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测量系统(MSY.0001 v1.1) xJ]\+ 50 $7ZX]%<s 应用示例简述 kVMg 1I@ WSB0~+ 1. 系统说明 <iC(`J$D n b?lTX~ 光源 *i%.;Z" — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Xc-'Y"}|`t 元件 kgP0x-Ap — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )7Wf@@R'F 探测器 IOmfF[ — 干涉条纹 Bnxm HGP#& 建模/设计 jV1.Yz(` — 光线追迹:初始系统概览 R__OP`! — 几何场追迹加(GFT+): ^jZbo{ 计算干涉条纹。 "ze|W\Bv! 分析对齐误差的影响。 "<1{9 SY\ gXO8k 2. 系统说明 #q=Efn' FvjPdN/L?R 参考光路 0S!K{xyR  .W!i7 3. 建模/设计结果 |)v,2 VU3upy< aEeodA<( 4. 总结 3F2w-+L %dVZ0dl 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 YN F k 9W2Vo [( 1. 仿真 n{mfn*r. 以光线追迹对干涉仪的仿真。 m;QMQeGz 2. 计算 2^nxoye 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /y}xX 3. 研究 Qp3_f8 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 >|UOz& fuySN!s 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 }K|oicpUg 3f{3NzN 应用示例详细内容 83#mB:^R 系统参数 u'BaKWPS 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 vXje^>_6 U>N1Od4vTO 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 xwo<' xT 0 @oJFJrO 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 /gP+N2o+} fNFY$:4X 2. 说明:光源 +CNv l oCz/HQoBk Sdryol< 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4.t-i5 因此,相干长度大于1m H/M@t\$Dc 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 vdwsJPFbc 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 H4+i.*T# >4CbwwMA
Y}wyw8g/ =UWI9M*sz 3. 说明:光源 4o[{>gW H qx-;F~0 F:S}w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Z7Hbj!d/Sz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 +
{'.7# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 {)sdiE 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 VI*$em O0 4. 说明:光学元件 m)v&v6 u>vL/nI o }m3y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 l.M0`Cn-% 位相延迟平板材料为N-BK7。 4o5t#qP5$S 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 CU!Dhm/U 透镜材料为N-BK7。
El8,,E 其中心厚度与位相平板厚度相等。 1?l1:}^L 3ckclO\|> KMax$ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 \s\?l(ooq" ;!Fn1|) &$H!@@09|w 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 x]j W<A 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 4_ML],.
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