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测量系统(MSY.0001 v1.1) Y2}\~I0 ,_HVPE 应用示例简述 4~DoqT 2 g,UdG 1. 系统说明 7aS`SF =*fOej>G 光源 qn:3s — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) A\YP}sG1 元件 D >$9( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ~'n3],o? 探测器 &G:#7HX@- — 干涉条纹 w!7Hl9BW 建模/设计 e~oI0%xl^ — 光线追迹:初始系统概览 id'E_]r — 几何场追迹加(GFT+): pwr,rAJ}$j 计算干涉条纹。 6cDe_v|, 分析对齐误差的影响。 (X;D.s g,*L P 2. 系统说明 M, f6UYo= "6o}g. 参考光路 ;.+sz(:hm  |bA\>%~ 3. 建模/设计结果 edD1 9A 1$H*E~ eh`n?C 4. 总结 Tc$Jvy-G4A d?)k<!fJk 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 k"7l\;N A&XI1. j6 1. 仿真 MF69n,(o 以光线追迹对干涉仪的仿真。 jInI% 2. 计算 5o- WA1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8`M) r'5 3. 研究 06X4mu{ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Gf*|f"O jOV,q%)^,: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ;W 16Hr Z SHWD@WLE4 应用示例详细内容 Z7)la
| 系统参数 -*HR0:H 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 N;gI %6 t*KgCk 1 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SA!P:Q?h v"-@'qN' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 gqw
]L>Z B*B}eXUph 2. 说明:光源 |T3F:],` ?o$ hlX _!_%Afz 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
vf}.) 因此,相干长度大于1m `,~8(rIM 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 x`9IQQ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 H+lBb$ rW),xfo0
1!/WC.0 nz+k , 3. 说明:光源 $1KvL8 -aSj- ol#|
.a2O 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 /N=;3yWF 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 3FetyWl' 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 7UnB]- :. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 A*b>@>2 4. 说明:光学元件 mLGbwm'K >_esLsPWh] EUGN`t-M 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 (58}G2}q 位相延迟平板材料为N-BK7。 ,;%F\<b 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 h_*!cuH 透镜材料为N-BK7。 ku*H*o~ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 )+L.$h MVDEVq0 ip)gI&kN`z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 J) I|Xot A4Sb(X|j V;@kWE>3 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 xQU$E|I 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 @vHj>N
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