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测量系统(MSY.0001 v1.1) yDu
yMt# CS^ oiV%{s 应用示例简述 9^#zxmH) !0!P.Q8>& 1. 系统说明 :Ul'(@ Z=e[
!c 光源 Zh@4_Z9n! — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) !9e\O5PmO 元件 {|7OmslC@ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 [t"_}t =w 探测器 p ?Ij-uo"o — 干涉条纹 .Y^d9. 建模/设计 hX'z]Am< — 光线追迹:初始系统概览 2heWE — 几何场追迹加(GFT+): #LrCx"_& 计算干涉条纹。 (TbB?X} 分析对齐误差的影响。 A^= Hu,"e YN5OuKMUd' 2. 系统说明 n8;G,[GM80 Chb4VoE 参考光路 xRTg
[  &ESR1$)'P 3. 建模/设计结果 0N3tsIm> T`RQUJO Z|cTzunp 4. 总结 ?O.6 r" ]~ g|SqPA@ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 [V #&sAe tUAY]BJ*s 1. 仿真 pn_gq~5ng 以光线追迹对干涉仪的仿真。 No92Y^~/ 2. 计算 CSk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8HH.P`Vk# 3. 研究 ^&G O4u 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 %.atWX`b sJYKt 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 hcp'+: pg}DC0a 应用示例详细内容 dv4r\ R^ 系统参数 vsr~[d= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 hoD[wAC @l6dJ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 hwol7B> )mo|.L0 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ?$8 ,j+&I gu.))3D9 2. 说明:光源 "F.J>QBd :-'ri Ry z )}wo3 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 /7HIL?r 因此,相干长度大于1m D]>86& 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 6`$z*C2{ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Mud\Q[" %^@0tT
V@s/]|rf, 5>k~yaju/ 3. 说明:光源 _@3O` W;x LuKIG "lj:bxM2C 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 KB-#):' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 r3lr`s` 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 -`<N, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 3G0\i!*t 4. 说明:光学元件 ZFw743G KE1@z] 3mn-dKe(( 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 G!lykk] 位相延迟平板材料为N-BK7。 x~,?Zj)n?C 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 hzVr3;3Zn
透镜材料为N-BK7。 !LSWg:Ev+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Olrw>YbW <^$b1<@ \FX3=WW 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ,(b~L<zN& 6m<9^NT <1K:
G/! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 iFT3fP'> 5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ::t!W7W
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