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测量系统(MSY.0001 v1.1) Sw~(uH_l qnB<k,8T 应用示例简述 J/2j;,8D kv6Cp0uFg 1. 系统说明 .it#`Yz; ]r4bRK[1 光源 5W/{h q8}} — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) BZK2$0 元件 y$X(S\W — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 57wFf-P 探测器 Wf#VA;d — 干涉条纹 3jjMY 建模/设计 lbQQtpEKO — 光线追迹:初始系统概览 {~SaRB2<' — 几何场追迹加(GFT+): hi ~} 计算干涉条纹。 "#yJHsu] 分析对齐误差的影响。 VYZU eh 9mlIbEAb 2. 系统说明 'OwyyPBF 0Vkl`DmeM. 参考光路 j[I`\"  jjRUL. 3. 建模/设计结果 +oI3I~ Q_]d5pl oH^(qZ8W 4. 总结 w~z[wm Okp `s|]"'rX 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .%}?b~
~*M$O & 1. 仿真 %f j+70 以光线追迹对干涉仪的仿真。 |?d#eQ9a 2. 计算 KzjC/1sd 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 .Obn&S 3. 研究 Z&Y=`GOI 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 mMSh2B Xd<t5{bD! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 V8WFQdXc .~>?*} 应用示例详细内容 +x=)/; : 系统参数 D f4+^B,1 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ljC(L/I =^&%9X 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 a2w T6jY -#In;~ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 iCj2"T4TN W=JAq%yd< 2. 说明:光源 BHA923p? ;{#^MD MB <q
(z>*-e 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 U!(@q!>G 因此,相干长度大于1m vAb^]d 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 7j$Pt8$ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 P`$!@T0= &Lm-()wb
|TsE-t*E} UlcH%pxTt1 3. 说明:光源 fB1TFtAh fX~'Zk\u >j*;vG5T 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 6E~g# (8 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 r%@Lej5+ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 "{D6J809 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 vI1i,x#i 4. 说明:光学元件 rH8@69,B {ZU1x C $e1=xSQp4 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 gF?[rqz{ 位相延迟平板材料为N-BK7。 /./"x~@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 80b;I|-T, 透镜材料为N-BK7。 O.G'?m<:# 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >Dw~POMy nDS}^Ba );V2?G`/ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 _"@CGXu 7 c|bc6? A4C+5R 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 x5}'7,A 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1MlUG5
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