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测量系统(MSY.0001 v1.1) K0I-7/L Eun%uah6c 应用示例简述 E/GI:}YUy_ V,M8RYOnC! 1. 系统说明 0\Oeo8<7)~ &P{%C5?{ 光源 jEO; — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) *gT
TI;: 元件 ;5=pBP. — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 <I|ryPU9{X 探测器 +vbNZqwz — 干涉条纹 b`:Eo+p 建模/设计 fCVSVn"o — 光线追迹:初始系统概览 Vk_L*lcN — 几何场追迹加(GFT+): @/7Rp8Fr 计算干涉条纹。 .HtDcGp 分析对齐误差的影响。 \R#XSW, =C:0='a 2. 系统说明 OQsH,' |]]fcJOBP 参考光路 i'EXylb  ss2:8up 99 3. 建模/设计结果 er<~dqZ}] be@MQ}6> ):[[Ch_ 4. 总结 7PvuKAv?k FP\[7?ZLn 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 D>1Dao 7xd}J(l 1. 仿真 i gQyn|
以光线追迹对干涉仪的仿真。 (p2a{v}fEz 2. 计算 FQ 4rA 4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~|!lC}!IKL 3. 研究 <=`@`rm{ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ``\H'^{B JL$RBr 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5s|gKM P~*fZ)\}F@ 应用示例详细内容 <<xJ-N 系统参数 w5nRgdboy! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1 h"B-x 2KX *x_- 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 1GNAx\( F`N*{at 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 &,)tD62s ?:2Xh/8- 2. 说明:光源 HvngjP{> 0j yokER 5Tu.2.)N 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Tv KX8 m" 因此,相干长度大于1m GQQ!3LwP\O 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 =os j}( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 I
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jkmh6 3. 说明:光源 t&oNJq{ @PI\.y_w bM'AD[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 :z:Blp>nK/ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 wVVe L$28 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Gg+>_b{S5T 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~,:f,FkSQ 4. 说明:光学元件 ?-f>zx8O We ->d |= Dn[1BWM/7 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7~16letQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 P8jK
yo 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 g DhwJks 透镜材料为N-BK7。 9NT;^K^I 其中心厚度与位相平板厚度相等。 MXy{]o_H~ jmFN*VIL }:%pOL n 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /F_
:@#H *t_&im%E Rc4EFHL 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 %Z7!9+< 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 r)t^qhn
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