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测量系统(MSY.0001 v1.1) `6NcE-oJ )#? K2E 应用示例简述 ?d3<GhzlR3 VS~+W=5} 1. 系统说明 LH@Kn?R6 }KftVnD? 光源 NSzTl-eS — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) F,mStw: 元件 k0b6X5 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 p~(STHDe# 探测器 iK5[P — 干涉条纹 S,Qa\\~z 建模/设计 OSJj^Y)W| — 光线追迹:初始系统概览 ;D(6Gy9~ — 几何场追迹加(GFT+): {?cF2K# 计算干涉条纹。 h]Gvt 5 分析对齐误差的影响。 #z*,-EV| k
$# ,^)T 2. 系统说明 02:`Joy2D ;c@B +RquR 参考光路 nF,zWr[x  t`eIkq|NxI 3. 建模/设计结果 (Dba!zSs ['6Sq@c) s,|v,,<+ 4. 总结 >V%.=})K r. rzU 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +QSH*(, >@-BZJg/k 1. 仿真 (K ]wk9a 以光线追迹对干涉仪的仿真。 f$?`50D"1 2. 计算 ij}{H#0S- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 q03nu3uDI 3. 研究 *^Z -4 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 u&f|z9 je>mAQKi\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 aOUTKyR ~ Uw)B(;Hy? 应用示例详细内容 SK@lr 系统参数 Iq{/-,v 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 I;{Ua* jS#YqVuN 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 |b!Bb<5 xHkx rXqeI 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ?'tFTh g/i.b& 2. 说明:光源 cA90FqUH po*r14f n(Um/ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 =ATQ2\T$m 因此,相干长度大于1m raMtTL+ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ,L\KS^> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 6>b#nFVJ vhU#<59a1
?uF3Q)rCk {{ 1qkG9$ 3. 说明:光源 Z3X9-_g ,K.Wni#m H<*n5r(c 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 &mba{O 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~UwqQD1p 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 m9ky?A, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~KxK+6[ : 4. 说明:光学元件 F]RZP/D` :{-/b !]8QOn7 = 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ji5Nq+S2 位相延迟平板材料为N-BK7。 }AS3]Lub@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 V#~.n;d 透镜材料为N-BK7。 ?nM]eUAP 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6ziBGU#.- <CS,v)4,nH :;&3"- 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 7Ewq'Vu`y {CgF{7` hdbm8C3 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 b,#?LdQ% 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 T>5N$i
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