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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 Bf3 QB]9  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :8A@4vMS)?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !-JvVdM;(  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g$JlpD&  
    A(n3<(O/{Z  
    2. 系统 Ns\};j?TU*  
    }>b@=5O  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Qs<L$"L1  
    3. 透镜系统组件编辑 TRE D_6  
    zNg[%{mz  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 -'^:+FU  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nPjK=o`KR  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qu;$I'Ul%  
    包括序列光学表面和光学介质。 [|\#cVWs  
    x+[ATZ([  
    >Udq{<]#r  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 PE?ICou  
    &<- S-e  
    5inCAPXz  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5+q dn|9%T  
    可以选择选取光线的方法: 'oUTY *  
    — 在x-y-网格 FRsp?i K)  
    — 六边形 !Yz CK*av1  
    — 自由选取 n8i: /ypB  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    equi26jhr  
    jPn.w,=)27  
    5. 系统的3维视图 x4v&%d=M  
    @h/-P'Lc=7  
    $h5QLN  
    6. 其他系统参数 G7r.Jm^q  
    系统由单色平面波照明 C)QKodI  
    照明波长266.08nm h\+8eeIl  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: lcVG<*gf-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;s+3 #Py  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 A f}o/g  
    光束尺寸探测器置于焦平面 .fS{j$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 PO ,zP9  
    {e0(M*u  
    59~mr:*sF  
    J'yCVb)V  
    F6"s&3D{  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 gu&W:FY  
    aq#F  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    e{^^u$C1.e  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
     pQ7<\8s*  
    SH O&:2  
    **.23<n^W  
    :m>Vp  
    /[n]t  
    7\gu; [n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 K>n@8<7  
    ^AERGB\36  
    G"".;}AV  
    VirtualLab可用于计算点列图。 lwIxn1n  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 [ u ^/3N  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Iz>\qC}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 s +E4AG1r  
    n(C M)(ozU  
    9. 焦平面上的结果 Rm~8n;7oOr  
    WC b 5  
    b;NVvc(  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 X1BqN+=@9  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Bj\Us$cZ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm "~Zdv}^xS  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 AoK;6je`K^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    !sYZ1;WAO  
    ac1(lD  
    10. 总结 [w)KNl  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L@f&71  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F*-'8~T  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 E )2/Vn2  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 {\|XuCF#  
     
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