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测量系统(MSY.0001 v1.1) "
}ZD)7K *(scSC> 应用示例简述 V]O
:;(W_ 5,c` 1. 系统说明 xqtjtH9X .)3 2WD% 光源 |K_B{v. — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) /r%+hS 元件 p_AV3 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +-nQ,
fOV 探测器 >eTlew<5 — 干涉条纹 *@&
"MZ/M 建模/设计 1%@~J\qF — 光线追迹:初始系统概览 )mPlB. — 几何场追迹加(GFT+): Ww(_EW 计算干涉条纹。 lewDR"0Kx 分析对齐误差的影响。 =z3jFaZ w?tKL0c 2. 系统说明 3-R3Qlr 6-=_i)kzq 参考光路 :}JZKj!}M  u7=[~l&L 3. 建模/设计结果 ~/U0S.C V3o AZ34) LbR-uc?x 4. 总结 *mQit/k. vOK;l0% 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 =eqI]rVj^ i4I0oRp 1. 仿真 AVr!e
以光线追迹对干涉仪的仿真。 wF uh6!J 2. 计算 3I5WDuq 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 X4$e2f 3. 研究 /=@vG Vp6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 cWc)sb ]K7 64} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 |&Pl 4P A,{D9-% 应用示例详细内容 B0i}Y-Z 系统参数 X6.O; 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ElXe=5L\# AuTplO0_rE 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 r(i)9RI+( #'x?)AS 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 42CMRGv GX)QIe~;qJ 2. 说明:光源 3@] a#> ge?-^s4M %20-^&zZ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 %5*#c*)R 因此,相干长度大于1m CLfb`rF 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 n:'BN([]o 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ['emP1g~ Z]TVH8%|k
l _O~v? rhTk}2@h 3. 说明:光源 {,FeNf46 5"am>$rh mzB#O;3= 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 )6E*Qz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 %`QsX {?, 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 {H;|G0tR 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 iFG5%>5F 4. 说明:光学元件 X&s\_jQ
}pnFJ 3cO[t\/up 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `U_>{p&x 位相延迟平板材料为N-BK7。 0Eu$-) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 !*Z)[[ 透镜材料为N-BK7。 ~e<'t4 其中心厚度与位相平板厚度相等。 'uACoME@ HQ`nq~%&( 7(8 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 UT<bv}(J q>(u>z! {2k<
k(, 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 %4|}&,%%r 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 .cS,T<$
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