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测量系统(MSY.0001 v1.1) SA%uGkm:e \1<8'at 应用示例简述 13fyg7^JP u4h.\ul8% 1. 系统说明 QXEz[R #=N6[:, 光源 jEn9T — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) E8L\3V4 元件 BAojP1}+, — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 -?w3j9kk> 探测器 <Vl`EfA( — 干涉条纹 )M*Sg?L 建模/设计 j{YIVX
— 光线追迹:初始系统概览 o)+C4f[G4 — 几何场追迹加(GFT+): ;gLOd5*0 计算干涉条纹。 W@RD
bsc 分析对齐误差的影响。 iy|;xBI, f.0HIc 2. 系统说明 cZ3A~dTOR WO$8j2!~# 参考光路 ~( :$c3\  4lI&y<F 3. 建模/设计结果 <?%49 a:s$[+'Y G 2uM 6 4. 总结 >M^:x-mib qe/5'dw 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 !QCErE;r JsEnhE}] 1. 仿真 hqV_MeHv' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 r{f$n 2. 计算 2fXwJG' 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 (yoF 3. 研究 @2`nBtk 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Wu/:ES)C c*i,z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 op3a*KG $01~G?:]` 应用示例详细内容 AmJdZs|/ 系统参数 `l %,4qR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 >h.HW K5z<n0X ~ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 UzW]kY[A< j%}9tM6[ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 uX%$3k =E-o@#BS 2. 说明:光源 ,$U~<Zd mQ9shdvt- 6$l?D^{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 U }I#;*F 因此,相干长度大于1m `i+2YCk 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 !#W3Q 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Ul3xeu }a#=c*+_
.v-2A);I _xBhMu2f 3. 说明:光源 ^ >
?C r%NzKPW' yo%Nz" 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 #K iqV6E 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 o)$eIu}Wg 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 3o"l
sly 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 B?Rkz 4. 说明:光学元件 x(p/9$.# NG23 }*O8]lG 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 B\l 0kiNT 位相延迟平板材料为N-BK7。 Mm1>g~o 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 t<RPDQ> 透镜材料为N-BK7。 LabI5+g 其中心厚度与位相平板厚度相等。 cr?ZXu_ }lCQ+s! 9e}%2, 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ed`7GZB 9[DlJ@T} T)Q_dF.N 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Vup|*d2r0E 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 IWI$@dng6
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