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测量系统(MSY.0001 v1.1) [R6du*P PJ9JRG7j 应用示例简述 4LKOBiEM RVX-3FvP 1. 系统说明 dAohj
QH: N!^U{;X7/ 光源 bQEQHqY5 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) M {_`X 元件 wQ@@|Cj4L — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 f`P%aX'cBQ 探测器 B4_0+K H — 干涉条纹 +*~?JT 建模/设计 8BC}D+q — 光线追迹:初始系统概览 |_
E)2b:h — 几何场追迹加(GFT+): EivZI<<a 计算干涉条纹。 {>>f5o3 分析对齐误差的影响。 XEY((VL0 u%3Z +[ 2. 系统说明 oF)+f4 |Zncr9b 参考光路 sR
~1J4  @y{Whun~ 3. 建模/设计结果 Z_cTuu0' )#M*@e$k B7_:,R.l 4. 总结 '72ZLdi}- 2Pasmh 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?UQE;0 B 0:Ak4L6k 1. 仿真 x^;nQas; 以光线追迹对干涉仪的仿真。 d* 7 Tjs{\ 2. 计算 I(
G8cK 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 rG}o!I`z 3. 研究 ^1Y0JQ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ^+Ec}+ Q gNo.&G [ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 gBf%9F [#$z.BoEo 应用示例详细内容 ie=tM'fb 系统参数 b_z;^y~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 >jq~5HN $:t;WXc.< 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 7.hn@_ Zii<jZ.)< 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 *R0Ae 4 Y*dzoN.sW 2. 说明:光源 RiIJ#:6+^I W,}HQ htq#( M 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Kisd.~u8j 因此,相干长度大于1m NUX0=(k 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 K9;pX2^z9 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 h7wm xa; C3:4V2<_
a)`b;]+9 &w- QMjM> 3. 说明:光源 Yvcd(2 !/BXMj,= 1ZOHyO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !dv 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 '@3hU|jO! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ?*tb|AL(R 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 !gWV4vC 4. 说明:光学元件 w<lHY=z E x%jJvwb^| \8'fy\ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 )ZEUD] X 位相延迟平板材料为N-BK7。 |nk&ir6 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Bq#?g@V 透镜材料为N-BK7。 tq8B)<(] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 $21+6 g PU|Gv5 s"*zyLUUo 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `i<;5s!rX Ysz{~E' 4/e-E^ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 <iajtq<Z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ]2T =%(*
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