1. 描述 ""% A'TZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 jlqv2V7=/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 T2FE+ A]n9 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sOBu7!G%
+=BAslk 2. 系统 "OmD@
EMT $s-Y%gc 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9GU]l7C=z 3. 透镜系统组件编辑 @1-F^G%p8
-!e7L>w
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Vh|\ _~9
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $}GTG'*.
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 IiJZ5'{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,7_4z]jK
J00VTb` [?k8}B)mHB 4. 光线追迹系统分析器-选项 k@dN$O%p ][&9]omB :A1:
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?D`T7KSe~D
■ 可以选择选取光线的方法: U_B((Z(g
— 在x-y-网格 B<?wh0
— 六边形 n.}E5%qK
— 自由选取 Lel|,mc`k2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Jh&~ToF! )%d*3\Tsd 5. 系统的3维视图 k8AW6oO/i 72W
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`=lc<T^ 6. 其他系统参数 IZ/m4~ ■ 系统由单色平面波照明 c!K]J ■ 照明波长266.08nm G\de2Q"d:O ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '' O 7=\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 J aTp}# — 一个虚拟屏位于焦平面 P!G858V( — 光束尺寸探测器置于焦平面 c0&Rg# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 'Ft0Ry<OL 42J{aJVH Jg}K.1Hs ^(HUGl_ _tTN G2 7. 光线追迹系统分析器的结果 9H-|FNz?c kE9esC3 光线经过整个光学系统的三维视图
.mLK`c6 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
?L&'- e@ },+wJ1 ="wzq+ U R\@/U=iqR &|3
$!S nw>8GivO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u_(VEfs4 '(bgs SCvVt
■ VirtualLab可用于计算点列图。 E;JsBH
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }J">}j]/
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 |KSy`lY-j>
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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VCXJwVb 9. 焦平面上的结果 .Asv%p[W
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @=}YTtq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \7Jg7 *
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm OQW#a[=WQ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 1N7Kv4,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 3)\8%Ox 3s/H2fz 10. 总结 vnWWneeNr ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KMI_zhyB ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Llr>9(| ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B2-V@06 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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