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测量系统(MSY.0001 v1.1) GT`:3L 7(ZI]< 应用示例简述 ?f:FmgQk )J5(M` 1. 系统说明 `}s)0 /}6 D{\hPv 光源 "c=\? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) pM.>u/=X 元件 km.xy_v — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ?2QssfB 探测器 gy,B+~p — 干涉条纹 Z-Zox-I1}- 建模/设计 9^>nZ6 — 光线追迹:初始系统概览 9tqX77UK — 几何场追迹加(GFT+): kC6J@t) 计算干涉条纹。 kx*=1AfU+Y 分析对齐误差的影响。 &U!@l)< |G!-FmIK 2. 系统说明 mam|aRzd Tj@s \@hv 参考光路 {
+MqXeq  t d-EB&i\ 3. 建模/设计结果 ?tg(X[h{S 6E85mfFS Cz8=G;\ 4. 总结 89?AcZ.D D'c,z[ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 BPwFcT)i!( utfD$8UI 1. 仿真 cea%M3 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ['e8Xz0 2. 计算 _T)dmhG 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >ouHR* 3. 研究 ]FL=E3U 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 7J.alV4`/ CZuV{Oh}? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Ws{2+G~ Tz:mj 应用示例详细内容 u#ag|b/C: 系统参数 oX8e} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 cEhwv0f!qS ?1JS*LQ$ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ,=.& VMe~aUd 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 &Vd,{JU i9 8T+{4 2. 说明:光源 ag+$qU :?O+EE ]9pK^< 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 \,+act"v 因此,相干长度大于1m 4U(W~O 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 'x$>h)t] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 aq@/sMn Hw-,sze j"
n3SCiSr \'q 9,tP 3. 说明:光源 cNZuwS~, 2WE_NEpJI .BuXg<` 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 A(S = 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 *F42GiBZR 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 $DuX1T 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 xlg 6cO 4. 说明:光学元件 Y_ b;1RN ROw9l!YF *G"L]Nq# 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 mI_ ?hl?Pv 位相延迟平板材料为N-BK7。 #T &z` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 'Y Bz?l9 透镜材料为N-BK7。 h&|q>M3 其中心厚度与位相平板厚度相等。 N|WZk2 " 8+5z -vd z%Pbs[*C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 BG\g`NK}Z z~i=\/~tZ -!zyit5B 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 PQ9.aJdw@- 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 EdbLAagI6
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