1. 描述 k_pv6YrE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y3 $jNuV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yZlT#^$\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LOU P
l7QxngWw 2. 系统 juEPUsE 4\z@Evm 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
R ]Ev=V'U 3. 透镜系统组件编辑 a_N7X
dIC\U
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,dRaV</2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G)vNMl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7}iv+rQ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 eo+<@83
-XYvjW,| )+
<w>pc 4. 光线追迹系统分析器-选项 w$
8r<?^3 / 9evr!=":
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 '/O:@P5qY
■ 可以选择选取光线的方法: FJvY`zqB
— 在x-y-网格
\HGf!zZ
— 六边形 rXB;#ypO
— 自由选取 ~& -h5=3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +&.zwniSS ^s)`UZ<C= 5. 系统的3维视图 u=:f%l e:O,$R#g
ytttF5- 6. 其他系统参数 TOwqr T/ ■ 系统由单色平面波照明 _LJF:E5L ■ 照明波长266.08nm P%|~Ni_BTX ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?V6,>e_+ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iil<zEic — 一个虚拟屏位于焦平面 hYoUZ'4 — 光束尺寸探测器置于焦平面 ]-gyXE1.r ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wnS,Jl %bnXZA2Sx J&8KIOz14Z wOAR NrPx2 fJS:46 7. 光线追迹系统分析器的结果 8c5YX s%:fZ7y 光线经过整个光学系统的三维视图
lDL&":t 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
]BO:*&O $a_y-lY !!C/($ Z- feMM [=K
lDfU= &M13F>! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C]!2 Im;%.J HLWffO/
■ VirtualLab可用于计算点列图。 b~aM=71
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 o]1BWwtY&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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<- \|>r Q 9. 焦平面上的结果 6?a`'&
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 R*r4)+gd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 = wz}yfdrC
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &5 "!0
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 i.mv`u Dm
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <K0epED
\0)jWCK 10. 总结 .OdtM
Xy ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y5aG^wE[: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b1C)@gl !Z ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 SA TX_ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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