1. 描述 ;!S5P( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vRC >=y*= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 rP7
QW)NF ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f;BY%$
6_KvS 2. 系统 4jebx
jZ 0j(U & 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
yjL+1_"B 3. 透镜系统组件编辑 %AA&n*m
S._2..%G
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 z6@8IszU
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v:4j3J$z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4!!PrXE
■ 包括序列光学表面和光学介质。 s2SV
XJeWhk3R9 +S0aA Wal 4. 光线追迹系统分析器-选项 U[x$QG6 m! iKrk?B< 2H.g!( Oza
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。
i,<'AL )
■ 可以选择选取光线的方法: ]-X6Cl
— 在x-y-网格 D
tZ?sG
— 六边形 gjG SI'M0B
— 自由选取 GxD`M2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {f-O~P<Z4 E8r6P:5d` 5. 系统的3维视图 ?j/FYi qA!p7"m|
P1rjF:x[* 6. 其他系统参数 ?V!5VHa ■ 系统由单色平面波照明 "JSIn"/ ■ 照明波长266.08nm v[ML=pL ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P*iC#w]m — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 xA7~"q&u — 一个虚拟屏位于焦平面 PF/K&&9} — 光束尺寸探测器置于焦平面 v2rO>NY4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (J5}1Q<K a`xAk^w+ \h=*pAf oMg-.!6 */IiL%g4u 7. 光线追迹系统分析器的结果 XjL3Ar* @!dIa1Q" 光线经过整个光学系统的三维视图
S=)
c7t?a 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
YdO*5Gb6 e7"T37 [G$ #jUt/O G1jj:]1 Wx]Xa]- g?"QahHG 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o 7kg.w| W=^.s>7G V5ZC2H
■ VirtualLab可用于计算点列图。 RN-gZ{AW
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ``jNj1t{}
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 vwu/33
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
HBe*wk Pd
xSD*e 0
9. 焦平面上的结果 asYk#;z\"
r9{@e^Em
Nf!N;Cy?
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /lUfxc4
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 I{dy,\p
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $Okmurnn
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 FulFEnSV
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 #fa,}aj HJ]v- 10. 总结 /jJD
{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kE<CuO ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 50Gr\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &,G2<2_ b ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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