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测量系统(MSY.0001 v1.1) tAb;/tM3I O:`GL1{ve? 应用示例简述 AND7jEn l#2r.q^$| 1. 系统说明 a gmeiJT vI
pO/m.3 光源 ;1{iF2jZ: — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 1V*8,YiC< 元件 RMS.1: O
— 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 vpeq:h 探测器 'WKu0Yi^' — 干涉条纹 2|0Je^$| 建模/设计 g^s+C Z — 光线追迹:初始系统概览 p<of<YU) — 几何场追迹加(GFT+): 8~&F/C* 计算干涉条纹。 $?]@_= 分析对齐误差的影响。 _qC+'RE3 W; 3
R; 2. 系统说明 _%A/ ) `!Ua ScM 参考光路 )^jQkfL  iN:G/ss4O 3. 建模/设计结果 ]iz_w`I\ jGk7=}nw fap|SMGt 4. 总结 4&FNU)tt %-h7Z3YcN 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %-@'CNP L"""\5Bn( 1. 仿真 Ux_EpC
以光线追迹对干涉仪的仿真。 S2koXg( 2. 计算 kbfuvJ> 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T$gkq>!j<E 3. 研究 G*)s%2c>h 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 KcIc'G 9 ~fyF&+ibp' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 XoDJzrL# 7^kH8qJ) 应用示例详细内容 :@:g*w2K 系统参数 ]sX7%3P 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 _Ct}%-,4 Q9`s_4 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Nhjle@J< y,'FTP9? 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ::p-9F =ied}a
:[ 2. 说明:光源 21.YO]Et Eem 2qKj 1k!D0f3qb 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 rDpe_varA 因此,相干长度大于1m UqD5
A~w 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 cj$,ob&DX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i{<8
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(OjjRm X32RZ9y 3. 说明:光源 b2a'KczV }=Hf?';m Sv.KI{;v$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 r`?&m3IOP 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 u=(H#o<# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 vad|Rp l 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 %0NL Rfp 4. 说明:光学元件 =fY lzZh '*8 5kK=S 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ^/G?QR 位相延迟平板材料为N-BK7。 |c<XSX?ir 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 G=vN;e_$_b 透镜材料为N-BK7。 wG_4$kyj 其中心厚度与位相平板厚度相等。 w#W5}i&x RwUW;hU Y3D3.T6Q 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 HTxB=Q| #X4LLS]VV 0rV/qMo;K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 y@q1c*| 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 O\%j56Bf
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