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测量系统(MSY.0001 v1.1) {W$K@vuV;? I@q(P>]X9 应用示例简述 w'7=CzfYn _BHEK 1. 系统说明 8ib%CYR ki'CW4x 光源 0Ait7` — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ]3]=RuQK2 元件 *I9O+/, — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %3@-.= 探测器 66-G)+4 — 干涉条纹 *=(vIm[KL 建模/设计 _kT{W] — 光线追迹:初始系统概览 "? ON0u9 — 几何场追迹加(GFT+): i6 )HC 计算干涉条纹。 _(F8}s 分析对齐误差的影响。 4}F~h 2(H-q( 2. 系统说明 LsO}a;t5 xq<X:\O 参考光路 aM YtWj  ;"|QW?>$D 3. 建模/设计结果 frT<9$QUL )W*A[c
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4. 总结 OTzuOP8 vp(ow]Q 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 }56WAP}Z 4 D|$Fw5!^k6 1. 仿真 .FC|~Z1T<F 以光线追迹对干涉仪的仿真。 9PdD =9HH 2. 计算 _
o.j({S 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |dhKeg_ 3. 研究 9J$-E4G.M 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 DB3qf>@? %"^8$A?>,k 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 "{[\VsX|c ym_p49 应用示例详细内容 T{)_vQ 系统参数 _{/[&vJ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Oi<yT"7 ^09-SUl^ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 `IT]ZAem`/ 5GbC}y> 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 9_fbl:qk;\ **JBZ \' 2. 说明:光源 Lg{M<Q)4 |#yH,f xZA.<Yd^r 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 u9fJ:a 因此,相干长度大于1m Z@}qL1 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ps UT2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 < n/ 2 [0vqm:P
Ub/ZzAwq et?FX K"y 3. 说明:光源 in6*3C4 gloJ;dEB 6V*,nocL_+ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 N(V_P[]"*, 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ~LQzt@G4 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1)5$,+~lL 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 sou~m,# 4. 说明:光学元件 RFoCM^ "6
~5RCZ ~r~YR= 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 b!bg sd 位相延迟平板材料为N-BK7。 -Aojk8tc 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 No`*-> R 透镜材料为N-BK7。 h'?v(k! 其中心厚度与位相平板厚度相等。 <@P. 'rE @)U;hk)j; #k?. dWZ! 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 .f"1(J8
HQ]mDo /l_u $" 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 `jSe gG' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Vl;zd=
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