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测量系统(MSY.0001 v1.1) |:Q`9; !0p_s;uu,W 应用示例简述 bLSXQStB bruM#T@} 1. 系统说明 NFxs4:]
RT ':Avh|q3N 光源 D}YAu,<K — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) b8o}bm{s 元件 u6tD5Y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 BTi:Bcv k 探测器 iY_E"$}P — 干涉条纹 zPWJ=T@N 建模/设计 ! 3&_#VO — 光线追迹:初始系统概览 57PoJ+ — 几何场追迹加(GFT+): vMT:j 计算干涉条纹。 ?7n(6kmj4Q 分析对齐误差的影响。 Wg \`!T yhwwF
n\ 2. 系统说明 x.J%
c[Q8 N i\*<:_ 参考光路 DSb/+8KT  |^ K"#K 3. 建模/设计结果 $;@LPE b3$aPwv '(N -jk 4. 总结 H#zsk*=QD ~_|OGp_a 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 kWkAfzf4a `VJJ"v<L 1. 仿真 {Ftz4y)6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 &tKr
?l 2. 计算 pz L !42 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 F?>rWP
3. 研究 CY{`IZ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 qQzf&" 1lAx"VL 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~i3/Ec0\ MGoYL\ 应用示例详细内容 1#o><
? 系统参数 $]H^? 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 l,(Mm,3 b ] W^_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ` #!~+ ">?ocJ\9 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 wTT_jyH) 4d\"gk 2. 说明:光源 [5KzawV yW3X<
oSDx9% 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 mn5"kYy? 因此,相干长度大于1m 2d%j6D 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 .'+*>y! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 )@%wj;>a F.nJXZnJ
)T4%}$( h"b;e2 3. 说明:光源 W`$D*X0*o {|{}]B fWr6f`de 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 t6zc$0-j" 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ubq4Zv7' 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 %&D,|Yl6 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 vkQ81PEt 4. 说明:光学元件 <ZF,3~v? W6kDQ&q ]}K\&ho2 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 m5m'ByX(* 位相延迟平板材料为N-BK7。 u9d4zR 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 a,B2;4" 透镜材料为N-BK7。 '/Y
D$*, 其中心厚度与位相平板厚度相等。 sk0N=5SB- pP1|/f5n` 7N@4c
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 dMcCSwYh s n|q
EH gH{X? 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Cfizh@< 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 u!&w"t61Nd
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