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测量系统(MSY.0001 v1.1) xDJ@MW# Ns
ezUk8' 应用示例简述 \zOo[/-< "Bn8WT2? 1. 系统说明 m
ioNMDG 2aj9:S 光源 w1>uD] — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Dfz3\|LJ 元件 \MhSIlM# — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 . l1uqCuB 探测器 iR(=<> — 干涉条纹 my|]:(_0d 建模/设计 iwM$U(
9 — 光线追迹:初始系统概览 !g|)?XWc — 几何场追迹加(GFT+): y(81| c# 计算干涉条纹。 hJ|zX 分析对齐误差的影响。 $?`-} wY ArK%?*`5 2. 系统说明 iG+hj:5 9feVy\u
参考光路 ZH<:g6  zH)M,+P 3. 建模/设计结果 *m$lAWB5D )(CZK&< cl,\N\ 4. 总结 z.d1>w bn*SLWWQ.3 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;-]' OiS; 1 >}x9D 1. 仿真 kfc5ra>& 以光线追迹对干涉仪的仿真。 FUTD/y]Lu 2. 计算 @*>kOZ(3 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 r.z= 3. 研究 LZR
x>q^ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 YmwUl> @{ 9I1D'7wI^^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 &d,!^9 ue8"_N 应用示例详细内容 3:]c> GPQ 系统参数 _dQg5CmlG 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ]0dj##5tJ (g HCu
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 #S4lRVt5 %:S4OT8]
这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 v}`{OE:-J
fV(WUN+ 2. 说明:光源 o(L8 -F _ J t '((pW 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 s;!_'1pi@ 因此,相干长度大于1m -Z(='A 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 q}xYme4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 zhdS6Gk+ 9\ulS2d
cfZ$V^xM iZ( U] 3. 说明:光源 E3vYVuw 7{JIHY+ o)]mJb~XG- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 `m")v0n3 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ]I^b&N 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ^!v{
>3 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 oE.59dx 4. 说明:光学元件 yQz6K6p `k;MGs)&
}N0$DqP 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 S*3*Q l* 位相延迟平板材料为N-BK7。 o)2KQ$b>Q 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 1=@csO_yn 透镜材料为N-BK7。 cF V[k'F 其中心厚度与位相平板厚度相等。 [C^&iLX/F* pf8M0,AY Z<IN>:l 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 4`[2Te> 4 \Ig<C9 |MMaaW^" 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Fm#`}K_ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 7.y35y
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