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测量系统(MSY.0001 v1.1) X5[vQ3^ `1(ED= | 应用示例简述 eG!ma` v U(y8nI] 1. 系统说明 D^6iQW+.P BLt58LYGX 光源 B
os`+Y — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) >fI\f <ez 元件 ;9mRumLG" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ah,f~.X_| 探测器 UHvA43 — 干涉条纹 V<S6a 建模/设计 6384$mT,S — 光线追迹:初始系统概览 9 ;p5z[jI — 几何场追迹加(GFT+): RVttk )Ny 计算干涉条纹。 v{t
pRL0 分析对齐误差的影响。 2I_ yUt- <ytzGDx 2. 系统说明 BYEZ[cM X/2GTU7? 参考光路 5["3[h  s0;a j<J 3. 建模/设计结果 !' ^l}K> 5aW#zgxXg 4z(B`t~7 4. 总结 xH:L6K/c VqW5VLa 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %AA&n*m A/I\MN| 1. 仿真 ^.8~}TT-U 以光线追迹对干涉仪的仿真。 fm-m?= 2. 计算 A/2$~4, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 nL=+`aq_ 3. 研究 dB6,pY( 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 0}NDi|o F><_gIT 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 uM1$3< LJ~#0Zu? 应用示例详细内容 lb'tVO 系统参数 '[liZCg 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 a)pc+w# 07:V[@' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -V6caVlg w6!97x 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ?K7uy5Y K0j%\]\Tp 2. 说明:光源 z8t;jw JK<[]>O ^@* `vz^_ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *4%pXm; 因此,相干长度大于1m k*N!U[] 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ,M{G
X 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 4Z%1eOR9V cdL]s^z
)1#/@cU #)~u
YQ 3. 说明:光源 $aJ6i7C,j} ,3_Sf? 8]`#ax
5 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 vq(#Ih2 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Gl'G;F$Y- 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 /_m)D;!y 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 kR97)}Y 4. 说明:光学元件 Pp!4Ak4TT9 Up?RN %gq e7"T37 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 [G$ #jUt/O 位相延迟平板材料为N-BK7。 G1jj:]1 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Wx]Xa]- 透镜材料为N-BK7。 g?"QahHG 其中心厚度与位相平板厚度相等。 o 7kg.w| W=^.s>7G K\9CW%W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m_0y ]RfG u@e.5_:S) [k%hl`} 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 YOLzCnI4 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 +U<YM94?
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