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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ioWo ]  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T<6GcI>A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ws[/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Y& 5.9 s@'  
    s&VOwU  
    2. 系统 +?Ez} BP  
    !W /C[$E  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    d8o ewkiR  
    3. 透镜系统组件编辑 GyK(Vb"h6  
    ot }6D  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N 2Ssf$  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 WqQU@sA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =k_UjwgN^  
    包括序列光学表面和光学介质。  n}OU Y  
    'yr{^Pek  
    yLqF ,pvO  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n"Z |e tZ4  
    vxVOcO9<  
    ]2$x| #Gg}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RG}}Oh="v  
    可以选择选取光线的方法: !i Jipe5  
    — 在x-y-网格 l!@ 1u^v2  
    — 六边形 f3#X0.':  
    — 自由选取 M1{(OY(G  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    FM\[].  
    &d,Wy"WPi  
    5. 系统的3维视图 vQHpf>o  
    hB>^'6h+  
    6$RpV'xz  
    6. 其他系统参数 x7$ax79ly  
    系统由单色平面波照明 "dtlME{Bx  
    照明波长266.08nm IaasHo\  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n&d/?aJ7a\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A ~&+F>Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \fi}Q\|C  
    光束尺寸探测器置于焦平面 PeNF+5s/K  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 eaAPKx  
    i/$SN-5}1  
     zy>}L #  
    >nM%p4E  
    bE I!Ja  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 J?D\$u:  
    1exfCm  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ti9}*8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    0roCP=;  
    ; k}H(QI  
    $E.XOpl&I  
    k ,fTW^?  
    m =k%,J_  
    *rf$>8~$n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 UvBnf+,  
    d+5:Qrr  
    o , LK[Q  
    VirtualLab可用于计算点列图。 [h HG .  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O?E6xc<8  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VQ<5%+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7cw]v"iv  
    ps+:</;Z  
    9. 焦平面上的结果 r/Dd& x  
    A.U'Q|  
    =]b9X7}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >EIrw$V$  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )4ncutb  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm wd+O5Lr.R  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <25ccE9^c  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    w-FHhf  
    / O)6iJ  
    10. 总结 voh^|(:(TH  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SRWg[H  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 uV77E*+7\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O`(U/?   
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =4>@8=JA  
     
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