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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 B <CK~ybY  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~<)CI0=  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W{{{c2 .  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FTA[O.tiG  
     s--\<v  
    2. 系统 Gp PlO]  
    `4&a"`&$  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4;_<CB  
    3. 透镜系统组件编辑 2".^Ma^D!  
    6pKb!JJ  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 [xrM){ItW  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 QIcg4\d%s  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 _kJ?mTk  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 M<s Y_<z  
     }'FNGn.~#  
    m V U(b,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 S]P80|!|  
    4ZRE3^y\"  
    :Hn*|+'  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5z$>M3  
    ■ 可以选择选取光线的方法： mp\`9j+{  
    — 在x-y-网格 d- wbZ)BR  
    — 六边形 N@z+h  
    — 自由选取 l5 FM>q  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     Sv E|"  
    z@_ 9.n]  
    5. 系统的3维视图 #]BpTpRAe<  
    w^.^XK4v.  
    TDMyZ!d  
    6. 其他系统参数 Pdg%:aY  
    ■ 系统由单色平面波照明 !JkH$~  
    ■ 照明波长266.08nm H"_]Hq  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： B;ro(R  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 TC2gl[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^J([w~&  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 g.cD3N  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 uMB|x,X I  
    c04"d"$ x  
    @\!9dK-W  
    ?^# h|aUp.  
    !A6l\_  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 e^Ds|}{V  
    {O"?_6',  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    A(xCW+h@)  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    `$X|VAS2  
    {U`B|  
    7= o2$  
    ddR_+B*H  
    WdA6Y  
    Z1(-FT6O  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 wc-ll&0Z  
    /!r#=enG7  
    lu GEBPi  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qe~2'Hw#9  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 W[dMf!(  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Dm3/i |Y  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 is3nLm(  
     e<wRA["  
    9. 焦平面上的结果 %7_c|G1  
    NjTVinz  
    i>Cxi ZT  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S+i .@N.^  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 )P{I<TBI;  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm UL/|!(s  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 m-SP#?3  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     /f_c?|  
    T4W"!4[  
    10. 总结 !eoN  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^UF]%qqOn  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 M!=WBw8Y]a  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,|: a7b]  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 brQkVt_)EE  
     
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