1. 描述 Td7Q%7p: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 C9k"QPE ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {IBbN05 ; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ).u>%4=6
/J!hKK^k 2. 系统 XPt>klf 3]'h(C 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D0S^Msk9L 3. 透镜系统组件编辑 k@n L(2
DSp~k)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 fffWvf
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 VRY@}>W'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SjJ$Oinc
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _x!/40^G
l 8GAZ*+ PT&qys2k 4. 光线追迹系统分析器-选项 {ynI]Wj`L ?h#F& y Y1qbu~!
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D`B*+
■ 可以选择选取光线的方法: | -Gb Hfz
— 在x-y-网格 duCXCX^n
T
— 六边形 wn<k"6x
— 自由选取 %JA^b5''
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 W7~OU(}[` pg<cvok 5. 系统的3维视图 6Ol)SQE, ~_-+Q=3
=1O;,8` 6. 其他系统参数 iE{VmHp= ■ 系统由单色平面波照明 $O\]cQD`u ■ 照明波长266.08nm [,z>msEB. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `<R^ZL, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jgYe\dinM — 一个虚拟屏位于焦平面 6gq`V, — 光束尺寸探测器置于焦平面 #_Lgo
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >-`-D=!V @_;vE(!5 pM!cF eE0nW+i 6WLq>Jo 7. 光线追迹系统分析器的结果 nC9xN jH 9.N4L 光线经过整个光学系统的三维视图
_C$SaQty[Q 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
hN;$'%^ 6:G::"ew <Lq.J`|+ $1D>}5Ex (xBWxeL~ {8~xFYc: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6bbzgULl BUla2p RUV:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &=-{adm
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 EI&)+cC
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 CX>QP&Gj
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
o{K#LP
TaTw,K|/ 9. 焦平面上的结果 8d>>r69$pa
{'f=*vMI
FWpb5jc)3
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 qI1JM =
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'c/Z
W
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm +"[}gss!@
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 FS6ZPjG)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 k'1iquc#u {UOR_Vt!* 10. 总结 9,AHC2kn% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z%Yq{tAt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :x_;- ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /A%31WE&1 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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