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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 .H^P2tp  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6B''9V:s  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yIIETE  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `<J#l;y  
    ahtYSz_FM  
    2. 系统 o}=.  
    8rwYNb.P  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    wm=RD98  
    3. 透镜系统组件编辑 ns#~}2"d  
    qon{ g  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0[lsoYUq  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D;zWksq  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 s8_aL)@f  
    包括序列光学表面和光学介质。 !\0F.*   
    %X9b=%'+  
    9&%#nN4`8  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 5#0e={X  
    i<m$#6 <Z  
    nMG rG  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P>Q{He:  
    可以选择选取光线的方法: w,Z" W;|  
    — 在x-y-网格 gcg>Gjp  
    — 六边形 =4zNo3IvL+  
    — 自由选取 ALd]1a&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =3|pHc hJ4  
    @H\pipT_b  
    5. 系统的3维视图 a jQqj.  
    S<nP80C  
    K 3Yw8t2J  
    6. 其他系统参数 YOV :  
    系统由单色平面波照明 v**z$5x9  
    照明波长266.08nm Dz`k[mI  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: CE#\Roi x)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *bA+]&dj\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8/3u/  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8xF)_UV  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Xsd $*F@<  
    c^=R8y-N  
    oYz!O]j;a  
    6F`qi:a+  
    $Z;BQJVH  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 QCOLC2I  
    [ -ISR7D  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    p jKt:R}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    y"^yYO  
    G02ox5X  
    $!G`D=  
    V+lRi"m?|  
    vv+D*e&<  
    o+<29o  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ly9Q}dL  
    <EMkD1e  
    Y4#y34 We  
    VirtualLab可用于计算点列图。 z%V*K  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6Rcu a<;2P  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 vsKl#R B  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }^"0T-ua  
    3AURzU  
    9. 焦平面上的结果 &Y1`?1;nw  
    Kax#OYLpg  
    &hayR_F9  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 0G5'Y;8  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y%4 Gp  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm |olNA*4  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 q] ^,vei  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    k6@b|  
    Z>8eD|m%2  
    10. 总结 F>N+<Z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :NuR>~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6xHi\L  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IAI(Ix  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uPkb, :6~Z  
     
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