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测量系统(MSY.0001 v1.1) HH]LvK <vAg\Tv:S 应用示例简述 .z9JoQ ycH=L8 1. 系统说明 V^Nc0r 4[(P>`Unx 光源 B EY}mR] — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) &^Xm4r%u_ 元件 )D@
NX/} — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +XQS
-= 探测器 zi5;>Iv0} — 干涉条纹 @-W)(9kZ| 建模/设计 1ptP ey — 光线追迹:初始系统概览 :JOF!Q — 几何场追迹加(GFT+): t#d~gBe?V 计算干涉条纹。 ){,8}(| 分析对齐误差的影响。 NTn-4iJy a~{mRh 2. 系统说明 5ecqJ U>{z*D 参考光路 :0]KIybt  w+JDu_9+A] 3. 建模/设计结果 jbG #__#_ N (43+ 0R; ;ou 4. 总结 -m-~ f-3lJ?6 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 |i|>-|`! (llg!1 1. 仿真 }3QEclZr 以光线追迹对干涉仪的仿真。 `?La 2. 计算 C^uXJ~8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 yJ?4B?p( 3. 研究 x=9drKIw> 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 R@ihN?k RCsd 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 a*o=,! QupCr/Hs 应用示例详细内容 $L3UDX+F 系统参数 [t>}M6?R: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 \[Q,>{^ L-q.Q 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 6)Kg!.n%f lh
.p`^v 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ?a(ApD\ &,bJ]J)8O 2. 说明:光源 KecR jon ~ ;Q\Duj IY+P Yad 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 c!j$-Ovm 因此,相干长度大于1m V:yia^1 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 yv&&x.!.Z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 meE&, { lNqYpyvy*
(rvK@ YQ;?N66 3. 说明:光源 8I`>tY Hh,q)(Wo PjDYdT[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 m{;2! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 :<!a.%= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 jq%Qc9y 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 &KT*rL 4. 说明:光学元件 KP%A0 4Y;z46yM% 5v6*.e'p 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 up#W"`" 位相延迟平板材料为N-BK7。 r_F\]68 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 xZwG@+U=X 透镜材料为N-BK7。 >2tYw,m 其中心厚度与位相平板厚度相等。 3* 1cCM42 I ze+]( :H@Q`g u 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2h%/exeS; $TGE tDJts OL 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 !g'kWE[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 //xK v{3fI
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