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测量系统(MSY.0001 v1.1) ID-Y* \lJCBb+k 应用示例简述 OM]d}}=Y ]5V=kNui 1. 系统说明 oV)#s! x.+ r.cAXH 光源 g69^D
— 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) U.fLuKt 元件 *?2aIz" — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 y h
探测器 m~[4eH, — 干涉条纹 e;M#MkP7 建模/设计 UP18?uM — 光线追迹:初始系统概览 }=dUASL — 几何场追迹加(GFT+): +[JvpDv% 计算干涉条纹。 k$kOp *X 分析对齐误差的影响。 \F$V m'f_ &tNnW 2. 系统说明 lo1<t<w` H{}Nr
4 参考光路 X 5.%e&`
 !CBvFl/v 3. 建模/设计结果 o =oXL2} fEdp^oVg Lp|7s8? 4. 总结 >TB"Ez09 JE a~avyJ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 #-]!;sY> F9Hxqa#1T 1. 仿真 FO"sE` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 6n|R<DO%\ 2. 计算 SBf8Ipe 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 9+"R}Nxv^ 3. 研究 9J*M~gKbz 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `X["Bgk$!T cYC@@? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 m-<"`:+ ;?{N=x8 应用示例详细内容 ?M}W;Z 系统参数 '`)r<lYN, 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 agbG) t0 q =\3jd
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ^$N}[1 (bX77 Xr 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 pie,^- _.g [Yq*DkW 2. 说明:光源 e5}KzFZmZ >
[%ITqA$ Z[,A>tJ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 w1Xe9'$Qb 因此,相干长度大于1m j(QK 0 "z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 6>X9|w 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 B24,;2J R4#56#d<
3pk=c-x ~S85+OJ;M 3. 说明:光源 <o aVI? hhM?I$t: yUyx&Y/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 RBA{! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <`f~Z|/-_( 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 )B!64'|M 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 j><8V Qx 4. 说明:光学元件 4Odf6v,*@ Z ? F*Z0y >Oz~j>jL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 =o+js;3 位相延迟平板材料为N-BK7。 #~I.F4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 s"xiGp9 透镜材料为N-BK7。 evLZ<| 其中心厚度与位相平板厚度相等。 tLD(%s_ 0ECQ>Ux: b~u53 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
ds#om2) }#Q?\ }jI=* 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 79bt%P 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 {SOy-
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