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测量系统(MSY.0001 v1.1) `NEi/jB *p#@W-:9E 应用示例简述 `YE=B{q ;FF+uK 1. 系统说明 $ Y^0l [C<K~ 光源 ,R3TFVV!? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 3
v.8 元件 / #rH18 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ED" fi$ 探测器 >D}|'.& — 干涉条纹 ]*lZFP~ 建模/设计 6akI5\b — 光线追迹:初始系统概览 dC-~=}HR^ — 几何场追迹加(GFT+): [{[m)Z^ 计算干涉条纹。 8~s0%%{,M 分析对齐误差的影响。 y@1QVt04 1EC;t1.7 2. 系统说明 gH\>",[ o^*: 参考光路 ']+!i a  CV\y60n 3. 建模/设计结果 O"\_%=X9 |B*B>P# \)wch P_0 4. 总结 j u"?b2f oSkQ/5hg. 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 bM:4i1Z tgi%#8ZDpz 1. 仿真 7Hgn/b[?b 以光线追迹对干涉仪的仿真。 C<I?4WM 2. 计算 R9#ar{ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ?b{y#du2a 3. 研究 ?E|=eO"I1 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U1E@pDH F --b,, 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5p S$rf M<*Tp^Y' 应用示例详细内容 ]sL.+.P 系统参数 Q#Zazvk 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 {#,5C H') JehanF[ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 HQ"
trV /HhA2 (g% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 yUpN`; FA)ot)] 2. 说明:光源 X{,mj"(w "RK"Pn+ -Fn/= 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 V4ePYud;^ 因此,相干长度大于1m etiUt~W 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 e7{6<[k3+$ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 vo\'ycPv t,8?Tf+i
RH _b (@xC-* 3. 说明:光源 oST)E5X;7 )V[j~uOU)] RMT9tXe*5 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 [ij) k@. 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ,\P|%yv 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ,&=7ir14>R 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 xt pY* 4. 说明:光学元件 'l~7u({u JmK
)Y# A *P/A&"i[E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 % R25, V 位相延迟平板材料为N-BK7。 y'odn ; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 tugIOA 透镜材料为N-BK7。 { >[ ]iX 其中心厚度与位相平板厚度相等。 JWg.0d$hM
#iv4L %#v$d 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &ZC{ _t 85Yi2+8f4 BF gxa#De 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 U!o 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 $poIWJM c
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