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测量系统(MSY.0001 v1.1) WKfkKk;G GL$De,V 应用示例简述 #%0Bx3uM 942lSyix 1. 系统说明 RE2&mYt ')Y'c 光源 2_^aw[- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) rwLAW"0Qz 元件 %EbPI)yY3 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 hj%ye~|~ 探测器 !9Z r;K~\ — 干涉条纹 1\*\?\T>_ 建模/设计 {^a36i — 光线追迹:初始系统概览 <EO$]>;0 — 几何场追迹加(GFT+): FY{e2~gi 计算干涉条纹。 GzXUU@p 分析对齐误差的影响。 CAq/K?:8 8Me:Yp_Xt 2. 系统说明 YHkcWz {%lXY Myu 参考光路 >{gPN"S"a  sV"UI 3. 建模/设计结果 g[RI.&? R0ID2:i]F ,2Q o7(A 4. 总结 V&8VwF^- `*", < 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 . o7m! h,aA w#NE* 1. 仿真 Qd}m`YW-f$ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 McH>"` 2. 计算 c0B|F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 voP7"Dl[ 3. 研究 ('wY9kvL& 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 <h%O?mkC j`^$# 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 CYYkzcc^ +/,icA}PI 应用示例详细内容 @k[R/,#'[t 系统参数 FuI73 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 .+7;)K
)[0T16 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Ya>oCr}K Dd;Nz 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +a-6Q ~ BdlVabQyKW 2. 说明:光源 G'3qzBJ#
J)P$2# |f~@8|MQP+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *
#jsgj[ 因此,相干长度大于1m m_?d=o
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 _ZY)M 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 3 "o"fl 6qcO?U
O3TQixE PH"n{lW.T 3. 说明:光源 >:D
j\"o !x!07`+^u [2"<W!p 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 o-}R?> 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 iw*Nq,( 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 UnI48Y 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 :Ad&$eg+ 4. 说明:光学元件 0a-:<zm :_!8
WB /~ x"wo 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `PY>Hgb 位相延迟平板材料为N-BK7。 z9aY]lHY 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 '1M7M(va 透镜材料为N-BK7。 W 4F \}A 其中心厚度与位相平板厚度相等。 7o8{mp'_ ZDbc aN"DkUYZM 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /_`lz^ }Ho Qwy|& R
{-5Etv 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 zN
[2YJ$ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 m!<\WN6g
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