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测量系统(MSY.0001 v1.1) Vtri"G8 aB 8^T$6A[b 应用示例简述 p(%x&*)f cKAl 0_[f" 1. 系统说明 N%yFL $i
Tgv?.Q 光源 *^ BE1- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) R)z|("%ec 元件 RJM(+5xQ| — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 IK);BN2<L 探测器 +0DIN4Y(4 — 干涉条纹 V>Cf
8>m 建模/设计 fCR;Fk2B — 光线追迹:初始系统概览 lvlH5Fc — 几何场追迹加(GFT+): rO GJ%|%( 计算干涉条纹。 B^{DCHu/ 分析对齐误差的影响。 zO,sq%vQn' 'I2)-=ZL6 2. 系统说明 W%o){+, * ?K=;$ 参考光路 E7D
DMU  Yu=^`I 3. 建模/设计结果 <4Fd~ U
Lq%,ca yY+2;`CH 4. 总结 5V0=-K *HRRv.iQ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ZI1RB fR pP#?| 1. 仿真 q%"nk 以光线追迹对干涉仪的仿真。 19EU[eb 2. 计算 fITml6mbE 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 4}CRM# W2 3. 研究 2a^(8A`7W 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 v7-'H/d. qhtc?A/0} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 I'gnw~ =P!Vi6[gF~ 应用示例详细内容 r{btBv 系统参数 P+/L,u 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8|l
Yf%n>j ;#
{x_>M 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \S9z.!7v$ @ZVc!5J_, 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 8WH> ;(sb^O 2. 说明:光源 fkYQ3d,` M;E&@[5 #wo_ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 H\S,^)drJ? 因此,相干长度大于1m M_e!s}F 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
D;5RcZ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 5u&jNU5m_ 4 (yHD
xP*R H-< @f$P*_G 3. 说明:光源 Ii9vA ^53 <Z5prunov [7B&<zY/? 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ^'h~#7s 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |`|b&Rhu 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 s)C.e# xl 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 xj}N;FWo 4. 说明:光学元件 Q.N^1?(>k YONg1.^!( hOq1"kL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 1?*vqdt 位相延迟平板材料为N-BK7。 * T-XslI 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 &O'yhAP] j 透镜材料为N-BK7。 w "D"9G 其中心厚度与位相平板厚度相等。 a5)+5 l0
1Lg6+S A_g'9 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 bXJE 2N
\/5 8# \&cVcAg 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 S`-z$ph} 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 8-m"] o3
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