切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1462阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    在线infotek
     
    发帖
    6220
    光币
    25245
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 jY]51B  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9:-7.^`P  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ugE!EEy[^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 [(5.?  
    5\#I4\  
    2. 系统 dIYf}7P  
    #RaqNu  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    A8Fe@$<#8  
    3. 透镜系统组件编辑 Yv@n$W`:  
    -C3[:g  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u;c WIRG  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NlKVl~_ C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PM#3N2?|E  
    包括序列光学表面和光学介质。 kROIVO1|`  
    Z${eDl6i  
    uW=G1 *n-  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2b^Fz0 w4  
    \U>&W  
    2Ki_d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 'Kbrz  
    可以选择选取光线的方法: L/C~l3  
    — 在x-y-网格 Mb 4"bDBsl  
    — 六边形 CW?Z\  
    — 自由选取 K.Y`/<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    W&%,XwkQ  
    c$7~EP  
    5. 系统的3维视图 f5Gn!xF  
    4\ Xaou2V[  
    62zu;p9m  
    6. 其他系统参数 :=ek~s.UV  
    系统由单色平面波照明 rz k;Q@1  
    照明波长266.08nm XC^*z[#4{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: TEd 5&Z  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M>p<1`t-&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 PDuBf&/e  
    光束尺寸探测器置于焦平面 D_czUM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SM4`Hys;p  
    w3);ZQ|  
    PRaVe,5a  
    x0(bM g>7  
    ?<C(ga  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 oYZ  4F  
    E(|A"=\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    dVEs^ZtI  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    9 $$uk'}w!  
    f?)7MR=  
    Jl`^`Yv  
    R2sG'<0B0  
    Zdqm|_R[  
    {eaR,d~X  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 In96H`  
    \\KjiT'  
    NOXP}M  
    VirtualLab可用于计算点列图。 DMG~56cTO,  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 s~A-qG>  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jo<xrn\  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2RX]~}  
    ;98b SR/  
    9. 焦平面上的结果 EpMxq7*  
    Mp|Jt  
    Y_:jc{?  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T3{~f  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $5JeN{B  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm i3N{Dt  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 y&,|+h  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Gd%i?(U,R  
    3P2{M}WIl  
    10. 总结 `K.C>68  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 g&xj(SMj-$  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 zY_J7,0g  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8O'bCBhv  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4@{c K|  
     
    分享到