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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 k_pv6YrE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y3 $jNuV  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yZlT#^$\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LOUP  
    l7QxngWw  
    2. 系统 juEPUsE  
    4 \z@Evm  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    R ]Ev=V'U  
    3. 透镜系统组件编辑 a_N7X  
    dIC\U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,dRaV</2  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G)vNMl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7}iv+rQ  
    包括序列光学表面和光学介质。 eo+<@83  
    -XYvjW,|  
    )+ <w>pc  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 w$ 8r<?^3  
     /  
    9evr!=":  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 '/O:@P5qY  
    可以选择选取光线的方法: FJvY`zqB  
    — 在x-y-网格 \HGf!zZ  
    — 六边形 rXB;#ypO  
    — 自由选取 ~& -h5=3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    +&.zwniSS  
    ^s)`UZ<C=  
    5. 系统的3维视图 u=:f%l  
    e:O,$R#g  
    ytttF5-  
    6. 其他系统参数 TOwqr T/  
    系统由单色平面波照明 _LJF:E5L  
    照明波长266.08nm P%|~Ni_BTX  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?V6,>e_+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iil<zEic  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 hYoUZ'4  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ]-gyXE1.r  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wnS,Jl  
    %bnXZA2Sx  
    J&8KIOz14Z  
    wOAR NrPx2  
    fJS:46  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 8c5YX  
    s%:fZ7y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lDL&":t  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ]BO:*&O  
    $a_y-lY  
    !!C/($  
    Z- feMM  
    [=K lDfU=  
    &M13F>!  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C]!2   
    Im;%.J  
    HLWffO/  
    VirtualLab可用于计算点列图。 b~aM=71  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 o]1BWwtY&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 RHUZ:r  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色  qb? <u  
    <- \|>r Q  
    9. 焦平面上的结果 6?a`'&  
    hl1IG !  
    GRcPzneiz  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R*r4)+gd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 = wz}yfdrC  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &5 "!  0  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 i.mv`u Dm  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    <K0epED  
     \0)jWCK  
    10. 总结 .OdtM X y  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y5aG^wE[:  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b1C)@gl!Z  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 SA TX_  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B%tF|KKj  
     
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