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测量系统(MSY.0001 v1.1) :<aGZ\R5 &oG>Rqkm 应用示例简述 "bej#'M# fn<dr(Dx 1. 系统说明 j/TnKO Zz} o t 光源 M5VW1Ns — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %f;v$rsZ 元件 I;@q`Tm — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Qb^{` 探测器 7Q!ksp — 干涉条纹 a?W5~?\9 建模/设计 Kii@Z5R_? — 光线追迹:初始系统概览 :0@0muo — 几何场追迹加(GFT+): R_j.k3r4d 计算干涉条纹。 ll5;09 分析对齐误差的影响。 ILCh1=?{9r jIaaNO) 2. 系统说明 FtJaX])b 6KGT?d 参考光路 ;^:8F  F+Kju2 3. 建模/设计结果
2l,>x Ju>QQOxi| h HHR]e5: 4. 总结 X(Af`KOg[ W.4R+kF< 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 uNy-r`vg SkV pZh 1. 仿真 8/2Wq~& 以光线追迹对干涉仪的仿真。 #_\**%,< 2. 计算 ecm+33C 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [e,xC!2 3. 研究 EE09 Er%\ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 At>e4t2@ oG22; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 !rgXB(
6!)hl" 应用示例详细内容 W' Y<iA 系统参数 no\G
># 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 }#Up:o]A! "/O07l1Q< 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 H^*[TX=#[ e8SAjl"} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 &: LE]w c 9gm% 2. 说明:光源 Q_/UC#I8 c(Xm~
'jeH 5a6d3u/ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 C^JtJv 因此,相干长度大于1m Cjt].XR@ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 oeVI 6-_S 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 >]Mhkf/=) c-~i=C]
<YG 42,N )fuAdG 3. 说明:光源 Hm 0;[i ktY c]ll89`|| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !y1qd 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 7CU<R9Kl 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 NljcHe}Qy 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ^6UE/4x!y 4. 说明:光学元件 5p.#nc!;y #cl|5jm+m# c~Y g( 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <7%#RJw e 位相延迟平板材料为N-BK7。 /KgP<2p 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 sVS),9\} 透镜材料为N-BK7。 )P W Zc?M 其中心厚度与位相平板厚度相等。 mnYzn[d3U {us#(4O Xj6?,J 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 8(@(G_skp lt C l\bgp3.+ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 y $>U[^G[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 !y;xt?
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