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测量系统(MSY.0001 v1.1) e71dNL'$ ~t ` uq 应用示例简述 [Jjb<6[o
HLYTt)f} 1. 系统说明 j0F'I*Z3 c%bGVRhE 光源 GqT0SP — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Oz:J8l% 元件 +"HLx%k — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 s?g`ufF.t 探测器 )PNeJf|@ — 干涉条纹 `BA,_N|6 建模/设计 Q-qM"8I — 光线追迹:初始系统概览 n=+K$ R — 几何场追迹加(GFT+): k ='c*`IE 计算干涉条纹。 (r ]3tGp 分析对齐误差的影响。 !B#Lea l^$8;$Rq
2. 系统说明 |~Op|gs b# RTHe&X 参考光路 n:#gKR-J  H1bPNt63 3. 建模/设计结果 GF3"$?Cw dg?[gD8!4& n.a55uy 4. 总结 JQp::,g a+--2+~= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 j%V95M%$ mqx#N% 1. 仿真 wj'5D0 以光线追迹对干涉仪的仿真。 z'(][SB 2. 计算 YjT7_|`(] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Pl>S1 3. 研究 V\ 7O)g 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 *s"dCc h
dw~AGO# 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 w[A$bqz <![]=~z$ 应用示例详细内容 PS13h_j 系统参数 nVp*u9] 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 n&`=.[+A has \W\( 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SS/9fT"[ 5c W2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 T/A[C vuOixAkw 2. 说明:光源 |Zn|?#F xux
j CfSpwkg 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 JIGoF 因此,相干长度大于1m RkrZncBgV< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 {NS6y \, 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 RwG@C|sG AaVj^iy/X
EEU)eltI ?3x7_=4t@ 3. 说明:光源 I1IuvH6 m~LB0u$ac Q1?0R<jOU 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Y\Z.E; 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 r fl-(_3 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 aBH!K
与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ?D6?W6@ 4. 说明:光学元件 sO5~!W>Z r&u&$"c ,:Q+>h 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 sNet[y:O3 位相延迟平板材料为N-BK7。 K%+[2Hj2 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 XtJ_po 透镜材料为N-BK7。 ^UB<U#8, 其中心厚度与位相平板厚度相等。 )YP"\E KqM!7 ?l6NQ;z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 vy
<(1\ JD Q7 :{(` ;fJ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 O0"u-UX{ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 lk$@8h$vS
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