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测量系统(MSY.0001 v1.1) 7O-x<P; wDe& 1(T^ 应用示例简述 ;hN!s`vq v
z '&%( 1. 系统说明 PxDh7{ '16b2n+F@# 光源 fS78>*K — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) HCC#j9UN6 元件 5C5sgR C — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Fy-t T]Q9 探测器 ckE-",G — 干涉条纹 L0WN\|D 建模/设计 |4 0`B% Z — 光线追迹:初始系统概览 Zba2d,8/ — 几何场追迹加(GFT+): Gu\q%'I 计算干涉条纹。 ZX./P0 分析对齐误差的影响。 YGCL2Y n8ZZ#}Nhg 2. 系统说明 1NA.nw. vT,AMja 参考光路 +OWX'~fd<  CdjI` 3. 建模/设计结果 5uj?#)N ~%kkeh\j Vb]=B~ ^` 4. 总结 8>in_h9 Trz@~d/[,n 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +*/Zu`kzX #fn)k1 1. 仿真 <k'h:KB?` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 PP33i@G 2. 计算 R|87%&6'] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 *d4eK+U$5 3. 研究 LIF7/$,0 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :emiQ h^(*Tv-! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ud@%5d Gm^U;u}=f 应用示例详细内容 N)\. [v 系统参数 }Sh?S]]` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 N]=q|D y(yHt=r 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 84zSK)=Y XW)lDiJl 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 1JG'%8}#8 x@;m8z0 2. 说明:光源 4*cEag =|y9UlsD B7E:{9l~s{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 #r~# I}U 因此,相干长度大于1m q\4Xs$APq 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ag;pN*z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 g(7rTyp4) 1FL~ndJs
2E)-M9ds x,pjpx 3. 说明:光源 Nkth>7* :vQrOn18p nRZ]z( b 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 qvKG-|j 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 CXx*_@}MU 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 SBk4_J/_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 k1Y ? 4. 说明:光学元件 MKD1V8i `V)8
QRN( VSI9U3t3w 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Zbt.t]N 位相延迟平板材料为N-BK7。 S3*`jF>q 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 tOd&!HYL 透镜材料为N-BK7。 _P 3G 其中心厚度与位相平板厚度相等。
PQSP& hPkWCoQpq }"P|`"WW 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &4x}ppX
#3@rS eFTpnG 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )9'K($ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 U175{N%3
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