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测量系统(MSY.0001 v1.1) dw5.vXL` \f}S Hh 应用示例简述 No=Ig-It
\SHYwD}*Pr 1. 系统说明 DGz'Dn 7<<pP 光源 8$io^n\i — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) h
\hQ 元件
V<$g^Vb — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 rUvqAfE&+ 探测器 CS)&A4`8 — 干涉条纹 4_ztIrw 建模/设计 d+[yW7%J — 光线追迹:初始系统概览 Mc#uWmc 7 — 几何场追迹加(GFT+): |FHeT*" 计算干涉条纹。 gYn1-/Z>I 分析对齐误差的影响。 rRRiqmq @Kd1|K 2. 系统说明 >pW8K[ ID
&Iz 参考光路 2`Ub;Nn29 
oJ ~ZzW 3. 建模/设计结果 E{[c8l2B s^TF+d?B };o6|e:2E 4. 总结 bHH{bv~Z CkE@Ll3Z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 TG8QT\0G ^0_ *AwIcN 1. 仿真 }QU9+<Z[r 以光线追迹对干涉仪的仿真。 G(~d1%( 2. 计算 `re]Q0IO 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 odMjxWY 3. 研究 &W:Wv,3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 V@&zn8? ~O;!y% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 y44FejH(v ywXerz7dUk 应用示例详细内容 S5*wUd*p# 系统参数 :~3sW< PR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <mjH#aSy []/=!?5B 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 VI,z7
\ yw^t6E 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %H75u6 4-^|e 2. 说明:光源 kbJ/7 C(Ujx=G+3 @+h2R 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 QDYS}{A:V 因此,相干长度大于1m QMea2q|3$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g6o-/A!Q3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 O6LZ<}oUR \~UyfVPRT
]`0(^)U& rVowHP 3. 说明:光源 9a 9<I BoYWx^VHx^ V|zzj[c 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 +Gqh 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ;Xg6'yxJ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 wUHuykF 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 kU$P?RD 4. 说明:光学元件 5<w"iqZ\?N zB/$*Hd Izm8
qt=m 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 )` -b\8uw 位相延迟平板材料为N-BK7。 #qWa[kB 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 fp|!LU 透镜材料为N-BK7。 /1:`?% ,2 其中心厚度与位相平板厚度相等。 XmXp0b7 &1YAPxX (`x6QiG! 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Y,I0o{,g 4N&
VT" jCqs^`- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [_*% 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 oRFHq>-.g
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