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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 }3F8[Td.~N  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;sCf2TD,_  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 -Zd!0HNW1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^ElUU?rX  
    V& <vRIsN  
    2. 系统 yazC2Enes8  
    EAU6z(X$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    .v%H%z~Rl#  
    3. 透镜系统组件编辑 0'`>20Y  
    1u7Kc'.xc  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 mL`,v WL/`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `:!mPNW#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Yu}7klJE  
    包括序列光学表面和光学介质。 `me2Q  
    F6R+E;"4R'  
    H#x=eDU|k  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Vu0jNKUV  
    -;cZW.<  
    b;#3X)  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 z9pv|  
    可以选择选取光线的方法: [!p>Id  
    — 在x-y-网格 wq!Gj]B  
    — 六边形 "Q6oPDX(  
    — 自由选取 @6 uB78U4O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    vO!p8r F  
    ZIQy}b'  
    5. 系统的3维视图 [ !/u,  
    Y&KI/]ly,L  
    I~?D^   
    6. 其他系统参数 (:Rj:8{  
    系统由单色平面波照明 w~hO)1c],:  
    照明波长266.08nm =.O8G=;DOA  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: m07= _4  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 `z%f@/:fG  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 .'JO7of  
    光束尺寸探测器置于焦平面 r$}M,! J  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 yEyx.Mh.Af  
    Ahk6{uz  
    T%Xl(.Ft  
    iTF`sjL  
    XQ]noaU  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 P2pdXNV  
    9`Bmop  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9HrT>{@  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    FIhq>L.q4  
    =B@+[b0Z  
    @S\!wjl]C  
    :UM>`Y  
    |l)SX\Qf`@  
    Lg Xc}3  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $(B|$e^:(  
    +U{8Mj  
    "1|n]0BF  
    VirtualLab可用于计算点列图。 {Qbg'|HO=l  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5'wWj}0!%  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 chk1tFV  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 9`  
    '4k l$I  
    9. 焦平面上的结果  #v+ 2W  
    l =~EweuM  
    Vc0C@*fVM  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "j-Z<F]]  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x6Zhw9RV  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm EYWRTh  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 t4(Z@X$  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    OQ>8Q`  
    0Cd )w4C  
    10. 总结 VbX+`CwH  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z6 T3vw  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 vpnQs#8O  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R5OP=Q8  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 EQ< qN<uW  
     
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