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测量系统(MSY.0001 v1.1) FBX'.\@` ;3coP{ 应用示例简述 hg]]Ok~cAs `6(S^P 1. 系统说明 "m$##X\ JPI3[.o 光源 Jl8H|<g~/ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ' ,wFTV& 元件 G^|:N[>B — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Pl06:g2I 探测器 lN
4oW3QT — 干涉条纹 J$DE"|- 建模/设计 |-67\p] — 光线追迹:初始系统概览 1Faf$J~7| — 几何场追迹加(GFT+): z]y.W`i 计算干涉条纹。 wo{gG?B 分析对齐误差的影响。 &{n.]]%O. +4~_Ei[i 2. 系统说明 \~mT]
'5 2DDtu[} 参考光路 @l5"nBs<_:  OX0%C.K)hZ 3. 建模/设计结果 )T2Caqs2 _Kf% \xg |$Sedzj' 4. 总结 rl;~pO5R9 #$07:UJ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 3,3N^nSD `UyG_; 1. 仿真 `:KY\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 UYJZYP%r 2. 计算 1<@W6@] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;?iW%:_, 3. 研究 oxA<VWUNT 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 '3fu BoWg0*5xb 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 -zgI_u9=EB >uB#&Q 应用示例详细内容 ^A/k)x6 系统参数 {$
JYw{a 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 6,"Q=9k4[ B%b4v 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 L|xbR#v g-bK|6?yz 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 I3I/bofz ;bib/ 2. 说明:光源 7(8;to6( ^"2J]&x`G ?Ep [M:,q 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 hx %v+/ 因此,相干长度大于1m mxC;?s;~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 /nNN,hz 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 q"J]%zO #OD/$f_
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E %T%sGDCV 3. 说明:光源 E,U+o $ ;:g@zAV Id .nu/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 WiR(;m<g 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 NP3y+s 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 v MH 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 b9HtR -iR; 4. 说明:光学元件 WlC:l om z w``ST 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 6Y?|w 3f
位相延迟平板材料为N-BK7。 IK=a*}19L 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ??vLUv 透镜材料为N-BK7。 | rtD.,m 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~IBP|)WA- k2tF}
:KP@RZm 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ai?*s%8v bJ {'<J `0gyr(fES 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 C1n>M}b 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Hd ={CFip
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