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测量系统(MSY.0001 v1.1) h)r=+Q\'(S V-dub{K 应用示例简述 `7V'A u@4khN:
^p 1. 系统说明 yyVE%e5nl 7u%OYt
D E 光源 ^w
jM u5f — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }hc+ENh 元件 (.$e@k= — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !,DA`Yt 探测器 BL\H@D — 干涉条纹 1HRcEzA 建模/设计 Gx%f&H~Z^ — 光线追迹:初始系统概览 mP
+H
C)2 — 几何场追迹加(GFT+): T<0V ^B7 计算干涉条纹。 > mP([] 分析对齐误差的影响。 A(JgAV1{ #6 $WuIG 2. 系统说明 RE;)#t?K :-+j,G9t 参考光路 7"])Y  (6)X Fp& 3. 建模/设计结果 q:,ck@-4 e=",58 *.-qbwOg 4. 总结 V:8{MO(C\ 6.3qux9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 S<++eu 1(a+| 1. 仿真 kl5Y{![/&f 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ((fFe8Rn)q 2. 计算 `{nzw $ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 *,XT;h$'> 3. 研究 +Jq~39 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U]iZ3^8VT Gwfi 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 <TEDs4
C ru*}lDJ 应用示例详细内容 %wmbFj} 系统参数 )KN]"<jB
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 J~5+=V7OV ?Aky!43 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 D{]9s P)06<n1">Z 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 9P-I)ZqL %uy?@ e 2. 说明:光源 :h<QM$P< U 0dhr; l yxy~N\0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^A t,x 因此,相干长度大于1m 9Qc=D"' 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 _I#a`G 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 o:RO(oA0? esHcE{GNOS
m)xz_Plc WeS$$:ro 3. 说明:光源 4]ETF+ zWq&HBs sKL"JA
T 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Wg=4`&F^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 }LdeU:E4 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 G\H |\i 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 h8? E+0 4. 说明:光学元件 Ku] <$uo SQI =D8 %`^{Hh` 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 TM`6:5ONv 位相延迟平板材料为N-BK7。 .Gnzu"lod 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 4mwA o 透镜材料为N-BK7。 ey) 8q.5 其中心厚度与位相平板厚度相等。 43o!Vr/S 9
IY1"j0O \t' ]Lf 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 G:!'hadw r>7Dg~)V !wEz=
i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 `EzC'e 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 PRyzUG&
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