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测量系统(MSY.0001 v1.1) &.Qrs:U 7WS p($ 应用示例简述 ,Uqs1#r ?X<eV1a 1. 系统说明 nT$SfGFj8 H3=qe I 光源 e\zm7_+i{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) D'PI1
0t 元件 j-}O0~Jz — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 7#Kn8s
探测器 "e>;'%W — 干涉条纹 O;jrCB 建模/设计 zL0pw'4 — 光线追迹:初始系统概览 ~4Fvy' — 几何场追迹加(GFT+): `kXs;T6& 计算干涉条纹。 PB*&aYLU 分析对齐误差的影响。 21l;\W -zeG1gr3 2. 系统说明 yq\K)g*= \V~eVf;~ 参考光路 AH7}/Rc  uZKr 3. 建模/设计结果 5e^ChK0Q xOmi\VbM jLm ;ty2; 4. 总结 ;$wVu|& N5
6g+,w%) 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Fk7')? z$. 88^ 1. 仿真 u `6:5k 以光线追迹对干涉仪的仿真。 &@OT*pNna 2. 计算 =X:Y,? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 dcN22A3 3. 研究
dkTX 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 -C]5>& W jm/`iXnMf 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 bK&+5t& eru.m+\ 应用示例详细内容 K is"L(C 系统参数 Ai3*QX 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 [ sjosV `b7t4d* 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 . 3T3EX|G hhc,uJ">! 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 qu{&xjTH8 `+:`_4 2. 说明:光源 lq;Pch DsCcK3 k RMu~l@ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 'I6i,+D/q 因此,相干长度大于1m R!gEwTk 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >U27];}y 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 y _k
l:Ssa $DaNbLV
J}K$(;: A#iV=76_ 3. 说明:光源 9EibIOD^/ sS'm!7*(3 GH$ pKB 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 kJT)r6 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 RQ"
,3.R== 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 5K8^WK 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~dTrf>R8M 4. 说明:光学元件
S9FE k=T\\]KxC M&9+6e'-F 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 =^,m` _1 位相延迟平板材料为N-BK7。 dSV8q
,D 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 u>a5GkG. 透镜材料为N-BK7。 &Hs!:43E-< 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Yufc{M00 ^>v+(
z5R wgGl[_) 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ":QZy8f9% ^RIl 07{)?1cod4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 t!7-DF|N 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 4zFW-yy
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