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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5083
    光币
    19731
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 V}?d ,.m`{  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 QcZ*dI7]:  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1J8okBhZ  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?.E ixGzI^  
      ByP  
    2. 系统 e[txJ*SuO  
    W i a%rm  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    7;cb^fi/  
    3. 透镜系统组件编辑 l=(4o4um  
    bWc3a  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 H JFt{tq2  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 H(qDQqJHYy  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 AvW2)+6G  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 hoy+J/  
     sTu6KMn  
    #qL?;Zh0S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 XXbA n-J  
    EL_rh TWw  
    |7@[+  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *=]hc@  
    ■ 可以选择选取光线的方法： {XC1B  
    — 在x-y-网格 ;6op|O  
    — 六边形 h.\V;6ly  
    — 自由选取 DDdMWH^o7  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     dP8b\H  
    p(EV-^  
    5. 系统的3维视图 i:ar{ q  
    yKJKQ9  
    j$%KKl8j  
    6. 其他系统参数 bn`1JI@S4  
    ■ 系统由单色平面波照明 Q;p?.GI?-  
    ■ 照明波长266.08nm 2=H3yEJq  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： bLMN9wGOgK  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  3*@ sp  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 F+.:Ry FS  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~T;FOB%w  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0@w8,x  
    BR1oE3in  
    2z/qbzG7  
    dZnAdlJ  
    xf1@mi[a  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ?-^eI!  
    #]nH$Kq  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    v-`RX;8  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    &A=>x  
    O`2;n.>\  
    _c*0Rr  
    #K A,=J  
    .ztO._J7f  
    5mNd5IM  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 CRy;>UI  
    "b&[W$e  
    32[lsU>1  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ;>?NH6B,  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3Qt-%=b&  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,DrE4")4  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 VEAf,{)Q  
     CBC0X}_`  
    9. 焦平面上的结果 &Q7vY  
    c`]_Q1'30w  
    ?#|Y'%a"  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }K\] M@  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 _F|oL|  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm DyiyH%SSD  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 0 rbMT`Hy  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     <uXZ*E  
    7TCY$RcF,I  
    10. 总结 #T0uPK ;  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PqFK*^)s  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 hr9[$4'H  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ii"h:GY;\  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 -3 .Sr|t  
     
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