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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 }SitT\%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S !c/"~X+  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 z+" :,#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `m<="No  
    3+A 0O%0*  
    2. 系统 (/YC\x?  
    iN<5[ztd  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    k6JB%m\E  
    3. 透镜系统组件编辑 %>I!mD"X\  
    w2]1ftY  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <eN>X:_N  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 x(}tr27o  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0IDHoNaT<  
    包括序列光学表面和光学介质。 W<!q>8Xn?  
    'IfM~9'D  
    lG# &Pv>-  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 w**.8]A"N  
    6FEtq,;0w  
    DP^{T/G  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 YD@V2gK  
    可以选择选取光线的方法: eBU\&z[  
    — 在x-y-网格 jv2l_  
    — 六边形 9}}D -&Mc  
    — 自由选取 ;k b^mJE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    *\VQ%_wg  
    7h&xfrSrD  
    5. 系统的3维视图 YY7:WQS  
    EzNmsbtZ(  
    *<9D]  
    6. 其他系统参数 }$qy_Esl  
    系统由单色平面波照明 Ce5 }+A}  
    照明波长266.08nm )>\Ne~%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *3"C"4S  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 CKh-+8j  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 44%::Oh  
    光束尺寸探测器置于焦平面 GQ8I |E  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;/oMH/,U8  
    B/5C jHz  
    I*lq0&  
    c"O\fX  
    7ZZSAI  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0A 4(RLGg  
    SF.,sCk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _|A)ueY  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
     h@W}xT  
    uL-i>!"L!}  
    =z=Guvcn`  
    :eIB K  
    gVG :z_6  
    9MHb<~F  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R o-Mex2  
    GuDus2#+  
    K] Eq"3  
    VirtualLab可用于计算点列图。 d9Q%GG0]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8<]> q  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !/jx4 w~R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4&y_+  
    j ^_ G  
    9. 焦平面上的结果 .5 dZaI)  
    >Mvt;'c  
    QGshc  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 N}dJ)<(2~  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _&dGo(B  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm RisrU  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 w e} sC,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    2}}~\C}o+  
    {X"X.`p  
    10. 总结 t8P>s})[4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QPFpGS{d  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ;<MaCtDt  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "n8_Ag@r  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M.IV{gj  
     
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