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测量系统(MSY.0001 v1.1) ;ND[+i2MN ^,t@HN;gA 应用示例简述 m"n" 1;o= MEJX5qG6m 1. 系统说明 \%bJXTK&W GCiG50Z= 光源 fA?v\'Qq/ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) (xWsyo(4 元件 2<p@G#( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 surNJ,) 探测器 /'E[03I~ — 干涉条纹 d!}oS<6 建模/设计 V=th-o3[ — 光线追迹:初始系统概览 ?6nB=B)/ — 几何场追迹加(GFT+): {^(uoB C/ 计算干涉条纹。 j}s/)}n| 分析对齐误差的影响。 <?}pCX/O vr{|ubG]d 2. 系统说明 qsXkm4 2
'D,1F 参考光路 /Z!$bD  x3#:C= 3. 建模/设计结果 c2,g%( }o7- 3!{L! izGU&VeB 4. 总结 @>.aQE p8@8b " 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 WLwi 2p#d 1. 仿真 "aI)LlyCY 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :t9![y[=| 2. 计算 `w`N5 ! 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~<O.Gu&"R 3. 研究 TOKt{`2} 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U<=d@knH sJ^Ff 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 (|o@ 8-7Ml3G* 应用示例详细内容 3)LS#= 系统参数 4F0w+wJD 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 (Cq 38~mR rP2h9Cb 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 pY3/AO= qC"`i}7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 K@%T5M4j m9sck:g#L1 2. 说明:光源 &qSf
~7/ DO-M0L NIQ}+xpC 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 wb(S7OsMO
因此,相干长度大于1m EA1&D^nT 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 { pQJ.QI 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 &{glwVKV qLb~^'<iD
|Z2_W/ z;e@m2.IM 3. 说明:光源 2Q]W ~vA8I#. (jhi<eV 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 0-{E% k 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 zDtC]y' 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 xg^%8Ls^ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 MZf?48"f 4. 说明:光学元件 ~xc/Dsb$ R[m{"2|,Lc Cg~1<J?2 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 V_m!<sr ( 位相延迟平板材料为N-BK7。 <oT1&C{ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 $M0l
(htR 透镜材料为N-BK7。 ||TZ[l 其中心厚度与位相平板厚度相等。 _K{-1ZYsi 8%YyxoCH +cYDz#3% 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 'U ZzH$h |.yS~XFJS X[$|I9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Zos.WS# 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 z)v o
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