3 )_-EeH 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 gd=gc<z YP Q[Xh{B 应用示例详细内容 y$h.k"x` 系统参数 R4x!b`:i 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 LagHzCB tpQ?E<O 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +C8yzMN\ EW}7T3g 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 NJqjW 4IUdlb 2. 说明:光源 \(g/::| *l9Wj$vja M&q3xo"w 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (h$[g"8 因此,相干长度大于1m X
8#Uk} / 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 xJemc3]2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 K|Kc.
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S% Zp'q;h_ 3. 说明:光源 J}M_Ka Dmq_jt R{3vPG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ~;ZT<eCIA 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 5k]xi)% 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 >r8$vQ Gj 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 S`?L\R.: 4. 说明:光学元件 6%Ws>H4@| CG397Y^ YZllfw$9 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 \fjr`t] 位相延迟平板材料为N-BK7。 LF?MO1!M 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 <{"Jy)Uf 透镜材料为N-BK7。 5U[bn=n 其中心厚度与位相平板厚度相等。 wrJ:jTh 8RE" xJMff %'vLkjI. 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2n3g!M6~ .CY;- 4w<4\zT_U} 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 j7u\.xu9 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 JrA\ V=K
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