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测量系统(MSY.0001 v1.1) ukDH@/ I|3v&E1 应用示例简述 _7j/[ zk 'e6 1. 系统说明 /?dQUu^z ry'^1~, 光源 TNPGw! — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) MTITIecw= 元件 _OxnHf:| — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %CE@} 探测器 wmcp`8w. — 干涉条纹 85@6uBh 建模/设计 U5ud?z()OA — 光线追迹:初始系统概览 X"khuyT_ — 几何场追迹加(GFT+): _8b>r1$ 计算干涉条纹。 _]r)6RT 分析对齐误差的影响。 +!V%Q {u=\-|t 2. 系统说明 $5"-s] g`8
mh&u% 参考光路 x]J-q5  ohtn^o;C} 3. 建模/设计结果 c{4nW|/W U/&qV"Ih eP'kY(g8 4. 总结 BK\~I $XU$?_O 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 u/:Sf*;? &$z1Hz +l 1. 仿真 (uK), *6B 以光线追迹对干涉仪的仿真。 nu9k{owB T 2. 计算 {e 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 !/(}meZj 3. 研究 i K[8At"Xo 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 N8(x), o-CJdOS 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 2u;fT{( Vq7
kA " 应用示例详细内容 ?
A#z~;X@ 系统参数 oJu4vGy0 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 BHE =Zo rHdP4: n 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 i\z0{;f|GX n|,Vm@zV 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 5F+ f '~ .&Gtw
_ 2. 说明:光源 zr9Pm6Rl 3Co>3d_ ]~M{@h!< 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^A<.s_ 因此,相干长度大于1m <:7e4# 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 \*"0wR;[K 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 K~%5iVO~\
8=Y|B5
W2(=m!:U (V?`W7 3. 说明:光源 |w]i$`3'I AX Jj"hN XN%D`tbvJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 G8-d%O p 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 daJ-H 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 2}\sj'0& 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ^a 5~FI: 4. 说明:光学元件 e14Q\ A_
z:^9 L`@&0Zk 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 s"F,=]HQ!G 位相延迟平板材料为N-BK7。 &|FG#.2yw 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 `CouP-g. 透镜材料为N-BK7。 Y k6WSurw 其中心厚度与位相平板厚度相等。 h4xdE0 sh3}0u+ }33Au-%* 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 a#**96Av F+^[8zK^ 1L9
<1 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *4\ub:9 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 fb=vO U
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