1. 描述 [PIh^DhK ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 }R9>1u}6
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zhC#< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 APJVD-
(y^svXU}a 2. 系统 1 u~Xk? F(;=^w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(rieg F 3. 透镜系统组件编辑 RM3"8J
r`\6+ Ntb.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #?h-<KQQ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W9rmAQjn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
N Zu2D
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q/h, jM
u|+Dqe` \S_o{0ZY} 4. 光线追迹系统分析器-选项 4[lym,8C ;%Zu[G`C iw{rns
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [*K.9}+G_
■ 可以选择选取光线的方法: 6n?0MMtR
— 在x-y-网格 ["H2H rI2
— 六边形 xFScj0Y
— 自由选取 Aa`R40 yl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wBlo2WY .[:y`PCF 5. 系统的3维视图 0K(&EpVE K2qKkV@
6hO]eS 6. 其他系统参数 .)c+gyaQ ■ 系统由单色平面波照明 P_.zp5> ■ 照明波长266.08nm B!x7oD9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^2`*1el — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7Tc^}Q — 一个虚拟屏位于焦平面 <u}[_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 n[gc`#7|{e ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -PCFOm" PVi0| a_\t(U @M*oq2U; $ vBFs]h 7. 光线追迹系统分析器的结果 A~@x8 $}JWJ\-] 光线经过整个光学系统的三维视图
aeE~[m 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
WS.lDMYE7 7n[0)XR> ,: Ij@u>) T2}X~A ^4C
djMF-E Oh3A?!y# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !PfdY&.) wW,
n~W 48)D%867.;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ' 7H"ezt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .naSK`J,`
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6f^IAa|
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
+yxL}=4s
X`A+/{ H 9. 焦平面上的结果 hz+c]K
I&f!>y?,Z
!l$k6,WJi
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bR<XQHl
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L5wR4Ue)
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm p^s:s-"f\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 m[nrr6 G"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 OCu/w1bc y9~:[ jB 10. 总结 K(AZD&D ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;NF:98 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bb}Fu/S ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K$wxiGg8P ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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