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测量系统(MSY.0001 v1.1) /m1\ iM\
TjH][bH5 应用示例简述 )nkY_'BV x5Bk/e' 1. 系统说明 Z@HEj_n D*jM1w_` 光源 /uflpV| — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) q9"96({\@ 元件 Wr
4,YQM — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 }bxs]?OW> 探测器 yWK)vju" — 干涉条纹 (PLUFT 建模/设计 6K^#?Bn; — 光线追迹:初始系统概览 wk^B"+Uhy — 几何场追迹加(GFT+): Oketwa 计算干涉条纹。 :#Wd~~d 分析对齐误差的影响。 O.? JmE G|Ti4_w
2. 系统说明 z{
dEC % MgZ/(X E 参考光路 L(-4w+  }BEB1Q}L 3. 建模/设计结果 _a, s
) m67V_s,7B e\rp)[>' 4. 总结 #!=tDc
& wYea\^co 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 W/N7vAx X ).O)p9 1. 仿真 }MySaL> 以光线追迹对干涉仪的仿真。 &]Tmxh( 2. 计算 tQVVhXQ7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Pz7XAcPQ( 3. 研究 %d@z39-; 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 *~`(RV :FF=a3/"6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Py<}S-: e-;}366} 应用示例详细内容
7GGUV 系统参数 6]N.%Y[( 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ;uW FHc5@B TeQV?ZQ#} 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \U0Q<ot/7 Jm@oDME_E 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 }V>T M{ st*gs-8jJ; 2. 说明:光源 \V:^h[ad H,J8M{ XppOU 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 qs6aB0ln 因此,相干长度大于1m *p d@.|^)m 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ]:;&1h3'7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 xw%0>K[
kAx4fE[c
al0L&z\ -j(6;9"7]| 3. 说明:光源 `oJ [u:b zs;JJk^ PF2nLb2- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 *hrd5na 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 1YA% -~ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 IV-{ve6 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 X&zis1A< 4. 说明:光学元件 g0H[*"hj p_ =z# Tw%
3p= 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 RSds8\tk 位相延迟平板材料为N-BK7。 i4Jc.8^9$ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 J4utIGF 透镜材料为N-BK7。 GILfbNcd 其中心厚度与位相平板厚度相等。 $kgVa^ /?!u{(h } C~[,z.FvO 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 d-m7}2c @x1-!
~z# c,22*.V/ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 +p^u^a 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 <#.g=ay
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