1. 描述 #3d(M ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S21,VpW\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \uMLY<]P ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VLN_w$iEq
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94!S4z 2. 系统 I++. ee N17RLz *\ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Z EO WO 3. 透镜系统组件编辑 ^sg,\zD 'X
}:#P)8/v>%
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <rS F*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /H+a0`/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PnG-h~Y3N
■ 包括序列光学表面和光学介质。 61
~upQaR
n{SJ_S#a.a 76` .Y 4. 光线追迹系统分析器-选项 dAe')N:KPI !5?<% * z&^&K}
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6\S~P/PkE
■ 可以选择选取光线的方法: &Y eA:i?
— 在x-y-网格 W+1^4::+
— 六边形 *4_Bd=5(U
— 自由选取 /|#fejPh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 D7qOZlX16 :p6M= 5. 系统的3维视图 G 9vpt M IdxzE_@
pFz`}?c0 6. 其他系统参数 BDZ?Ez\Sg ■ 系统由单色平面波照明 9JKEw ■ 照明波长266.08nm ymcLFRu, ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: EDs\,f} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :T(|&F[( — 一个虚拟屏位于焦平面 5QO9Q]I#_\ — 光束尺寸探测器置于焦平面 b\+`e b8_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ##4HYQ%E !FF U=f 7i1q wRv S`m]f5u| :S(ZzY
Q 7. 光线追迹系统分析器的结果 5.J.RE"M jOD?|tK& 光线经过整个光学系统的三维视图
2T[9f;jM' 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R,=fv SOvF[,+ 4|#WFLo@ QnX(V[ T37XBg H Yk Qd
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 s=/v';5J2! j^2j&Ta 2gVm9gAHUd
■ VirtualLab可用于计算点列图。 H~z`]5CN
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 VBcPu
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N_q|\S>t/
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
tcog'nAz
#@nezu2 9. 焦平面上的结果 K@w{"7}
\:F_xq
?p8_AL'RS
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "i W"NFO
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,UdVNA
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm WQO) =n
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 K8Y=S12Ti
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 x`)&J
B T:W4$P 10. 总结 x;<W&s}( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5bpEYW+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 BsYa3d=} ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
ls)%c ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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