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测量系统(MSY.0001 v1.1) 6Te}"t> 5;{Bdvcv 应用示例简述 &8pXkD#A _R<HC 1. 系统说明 ]M2<I#hF. !lF^~x 光源 n1t(ns| — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ypd?mw&1} 元件 !BX62j\? — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 LnDj 探测器 ]Rye AJ3 — 干涉条纹 ^55?VQB 建模/设计 /kz&9FM — 光线追迹:初始系统概览 R]Oy4U,f — 几何场追迹加(GFT+): >S!DIL 计算干涉条纹。 .ndQ(B 分析对齐误差的影响。 5\S7Va;W ,
.I^ekF 2. 系统说明 f*],j Ic}ofBK 参考光路 b8>9mKs  Dkb&/k:) 3. 建模/设计结果 _p&$X ~Z2eQx
jtM RuZ;hnE& 4. 总结 q?L(V+X <<6w9wNon 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0I((UA/7Zs GU3/s&9 1. 仿真 ^0Q*o1W 以光线追迹对干涉仪的仿真。 qfu2}qUX~% 2. 计算 >#?: x*[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 pCc7T-"og 3. 研究 _|ib@Xbin 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9C;Y5E~'L gN(hv.nQ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 1RbYPX (OB8vTRXP 应用示例详细内容 ]5fM?: <l 系统参数 }yw;L(3 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +
nS/jW XL^N5 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ^gzNP#A<'o df*#?Ok 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^4pKsO3ul 7[BL 1HI* 2. 说明:光源 h)8+4?-4I "5:f{GfO#v ATM:As:<@ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 hxVM]e[ 因此,相干长度大于1m oh~
vo! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g@i>R> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 U!:!]DX( O/9%"m:i
V2{#<d-T! %D(prA_w 3. 说明:光源 |7zP8 Treh{s 'S7@+kJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ^r*%BUU9]% 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 6^O?p2xpo 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1L8ULxi_?] 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 d[e:}1 4. 说明:光学元件 noNF;zT 4c[)}8\ MW$H/:3 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 |vN@2h(|" 位相延迟平板材料为N-BK7。 ](>7h_2B 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 `.(S#!gw 透镜材料为N-BK7。 C6UMc}
9h 其中心厚度与位相平板厚度相等。 '0')6zW5s }u_EXP8M w2N3+Tkg 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ESxC{
" 4Sstg57x~ 8;g.3Qv 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 I49l2> 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 9LO.8Jy
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