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测量系统(MSY.0001 v1.1) oBzl=N3< =BJe)!b 应用示例简述 W(, j2pU .tngN<f 1. 系统说明 h>N}M}8 );5o13h2 光源 z/@_?01T= — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 79\wjR!T 元件 ]v+<K63@T — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 h9vcN#22D 探测器 i5,iJe0cA — 干涉条纹 ex3Qbr 建模/设计 J2UQq 7-y — 光线追迹:初始系统概览 zM'eqo>!c> — 几何场追迹加(GFT+): } M#e\neii 计算干涉条纹。 ZN[<=w&(cB 分析对齐误差的影响。 5KCB^`|b>t Q;h.}N8W 2. 系统说明 bO '\QtW9 V Z(/g"9 参考光路 Knq9"k  |VfEp 3. 建模/设计结果 hW^,' m *@U{[J ^ Ltho` 4. 总结 8{ zX= 6{Wo5O{!\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 -YRIe<}E - I>c,Bo7 1. 仿真 u-_r2U 以光线追迹对干涉仪的仿真。 s#2t\}/ 2. 计算 fgLjF,Y 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 )>volP 3. 研究 ,:_c-d# 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 OM*_%UF #c"eff 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 mH*ldf;J;= FpoHm%+ 应用示例详细内容 96=<phcwN[ 系统参数 *$f=`sj 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 z>x@o}#u\| . [|UNg 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 .l}Ap7@ C2
N+X ( 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 {#,<)wFV\ PEMkx"h + 2. 说明:光源 ! 'zd(kv< c-Lz luWi ,75) 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 hor7~u+ 因此,相干长度大于1m fFQ|dE;cF 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 qi-XNB`b 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 m[DQ;`Y )SV.|
}gp@0ri%5 c`6c)11K 3. 说明:光源 [Nyt0l "z ^-o{3Q(w /l$x} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Na\ZV|;*tu 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 b@CB +8$ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 XLh)$rZ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Y&|Z*s+
+} 4. 说明:光学元件 X/_I2X 3%WB?kc LoF/45|-< 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 <-lM9}vd 位相延迟平板材料为N-BK7。 )^(*B6;z5 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Sp`l>BL 透镜材料为N-BK7。 {X{R] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 s t'T._ hmy%X`%j ;vx5 =^7P 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 TnW`#.f `oRyw6Sko kVnRSg}R 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 wj[yo
S 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 n@p]v*
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