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测量系统(MSY.0001 v1.1) ~+q$TV ]uWx<aDB 应用示例简述 :G9.}VrU n/=&?#m}d 1. 系统说明 6}K|eUak/ 4%KNHeaN 光源 *jCXH<?R
— 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) !FA^~ 元件 I}kx;!*b — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 J2v=b?NE 探测器 !D7/Ja — 干涉条纹 f:KKOLm 建模/设计 lJ62[2=V — 光线追迹:初始系统概览 DSM,dO' — 几何场追迹加(GFT+): >C*q
计算干涉条纹。 ,}=x8Xxr 分析对齐误差的影响。 _E{SGbCCi |GA4fFE= 2. 系统说明 7M<7^)9 5Q?7 xTQ 参考光路 n,wLk./`  dScit!T" 3. 建模/设计结果 V=H87^b yCf*ts1 :\4?{,@_h 4. 总结 <ij;^ygYD i
jg'X#E 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 8;5 UO,`T w5bD 1. 仿真 }e9E+2}Z\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 S_y!4;]ox 2. 计算 w3:Y]F.ot 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 vh"zYl` 3. 研究 G;Q)A$- 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 IMmoq={(z d?$FAy'o5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 *S~gF/*kP 0vqXLFf 应用示例详细内容 qq]ZkT} 系统参数 eRWTuIV6 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 |>gya& nBgksB*A 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 exiCy1[+ Eyxw.,rB/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 pUZbZ
U JpvE c!cli 2. 说明:光源 w6F4o;<PR ;_@u@$=~ 1[
ME/r 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 +?),BRCce 因此,相干长度大于1m ULIbVy7Y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 .RxH-]xk 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ,P3nZ ]E .+)>
nbj &3z, c`yLn%Of% 3. 说明:光源 :rnn`/L ~c%H3e>Jcq $z"3_4a 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Z!0D97^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ?lKFcm 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 )[|`-M~u 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ow,I|A
4. 说明:光学元件 Wsyq x6d+`4 )`!i" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 K9\`Wu_qL 位相延迟平板材料为N-BK7。 h|$.`$ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 8_US.52V 透镜材料为N-BK7。 3Kc 其中心厚度与位相平板厚度相等。 8
;y N f7c%Z:C#Y ma)Y@Uw M 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ]mYT!(} ujGvrYj O~N0JK_> 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 R#.FfWTZ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 jc)[5i0
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