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测量系统(MSY.0001 v1.1) rOY^w9! :0T]p"y4 应用示例简述 K! /E0G& \Y9=dE} 1. 系统说明 9[N'HpQ3 P7\(D` 光源 M;MD-|U — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ]_BG"IR!.. 元件 17D167\X — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 VhSKtD1 探测器 UO"8 I2rB — 干涉条纹 |iM*}Ix- 建模/设计 -lL*WA` — 光线追迹:初始系统概览 ~Y)Au?d(a — 几何场追迹加(GFT+): pq5)Ug 计算干涉条纹。 H@IX$+;z 分析对齐误差的影响。 nE-=7S L @=wAk5[IN 2. 系统说明 81W})q8 #bu`W!p} 参考光路 Wr)%C  KvilGh10 3. 建模/设计结果 qUtVqS #<'/sqL W\f7fVU 4. 总结 lYw A5|+ ^ioTd 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ip5s'S~ A94VSUDA: 1. 仿真 #UND'c(5 以光线追迹对干涉仪的仿真。 kj0A%q#'} 2. 计算 FeV=4tsy 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 h]EXD 3. 研究 Tao lX*$5 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 )%j)*Ymz; 95]%j\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ^\+6*YE 4 %\b5)p 应用示例详细内容 2:DpnLU5 系统参数 M2xUs 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 %7|qnh6
P`bR;2o 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -nk %He /asyj="N7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ;?:,L T!a8c<'V 2. 说明:光源 )i!)Tv B!tte) 4|+
|L_ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 S'@"a%EV 因此,相干长度大于1m Y#t"..mc' 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >8AtT=}w 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 *E.
2R{ Og*1pvN<
l%w7N9 F 1zc4l6 3. 说明:光源 c//W#V2Q '\_)\`a| i{e<kKh 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 rRt<kTk!U 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 !CMN/= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 kXj pCtCu 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 blPC"3}3Vd 4. 说明:光学元件 {
o;0Fx eD(a
+El} +_}2zc4 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ~Igo
8ykl 位相延迟平板材料为N-BK7。 (@#Lk"B 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ./g#< 透镜材料为N-BK7。 hBqu,A 其中心厚度与位相平板厚度相等。 y(zU:. Q?;ntzi z"vgwOP su 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 (Z5#;rgem 6FmgK"t8 iGlZFA 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 :OZhEBL&b 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。
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