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测量系统(MSY.0001 v1.1) 8AX3C s_G tAt;bYjb\ 应用示例简述 SW-0h4 Gavkil 1. 系统说明 4`G=q^GL, }u7D9_KU 光源 ~6fRS2u — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) @YrGyq 元件 9>zDJx — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 |Qq+8IeYG 探测器 j5A\y^Kv — 干涉条纹 U*xxrt/On/ 建模/设计 DUPmq!A — 光线追迹:初始系统概览 k^yy$^=< — 几何场追迹加(GFT+): Q^kMCrp 计算干涉条纹。 (77Dif0)' 分析对齐误差的影响。 TQ2i{e %SFw~%@3&~ 2. 系统说明 6<Be#Y]b ?bCTLt7k 参考光路 iQ0& |