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测量系统(MSY.0001 v1.1) y?hW#l~#X P
ie!Su` 应用示例简述 8B9zo& u{z{3fW_ 1. 系统说明 >4b39/BM v\FD~ 光源 '& :"/4@) — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) iHB)wC`u 元件 b>WT-.b0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 vL0Ol-Vt 探测器 i|GC 'XD@ — 干涉条纹 (v}: 建模/设计 zBfBYhS- — 光线追迹:初始系统概览 b<7f:drVC — 几何场追迹加(GFT+): @9a=D<'> 计算干涉条纹。 P!EX;+7+x 分析对齐误差的影响。 r0>T7yPAK !HYqM(|{. 2. 系统说明 '~0&m]N w (1a{m?ht 参考光路 O/nS,Ux  ^eii
4 3. 建模/设计结果 P $S P4F x
,W+:l9~s f6) H!SI 4. 总结 nc)`ISI |zKcL3* 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 jK53-tF~I r.5F^ 1. 仿真 f -5ZXpWs' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 `R RORzXoS 2. 计算 S{6u\Vy 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 '-=?lyKv 3. 研究 Z)%p,DiNM 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 K#@FKv|(" rf@81Ds 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 TF>F7v(,45 4y]*"(sQ; 应用示例详细内容 S8l+WF4q 系统参数 Wt=[R 4= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ;]! oLoa71Q} 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 FBsw\P5w [@;Z
xs 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 lRb)Tz6SE mf#oa~_ 2. 说明:光源 rH,N.H#] ^E^: =Q?'_ z~qQ@u| 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4.TG&IQ
nN 因此,相干长度大于1m Er)b( Kk 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 syF/jWM5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^&By |