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测量系统(MSY.0001 v1.1) L.l%EcW=, +7N6]pK|" 应用示例简述 eV1O#FLbi 2frJSV ? 1. 系统说明 %jKR\f G Q*( ]&qr"E 光源 n?!.r
c — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) <MA!?7Z| 元件 `Ft`8=( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 L>xcgV7 探测器 \C/`?"4w — 干涉条纹 e%(zjCA 建模/设计 :v1'(A1t — 光线追迹:初始系统概览 8T$:^HW — 几何场追迹加(GFT+): D#W{:_f 计算干涉条纹。 V\!FD5% 分析对齐误差的影响。 <)?H98S H6bomp" 2. 系统说明 dH#S69> "&Q-'L!M'/ 参考光路 s3/->1#i  mrE^D| 3. 建模/设计结果 H Y.,f_m onG,N1`+ ogip#$A}3 4. 总结 xf % ,UQ ,Xo9gn 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 _Dwn@{[(8 Z9~~vf# 1. 仿真 *=~
9? 以光线追迹对干涉仪的仿真。 <*2.B~ 2. 计算 o
PR^Z
pt 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >(`|oD`,Y 3. 研究 Y]&HU) u 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l
\xIGs E)#3*Wlu$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 &tLg}7?iB kxThtjgv 应用示例详细内容 qI:}3b;T 系统参数 #9#N+ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ,;GWn b0m1O.&I_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 q<,?:g$k =WJ*$j( 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 0Q]x[;!k czdNqk.kh 2. 说明:光源 XH1so1h PKwHq<vAsB frc>0\ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 csH1X/3ha\ 因此,相干长度大于1m 2ZNTg@o 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ~Jp\'P7* 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 .F'Fk=N n KDX=73
,5t.0XqS S%mN6b~{ 3. 说明:光源 uAK-%Uu? #u|;YC (+CB)nV0IA 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ra_`NsKF} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 XZZ Ml 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Yt0
l'B%[u 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 CuT[V?^iD 4. 说明:光学元件 Uu
}ai."iB 8'Z9Z*^h#x c}g^wLa 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 !<((@*zU 位相延迟平板材料为N-BK7。 d[-w&[iy 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 e|"`W`"- 透镜材料为N-BK7。 )h2wwq0] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 m`4Sp#m ~?[%uGI0h tA}O'x 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 WH/r$.& @"'1"$ CIj3D" 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 v(h
由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 fo4j^,`
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