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测量系统(MSY.0001 v1.1) 9@>Q7AUCQ |ITh2m 应用示例简述 ?$.JgG%Z+g IG90mpLX 1. 系统说明 |3G;Rh9w, p :zRgwcn 光源 &AnWMFo — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) [Om,Q< 元件 .'bhRQY — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 0M!GoqaA 探测器 1ZY~qP+n+ — 干涉条纹 +!mEP> 建模/设计 k
[iT'] — 光线追迹:初始系统概览 R(f6uO!m — 几何场追迹加(GFT+): elz0t<V 计算干涉条纹。 \)i,`bz 分析对齐误差的影响。 }H:wgy` \V
T.bUs 2. 系统说明 [ d`m)MW- r7FpR! 参考光路 *uoO#4g~  rV}&G!V_t 3. 建模/设计结果 M9~6ry-_ ]]P@*4! 3F32 /_` 4. 总结 :,V&P_ PR7B
Cxm 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Muyi2F)j KNjU!Z/4 1. 仿真 W5>emx'> 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aKintb}n 2. 计算 3_"tds <L 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m qwJya 3. 研究 54#P 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 c7D{^$L9v kK:U+`+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 JCci*F#r G5ShheZd 应用示例详细内容 EHK+qrym 系统参数 QCO,f 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 >[l2KD (4|R}jv 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \h?6/@3ob $\q.Zb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 -$$mr U tX6_n%/L 2. 说明:光源 [5]n,toAh x[xRqC
vL 3H|drj:KV 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 8erG]( 因此,相干长度大于1m 3taGb>15 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 i,t!17M: 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^SK!?M F` &W5[
z[@i=avPG F\^\,hy 3. 说明:光源 2#ZqGf.'v gq@8Z
AWn $%4<q0- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 iH~A7e62OZ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 >!Xj%RW 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 o]]sm}3N 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ]E)\>Jb 4. 说明:光学元件 w[ $oH^7 w|Ry)[ L4Kg%icz l 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 _Tm]tlV 位相延迟平板材料为N-BK7。 ;NE4G;px4< 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 P- +]4\ 透镜材料为N-BK7。 qHT73_R 其中心厚度与位相平板厚度相等。 -9;?k{{[T 4I .'./u B&_Z&H= 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 T+B8SZw#}! jGT|Xo>t .FV^hrJxI; 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [!MS1vc; 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 yz,0
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