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测量系统(MSY.0001 v1.1) Zt3)]sB =k oSUVO0 应用示例简述
J;prC ?PyG/W 1. 系统说明 ]7rj/l$u hnznp1[#@ 光源 +/ &_v^sC; — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) .YZgOJi 元件 0pSmj2/,. — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 9Fr3pRIJ 探测器 1u|Rl:Q — 干涉条纹 T =2=k&| 建模/设计 p^pOuy8 — 光线追迹:初始系统概览 HyR!O> — 几何场追迹加(GFT+): Hp(D);0+) 计算干涉条纹。 }`NU@O# 分析对齐误差的影响。 L=8+_0 O%ug@& S{ 2. 系统说明 k}#;Uy=5 "{D|@Bc 参考光路 2m~V{mUT!  h/,${,}J 3. 建模/设计结果 !L95^g ]K*8O< W'on$mB5< 4. 总结 ,p9i% i A%2:E^k(s 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ZlojbL@|4 -$,%f? 1. 仿真 /QEiMrz@6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 C-?!S 2. 计算
PTS]7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /NFz4h=> 3. 研究 aceZ3U>W 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ILic.@st x{&w?ng 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 >~\89E02 F]I=+T 应用示例详细内容 o5n^!gi4 系统参数 >dM8aJzC 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Z,X'-7YkU W<<9y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 SZ_V^UX_ b,IocD6v;P 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ~j'l.gQb h},oF!, 2. 说明:光源 8/"fWm/ u(!&:A9JFd A$WZF/x 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 BQ jK8c< 因此,相干长度大于1m m5D"A D 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 d
HJhFw 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :5yV.7
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Oi} T2I 7_# 1Ec|; 3. 说明:光源 BtY%r7^o tW;:- **>/}.%?K 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 #pHs@uvO 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 D.%B$Y;G 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 vEG'HOP 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 vJ`.iRU| 4. 说明:光学元件 dXn%lJ jn.C|9/mj 7}_! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 #Z~C`n
u 位相延迟平板材料为N-BK7。 _u}4j 9T 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 *XWq?hi 透镜材料为N-BK7。 wLV~F[:
其中心厚度与位相平板厚度相等。 7'NS9| 4eH.9t 0W^dhYO 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 O3o: qly! 8I,QD`
xu F%rHU5CkV 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 #;#3%? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 +([!A6:
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