1. 描述 }3F8[Td.~N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;sCf2TD,_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 -Zd!0HNW1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^ElUU ?rX
V&<vRIsN 2. 系统 yazC2Enes8 EAU6z(X$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.v%H%z~Rl# 3. 透镜系统组件编辑 0'`>20Y
1u7Kc'.xc
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 mL`,v
WL/`
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `:!mPNW#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Yu}7klJE
■ 包括序列光学表面和光学介质。 `me2Q
F6R+E;"4R' H#x=eDU|k 4. 光线追迹系统分析器-选项 Vu0jNKUV -;cZW.< b;# 3X)
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 z9pv|
■ 可以选择选取光线的方法: [!p>Id
— 在x-y-网格 wq!Gj]B
— 六边形 "Q6oPDX(
— 自由选取 @6 uB78U4O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vO!p8r
F ZIQy}b' 5. 系统的3维视图 [ !/u, Y&KI/]ly,L
I~?D^ 6. 其他系统参数 (:Rj:8{ ■ 系统由单色平面波照明 w~hO)1c],: ■ 照明波长266.08nm =.O8G=;DOA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: m07=
_4 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `z%f@/:fG — 一个虚拟屏位于焦平面 .'JO7of — 光束尺寸探测器置于焦平面 r$}M,! J ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 yEyx.Mh.Af Ahk6{uz T%Xl(.Ft iTF`sjL XQ]no aU 7. 光线追迹系统分析器的结果 P2pdXNV 9`Bmop 光线经过整个光学系统的三维视图
9HrT>{@ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
FIhq>L.q4 =B@+[b0Z @S\!wjl]C :UM>`Y |l)SX\Qf`@ LgXc}3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $(B|$e^:( +U{8Mj "1|n]0BF
■ VirtualLab可用于计算点列图。 {Qbg'|HO=l
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5'wWj}0!%
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 chk1tFV
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
9`
'4k
l$I 9. 焦平面上的结果 #v+2W
l =~EweuM
Vc0C@*fVM
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "j-Z<F]]
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x6Zhw9RV
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm EYWRTh
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 t4(Z@X$
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 OQ>8Q` 0Cd)w4C 10. 总结 VbX+`CwH ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z6
T3vw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 vpnQ s#8O ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R5OP=Q 8 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
EQ< qN<uW