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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 `c(,_o a{  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O&E1(M|*>  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v3Te+oLg  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (s,Nq~O  
    Uk6Y6mU V  
    2. 系统 x4 4)o:  
    ol:,02E&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?U iwr{Q  
    3. 透镜系统组件编辑 ov*zQP  
    ,BOB &u  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?K|PM <A  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 TM[Z~n(wt  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +\\*Iy'xK  
    包括序列光学表面和光学介质。 %4imlP  
    9IN =m 5  
    y? )v-YGu  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +2|X 7wA  
    1;080| ,s  
    )PB&w%J  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J &u&G7#S  
    可以选择选取光线的方法: Czid"Ih-  
    — 在x-y-网格 E)NH6 ~  
    — 六边形 R]m`v: 9  
    — 自由选取 3@XCP-`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    0{gvd"q  
    MS_&;2  
    5. 系统的3维视图 #HJF==  
    PF1!aAvVb  
    `a3q)}*Y  
    6. 其他系统参数 N 2L/A  
    系统由单色平面波照明 nw Or  
    照明波长266.08nm mhnD1}9,Ih  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: D$YAi%*H  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 43A6B  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 HJ !)D~M{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 *<Fz1~%*  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {{tH$j?Q  
    !5? #^q  
    ^.nvX{H8~=  
    slOki|p;  
    yodJGGAzk  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 w4:n(.;HK  
    {5#P1jlT  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \-#~)LB]M  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    n&r-  
    TEh]-x`  
     !|9$  
    5w@  ;B  
    x98LOO  
    uQ vW@Tt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Hm-+1Wx  
    I{_St8  
    >#$( M5&}-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 c1jHg2xim  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l(v$+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 i74^J+xk  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 zt[TShD^  
    rPaD#GA[7  
    9. 焦平面上的结果 mB"zyL-  
    prlB9,3|C  
    f8#WT$Ewy  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 28f-8B  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]vXIj0:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Ua5m2&U1  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 T 2x~fiM  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >BrxJw#M  
    _-%ay  
    10. 总结 >-s}1*^=oD  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~XsS00TL`G  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 { )'D<:T  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 j72cSRv  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Te[[xhTyw  
     
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