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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 /f]/8b g>  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?\M)WDO  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P'F~\**5  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J% AG`  
    a7 =YG6[  
    2. 系统 e&ts\0  
    7vq DZg  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    p}BGw:=  
    3. 透镜系统组件编辑 6lZGcRO  
    Se/ss!If  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,\}k~ U99  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !U[:5@s06  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 & L'6KEahR  
    包括序列光学表面和光学介质。 d.I%k1`(  
    S[sr 'ZW  
    ]Y=S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 aPt{C3<  
    >qn+iI2U  
    sy=dY@W^  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S%{lJYwXt  
    可以选择选取光线的方法: zQt1;bo  
    — 在x-y-网格 z g)|rm  
    — 六边形 qZP:@r"  
    — 自由选取 D=JlA~tS>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    `xGT_0&ck  
    c l9$g7  
    5. 系统的3维视图 c`pYc  
    ;xI0\a7  
    ?F25D2[(  
    6. 其他系统参数 N:7.:Yw  
    系统由单色平面波照明 Yq{jEatY{/  
    照明波长266.08nm p_;r%o=  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: IOS^|2:,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "H@Fe  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &AJUY()8  
    光束尺寸探测器置于焦平面 m'c#uU  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~\3l!zIq  
    wZ O@J|  
    VH[l\I(h  
    Gg}t-_M  
    8M~u_`6  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i!tc  
    Eh:yR J_8  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    88#N~j~P  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Z|}H^0~7S  
    i"< ZVw  
    {x|MA(NO  
    :Fc8S9  
    d;<.;Od$`  
    k5q(7&C  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |MVV +.X  
    'Z y{mq\  
    u!M& ;QL  
    VirtualLab可用于计算点列图。 JOPTc]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }&C dsCM>2  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3eJ\aVI>pE  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 KoFv0~8Q  
    M*v^N]>"G  
    9. 焦平面上的结果 }=TqJy1  
    $G)&J2zL  
    6R L~iD;X  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  ]LMiMj  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t&3 8@p  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1T:)Zv'  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ]bf'  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $f9 ,##/  
    U n]DFu  
    10. 总结 &&ja|o-  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [1e.i  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =Z^un&'  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9#Z zE/  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 GpScc'a7  
     
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