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测量系统(MSY.0001 v1.1) tB &D~M6[ 5Jp@n . 应用示例简述 G<4H~1?P JiDX|Q<c 1. 系统说明 1'"o; a]k/ |08 tQ 光源 N12K*P[! — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Q6_!I42Y` 元件 AVOqW0Z+y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (jPN+yQ 探测器 KG'4;Z5J — 干涉条纹 x7L$x=8s 建模/设计 4Yt:PN2 — 光线追迹:初始系统概览 @8DBLn w — 几何场追迹加(GFT+): 7{D+\i 计算干涉条纹。 }bIEW ho 分析对齐误差的影响。 J}i$ny_3OB 5f=e
JDo=x 2. 系统说明 fH`P8?](x FnP/NoZa> 参考光路 b}9K"GT  rMTtPuc2 3. 建模/设计结果 TA`*]*O( []1VD# .7g^w+W 4. 总结 8/-GrdyE ]QtdT8~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 e3F)FTG& |w>"oaLN|Q 1. 仿真 y
8];MTl 以光线追迹对干涉仪的仿真。 )cUc}Avg} 2. 计算 Z2PLm0%: 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ORv[Gkq_N) 3. 研究 7_E+y$i= 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4eU};Pv GJy><'J,!> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 !!o69 {tu* ="d= 应用示例详细内容 w]"Y1J(i 系统参数 $$A{|4,aI 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 z/F(z*'v (vz)GrH> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 L
G,XhN '|J-8" 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 A8e b{qv t<|=- 2. 说明:光源 ?.v!RdM+ Nq9Qsia& vo!:uvy;2 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ok-sm~ bp 因此,相干长度大于1m +;Q& 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 9H1R0iWW 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 6 [a CjW n6O1\}YB
=(Mv@eA" b\UQ6V 3. 说明:光源 q0`Vw% mXz-#Go( .#5<ZAh/? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 qk~QcVg 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 =H>rX
2k 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 lr +Kwve 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 {8@?9Z9R{ 4. 说明:光学元件 .3{S6# 9{70l539 A.
U< 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 #T#&qo# 位相延迟平板材料为N-BK7。 U[U$1LSS 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 GQ2&D}zh 透镜材料为N-BK7。 $w[@L7'( 其中心厚度与位相平板厚度相等。 xfkG&& [53@'@26 C(?>l.QGw 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 }YU#}Ip@ hB P]^~( NZ{kjAd3c 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {'"A hiR/ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 lH:TE=|4
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