1. 描述 0*L|rJf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V9-pY/v9 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zwR@^ 5^6 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >hoIJZP,
;38W41d{ 2. 系统 %1gJOV 2FD[D`n]f 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Q-F'-@`(C 3. 透镜系统组件编辑 >s1FTB-$W
T?!^-PD9*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 C, n]9
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p|,K2^?Y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kMKI=>s+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 96]lI3c
kF3 EJ P{)H7B> 4. 光线追迹系统分析器-选项 SW(7!` 7IBm(# cCFSPT2fq[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FI.S?gy0
■ 可以选择选取光线的方法: T~s/@*y9
— 在x-y-网格 2n?\tOm(V
— 六边形 1@yXVD/
— 自由选取 _Ta9rDSP]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fpM4q !s.G$ JS< 5. 系统的3维视图 w4'(Y,(` '97)c7E
po*s 6. 其他系统参数 L'6_~I ■ 系统由单色平面波照明 M$FXDyr ■ 照明波长266.08nm %83PbH ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: eM/|"^% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m(y?3}h — 一个虚拟屏位于焦平面 JnhHV(H — 光束尺寸探测器置于焦平面 q\O'r[&V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $8_t.~q KZ ?<&x kOVx]= h?.6e9Y4 Z{chAg\ 7. 光线追迹系统分析器的结果 00U8<~u ?@|1>epgd 光线经过整个光学系统的三维视图
PdMx6 Ab 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
[Qy]henK gwThhwR }tft@,dIC BS*cG>T eWqJ 2Tt aZ=WK4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 20^F -,z BRQ9kK20 1kio.9NIp
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9`dQ7z.8t
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b$PNZC8f
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 dT/Cn v=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
}O2hhh_
wa<@bub 9. 焦平面上的结果 @WhcY*R2
7*'_&0
3tnYK&
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W} Nd3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /,Ln)?eD
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Zdh4CNEeFP
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 wIxLr{
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 x 9Gm)~ eX?o4> 10. 总结 |YZ`CN<
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ng'f u| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 lqX]'gu]\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .
Nog. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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