1. 描述 jY]51B ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9:-7.^`P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ugE!EEy[^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 [(5.?
5\#I4\ 2. 系统 dIYf}7 P #RaqNu 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
A8Fe@$<#8 3. 透镜系统组件编辑 Yv@n$W`:
-C3 [:g
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u;c
WIRG
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NlKVl~_ C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PM#3N2?|E
■ 包括序列光学表面和光学介质。 kROIVO1|`
Z${eDl6i uW=G1 *n- 4. 光线追迹系统分析器-选项 2b^Fz0
w4 \U>&W 2Ki_d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'Kbrz
■ 可以选择选取光线的方法: L/C~l3
— 在x-y-网格 Mb 4"bDBsl
— 六边形 CW?Z\
— 自由选取 K.Y`/<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 W&%,XwkQ c$7~EP 5. 系统的3维视图 f5Gn!xF 4\
Xaou2V[
62zu;p9m 6. 其他系统参数 :=ek~s.UV ■ 系统由单色平面波照明 rz
k;Q@1 ■ 照明波长266.08nm XC^*z[#4{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: TEd5&Z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M>p<1`t-& — 一个虚拟屏位于焦平面 PDuBf&/e — 光束尺寸探测器置于焦平面 D_czUM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SM4`Hys;p w3);ZQ| PRaVe,5a x0(bM g>7 ?<C(ga 7. 光线追迹系统分析器的结果 oYZ
4F E(|A"=\ 光线经过整个光学系统的三维视图
dVEs^ZtI 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
9 $$uk'}w! f?)7MR= Jl`^`Yv R2sG'<0B0 Zdqm|_R[ {eaR,d~X 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 In96H`
\\KjiT' NOXP}M
■ VirtualLab可用于计算点列图。 DMG~56cTO,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s~A-qG>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jo<xrn\
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2RX]~}
;98b SR/ 9. 焦平面上的结果 EpMxq7*
Mp|Jt
Y_:jc{?
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T3{~f
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $5JeN{B
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm i3N{Dt
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 y&,|+h
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Gd%i?(U,R 3P2{M}WIl 10. 总结 `K.C>68 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 g&xj(SMj-$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 zY_J7,0g ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8O'bCBhv ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
4@{cK|