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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 0*L|r Jf  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V9-pY/v 9  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zwR@^ 5^6  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >hoIJZP,  
    ;38W41d{  
    2. 系统 %1gJOV  
    2FD[D `n]f  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Q-F'-@`(C  
    3. 透镜系统组件编辑 >s1FTB-$W  
    T?!^-PD9*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 C,n]9  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p|,K2^?Y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kMKI=>s+  
    包括序列光学表面和光学介质。 96]lI3 c  
    kF3 EJ  
    P{)H7B>  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 SW (7!`  
    7IBm(#  
    cCFSPT2fq[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FI.S?gy0   
    可以选择选取光线的方法: T~s/@*y9  
    — 在x-y-网格 2n?\tOm(V  
    — 六边形 1@yXVD/  
    — 自由选取 _Ta9rDSP]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    fpM 4q  
    !s.G$ JS<  
    5. 系统的3维视图 w4'(Y,(`  
    '97)c7E  
    po*s  
    6. 其他系统参数 L'6_~I  
    系统由单色平面波照明 M$FXDyr  
    照明波长266.08nm %83PbH  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: eM/|"^%  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m(y?3} h  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 JnhHV(H  
    光束尺寸探测器置于焦平面 q\O'r[&V  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $ 8_t.~q  
    KZ ?<&x  
    kOVx]=  
    h?.6e9Y4  
    Z{chAg\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 00U8<~u  
    ?@|1>epgd  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    PdMx6 Ab  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    [Qy]henK  
    gwThhwR  
    }tft@,dIC  
    BS*cG>T  
    eWqJ2Tt  
    a&#Z=WK4  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 20^F -,z  
    BRQ9kK20  
    1kio.9NIp  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9`dQ7z.8t  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b$PNZC8f  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 dT/Cn v=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }O2hhh_  
    wa<@bub  
    9. 焦平面上的结果 @WhcY*R2  
    7*'_&0   
    3tnYK&  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W}Nd3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /,Ln)?eD  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Zdh4CNEeFP  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 wIx Lr{  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    x9Gm)~  
    eX?o 4>  
    10. 总结 |YZ`CN<  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N g'f u|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 lqX]'gu]\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 . Nog.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 '(2G qX!  
     
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