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测量系统(MSY.0001 v1.1) H@ty'z? (^sb('" 应用示例简述 *UJB*r +l!.<:sp 1. 系统说明 kK
5~hpv .i*ja* 光源 ";jAH GbO — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) <Hz11
}<( 元件 B6\/xKmv?8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 wdV)M? 探测器 kkj@!1q(wO — 干涉条纹 R$MR| 建模/设计 {!{T,_ J — 光线追迹:初始系统概览 QfM^J5j.M? — 几何场追迹加(GFT+): 6& hiW]Adm 计算干涉条纹。 8{{^pW?x
分析对齐误差的影响。 */TO$ ^s b}u#MU 2. 系统说明 rXip"uz(K> m9jjKu]| 参考光路 t=p"nIE  `ZP[-: ` 3. 建模/设计结果 ]^{5` KVViTpZ 4j i#Q 4. 总结 (4`Tf*5hHa R iV]SgV9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 73tjDO7d @cm[]]f'l 1. 仿真 !VrBoU4<d 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Qt^6w}& 2. 计算 9jl\H6JY| 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 o$*DFvk 3. 研究 p!?7; 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 a"1LF` 0&r}'f? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 `fVzY"Qv k
TLVfu4 应用示例详细内容 *0'{n*> 系统参数 @OHNz!Lj:d 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B8upv~U6 y6s/S. 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "[Tr"nI : B1
"=ly 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 S%7bM~J@ v yP_qG 2. 说明:光源 4L,&a+) >Wpd q( o +ZBj_Vw*| 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 '64/2x 因此,相干长度大于1m /T6Te<68^ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 xelh!AtE 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 nXxnyom, jar?"o
_tO2PIL@Z o9v9
bL+X 3. 说明:光源 L;KLmxy# :+ "JPF4X ~<osL 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 `WQpGBS_z_ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 BMhuM~?( 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 a<V
Mh79* 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 >v%UV:7ap 4. 说明:光学元件 EVbDI yFn o%Qn%gaX kaCn@$ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 RZj06|r8 位相延迟平板材料为N-BK7。 b|` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Ax!fvcsN 透镜材料为N-BK7。 .+^o {b 其中心厚度与位相平板厚度相等。 VAa;XVmB RWn#"~ jqoU;u` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 HsK52< "n<u(m8E |'#uV)b0@ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 =E8Kacu% 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 e}L(tXZ
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