1. 描述 d>Tv?'o`q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Cj#wY ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]n4PM=hz ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 x6K_!L*Fx]
F(1E@xs 2. 系统 p@78Xmu?q 3fLdceT 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.+>fD0fW7Y 3. 透镜系统组件编辑 rZ,qHM
L/fXP@u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 T
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t5 >ma:^j
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9z4F/tUq
lfBCzxifC [`tOhL 4. 光线追迹系统分析器-选项 G>pedE\ ?n<F?~ W.4R+kF<
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 C1AX
■ 可以选择选取光线的方法: ^%*qe5J
— 在x-y-网格 A23K!a2u&
— 六边形 Hva!6vwO%O
— 自由选取 Zs^zD;zU
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UK
OhsE *
0K]/tn< 5. 系统的3维视图 1]>JMh%X9t h<3bv&oI .
trwo(p 6. 其他系统参数 VXCB.C" ■ 系统由单色平面波照明 V@+sNM ■ 照明波长266.08nm TS#1+f]9J< ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +;!^aNJ, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /7B3z}rd — 一个虚拟屏位于焦平面 1f3g5y'z5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 .\H-?6R^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8r}tf3xMCM &pl)E$Y ]l }v bZSt<cH3 >l}v
_k*~B 7. 光线追迹系统分析器的结果 {B=64,D^7R oTk\r$4eb 光线经过整个光学系统的三维视图
qKXg'1#E) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
>mQD/U jB -Ad8 q:F6MW pV<K=;:x> *#p}FB2H# a@|`!<5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 + d>2 ' 6k')12~' "@ZwDg`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 LB7$&.m'B
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;U0w<>4L
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `$4wm0G|
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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XR=ebl 9. 焦平面上的结果 U&^(%W#
E0i!|H
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7F]oK0l_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Mj0jpP<uf
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r"L:Mu
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 cgcU2N6y;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 sNG 7fi.| {o'(_.{ 10. 总结 ).Z
U0fV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ,~=+]9t ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 SP=8v0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }uD*\. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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