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测量系统(MSY.0001 v1.1) 'MW%\W; g(i6Uj~) 应用示例简述 ,*W~M&n"m a6vej 1. 系统说明 G?@W;o) U)f('zD 光源 F<{,W-my ` — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) LTS{[(% 元件 *;}xg{@ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Z:^#9D{ 探测器 IH=$
wc — 干涉条纹 +pG+ xI 建模/设计 V5$Gb6?K — 光线追迹:初始系统概览 rP]|`*B — 几何场追迹加(GFT+): Hre&a!U 计算干涉条纹。 EGgw#JAi#t 分析对齐误差的影响。 v\|jkzR5Y rK'Lvt@w 2. 系统说明 hK)'dG* (U#,; 参考光路 (bv{17K  octQ[QXo# 3. 建模/设计结果 RK-bsf O^CBa$ 'V^M+ng 4. 总结 TaSS) n >6yQuB 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 \&+Y;:6 w( SY 1. 仿真 rfVQX<95=/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 RuYIG?J=/ 2. 计算 hfI=9x/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 gmH`XKi\ 3. 研究 v@Eb[7Kq/1 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 PcA^ jBgGl @2.
:fK 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 -h7ssf'u[ ^@8XJ[C,_ 应用示例详细内容 L&s~j/pR 系统参数 ;UgwV/d 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 \Y"S4<"R 7/a7p(
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +o4o!;E) bC+ZR{M 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 e0y.J _Ycz@Jn 2. 说明:光源 d+)L K~ GC# [&>L X=-= z5 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 jt}oq%Bf 因此,相干长度大于1m 6_" n 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 $/
"+t.ir3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Txo{6nd/ {J1rjrPo
9\?&u_ U"
,d/$!Yf 3. 说明:光源 ?;](;n#lU uq9mq" V^FM-bg%9 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 S+KKGi_e 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 [V_mF 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 }N-UlL( 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ;p*L(8<YI 4. 说明:光学元件 %P1zb7:8 dEXhn 9Oj b~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 vh"';L_*37 位相延迟平板材料为N-BK7。 .T8^>z1/\F 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 )x[=}0C 透镜材料为N-BK7。 l2W+VBn6 其中心厚度与位相平板厚度相等。
VJK4C8] fXnTqKAfu6 jN{k } 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
Rq| 5%;1 "K>!+< l]DRJ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @Z$fEG)9 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 p=[dt
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