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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 pm]fQ uq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 jXR16|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j Z'&0x"U  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "ahvNx;x  
    _D-Riu>#J  
    2. 系统 -p8e  
    nem@sB;v#  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    l$XA5#k  
    3. 透镜系统组件编辑 XxOn3i  
    <t}?$1  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qrDcL>Hrn  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S< x:t(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _01Px a2.  
    包括序列光学表面和光学介质。 =_QkH!vI  
    )zJ=PF  
    2k+16/T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n,nisS  
    +X^4; &  
    D'L{wm  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [ud|dwP"  
    可以选择选取光线的方法: 6%?A>  
    — 在x-y-网格 og-]tEWA1  
    — 六边形 Y6VQ:glDT-  
    — 自由选取 qG9qN.|dC  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "$8w.C  
    f z%tA39m  
    5. 系统的3维视图 oh\1>3,Ns  
    B||c(ue  
    x!?Z *v@I  
    6. 其他系统参数 sXB+s  
    系统由单色平面波照明 re uYTH  
    照明波长266.08nm Uu5C%9^s  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: k/#>S*Ne  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,!>fmU`E4  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8^X]z|2  
    光束尺寸探测器置于焦平面 N!m%~kS9k<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :`J>bHE  
    Hsl{rN  
    1nB@zBQu -  
    `Bu9Nq  
    F5IZ"Itu(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 A&l7d0Z^j5  
    Wz{%"o  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    xG%*PNM0q  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    f)^t')  
    evOb  
    U**)H_S/~  
    KjYDFrR4  
    uF<S  
    *<k&#D"m  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c[{UI  
    }+DDJ6Jzs  
    UUm |@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 xjrlc9  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~:Ixmqi}R  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {8:o?LnMW  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 W5I=X] &  
    !KDr`CV&  
    9. 焦平面上的结果 UE7'B?  
    sVoR?peQ  
    %MuaW(I o  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s##Ay{  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (}0S1)7t  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm w\DspF  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ,'_( DJX  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    K;C_Z/<%  
    dXO=ZU/N  
    10. 总结 @g\;` #l  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8^T2^gs  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M5u_2;3  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^4UcTjh  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6eo4#/+%  
     
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