1. 描述 B)(A#&nrb ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 $OJ*Kul ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3drgB;:g` ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
[W;14BD7
D Lu]d$G 2. 系统 y0Tb/&xN *f[`Yv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<ZocMv9gM 3. 透镜系统组件编辑 hOq1"kL
2|T@
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^a(q7ZfY
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?gkK*\x2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UKzmRa,s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4, :D4WYWD
@<YZa$` oU2RxK->u 4. 光线追迹系统分析器-选项 Ro1l:P)C` QCjmg5bf'7 J@$>d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A_g'9
■ 可以选择选取光线的方法: "ZH1W9A
— 在x-y-网格 aw,8'N)
— 六边形 9KP+
— 自由选取 41:Z8YL(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 g` Wr3 Ghj6&K%b0 5. 系统的3维视图 :ortyCB:H M_PL{
H: U_k68 6. 其他系统参数 TEYbB=. ■ 系统由单色平面波照明 ;[|x5o/< ■ 照明波长266.08nm 3~
qgvAr ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5?Bi+fg — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 gh~C.>W}q+ — 一个虚拟屏位于焦平面 0D\FFfs — 光束尺寸探测器置于焦平面 { u;ntDr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 z*R"917 lUp 7#q f5O*Njl #3qkG) 2Gj&7A3b 7. 光线追迹系统分析器的结果 jW6@U%[!b 5tf/VT 光线经过整个光学系统的三维视图
k<St:X%.O 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Qdtfi1_Y1 *z(.D\{% HezCRtxRcc *zmbo >{( Yu8WmX,[ %Jw;c`JM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c~>M7e( %7{6>6% Z{e5 OJ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 j\W+wnAgk
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &)wQ|{P~k
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2Ay2
G-
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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y(q1~73s 9. 焦平面上的结果 #$A6s~`B
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {Xl
5F.q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NE/3aU
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm YAO.Cc z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $H5Xa[
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5:YtBdP z`/v}'d[X 10. 总结 `OBDx ^6F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {gJOc,U4b ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ov?>ALRg ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6~}=? sX4 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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