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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 fu!T4{2  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 );!ND %  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [c B^6v  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sQgz}0_= )  
     ("a@V8M`$F  
    2. 系统 #L.,aTA<  
    xNIrmqm5]  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <+*0{8?0  
    3. 透镜系统组件编辑 'Ix@<$~i3F  
    GN_L"|#)=  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 (2b${Q@V  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 -E}X`?WhD  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 B{/og*xd*1  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 MFq?mZ,  
     $OZ= L  
    U`6|K$@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 \c\~k0u  
    f\R_a/Us  
    $`lWW6>P  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 .=eEuH  
    ■ 可以选择选取光线的方法： gXI-{R7Me  
    — 在x-y-网格 {F<0e^*  
    — 六边形 y]Nk^ga:U6  
    — 自由选取 JMB#KzvN[  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     y`oj\  
     bUcp8  
    5. 系统的3维视图 s)WA9PiC  
    .2%t3ul[  
    `t/j6 e]  
    6. 其他系统参数 C+' -TLeu  
    ■ 系统由单色平面波照明 u[**,.Ecg  
    ■ 照明波长266.08nm ec ;  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： yy3x]%KK  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3@" :&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 O+W<l:|$  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 P^OmJ;""D  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Pm%xX~H  
    Fv]6 a n.  
    {@2+oOuYfN  
    ]$ d ;P  
    'xta/@Sq  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9\EW~OgTu  
    i+14!LlI  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?t%{2a<X  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    *+rfRH]a  
    E_~e/y"-  
    [;wJM|Z J0  
    ;B@#,6t/  
    _&]7  
    s?HK2b^;D  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 PE5*]+lW.  
    '1D $ ;  
    XncX2E4E  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 AO8 #l YP?  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :;_}Gxx  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x\'3UKQP+^  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f+9eB  
     :#g.%&  
    9. 焦平面上的结果 Tz)Ku  
    z]9t 5I  
    85!]N F  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =6U5^+|d  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 C&yZ`[K  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm jOT/|k  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 lW5Lwyt8  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     x_~_/&X5  
    Y/J~M$9P,  
    10. 总结 D9TjjA|zS  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 '!A}.wF0  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 rA ={;`  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HWV A5E[`Y  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 i!%WEHPe  
     
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