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测量系统(MSY.0001 v1.1) 0s79rJ (4?^X 应用示例简述 oW^>J- X ]W)D
S 1. 系统说明 ;YSe:m* _]-8gr-T 光源 ;A4j_8\[ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) X&IT s 元件 ;M~9Yr=1 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 -*Tf.c 探测器 RA?_j$ — 干涉条纹 6TTu[*0NT 建模/设计 Y=?{TX=6<[ — 光线追迹:初始系统概览 <v/aquLN — 几何场追迹加(GFT+): yEk|(6+^ 计算干涉条纹。 (:F]@vT 分析对齐误差的影响。 MV2$0 ay|jq"a 2. 系统说明 TQb@szp:| l fFRqZ 参考光路 Nu3gkIz5z-  V^4v`}Wgx 3. 建模/设计结果 ![$`Ivro` %8wBZ~1- `\|tXl. 4. 总结 BMI`YGjY1 v 2p 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Ijap%l1I Uk*(C( 1. 仿真 bI|{TKKN&P 以光线追迹对干涉仪的仿真。 'J3yJ{ 2. 计算 ` &bF@$(( 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 d3
i(UN] 3. 研究 Wp+lI1t 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l0;u$ ?@Q0;LG 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 SP/b4 g],]l'7H 应用示例详细内容 lJN#_V0qW 系统参数 `"PHhCG+z 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <Np Mv!g =+ b>d\7xG 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 q'a]DJ` Lq
;~6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 7)[2Ud8 OI*ltba? 2. 说明:光源 S7WHOr9XMV }st~$JsV1 bCr
W'}:de 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 bcjh3WP 因此,相干长度大于1m "U"fsAc# 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 #pgD-0_ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 'jMs& .>}I/+n
Er|&4-9 }!k?.(hpE 3. 说明:光源 XR9kxTuk `?.6}*4@_A qoH:_o8ClO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 9M'"q7Kh 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 {D^
)%{ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,jeHL@>w[ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 /3k[3 4. 说明:光学元件 j>?nL~{
TTl9xs,nO d*e8P ep 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 kjp~:Bg_( 位相延迟平板材料为N-BK7。 _Dqi#0#40p 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 eY`9J4o ' 透镜材料为N-BK7。 +X+R8 其中心厚度与位相平板厚度相等。 sC[#R.eq ?Fa$lE4 s.rQiD 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 D</?|;J#/ iG"v x9\{a 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 3BGcDyYE 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 7VZ ^J`3
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