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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 pdFO!A_t  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。  %nUN  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *@^@7`W  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (#6Fg|f4Y  
    6DU(KYN  
    2. 系统 yMyvX_UNI  
    o,?G(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    9 iJ$M!  
    3. 透镜系统组件编辑 wjH1Ombt  
    }8YY8|]LI  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "doiD=b  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CvZ\Z472.j  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a {x3FQ  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 6~jAh@-  
    OXp N8Dh5  
    IIT[^_g  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 mrsmul{  
    I0H]s/*C%9  
    \`z%5/@f;  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 31 <0Nw;l  
    ■ 可以选择选取光线的方法: J,?F+Qji&=  
    — 在x-y-网格 WK?5`|1l:x  
    — 六边形 #^]vhnbN  
    — 自由选取 ->?tB1}^  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    nhMxw @Z\  
    =Yl ea,S  
    5. 系统的3维视图 Gt?l 2s  
    4 X/UyBk  
    Nr]Fh  
    6. 其他系统参数 8!.V`|@lt  
    ■ 系统由单色平面波照明 <[ 2?~s  
    ■ 照明波长266.08nm 2 z#S| $  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _x""-X~OL  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &L+.5i  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W 2[]m>;  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 }.'rhR+  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (y6}xOa(  
    `C|];mf(#  
    /W*Z.  
    ORF:~5[YS`  
    *U%3 [6hm  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 VJTO:}Q  
    7$g$p&,VX  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    |kvH`&s  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ;ltk}hJ]  
    Dj c-f  
    6@8t>"}  
    Nb9GrYIS  
    1,) yEeHjU  
    vC@^B)5gb  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 e Bxm  
    l"}_+5  
    o<3$|`S&  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 6YNL4HE?  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 a,S;JF)v  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,>b>I#{  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 8 I_  
    7M7Ir\d0lp  
    9. 焦平面上的结果 AnX<\7bc}  
    P[G>uA>Z1  
    hchG\ i  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B1!xr-kC  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;9h;oB@  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9-{=m+|b  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <nqv)g"u0  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Kf BT'6t  
    (oX!D(OI  
    10. 总结 /QyKXg6)l  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 egG<"e*W}N  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 T#3@r0M  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4RtAwB  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 lD3nz<p  
     
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