1. 描述 pdFO!A_t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。
%nUN ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *@^@7`W ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (#6Fg|f4Y
6DU(KYN 2. 系统 yMyvX_UNI
o,?G( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9iJ$M! 3. 透镜系统组件编辑 wjH1Ombt
}8YY8|]LI
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "doiD=b
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CvZ\Z472.j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a {x3FQ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6~jAh@-
OXpN8Dh5 IIT[^_g 4. 光线追迹系统分析器-选项 m rsmul{ I0H]s/*C%9 \ `z%5/@f;
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 31 <0Nw;l
■ 可以选择选取光线的方法: J,?F+Qji&=
— 在x-y-网格 WK?5`|1l:x
— 六边形 #^]vhnbN
— 自由选取 - >?tB1}^
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nhMxw@ Z\ =Yl ea,S 5. 系统的3维视图 Gt?l 2s 4X/UyBk
Nr]Fh 6. 其他系统参数 8!.V`|@lt ■ 系统由单色平面波照明 <[
2?~s ■ 照明波长266.08nm 2z#S|$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _x""-X~OL — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &L+.5i — 一个虚拟屏位于焦平面 W 2[]m>; — 光束尺寸探测器置于焦平面 }.'rhR+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (y6}xOa( `C|];mf(# /W*Z. ORF:~5[YS` *U%3[6hm 7. 光线追迹系统分析器的结果 VJTO:}Q 7$g$p&,VX 光线经过整个光学系统的三维视图
|kvH`&s 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
;ltk}hJ] Djc-f 6@8t>"} Nb9GrYIS 1,)
yEeHjU vC@^B)5gb 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 eBxm l"}_+5 o<3$|`S&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 6YNL4HE?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 a,S;JF)v
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,>b>I#{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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7M7Ir\d0lp 9. 焦平面上的结果 AnX<\7bc}
P[G>uA>Z1
hchG\i
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B1!xr-kC
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;9h;oB@
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9-{=m+|b
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <nqv)g"u0
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 KfBT'6t (oX!D(OI 10. 总结 /QyKXg6)l ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 egG<"e*W}N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 T#3@r0M ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4RtAwB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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