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测量系统(MSY.0001 v1.1) E7jv 0,VbB7 z 应用示例简述 f:BW{Cij;y lual'~ 1. 系统说明 \GPWC}V\s L;v#9^Fq 光源 \s)j0F)
— 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) U:IQWl C 元件 +i
K.+B — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 HF0J>Clq 探测器 UHxXa*HyI — 干涉条纹 2p'qp/ 建模/设计 /h — 光线追迹:初始系统概览 jI y'mGaG — 几何场追迹加(GFT+): fw-LZ][ 计算干涉条纹。 t/y0gr tm6 分析对齐误差的影响。 XLOk + Fn b
~F85U2 2. 系统说明 -o=qYkyLK q`qbaX\J3 参考光路 &}*[-z  .Z9Bbab: 3. 建模/设计结果 ON!1lS 'Z;R!@Dm zR]l2zL3 4. 总结 (Kx3:gs jagsV'o2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 4S+P]U*jW
1vQ*Br 1. 仿真 ]Wfnpqc^ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ;[%AeN5W 2. 计算 cp]\<p('A 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 V<(cW'zA/ 3. 研究 Z(CzU{7c 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?L7z\b"_~ Vbz$dpT 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 KZ&8aulP ^F_c' 应用示例详细内容 %m{h1UQQ+ 系统参数 gX]?`u 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 [_CIN 3M/kfy 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 4R}2H>VV% (LQ*U3J]_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 UDGVq S!,E 4fp}`U 2. 说明:光源 0(HUy`]> Sh=z j#.Aiy:, 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 3-z57f,}6~ 因此,相干长度大于1m !$Nh:(>: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Wc#4%kT 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 1;S@XC> O*T(aM3r
jIg]?4bW[ >'7Icx 3. 说明:光源 lg~Gkd6 `BF +)fs arET2(h 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 :[,-wZiT~6 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 8FU8E2zo 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 `Z0FQ( r_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 (jtrQob 4. 说明:光学元件 b-\ 1D;] l*":WzRGvF |!,;IoZ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ?7*.S Lt 位相延迟平板材料为N-BK7。 /*i[MB 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 K>N\U@@8i 透镜材料为N-BK7。 4*P#3 B'@V 其中心厚度与位相平板厚度相等。 J>TNyVaoQ +9<"Y6 +d>?aqI\A 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 e?,n> BF
b<"!Y `1{Y9JdQ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ~l+2Z4nV 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 _ VKBzOH
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