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测量系统(MSY.0001 v1.1) <N3~X,ch *z0Rf; 应用示例简述 fJe5
i6`( v?n# C 1. 系统说明 _,I~1" o@C|*TXN 光源 zvfdfQ-i — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Ak$9\Sl 元件 ;";>7k/} — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +?{LLD*2e 探测器 =\\rk,F — 干涉条纹 k?/! ` 建模/设计 "hZ `^"0b — 光线追迹:初始系统概览 3_T'0x\FP — 几何场追迹加(GFT+): Kek%io 计算干涉条纹。 jR*iA3LDo 分析对齐误差的影响。 #jO2Zu2`} mxe\+j# 2. 系统说明 8:uh0 llCE}Vdh 参考光路 Bgai|l  '
-aLBAxy 3. 建模/设计结果 _^!C4?2! L3j
~O oo hqwsgJ
4. 总结 &v9"lR=_k 0rif,{" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 D7c+/H@PF ^}:0\;|N 1. 仿真 %{me<\( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 {xP-p"?p 2. 计算 uVXn/B 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 -W:@3\{ 3. 研究 C[+?gQJ[9 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 e$mVA}>Ybp h,K&R8S 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ,eL&Ner L$ jii 应用示例详细内容 &?gcnMg$,J 系统参数 #;m^DX QZn 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 s"8z q;) OSom-?|w 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 :JXcs39 kpk ^Uw%f 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 r8A'8g4cM R80|q#h,] 2. 说明:光源 TBHd)BhI. @#9xSs# ~u?rjkSFoh 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 K5(T7S 因此,相干长度大于1m -7 EwZRS@9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 472'P 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 P)ne^_
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JBISA _Y 9(bbV5} 3. 说明:光源 Q0Gfwl 2 m72PU<. \`8F.oZ^) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !'>#!S~h3 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 `"$9L[> 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 /&!o]fU1C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 i-x/h- 4. 说明:光学元件 Zh?n;n} Y2+YmP*z` q"LT 8nD\ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `EiL~* 位相延迟平板材料为N-BK7。 eJEcLK3u 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 x+1-^XvK 透镜材料为N-BK7。 ^SwU]e 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ?X7nM) ZjnWbnW WkoYkkuzj 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ^;Yjs.bI`F *mN8Qd 4&~*;an7 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ww\2 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 +H!aE}
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