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测量系统(MSY.0001 v1.1) $qqusa}`K hkY E7 应用示例简述 P:+:Cm< uQlV zN.? 1. 系统说明 |qD<h "Q( 8FF 光源 P'+*d#*S — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 9UZX+@[F 元件 J.*=7zmw — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %F7k| Na 探测器 %9K@`v- — 干涉条纹 ScD9Ct*):C 建模/设计 +q;^8d> — 光线追迹:初始系统概览 cVMTT]cj1 — 几何场追迹加(GFT+): 7RZ7q@@fgh 计算干涉条纹。 Ic*Q(X 分析对齐误差的影响。 e)M1$ GUxhCoxb 2. 系统说明 R OS0Q9X DbDpdC; 参考光路 {!w]t?h  Kt-@a%O0 3. 建模/设计结果 ;AaF ;zPV >HDK<1 > eP)RP6ON{ 4. 总结 o7 kGZ Pz?O_@Ln 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 A U](pXK; G8SJ<\? 1. 仿真 c~V\,lcI 以光线追迹对干涉仪的仿真。 O;w';}At 2. 计算 l!b#v` 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 1~+w7Ar=( 3. 研究 hE; 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ]T$~a8 ReY K5J=O 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 tNjrd}8s {MHr]A}X\ 应用示例详细内容 J-U}iU| 系统参数 Dbgw)n*2 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 30<^0J.1 |Bjb 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -6?5|\ oyUf/Sl 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 h:|aQJG5 $V[ob 2. 说明:光源 A9"ho}< "Kqe4$ {AZW."? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 fE(rDQI 因此,相干长度大于1m j9Lc2' 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 de"*<+ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 j,~h:MT m^wYRA.
P%1s6fjU ZY83,:< 3. 说明:光源 BM3nZ<%3 /t816,i [u<1DR 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Uu
G;z5 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Ij"`pdp 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 +;vfn>^!b 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 RsE+\) 4. 说明:光学元件 V< J~:b1V
hp)3@&T P?>p+dM 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 (mv8_~F0 位相延迟平板材料为N-BK7。 E0GpoG5C 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 P5[.2y_qM 透镜材料为N-BK7。 /
JlUqC 其中心厚度与位相平板厚度相等。 A;h~Fx6s 291v
R] N/Z<v* i" 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 v,kedKcxv' 5{{u #W%= [~x
Ql 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 n]|[|Rf1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 90Q}9T\
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