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测量系统(MSY.0001 v1.1) QPa&kl RT2a:3f 应用示例简述 7,"1%^tU eVWnD,' 1. 系统说明 D9&FCCiUE .es= w= 光源 [! :.9 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) FCmS3KIa, 元件 0?j+d8* — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 UIv
2wA2 探测器 ',*
6vbII — 干涉条纹 {4{ACp 建模/设计 \*w*Q(&3 — 光线追迹:初始系统概览 |3g:q — 几何场追迹加(GFT+): 7QRtNYo#\ 计算干涉条纹。 Hw/1~O$T 分析对齐误差的影响。 Fx0<!_tY- /T*]RO4%>] 2. 系统说明 j:,*Liz m5LP~Gb
参考光路 _hLM\L  ni]gS0/ 3. 建模/设计结果 B: uW(E
6q8qq/h) fD|ox 4. 总结 +kl@`&ga [w~1e)D 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Nr7MSFiL bLoYg^T/ 1. 仿真 rC<m6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 rq6(^I 2. 计算 .x1EdfHed/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 v *~ yN* 3. 研究 {N;XjV1x 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ? P`]^# ZWVcCa3 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 bd<zn*HZ* -]PW\}w1 应用示例详细内容 f.'o4HSj 系统参数 2Sb~tTGz79 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Q_1EAxt }` 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 =J?<M?ugf T.W/S0#j3 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 L1"X`Pz[} D9c8#k9Y. 2. 说明:光源 WohK,<Or e[n T'e z/rN+ , 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 m.EWYO0XQ 因此,相干长度大于1m XUUS N 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Q.6pmaXrb 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 f+$/gz oChcEx%
hlkf|H it>FG9hVo 3. 说明:光源 Jp5~iC2d {q8V ~Cj+6CrT 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 qdj,Qz9ly 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
6z=:x+m 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 I%*o7" 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 l=
!KZaH 4. 说明:光学元件 %wvSD&oz 3r^i>r8B R^_/iy 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 /k}vm3 位相延迟平板材料为N-BK7。 Z^`>;n2 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Yw+_( 2
9= 透镜材料为N-BK7。 0-4WLMx 其中心厚度与位相平板厚度相等。 2lHJ&fck< d:=5y) T92k"fBY 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 aCFO] 3=5+NJ'8 't^OIil 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 P7"g/j" " 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 > -Jd@7-
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