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测量系统(MSY.0001 v1.1) ^}Vc||S V?S}%-a 应用示例简述 >[aR8J/U aI&~aezmN 1. 系统说明 # &.syD# FDD=I\Ic 光源 i'li;xUhZ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 5kw
K% 元件 `[5xncZ- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ?YR;o4 探测器 Pv5S k8 — 干涉条纹 IrL7%? 建模/设计 +@?Q "B5u} — 光线追迹:初始系统概览 8%CznAO"?W — 几何场追迹加(GFT+): %>Gb]dv? 计算干涉条纹。 1ARtFR2C{b 分析对齐误差的影响。 <8 <P, @>O7/d?O 2. 系统说明 ):PN0.H8 LRHod1}mS 参考光路 8<;.  ]Ik~TW& 3. 建模/设计结果 uuEvH<1 CmBPCjh M}o.= Iqa 4. 总结 s?}qia\~m ^5]9B<i[Y 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 [Ix6ArY HDKF>S_S 1. 仿真 Jn{)CZ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 9ia&/BT7"z 2. 计算 -Ct+W;2 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 t RU/[?! 3. 研究 .\oW@2,RA9 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 <~uzHg%Y ?MFC(Wsh
利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 \m|5Aqs pP.`+vPi 应用示例详细内容 &'12,'8 系统参数 F'[Y.tA ,# 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 #9TL5-1y (nLzWvN 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 S*G^U1Sc+ D,.`mX 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 }Y7P2W+4? 12#yHsk 2. 说明:光源 \uHC 9}0 t8RtJ2; <7`k[~)VB 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 z{3`nd, 因此,相干长度大于1m (enr{1 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 VE]TT>< 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 !q$VnqFk w%`S>+kX&
;v]C8 }L^ Os[z>H? 3. 说明:光源 RDSC @3% iuWUr?`\ Hx+r9w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 -`5]%.E&8 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 '~
B2[ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 W[I[Xg& 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 uzQj+Po 4. 说明:光学元件 02EX_tt), Zq33R` F6~
;f; 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 FUSe!f 位相延迟平板材料为N-BK7。 {=?[:5 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 92Gfxld\ 透镜材料为N-BK7。 4j0;okQWV' 其中心厚度与位相平板厚度相等。 p}==aNZK XPrnQJ el$@^Wy&$ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 V"8Go;[ V(K;Gc Hj`'4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Tr>_R%b K 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 vO?sHh
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