1. 描述 ioWo ] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T<6GcI>A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ws[/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y&5.9 s@'
s&VOwU 2. 系统 +?Ez}
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/C[$E 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
d8o ewkiR 3. 透镜系统组件编辑 GyK(Vb"h6
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N2Ssf$
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 WqQU@sA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =k_UjwgN^
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n}OU Y
'yr{^Pek yLqF ,pvO 4. 光线追迹系统分析器-选项 n"Z |e tZ4 vxVOcO9< ]2$x|#Gg}
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RG}}Oh="v
■ 可以选择选取光线的方法: !iJipe5
— 在x-y-网格 l!@ 1u^v2
— 六边形 f3#X0.':
— 自由选取 M1{(OY(G
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FM\[]. &d,Wy"WPi 5. 系统的3维视图 vQHpf>o hB>^'6h+
6$RpV'xz 6. 其他系统参数 x7$ax79ly ■ 系统由单色平面波照明 "dtlME{Bx ■ 照明波长266.08nm IaasHo\ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n&d/?aJ7a\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A ~&+F>Z — 一个虚拟屏位于焦平面 \fi}Q\|C — 光束尺寸探测器置于焦平面 PeNF+5s/K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 eaAPKx i/$SN-5}1 zy>}L # >nM%p4E bEI!Ja 7. 光线追迹系统分析器的结果 J?D\$u: 1exfCm 光线经过整个光学系统的三维视图
ti9}*8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
0roCP=; ;k}H(QI $E.XOpl&I k
,fTW^ ? m
=k%,J_ *rf$>8~$n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 UvBnf+, d+5:Qrr o,
LK[Q
■ VirtualLab可用于计算点列图。 [hHG.
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O?E6xc<8
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VQ<5%+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7cw]v"iv
ps+:</;Z 9. 焦平面上的结果 r/Dd&x
A.U'Q|
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >EIrw$V$
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ) 4ncutb
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm wd+O5Lr.R
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <25ccE9^c
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 w-FHhf / O)6iJ 10. 总结 voh^|(:(TH ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SRWg[H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 uV77E*+7\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O`(U/? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
=4> @8=JA