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测量系统(MSY.0001 v1.1) Z9"{f)T :^H9W^2 应用示例简述 n~,]KdU] y#Mc4? 1. 系统说明 AJ>BF.> npO@Haw 光源 d(X\B{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 5DkK'tCI9Z 元件 E?Qz/*'zv — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ez^*M:K 探测器 o5=)~D{/G3 — 干涉条纹 ~jp!"f 建模/设计 %UUp=I — 光线追迹:初始系统概览 ;/?Z<[B — 几何场追迹加(GFT+): qXrt0s[ 计算干涉条纹。 N"Y K@)*Q 分析对齐误差的影响。 ot@|blVC8 #gX%X~w$F 2. 系统说明 hF{x')(#l ;}n9yci# 参考光路 VQy9Y  K2x6R 3. 建模/设计结果 Gg=aK~q6 #MhNdH# @4/~~ 4. 总结 aPD?Bh>JU $z2xZqe 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .N5hV3 n0+g]|a
AF 1. 仿真 t4f
(Y,v 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :LZ-da"QR 2. 计算 |~@x4J5, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 WZ^{zFoZ 3. 研究 }mKGuCoH> 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U8-Q'1IT& d98))G~W 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 qhV,u;\. n9]IBIthe 应用示例详细内容 h^o+E2<] 系统参数 hH<6E 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 L!bfh` /^++As0pY 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 W<\ kf4Y Z"6 2#VM 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 m0=cMVCA! @T<ad7g-2J 2. 说明:光源 cJxW;WI!, e1^fUOS 9U#\nXM 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Q=d.y&4% 因此,相干长度大于1m X}zX`]:I' 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 /C*~/} 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 +mJ
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k0H?9Z4k5 4^0d)+Ff 3. 说明:光源 8K|J:[7 W*YxBn4 Ap11b|v 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 <e;jWK 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 EfFz7j&X 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Gx.P]O 3 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Iq)(UfaSve 4. 说明:光学元件 cwk+#ur 9.xvV|Sp }TSgAwsbC 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <(fdHQD!7> 位相延迟平板材料为N-BK7。 4F}Pu<; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 }P#Vsqe V 透镜材料为N-BK7。 d2RnQA 其中心厚度与位相平板厚度相等。 2ubmsbt$ _~tm7o+js &svx@wW 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ~ct2`M$TL( F4GP7] I`22Zwq: 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 yC
W*fIaq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 d'ZS;l
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