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测量系统(MSY.0001 v1.1) V#gXchH[L )? xg=o/? 应用示例简述 (,>`\\ `S|gfJ 1. 系统说明 #,sJd ^uI W+vm!7wX0 光源 $HRpG
— 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) +t f= 元件 w}iflAnjq — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %o-*~GQ@B 探测器 f!<mI8H — 干涉条纹 x=k$^V~ 建模/设计 v-o/zud]] — 光线追迹:初始系统概览 W!g
, — 几何场追迹加(GFT+): Z6I!4K 计算干涉条纹。 \hz)oC 分析对齐误差的影响。 Z'E@sc 9 ()iJvf>@ 2. 系统说明 f'
eKX7R D~<GVp5T 参考光路 E_?
M&  DE[y&]/C{ 3. 建模/设计结果 >z2{D7 |R4]( cWi2Sls 4. 总结 UCQL~ (L\tp>
E- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ^0 t`EZ$ R$\ieNb 1. 仿真 2b<0g@~X 以光线追迹对干涉仪的仿真。 *oF{ R^ 2. 计算 8/=2N 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |D\ ukml 3. 研究 wZ\0<skU 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 E'C[+iK6, (mzyA%;W 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 /w|YNDA]j }.Ug`7%G 应用示例详细内容 ,yC~{H 系统参数 rkD(KG9E 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 54k
Dez )_BteLo- 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 :r\<DVj uaS?y1:c 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 V; ChrmE (Fu9lW}n 2. 说明:光源 i}Y:o} $HaM,
Oh;i ^Tl|v'
使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 -+z^{*\;N 因此,相干长度大于1m (*p |Kzu 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g}f@8;TY 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 B%,0zb+-L -1@kt<Es
Ft07>E$/Q^ //`X+[bMG 3. 说明:光源 3o1j l2n |{$Vk%cUE Wg#>2)> 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 H7uW|'XWz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 9Gy1T3y5" 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
M; V2O; 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 T3bBc 4. 说明:光学元件 LEY$St bkV_ ^8 ZN.
#g_ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 oR5 'g7? 位相延迟平板材料为N-BK7。 O)&V}hU* 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 [z/OY&kF 透镜材料为N-BK7。 ,Q^.SHP8 其中心厚度与位相平板厚度相等。 i`X/d= -?j'<g0 Mq-;sPsFP 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 $[H3O(B0* R+P1 +5 0PZpE
"$X 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 t)5bHVx 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 xgfK0-T|[
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