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测量系统(MSY.0001 v1.1) - D^.I .J fV4!=o 应用示例简述 9|5>?'CqP 227 Z6#CF! 1. 系统说明 1_RN*M+# XMi)PXs$ 光源 k.K;7GZC — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 9Lp[y%{GP 元件 Q|&Wcxq2! — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 v#E RXIrf 探测器 c3X8Wi7m — 干涉条纹 E*]%@6tH 建模/设计 gVU&Yl~/^ — 光线追迹:初始系统概览 Ps=<@,dks — 几何场追迹加(GFT+): ,.-85isco 计算干涉条纹。 aX,ux9# 分析对齐误差的影响。 Y1s3>` ;UoXj+Z 2. 系统说明 yaW HGre x^u[L$ 参考光路 ,`.`}'  b_%W*Q 3. 建模/设计结果 \L4+Dv<z 03^?+[C O9jpt>:kZ 4. 总结 d_w^u|(K 8iKupaaOX 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +E8}5pDt hJasnY7 1. 仿真 QCVwslj,K 以光线追迹对干涉仪的仿真。 @ 9q/jv` 2. 计算 Yt#e[CYnu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 n=tg{_9f% 3. 研究 HS[N]'dc 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;VIW/ dd|/I1 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ZW>?y$C+ &bw
``e&c 应用示例详细内容 ~ @Au < 系统参数 \[F4ooe 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 o:C],G_ E])X$:P? 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 xulwn{R s Lf} @v 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 {nl4(2$ WeqQw?- 2. 说明:光源 f[$9k}. j_Z"= I~:
AWS9 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +ziQ]r2g 因此,相干长度大于1m )Og,VXEB 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ' *x?8-K P 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ~e@pL*s qGgqAF#B
4zw5?$YWO" ngC|BLT%h 3. 说明:光源 2(Ez
H ]/C1pG*o -+#g.1UL/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 2~BId&] 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 &:ib>EB03= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 B \z4o\am% 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 d,0Yi
u.p 4. 说明:光学元件 rBUdHd9 j)[
wX !Qd4Y= 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 USrg,A 位相延迟平板材料为N-BK7。 h0)Wy>B=, 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 U]h5Q.<SG 透镜材料为N-BK7。 |( =`l 其中心厚度与位相平板厚度相等。 I!;LT+b L>qLl_. Y)=89s&t 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 WV'FW)% @'yD(ZMAz X(;,-7Jw 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 b1A8 -![ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 L*VO2YI
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