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测量系统(MSY.0001 v1.1) F &5iA\ <j#IR 应用示例简述 Zg4wd/y? 5RO6YxQ 1. 系统说明 .9g :-hv @{3_7 光源 &pz`gna — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) <.BY=z=H 元件 /L!
=## — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 {LqYb:/C5U 探测器 4PU@W o — 干涉条纹 &n83>Q 建模/设计 !&@t — 光线追迹:初始系统概览 P&Xy6@%[Z — 几何场追迹加(GFT+): !rqs!-cCQ 计算干涉条纹。 =Bh,>Kg 分析对齐误差的影响。 v!<FeLW \fUVWXv 2. 系统说明 - \ew,y ;r]!
qv: 参考光路 +[S<"}ls7  l#+@!2z 3. 建模/设计结果 vt(n: Xk 0s}gg[lj n36@&q+B& 4. 总结 P^lRJB<$Q PIQd=%?' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Xfg?\j/ XC/M:2$ 1. 仿真 d=\\ik8 以光线追迹对干涉仪的仿真。 7s:cg 2. 计算 OMYbCy^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 }J\7IsM& 3. 研究 B4m34)EOE 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 @fVz
* !|ic{1!_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 7eZwpg?K H6$pA^ 应用示例详细内容 r>"l:GZ 系统参数 DC$> 5FDv 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 vsI|HxpyC, #xhl@=W; 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 y{tM| =fhRyU:C[z 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 a][Tb0Ox $O\]cQD`u 2. 说明:光源 d,j)JnY3V nnd-d+$ /" &Jf}r 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 `j.-hy>s 因此,相干长度大于1m -b
)~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Fj<a;oV 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v:9Vp{) UM+g8J{$*;
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/zir$ 3. 说明:光源 c+1<3)Q< %IUTi6P
l GN|xd+O_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 D r6u0rx8 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ]XfROhgP= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 dda*gq/p 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 f+QDjJ?z 4. 说明:光学元件 _ukBp*u GM@0$ (xBWxeL~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 {8~xFYc: 位相延迟平板材料为N-BK7。 6bbzgULl 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 a
0qDRB 透镜材料为N-BK7。 DCSTp2 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ,L(q/#p G`u";w_ nN[QUg 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >#xIqxV, rPJbbV",+^ z"{Ji{>%= 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2wYY0=k2 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 M/8EaQs}
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