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测量系统(MSY.0001 v1.1) P|;=dX#- :.?%e{7 应用示例简述 3/*<i e!
0Y`lQ 1. 系统说明 'Ug-64f> -_fh=}.n+" 光源 B8 R&Q8Q — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Jl{g"N{2u' 元件 rNeSg=j — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 -](3iPy} 探测器 U&L?IT=x — 干涉条纹 X;3gKiD 建模/设计 B2)SNhF2Y — 光线追迹:初始系统概览 Fr]B]Hj — 几何场追迹加(GFT+): ){"-J&@? 计算干涉条纹。 kcZz WG|n 分析对齐误差的影响。 S3&lkN5 Fes/8*- 2. 系统说明 RyZy2^0< 7=pJ)4;ZA 参考光路 Q#sLIZ8=  kqp*o+Oz', 3. 建模/设计结果 |H4f&&Wd !T1)tGrH j(];b+> 4. 总结 3L-}B#tI _2nNCu ( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 gBJM|"_A? z#t;n 1. 仿真 N.|uPq$R 以光线追迹对干涉仪的仿真。 2[Vs@X 2. 计算 h|XLL|: 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 17@#"uT0 3. 研究 "78BApjWT6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 8eZ^)9m AOR(1Qyo 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 w$[ck= afj[HJbY 应用示例详细内容 -%>.Z1uj 系统参数 kac]Rh8vO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^RE("'+ UeN+}`!l 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 lb[\Lzdvmu OjBg$f~0F 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 7Un5Y[FZo <ly.l]g 2. 说明:光源 4: S- :WnF>zN 2j*o[kAE 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 88 M$mjx 因此,相干长度大于1m 'I1^70bB 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 O`Ge|4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Sz'JOBp 7W `gN[*
wU)vJsOq oO~LiK> 3. 说明:光源 3Fl!pq] ~91) DNaE Bd-@@d.H< 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Z{spo= 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 !%Qm{R 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ucgp=bye 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 "[p-Iy1 4. 说明:光学元件 J:JkX>n%k= l[Rl:k! V
j"B/@ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 .m_-L
Y- 位相延迟平板材料为N-BK7。 fKjUEMRK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 |%xgob 透镜材料为N-BK7。 8sGaq [ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 DSc:>G 89X`U)Ws s'^"s_j 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 X!ad~bt S6bW?8` i\z ,)xp 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 mu#
a 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 B0#JX
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