1. 描述 [L(hG a ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?LP9iY${ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *%gF2@=r8F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 BVpO#c~I
,[!LCXp 2. 系统 EWjgI_- KbW9s,:p 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W?Ww2Lo%Y 3. 透镜系统组件编辑 =,V|OfW
!{%&=tIZ
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 cg{AMeW
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 z#6?8y2-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
QLKK.]
■ 包括序列光学表面和光学介质。 l"+Jc1\ X
\6!W05[ Q q3P+9/6 4. 光线追迹系统分析器-选项 <q2?S z-T{~{q =^;P#kX
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l.+yn91%>
■ 可以选择选取光线的方法: jZ*WN|FK?
— 在x-y-网格 ~O6\6$3b5E
— 六边形 ('[TLHP
— 自由选取 gm)@c2?.
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 gVR@&bi7 +&=?BC}L9^ 5. 系统的3维视图 jp2Q9Z B&?sF" Y
{*m ?Kc7k 6. 其他系统参数 z@ 35NZn ■ 系统由单色平面波照明 98XVa\|tl ■ 照明波长266.08nm Z u*K-ep" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yd_
(?V&;_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ti @kKz — 一个虚拟屏位于焦平面 jeUUa-zR3 — 光束尺寸探测器置于焦平面 mN_Z7n;^eh ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3L5r*fa zZ-\a[F k@mVxnC TFQ!7'xk) j]rz] k 7. 光线追迹系统分析器的结果 IH*s8tPc cC{"<fYF 光线经过整个光学系统的三维视图
V^s0fWa 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
qQ]]~F )?! [}t 5e8AmY8; q8P.,%
}iB|sl2J YX*x&5]lq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y"g.IK`V r=.A'"Kf BqK(DH^9N
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^Q<mV*~
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 m"eteA,"k_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kS5_
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
KJn!Ap
O`1! 9. 焦平面上的结果 ,MPB/j^o5!
V N{NA+I
k44Q):ncY7
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bPKOw<
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 k;W@LfP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm nuQ]8- ,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 68fiG
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Hy:V`> 8)*2@-Rp 10. 总结 jEdtJEPa ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uP $Cj ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g^Yl TB ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qFX~[h8i+ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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