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测量系统(MSY.0001 v1.1) %u!b& 5]e suVmg-d 应用示例简述 =J/ FJb ^RNOcM| 1. 系统说明 +>tUz D G%:GeW 光源 K 1W].(-@4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \Y5W!.(%w 元件 efOjTA% — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (MLhaux- 探测器 z9
($. — 干涉条纹 #fDs[ 建模/设计 f^b K=# — 光线追迹:初始系统概览 L0"~[zB]N — 几何场追迹加(GFT+): eR;!(Oy=A 计算干涉条纹。 '*T]fND4 分析对齐误差的影响。 7x k|+! <Ef[c@3 2. 系统说明 %l!xkCKA Gquuy7[& 参考光路 d%ME@6K)  |"Z{I3Umg 3. 建模/设计结果 $k%Z$NSN= $[ z y L:R<e#kgS 4. 总结 >*1}1~uU`' @_yoX(.E& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 /,tAoa~FA tef^ShF] 1. 仿真 Nneo{j 以光线追迹对干涉仪的仿真。 A)NkT`<) 2. 计算 (K<9hL+X 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;_+uSalt 3. 研究 vHKlLl>*2 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `I;F$ `\ |i7a@'0) 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 55DE\<r 'Jj=RAV` 应用示例详细内容 $xgBKD 系统参数 K8[DZ)rO;Z 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 AkBMwV {eT.SO 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (z7+|JE. KZ:hKY@q 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 e2)autBe !0}\&<8/m 2. 说明:光源 <48<86TP ajH"Jy3A k$i'v:c|:i 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 l=m(mf?QBg 因此,相干长度大于1m MuI2?:~:*4 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 RHY4P4B<v> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 X[3}?,aqL Dr#c)P~Wd
nE W31 8 }}{Yw 3. 说明:光源 3Ofc\ rofNZ;nu IDFFc& 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 @{HrJ/4%:& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 >SmV74[s2 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 19U]2D/z 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 47>>4_Hz 4. 说明:光学元件 E/b"RUv}h ku&k'V j? i#L}.I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 83Ou9E!W 位相延迟平板材料为N-BK7。 _e<o7Y@_ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Dm0a.J v 透镜材料为N-BK7。 <i. apBH 其中心厚度与位相平板厚度相等。 YTaLjITG 2DDsWJ; a[!%Ld 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 YK#fa2ng dY!Z nms8@[4- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *f+: <=i 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 M[]A2'fS
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