1. 描述 >TglX t+ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Aa_@&e ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |$
^3 5F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 iDcTO}
9n is8 2. 系统 D7nK"]HG;l W0MgY%Qv[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cWo>DuW& 3. 透镜系统组件编辑 IuP~Vt{m
}j2;B 8j
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Q3%]
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]&H"EHC<$
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 q)9n%- YgP
■ 包括序列光学表面和光学介质。 N
{{MMIq
eCR^$z=c C-S>'\|8 4. 光线追迹系统分析器-选项 p*5_+u FRR05%K UUDHknm"
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "p3<-06
■ 可以选择选取光线的方法: N$e
mS
— 在x-y-网格 OS`jttU@
— 六边形 SF-E>s!XL
— 自由选取 $ c-O+~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -5 YFS6YA 5. 系统的3维视图 ~n@rX=Y)]0 q/zU'7%@
aL[6}U0 (} 6. 其他系统参数 ?2#'>B ■ 系统由单色平面波照明 j24 3oD ■ 照明波长266.08nm 8Yk*$RR9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +@^);b6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3e'6A ^# — 一个虚拟屏位于焦平面 L$3 lsu!4n — 光束尺寸探测器置于焦平面 2Q%7J3I ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %H\J@{f bKmwXDv' \mh #MMp PlH~um[J =3(Auchl$Y 7. 光线追迹系统分析器的结果 Z[IM\# " -c]AS[( 光线经过整个光学系统的三维视图
t?G6|3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
]Ac}+? pAatv;Ex V>T?'GbS {>1FZsR49t J?3/L&seA z5$Q"Y.D 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w1"+HJd z4SJxL cw!,.o%cD
■ VirtualLab可用于计算点列图。 c$ZVvu
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "QdK
Md
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0uDDaFS
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Q"qI'*Kgt
>E<ib[vK[ 9. 焦平面上的结果 aq$ hE-{28
Ldjz-
l@B9}Icq
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tsc`u>
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lNL=Yu2p_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z/{X{+Z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *(Dmd$|0|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 C")genMH v3-'
GgM 10. 总结 |[>@Kk4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tON>wmN ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 H\S)a FY[ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5X!-Hj
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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