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测量系统(MSY.0001 v1.1) $cgcX ^zr`;cJ+c 应用示例简述 dr"1s-D4IQ wC*X4 ' 1. 系统说明 UxBpdm%dvP '%;m?t%q 光源 05R@7[GWq — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) EM_d8o)`B 元件 !u hT — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (k P9hcV 探测器 Nboaf — 干涉条纹 4ppz,L,4 建模/设计 F"kAkX>3} — 光线追迹:初始系统概览 V[V[~;Py — 几何场追迹加(GFT+): qgB_=Q#E 计算干涉条纹。 C#pjmT_ 分析对齐误差的影响。 D+c>F5 =pr7G+_u 2. 系统说明 s#MPX3itK *^r}"in 参考光路 }B^tL$k  |BYRe1l6l 3. 建模/设计结果 @9:uqsL |[lKY+26:{ kf9X$d6 4. 总结 y>LBl] =|9!vzG4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 &3&HY:yF F[MFx^sT{ 1. 仿真 eH,or ,r 以光线追迹对干涉仪的仿真。 d=^z`nt !R 2. 计算 Xc.`-J~Il 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 {[F A# 3. 研究 sq]F;=[5 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 zeRyL3fnmb [B3RfCV{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 7:~_D7n 0 {mex4 应用示例详细内容 DNi+"[~&P 系统参数 ! P4*+')M 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Hp?/a?\Xm 31)&vf[[ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 d5d@k -qoH,4w 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 X?Au/ =H~j,K 2. 说明:光源 Ca\6vR }7X%'Bg=M )e{}V\;q 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 8>V5dEbx' 因此,相干长度大于1m 05[SC}MCA 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 11lsf/IP 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v,t:+
!8 v0y(58Rz.
j.YA2mr NVs@S-rpX 3. 说明:光源 #;<Y[hR{P OJxl<Q=z v>56~AJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ~s{$WL& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 snJ129}A 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 KmF]\:sMD 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 cnLro 4. 说明:光学元件 oU/5 a>9~ tVjsRnb{ d'2A,B~_* 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 (w{j6).3Dj 位相延迟平板材料为N-BK7。 y}H!c; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 qWw=8Bq 透镜材料为N-BK7。 `x|?&Ytmf9 其中心厚度与位相平板厚度相等。 OKV8zO j#6.Gq e;jdqF~v! 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 H#&00 Q[ 4m)n+ll W4N{S.#! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 u&NV,6Fj2[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Q20%"&Xp]
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