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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ,UZE;lXJ'Q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Iw |[*Nu-  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 6ch[B`[h,  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 KdpJ[[Ug/  
    X/7_mU>aKT  
    2. 系统 q8bS@\i  
    YY<?w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?N*@o.  
    3. 透镜系统组件编辑 g):jZU]b  
    QGj5\{E_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }UdqX1jz  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8Xzx ;-&4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I3$vw7}5Y  
    包括序列光学表面和光学介质。 o5 XUDDi  
    >qvD3 9w  
    gj;G:;1m  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ~ A|*]0,  
    5o ^=~  
    ~MQf($]  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G ]By_  
    可以选择选取光线的方法: {$:13AnK   
    — 在x-y-网格 esFL<T  
    — 六边形 &.4_4"l(  
    — 自由选取 Zs|sPatV<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    eSBf;lr=  
    , tj7'c$0  
    5. 系统的3维视图 6lAo`S\)eX  
    l>?vjy65  
    ]LOtwY  
    6. 其他系统参数 s9bP6N!,  
    系统由单色平面波照明 HKw:fGt/o^  
    照明波长266.08nm k $&A  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8|Y^Jn\p5u  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *bSG48W("  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 K3D $ hb  
    光束尺寸探测器置于焦平面 S$On$]~\"  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IfCqezd  
    o9\m? ~g!E  
    J vsB^F.4  
    v[3sg2.  
    bQjHQ"G  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 (UXB#I~  
    H,~In2Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0^Cx`xdX:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #7ZBbq3=  
    Tou~U[V+  
    AR3=G>hO,  
    |c/rHEZ  
    ?EAqv]  
    i=QhX CM  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果  y-#tU>P  
    IpmREl $j  
    o2jB~}VMl  
    VirtualLab可用于计算点列图。 BZshTP[`  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V%=t2+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 4]KceE  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %TgM-F,8  
    1*jm9])#  
    9. 焦平面上的结果 &W!@3O{~.  
    Sn&%epi  
    nHjwT5Q+Q  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  \RO Sd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V= PoQ9d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm xII!2.  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 tH(#nx8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    '~J6 mojE  
    Su#1yw>  
    10. 总结 ek!N eu>  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 nQ~L.V  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U$ bM:d  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cn:VEF:l  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 E}2[P b)e  
     
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