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测量系统(MSY.0001 v1.1) x9r5 ;5TI PN0l#[{EN 应用示例简述 = !D<1< eK\ O> 1. 系统说明 *LJN2; )W9$_<Z 光源 "dwx;E — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ~ar8e 元件 L+Q"z*W — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 <~# ZtD$G 探测器 Y604peUF — 干涉条纹 C`OdMM>D 建模/设计 JBQ,rX_Hw — 光线追迹:初始系统概览 ?}^e,.M0?s — 几何场追迹加(GFT+): ]dk44,EL 计算干涉条纹。 2GECcx53 分析对齐误差的影响。 _QCspPT' c Q%4>okj, 2. 系统说明 vW6Pf^yJ *1iJa 参考光路 @;x|+@r  ]5D?Sc#- 3. 建模/设计结果 NwM = M`HXUA4 Vea>T^ 4. 总结 hBDPz1< j eMh 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 WQ4:='(
04NI.Jv 1. 仿真 sAS\-c'6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 s5FyP"V 2. 计算 C$ cX{hV 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Fs_V3i3|L 3. 研究 dUeM+(s1 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 AR'q2/cw I"*g-ji0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 |mV*HdqU 0rY<CV;fZ 应用示例详细内容 2-nL2f!a{p 系统参数 `Q6@,-(3 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x:=Kr@VP rFZB6A<(] 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 oH!sJ&"#_ \p1H" A 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 x,
a[ p\1 rs2~spN;h 2. 说明:光源 ga^O]yK [qlq& ?" YMLo~j4J 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 "?lirOD 因此,相干长度大于1m F7UY>z3jL 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 By6C+)up 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ?rXh
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y!GjC]/ *ghkw9/ 3. 说明:光源 -cNh5~p= #wbaRx@rc sLzcTGa2:z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 >[,Rt"[V 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~\DC
) 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 |ap{+ xh 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 wA)
NB 4. 说明:光学元件 N:[m,U9a d z&| 3o yAR''> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 U*,8,C 位相延迟平板材料为N-BK7。 B`<(qPD 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 =PAvPj&}e 透镜材料为N-BK7。 E*>tFw&[ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Ki}PO`s bP&o]?dN JT&CJ&#[h 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 75wQH* Qbfm*JP~ kmNY
;b6Y$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Y}'C'PR 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 m,aJ(8G
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