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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 B)(A#&nrb  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $OJ*Kul  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3drgB;:g`  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  [W;14BD7  
    D Lu]d$G  
    2. 系统 y0Tb/&xN  
    *f[`Yv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <ZocMv9gM  
    3. 透镜系统组件编辑 hOq1 "kL  
    2|T@  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^a(q7ZfY  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?gkK*\x2  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UKzmRa,s  
    包括序列光学表面和光学介质。 4, :D4WYWD  
    @<Y Za$`  
    oU2RxK->u  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Ro1l:P)C`  
    QCjmg5bf'7  
    J@$>d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A_g'9  
    可以选择选取光线的方法: "ZH1W9A  
    — 在x-y-网格 aw,8'N)  
    — 六边形 9KP+  
    — 自由选取 41:Z8YL(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    g ` Wr3  
    Ghj6&K%b0  
    5. 系统的3维视图 :ortyCB:H  
    M_PL{  
    H: U_k68  
    6. 其他系统参数 TEYbB=.  
    系统由单色平面波照明 ;[|x5o /<  
    照明波长266.08nm 3~ qgvAr  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5?Bi+fg  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gh~C.>W}q+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0D\FFfs  
    光束尺寸探测器置于焦平面 { u;ntDr  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 z*R"917  
    lUp 7#q  
    f5O*Njl  
    #3qkG)  
    2Gj&7A3b  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 jW6@U%[!b  
    5tf/VT   
    光线经过整个光学系统的三维视图
    k<St:X%.O  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Qdtfi1_Y1  
    *z(.D\{%  
    HezCRtxRcc  
    *zmbo >{(  
    Yu8WmX,[  
    %Jw;c`JM  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c~>M7e(  
    %7{6>6%  
    Z{e5 OJ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 j\W+wnAgk  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &)wQ|{P~k  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2Ay2 G-  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "=qdBG9  
    y(q1~73s  
    9. 焦平面上的结果 #$A6s~`B  
    VJ wzYl   
    ' rXkTm1{  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {Xl 5F.q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NE/3aU  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm YAO.Ccz  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $H5Xa[  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5:YtBdP  
    z`/v}'d[X  
    10. 总结 `OBDx ^6F  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {gJOc,U4b  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ov?>ALRg  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6~}=? sX4  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 bd%/dr  
     
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