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测量系统(MSY.0001 v1.1) #cG479X" Rl4zTAI 应用示例简述 pHB35=p28 JvL'gJ$70 1. 系统说明 \_AEuz3
F 78CJ 光源 t=rAcyNM — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) BQ&q<6Tk 元件 KR(} A" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 gQ[^gPWP" 探测器 9[{>JRm. — 干涉条纹 B"9hQb 建模/设计 ;nKHm — 光线追迹:初始系统概览 G5#}Ed4 — 几何场追迹加(GFT+): .00=U;H%` 计算干涉条纹。 #6sC&w3 分析对齐误差的影响。 4<<bk_7' pptM&Y 2. 系统说明 |zq!CLjD@ asN
} 参考光路 p
<=%  !u{"] T: 3. 建模/设计结果 \41)0,sEy TUUE(sLA 5f'g3' 4. 总结 T#G<?oF G7Abhb, 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 nH>V Da tNuC xb- 1. 仿真 !x$:8R 以光线追迹对干涉仪的仿真。 cYM~IA 2. 计算 mzE$aFu8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ^]qV8 3. 研究 V.Ba''E7 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 %7>AcTN~ kq%gY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 BU:Ecchbr r7"A u" 应用示例详细内容 `}~)1'(#/ 系统参数 I\rZk9F 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^jha:d g"]<J& 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 lIVxW+ ,+/9K)X 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 x , Vh HKiVEg 2. 说明:光源 _TOi
[GT 5+bFy.UW <Hh5u~ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ";_K x={ 因此,相干长度大于1m K)Zkj"y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &cu] vw 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 7^I$%o 1g UOu6LD/|h
&7($kj dF{6>8D=5B 3. 说明:光源 VPM|Rj:d X"k^89y$ ByhOK}u;P4 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ]D{c4)\7C| 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 cK|rrwa0 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 WbQhlsc: 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 E5*-;>2c 4. 说明:光学元件 i<#h]o
C} gp$EXJ= ApG'jN 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 $v:gBlj%" 位相延迟平板材料为N-BK7。 Mr=}B6` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 #.)xm(Ys 透镜材料为N-BK7。 :/@k5#DY 其中心厚度与位相平板厚度相等。 n9kd2[s| tg7C;rJ -_2Dy1 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m3xz=9Ve N
b3I%r Ii~; d3. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 zP:~O 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ^91sl5c8yD
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