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测量系统(MSY.0001 v1.1) XOS[No~ w`zTR0` 应用示例简述 9q[oa5INd z' >_Mc6 1. 系统说明 kPLxEwl /I0%Z+`= 光源 Ek]'km! — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) p.?rey<% 元件 3/n5#&c\4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 N<injx 探测器 3'u-' — 干涉条纹 0KOgw*>_ 建模/设计 `+Q%oj#FF — 光线追迹:初始系统概览 N//KPh — 几何场追迹加(GFT+): t{vJM!kdlQ 计算干涉条纹。 #4 pB@_ 分析对齐误差的影响。 V6reqEh .OY`Z)SS% 2. 系统说明 AkQ~k0i}b hZ 参考光路 V33T+P~j  j#q-^h3H 3. 建模/设计结果 @2 fg~2M1 f=K]XTw~ ut7zVp<" 4. 总结 ^3L0w}# v,>Dbxn 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 I4i>+:_J j+
0I-p 1. 仿真 A{D];pE` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 &FN.:_E 2. 计算 j HJ`,# 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 P
m e^l%M 3. 研究 rCdu0 gYT 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 y/ef>ZZ @QP z#- 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 7! INkH] ]|PiF+ 应用示例详细内容 l)l^[2 系统参数 ExL0?FemWV 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Cd}<a?m, |H+UOEiv,p 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (V67`Z ) sN01rtB(UT 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 *mvlb
(' & [%1CRk 2. 说明:光源 D7Q$R:6| g&Vx:fOC Q:d]imw!O 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Od,qbU4O 因此,相干长度大于1m pYmk1!]/ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 :(*V?WI 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 )cMh0SGcM1
&powy7rR
@>Km_Ax 68C%B9.b' 3. 说明:光源 30T)!y _H7x9
y= PmEsN&YP] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Zw
S F^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 O) n~](sC\ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 j/c&xv7= 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 eF-."1 4. 说明:光学元件 uo%)1NS! !Pfr,a q Y?j#fzi 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Pw`8Wj 位相延迟平板材料为N-BK7。 w;:*P 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 IDriGZZ<)6 透镜材料为N-BK7。 E,x+JeKV 其中心厚度与位相平板厚度相等。 YWO)HsjP 9W1YW9rL ag;pN*z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 jZkcBIK2 b&N'C9/8 >rmqBDKaQ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 >7T'OC 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 w4{<n/"
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