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测量系统(MSY.0001 v1.1) h>-JXuN Rn~FCj,- 应用示例简述 '\\dh qIcQPJn!} 1. 系统说明 P1;T-.X~& -FytkM^]6 光源 ^'.=&@i- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ^prseO?A 元件 ?jbE3fW — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 n)uvN 探测器 o"~ODN"L — 干涉条纹 N(>a-a 建模/设计 :LBG6J — 光线追迹:初始系统概览 `<kHNcm — 几何场追迹加(GFT+): @GqPU,RO 计算干涉条纹。 ?#!Hm`\. 分析对齐误差的影响。 %[\:
8 Yq}7x1mm 2. 系统说明 Tl5K'3 z!;n\CV @ 参考光路
YW"}hU  $T{,3;kt 3. 建模/设计结果 SQ|pH" .Gq.s t% =MDir$1Z 4. 总结 kCfSF%W& LO]D
XW 9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ZOc1 vj J2Y-D'*s 1. 仿真 "r @RDw
以光线追迹对干涉仪的仿真。 J~KWn. 2. 计算 @*q WV*$h 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 F+PIZ% 3. 研究 8v@6 &ras@ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 EW*!_| pg~vteq5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 I Gv_s+O-* .+>w0FG. 应用示例详细内容 tagkklJ~ 系统参数 +qq,;npi 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 fpf1^TZ )#k*K9[@ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 J"QXu M O%5cMz?eU 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 r9z_8#cR txQyHQ)@ 2. 说明:光源 _ _cJ+%e N
?Jr8 Yao>F--? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 WsRG>w3" 因此,相干长度大于1m D}'g4Ag 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ]\5@N7h 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 fgg^B[(Y <_@ K4zV
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{<`Z 3. 说明:光源 6la# 0U23 u\=gps/Z pq_DYG] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 R9&T0Q |