1. 描述 .H^P2tp ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6B''9V:s ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yIIETE ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `<J#l;y
ahtYSz_FM 2. 系统 o}=. 8rwYNb.P 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wm=RD98 3. 透镜系统组件编辑 ns#~}2"d
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0[lsoYUq
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D;zWksq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 !\0F.*
%X9b=%'+ 9&%#nN4`8 4. 光线追迹系统分析器-选项 5#0e={X i<m$#6<Z nMGrG
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P>Q{He:
■ 可以选择选取光线的方法: w,Z"W;|
— 在x-y-网格 gcg>Gjp
— 六边形 =4zNo3IvL+
— 自由选取 ALd]1a&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =3|pHc hJ4 @H\pipT_b 5. 系统的3维视图 a jQqj. S<nP80C K 3Yw8t2J 6. 其他系统参数 YOV : ■ 系统由单色平面波照明 v**z$5x9 ■ 照明波长266.08nm Dz`k[mI ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: CE#\Roi x) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *bA+]&dj\ — 一个虚拟屏位于焦平面 8/3u/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 8xF)_UV ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Xsd$*F@< c^=R8y-N oYz!O]j;a 6F`qi:a+ $Z;B QJVH 7. 光线追迹系统分析器的结果 QCOLC2I [ -ISR7D 光线经过整个光学系统的三维视图
p jKt:R} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
y" ^yYO G02ox5X $!G` D= V+lRi"m?| vv+D*e&< o+<29o 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ly9Q}dL <EMkD1e Y4#y34We
■ VirtualLab可用于计算点列图。 z% V* K
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6Rcua<;2P
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 vsKl#R B
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 } ^"0T-ua
3AURzU 9. 焦平面上的结果 &Y1`?1;nw
Kax#OYLpg
&hayR_F9
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 0G5'Y;8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y%4 Gp
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |olNA*4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 q]^,vei
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 k6@b| Z>8eD|m%2 10. 总结 F>N+<Z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :NuR>~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6xHi\L ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IAI(Ix ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uPkb, :6~Z