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测量系统(MSY.0001 v1.1) kYCm5g3u V}TPt6C2 应用示例简述 ;Qy Ew5 Fep@VkN 1. 系统说明 =W2.Nc o_\vudXK 光源 8oUR/___ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) lq-F*r\/~+ 元件 Vel(+HS — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 /Gnt.%y& 探测器 k6DJ(.n'%a — 干涉条纹 KUPQ6v } 建模/设计 )/f#~$ws — 光线追迹:初始系统概览 _[8JSw7 — 几何场追迹加(GFT+): D]d! lMK/ 计算干涉条纹。 6`7`herE} 分析对齐误差的影响。 #2\M(5d x$Wtkb0< 2. 系统说明 T__@hfT T+0z.E!~I 参考光路 rv)Eg53Q  r#j3O}(n 3. 建模/设计结果 W|;`R{<I% 1IgTJ" \ 6V9r[,n 4. 总结 L#D)[v" *XDe:A 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ^eoW+OxH \\Zsxya1 1. 仿真 ~yngH0S$[b 以光线追迹对干涉仪的仿真。 zb~;<:< 2. 计算 pi;fu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 nRHlHu 3. 研究 [$>@f{: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 {R7RBX >)[W7h 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 /ml+b8@ 9$(N q 应用示例详细内容 Q^Vch(`&P 系统参数 e=tM=i" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ls "Z4v(L6 A|mE3q= 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 D+BflI~9mP uW(Ngcpr 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 O" [#g tsB}'+!v# 2. 说明:光源 /HSg) +miL naO~L : T4ap_Ycq 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Me+)2S 9 因此,相干长度大于1m b3=XWzK5 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 z.t,qi$;{U 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "LZv\c~v,% *:chN' <
>ZAn2s X=k|SayE8 3. 说明:光源 :r_/mzR# ?zXlLud8 yAJrdY" 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 [!#;QQ&M 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ?l
0WuU 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 cn
;2& 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 |P"kJ45 4. 说明:光学元件 I"jub
kI=Z )5U7w L<N=,~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ,5|@vW2@u 位相延迟平板材料为N-BK7。 a&`Lfw" 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 wIQt
f|ZI> 透镜材料为N-BK7。 4V5h1/JPm 其中心厚度与位相平板厚度相等。 k?Iq 6 UZW)% K~\Ocl 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 eq36mIo Jpo(O>\P k Rp$[^ma 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Ykj+D7rA: 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 "[\TL#/
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