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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 d>Tv?'o`q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Cj#wY  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]n4PM=hz  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 x6K_!L*Fx]  
    F(1E@xs  
    2. 系统 p@78Xmu?q  
    3fLdceT  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    .+>fD0fW7Y  
    3. 透镜系统组件编辑 rZ,qHM  
    L/fXP@u  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 T ?Om]:j  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  2l,>x  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t5 >ma:^j  
    包括序列光学表面和光学介质。 9z4F/tUq  
    lfBCzxifC  
    [`tOhL  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 G>pedE\  
    ?n<F?~  
    W.4R+kF<  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 C1A  X  
    可以选择选取光线的方法: ^%*qe5J  
    — 在x-y-网格 A23K!a2u&  
    — 六边形 Hva!6vwO%O  
    — 自由选取 Zs^zD;zU  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    UK OhsE  
    * 0K]/tn<  
    5. 系统的3维视图 1]>JMh%X9t  
    h<3bv&oI .  
    trwo(p  
    6. 其他系统参数 VXCB.C"  
    系统由单色平面波照明 V@+sNM  
    照明波长266.08nm TS#1+f]9J<  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +;!^aNJ,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /7B3z}rd  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1f3g5y'z5  
    光束尺寸探测器置于焦平面 .\H-?6R^  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8r}tf3xMCM  
    &pl)E$Y  
    ]l }v  
    bZSt<cH3  
    >l}v _k*~B  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {B=64,D^7R  
    oTk\r$4eb  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qKXg'1#E)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >mQD/U  
    jB -A d8  
    q: F6MW  
    pV<K=;:x>  
    *#p}FB2H#  
    a@|`!<5  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 + d>2'  
    6k')12~'  
    "@ZwDg`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 LB7$&.m'B  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;U0w<>4L  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `$4wm0G|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 u<"-S63+  
    XR=ebl  
    9. 焦平面上的结果 U&^(%W#  
    E0i!|H  
    {'P?wv  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7F]oK0l_  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Mj0jpP<uf  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm r"L:Mu  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 cgcU2N6y;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    sNG 7fi.|  
    {o'(_.{  
    10. 总结 ).Z U0fV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ,~=+]9t  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 SP  =8v0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }uD*\.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Hm 0;[i  
     
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