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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 {cFei3'q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~%ZO8X:^  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OZD/t(4?6s  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J^T66}r[f,  
    kaLRI|hC  
    2. 系统 ]n_A~Y r  
    $Z4p$o dk  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Et (prmH  
    3. 透镜系统组件编辑 D3OV.G]`  
    qA42f83  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SF7Kb`>Y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }Z|a?J@CZm  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B5hGzplS  
    包括序列光学表面和光学介质。 !ibp/:x  
    %WR  
    l)Hu.1~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *MNY1+RJ  
    R!=XMV3$PH  
    TBzM~y  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G(- `FH  
    可以选择选取光线的方法: \[BnAgsF  
    — 在x-y-网格 %A Fy{l  
    — 六边形 a)e2WgVB/E  
    — 自由选取 sQkP@Y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    U"Y$7~  
    Tr8+E;;  
    5. 系统的3维视图 7?4>'  
    2WoB;=  
    8{RiaF8  
    6. 其他系统参数 KK?}`o  
    系统由单色平面波照明 n~h%K7 c  
    照明波长266.08nm -;v:. [o.  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o7 kGZ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .IqS}Rh  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q/Q*1  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G8SJ<\?  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `?)i/jko"  
    O;w';}At  
    9Ah4N2nL-b  
    1~+w7Ar =(  
    ?^hC|IR$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Bn.8wMB  
    <(v!Xj^yO  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B\Uj  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ~Oq(JM $M  
    ]k hY8it  
    ^^v!..V]J  
    \Tc$P#  
    w$pv  
    @c/~qP4  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6|zA,-=  
    _jtBU  
    /+rHy7(\  
    VirtualLab可用于计算点列图。 js{ RaR=  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Nz m 7E]  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *+ b[v7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 A >e%rx  
    ]8RcZn  
    9. 焦平面上的结果 ?vXy7y&4  
    %l>^q`p  
    qwN-VCj  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xHf l>C'  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'p<(6*,"  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm !Ed';yfz\(  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 >Zr`9$i  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    k?_Miqr  
    "2 Kh2[K  
    10. 总结 J<'4(}^|  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -G{}8GM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。  3N;X|pa  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sp JB6n(  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5@i/4%S  
     
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