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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 #3d(M  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S21,VpW\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \uMLY<]P  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VLN_w$iEq  
    {1 94!S4z  
    2. 系统 I++. ee  
    N17RLz *\  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Z EO WO  
    3. 透镜系统组件编辑 ^sg,\zD 'X  
    }:#P)8/v>%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <rSF*  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /H+a0`/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PnG-h~Y3N  
    包括序列光学表面和光学介质。 61 ~upQaR  
    n{SJ_S#a.a  
    76` .Y  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 dAe')N:KPI  
    !5?<% *  
    z&^&K}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6\S~P/PkE  
    可以选择选取光线的方法: &YeA:i?  
    — 在x-y-网格 W+1^4::+  
    — 六边形 *4_Bd=5(U  
    — 自由选取 /|#fejPh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    D7qOZlX16  
    :p6M=  
    5. 系统的3维视图 G9vpt M  
    IdxzE_@  
    pFz`}?c0  
    6. 其他系统参数 BDZ?Ez \Sg  
    系统由单色平面波照明 9 JK Ew  
    照明波长266.08nm ymcLFRu,  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: EDs\,f}  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :T(|&F[(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 5QO9Q]I#_\  
    光束尺寸探测器置于焦平面 b\+`e b8_  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ##4HYQ%E  
    !FFU=f  
    7i1q wRv  
    S`m]f5u|  
    :S(ZzY Q  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5.J.RE"M  
    jOD?|tK&  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    2T[9f;jM'  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    R,=fv   
    SOvF[,+  
    4|#WFLo@  
    QnX(V[  
    T37XBg H  
    YkQd  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 s=/v';5J2!  
    j^2j& Ta  
    2gVm9gAHUd  
    VirtualLab可用于计算点列图。 H~z`]5CN  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 VBcPu  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N_q|\S>t/  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 tcog'nAz  
    #@nezu2  
    9. 焦平面上的结果 K@w{"7}  
    \:F_xq  
    ?p8_AL'RS  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "i W"NFO  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ,U dVNA  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm WQO) =n  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 K8Y=S12Ti  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    x `)&J B  
    T:W4$P  
    10. 总结 x;<W&s}(  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5bpEYW+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 BsYa3d=}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ls)%c  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Aj]V`B:65  
     
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