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测量系统(MSY.0001 v1.1) 1N65 M=) xi"ff. 应用示例简述 _{): w~zi xA^E+f:W_ 1. 系统说明 8@ f!,!Wn iWWtL 光源 ,XscO7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?(zCv9Pg 元件 =84EX<B — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >/RFff]Fh0 探测器 )cL(()N — 干涉条纹 ;HYEJ3 建模/设计
&I-T — 光线追迹:初始系统概览 (z;lNl(*C — 几何场追迹加(GFT+): 1mHS -oI9J 计算干涉条纹。 iN[6}V6Sm 分析对齐误差的影响。 Zs|Ga,T Rkg)yme!N 2. 系统说明 k)z>9z%D Fa`%MR1 参考光路 \{Q_\s&) Y8%l)g 3. 建模/设计结果 `uLr^G=; c?<)!9: iM7^ 4. 总结 t+d7{&B Q%~BD@Io 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 \^pc"?Rc U<F|A!Fg 1. 仿真 [< g9jX5 以光线追迹对干涉仪的仿真。 @x*xgf 2. 计算 3H<%\SYp 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 gT+wn-3 3. 研究 i@D4bd9lR 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4dN <B U ->OVNmCB`+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 EF$ASNh" >Mh\jt\ 应用示例详细内容 `e;r$Vpd_ 系统参数 a0k;way 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Y|wjt\M z{
M2tLNb 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 'y>Y */
s5G`?/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 y5*zyd z}==6|{ 2. 说明:光源 E_'H=QN c f`;w@gR`= }&L%c> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 WZHw(BN{+ 因此,相干长度大于1m ]zAwKuIK 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 jPo,mz&^ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :J@3:+sr kf<c[ su N3lz-vP- KkTE -$- 3. 说明:光源 u^MRKLn y'b*Dk{ bo DD?0.| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ex`T9j.=B 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 iF
+@aA 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 (f_YgQEL 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 \p.yR. 4. 说明:光学元件 <@GO]vY #^]vhnbN DOGGQ$0 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 \6MM7x(U3 位相延迟平板材料为N-BK7。 v,*C>u\3s 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 SWhzcqp 透镜材料为N-BK7。 M:oM(K+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~Gh7i>n* |cnps$fk~ MCEHv}W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 iFI+W<QR _x""-X~OL l(87s^_ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &b^~0Z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 (K8Ob3zN_
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