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测量系统(MSY.0001 v1.1) 8`im4.~#% }e82e 应用示例简述 q k !Q2W 6#.R'O 1. 系统说明 #$A6s~`B 7%o\O{,U 光源 ' rXkTm1{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) &"d4J?io` 元件 Yc9 M6=E^ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Kyv$yf9 探测器 ((H}d?^AJ — 干涉条纹 V57^0^Zp` 建模/设计 `T}e3l — 光线追迹:初始系统概览 :CV&WP — 几何场追迹加(GFT+): Zaq:l[% 计算干涉条纹。 aE:fMDS|x 分析对齐误差的影响。 8(ZQD+U(9F V+E2nJ 2. 系统说明 inp= - ($ae n 参考光路 VNPuO U=  jtd{=[STU 3. 建模/设计结果 fIFB"toiPE \l#=p+x5 ^D\#*pIO 4. 总结 G66vzwO k8w8I$QEM 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 &ts!D!Hj }bHdU]$} 1. 仿真 ;Ni+TS 以光线追迹对干涉仪的仿真。 qG~O]($ 2. 计算 d]+g3oy
` 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 FCOSgEU 3. 研究 @1rF9<
4g 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 _<xU"8b"5 i 1 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 %vMi
kibI R$v{ p[ 应用示例详细内容 (2<0kqj% 系统参数 #OG_OI 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 MT a.Ubs jH\@Oc;7 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 x@Q}sW92 y%iN9 -t 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 z%]~^k8 TVYO`9:CW 2. 说明:光源 U
JY`P4( yl)}1DPP skr^m%W 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 \9<aCJxN 因此,相干长度大于1m /G\-v2i D 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 R$NH [Tz 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 kE/>Ys@w YS/{q~$t
(l9U7^S"{K c7S<ex, 3. 说明:光源 G{YLyl/9 BpRQG]L ~E#>2Mh 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 R)ejIKtY 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 /1t(e._ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ss
|<\DE+ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 N!aV~\E 4. 说明:光学元件 EcFYP"{U Rm"lRkY4I[ j[9xF<I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 c.,eIiL 位相延迟平板材料为N-BK7。 /6b(w=pk 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 NC|&7qQ 透镜材料为N-BK7。 USJ4qv+- 其中心厚度与位相平板厚度相等。 J3g>#N]='( ?}lgwKBHl; 7DXT1+t 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 G23Mr9m5O v~uQ_ae$> " #_NA`$i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ^=}~ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 hPP+lqY[
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