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测量系统(MSY.0001 v1.1) YD\]{,F| B<7/,d' 应用示例简述 dA_YL?or XX6 T$pA6 1. 系统说明 QK; T~
_k HSN8O@dy 光源 Sw8kIC — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) y,=du 元件 O oSb>Y/4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 2 -Xdoxw 探测器 Wkzs<y" — 干涉条纹 w8iR|TV 建模/设计 >O7~h[FN — 光线追迹:初始系统概览 6_gnEve
h — 几何场追迹加(GFT+): :?Y$bX}a 计算干涉条纹。 @ {#mpDX 分析对齐误差的影响。 g>
S*< AW,OHSXh6 2. 系统说明 DNkWOY#{ ?":'O#E 参考光路 !:CJPM6j3  ]XA4;7 3. 建模/设计结果 %UZVb V ir16 xd-XWXc 4. 总结 ZH ,4oF k+^'?D--'P 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o.-C|IXG re &E{ 1. 仿真 ,xI%A,
(,; 以光线追迹对干涉仪的仿真。 is?2DcSl5 2. 计算 [xb]Wf 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 X|DO~{-au 3. 研究 #~L h# 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `^9(Ot $ ?!VIS>C( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 PX(pX> =~KsS}`1, 应用示例详细内容 FG@-bV 系统参数 ]@^coj[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 !? 5U| $gpG%Qj 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 _-~`03 `! <?Wti_ /M 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 DI|:p!Nx 8Q{9>^ 2. 说明:光源 <plC_{Y:wu ul f2vD =*vMA#e 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 -fI@])$9J 因此,相干长度大于1m 76cG90!Z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 4Kwh?8. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^! 8P<y 1xE]6he4{T
4*.K'(S5fx 3]&o*Ib1`_ 3. 说明:光源 >wHxmq8F5< Va
VN R%D'`*+ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 L6Wt3U`l 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 {%2v Gn 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 WKz>
!E% 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 CzCQFqXI 4. 说明:光学元件 :!a2]-D} 2lKV#9" {O<l[|Ip 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ENF"c$R 位相延迟平板材料为N-BK7。 jw}}^3. 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 r|e-<t4.9L 透镜材料为N-BK7。 dC\ZjZZ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 @+F4YJmB?l 38DT2<qC ~ 9)"! 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ps
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#rO8K f p!O(Y6QM 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 OA/WtQ5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 $D
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