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测量系统(MSY.0001 v1.1) 1 pYsjo~ ";58B}ki 应用示例简述 /iTH0@Kw; q .)^B@}_ 1. 系统说明 fY2l.H\f :'TX"E! 光源 +0)5H>h — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) lHRK'?Q 元件 _2x uzmz0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 2}1!WIin 探测器 4O9tx_<JG — 干涉条纹 !DCVoc]pV 建模/设计 Zj5NWzj
X — 光线追迹:初始系统概览 $Jt8d|UP — 几何场追迹加(GFT+): ]lC4+{V 计算干涉条纹。 J\9jsx!WQ 分析对齐误差的影响。 @)8NI[=6O W>UjUq); 2. 系统说明 8cequAD 8Na}Wp;|Gi 参考光路 047*gn.b  k0R,!F 3. 建模/设计结果 )E_!rR qrOB_Nz I-j(e)P(o_ 4. 总结 __Vg/C!W ~p0e=u 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 t/_\U=i$ UX+?0 K 1. 仿真 %YsRm%q 以光线追迹对干涉仪的仿真。 `\6 +z 2. 计算 9Vh_XBgP 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 $XtV8 3. 研究 1/F<T 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 MX%|hIOpr 9iiU,}M`j 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 q
oKQEG2 3ytx"=B% 应用示例详细内容 %!1@aL]pQ 系统参数 1KNkl,E 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 @D( KuF C8O7i[uc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 gogl[gHO EVby 9! 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 @*AYm-k +;{rU& 2. 说明:光源 'lSnyW{ d{(s- Ta!m%=8 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 W`
6"!V 因此,相干长度大于1m PkZf(=-X
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 exGhkt~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 qhv4R| ) S S7D1
j X^&4f bUEt0wRR 3. 说明:光源 w%!k?t,*] 6Vu}kK)
4IH0un 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Lk$Je
O 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 0D W'(#` 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 T/X?ZK(T 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 1VPfa 4. 说明:光学元件 ^$T!@+: M,=@|U/B 2xz%'X% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 3/#R9J# 位相延迟平板材料为N-BK7。 c+YYM
:S 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 &9GR2GY 透镜材料为N-BK7。 DT1i2! 其中心厚度与位相平板厚度相等。
B[2h pfT`W T 'IqK M 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 '/n%}=a= 9|?(GG vi()1LS/! 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2!"\;/ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 6>P
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