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测量系统(MSY.0001 v1.1) cYXM__ cyxuK*x< 应用示例简述 As+t##gN 4&/j|9=X 1. 系统说明 AeAp0cbet '`1CBU$ 光源 Xf)|Pu — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) f|u#2!7 元件 .9O$G2'oh — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 iNwqF0 探测器 s; UH] — 干涉条纹 *T0q|P~o% 建模/设计 Kscd}f)yx? — 光线追迹:初始系统概览 @
49nJi — 几何场追迹加(GFT+): nx0K$Ptq 计算干涉条纹。 DcSnia62f 分析对齐误差的影响。 v&Kqq!DE RpLE
02U 2. 系统说明 ?eV4SH AIA6yeaU 参考光路 mo~*C  {BHI1Uw 3. 建模/设计结果 9n}p;3{f Xl74@wq Vf(6!iRP@ 4. 总结 C"IKt nC{%quwh{ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0a"igq9t 02BuX]_0g 1. 仿真 wf1lyS 以光线追迹对干涉仪的仿真。 b,8{ X< 2. 计算 Q]p(u\* 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 4Vq%N 3. 研究 vFEQ7qI 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \c^45<G2qA eW|^tH 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 %kgkXc~6|x }^B6yWUN 应用示例详细内容 UwC=1g U 系统参数 T6ENtp 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7 I>G{ tDAhyy73 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 %c[ V -(K9s!C!. 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 B7]MGXC Pb*5eXk 2. 说明:光源 "Ky; a?Y Ks}Xgc\ 2k<;R': 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 F`9]=T0 因此,相干长度大于1m Is+O 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >3&O::]3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "O(9 m.CZ sN5B7)Vc
"?mJqA H*9~yT'Q 3. 说明:光源 qoAj]
") '}Ri` w|Nz_3tI 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 |hr]>P1 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 r;m)nRu 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 n9s iX 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 >$ 2V%}; 4. 说明:光学元件 V%Sy"IG VWO9=A*Y| VcoOeAKL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Q?X>E3=U 位相延迟平板材料为N-BK7。 MMj9{ou 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 H8"@iE, 透镜材料为N-BK7。 }K3x 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~/*MY GaSPJt ~,*b }O 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <mAhr +5XpzZ{#Wa GQ
|Mr{.; 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &~W:xg(jN 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 H#ncM~y*
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