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测量系统(MSY.0001 v1.1) F8$.K*tT {'l^{"GO" 应用示例简述 lsU|xOB ~b+4rYNxU_ 1. 系统说明 4ZrX=e, u3(zixb 光源 w(U-6uA — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %*>=L$A 元件 j!B+Q — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 8fKt6T 探测器 U2\g
Kg[-Q — 干涉条纹 G&)A7WaC 建模/设计 <]eWr:; — 光线追迹:初始系统概览 SL zL/5s — 几何场追迹加(GFT+): R(@B4M2 计算干涉条纹。 oFB~)}f<v 分析对齐误差的影响。 U+CZv1 mw! D| 2. 系统说明 RJYuyB (zIP@ H 参考光路 AWsO?|YT  !*HH5qh6 3. 建模/设计结果 j2\bCGY v!27q*;8H j$'L-kK+ 4. 总结 -D?T0> J3KY?,g3O_ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Qu,W3d :CH "cbo 1. 仿真 I:CnOpR>A 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ~KHGh29 2. 计算 _)
k=F= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 0ubT/ 3. 研究 mnZ/rb 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 td%]l1 ()e.J 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 _eb:"(m 6d& dB 应用示例详细内容 VHwb 7f]gq 系统参数 :akEl7/& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 U\a.'K50F o%XAw 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 PeGA+0bm {R%v4#nk 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 A;7p fgIzT!fyz 2. 说明:光源 <aR9,: c,pR+DP 3>YG 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 "
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因此,相干长度大于1m A]L;LkEM
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Fka&\9i 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 RAYDl=} j oDY
;U=IbK* J}U); A 3. 说明:光源 :tU&d(8 gw' uY$ &?UIe] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 l/0"'o_0v# 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 q}P< Ejq} 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 lx_jy>$}r 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 kx&Xk0F_g 4. 说明:光学元件 )d5Hv2/0 JAJo^}}{b C^9G \s' 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 2f>G 位相延迟平板材料为N-BK7。 ]S;^QZ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 OXcQMVa
6 透镜材料为N-BK7。 :EJ8^'0Q 其中心厚度与位相平板厚度相等。 29 {Ep
gP%S{<.? I/4:SNha 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9RA~#S|(T C".nB12 #tX\m; 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 S. my" j 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 JLgk?
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