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测量系统(MSY.0001 v1.1) Y
uZ 7m8:odeF 应用示例简述 jj `0w@ ,t1s#*j\!q 1. 系统说明 _mdJIa0D6k )`5-rm~* 光源 m|cRj{xZF — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
2 (ux 元件
v/KTEM — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 /%?bO- 探测器 ZMyd+C_P2 — 干涉条纹 t?uw^nV 3E 建模/设计 ~U?vB((j! — 光线追迹:初始系统概览 Tig6<t+Q — 几何场追迹加(GFT+): =|- xj h 计算干涉条纹。 /$vX1T 分析对齐误差的影响。 )Knsy g5Hsz,x 2. 系统说明 OZObx d9
8pv% 参考光路 &:+_{nc,  T?__ 3. 建模/设计结果 jS/$o ? A]V<K[9:b AQ.q?'vE) 4. 总结 ~}~ yR*K% d7c m?+ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1^;&?E nDchLVw 1. 仿真 iN`L* h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 S
1Ji\ 2. 计算 Q([g1?F9* 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ?~Vev D 3. 研究 VKrKA71Z~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 VxAR,a1+n {24Pv#ZG#^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 3^&pb b;|^62 应用示例详细内容 ]Otl(\v(h 系统参数 U`'w{~"D% 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 }S&SL) 9=~jKl%\vJ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]zK} X! F{<rIR 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ~RE`@/wQ] R?\8SdJ 2. 说明:光源 Vk~}^;`Y `wG&Cy]v 8|Y^z_C 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ma*9O |v^ 因此,相干长度大于1m EA>$t\z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 veE8
N~0N. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 tv|=`~Y `^N;%[c`z
I3aEg ||,;07 3. 说明:光源 N4mQN90t /ci.IT$Q^ Ap> n4~ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 AAl`bhx'n 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 gf@'d.W} 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 sQH.}W$C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 i|d41u;@ 4. 说明:光学元件 "|&*MjwN6 Pr/&p0@aV *'t`;m~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 $fvUb_n 位相延迟平板材料为N-BK7。 >zhbipA 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 wYawG$@_ 透镜材料为N-BK7。 2Uk8{d 其中心厚度与位相平板厚度相等。 *AN#D?X_ {DO9{96w4 9_/1TjrDN 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 n<$I, IRE JT-Zo OZ p_(hM&>C 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 =gqZ^v&5U 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 JuI,wA
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