1. 描述 ,UZE;lXJ'Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Iw|[*Nu- ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 6ch[B`[h, ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 KdpJ[[Ug/
X/7_mU>aKT 2. 系统
q8bS@\i YY<?w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?N*@o. 3. 透镜系统组件编辑 g):jZU]b
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }UdqX1jz
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8Xzx;-&4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I3$vw7}5Y
■ 包括序列光学表面和光学介质。 o5XUDDi
>qvD39w gj;G:;1m 4. 光线追迹系统分析器-选项 ~ A|*]0, 5o ^=~ ~MQf($]
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G ]By_
■ 可以选择选取光线的方法: {$:13AnK
— 在x-y-网格 es FL<T
— 六边形 &.4_4"l(
— 自由选取 Zs|sPatV<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 eSBf;lr= , tj7'c$0 5. 系统的3维视图 6lAo`S\)eX
l>?vjy65
]LOtwY 6. 其他系统参数 s9bP6N!, ■ 系统由单色平面波照明 HKw:fGt/o^ ■ 照明波长266.08nm k $&A ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8|Y^Jn\p5u — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 *bSG48W(" — 一个虚拟屏位于焦平面 K3D $
hb — 光束尺寸探测器置于焦平面 S$On$]~\" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IfCqezd o9\m?~g!E J vsB^F.4 v[3sg2. bQjHQ"G 7. 光线追迹系统分析器的结果 (UXB#I~
H,~In2Z 光线经过整个光学系统的三维视图
0^Cx`xdX: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#7ZBbq3= Tou~U[V+ AR3=G>hO, |c/rHEZ ?EAqv] i=QhXCM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y-#tU>P IpmREl$j o2jB~}VMl
■ VirtualLab可用于计算点列图。 BZshTP[`
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V%=t2+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 4]KceE
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%TgM-F,8
1*jm9])# 9. 焦平面上的结果 &W!@3O{~.
Sn&%epi
nHjwT5Q+Q
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \RO Sd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V= PoQ9d
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm xII!2.
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 tH(#nx8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 '~J6mojE Su #1yw> 10. 总结 ek!N eu> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 nQ~L.V ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U$bM:d ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cn:VEF:l ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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