1. 描述 /fU-0a8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :u)Qs#'29 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V0%a/Hi v
■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b~<:k\EE
lAo4) 2. 系统 Q:'r
p 1{1mL-I; 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+I}!)$/ 3. 透镜系统组件编辑 `\/\C[Gg
*nv^s
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p1T0FBV
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2+*o^`%4P
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vN~joQ=d
■ 包括序列光学表面和光学介质。 O[p c$Pi
u<+"#.[2v~ 4ti,R' 4. 光线追迹系统分析器-选项 7;Vmbt9 *r7%'K{C ?JW/Stua
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =?N$0F!
■ 可以选择选取光线的方法: D u_;!E
— 在x-y-网格 (`R
heEg@f
— 六边形 -"XHN=H
— 自由选取 L=WKqRa>4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HYZp=*eb czB),vooz 5. 系统的3维视图 o|_9%o52' =)x+f/c]
ZmJ<FF4 6. 其他系统参数 y I[kaH"J ■ 系统由单色平面波照明 U99Uny9 ■ 照明波长266.08nm V >~\~H2Y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: def\=WyK — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0C6T>E7 — 一个虚拟屏位于焦平面 ' t^ r2N/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 RcZ&/MY ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 |D[LU[<C Jyp7+M] E
`V?Io aY DM)b} O5:[]vIn 7. 光线追迹系统分析器的结果 N Ff`V Zq:c2/\c} 光线经过整个光学系统的三维视图
#IJ6pg>K 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
L D%SLJ: JZJb&q){ AE Abny
q *@WBaN+ UlPGB2B } V"A;5j` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 jY ;Hdb'' |;"(C# B Jn9{@??
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &gI*[5v
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Fz5eCe\B
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <X?xr f
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
<)"2rxX&5
(%9J(4 9. 焦平面上的结果 5fLp?`T
anORoK.
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4y$okn\}i
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 di<g"8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm mqY=N~/O
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /2 qxJvZ
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -67!u; n>)h9q S 10. 总结 kZfj"+p_S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 f{|n/j;n=C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g+xcKfN{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7324#Hw S ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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