1. 描述 {cFei3'q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~%ZO8X:^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 OZD/t(4?6s ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J^T66}r[f,
kaLRI|hC 2. 系统 ]n_A~Yr $Z4p$o
dk 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Et(prmH 3. 透镜系统组件编辑 D3OV.G]`
qA42f83
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 SF7Kb `>Y
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }Z|a?J@CZm
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B5hGzplS
■ 包括序列光学表面和光学介质。 !ibp/:x
%WR l)Hu.1~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 *MNY1+RJ R!=XMV3$PH TBzM~y
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G(-
`FH
■ 可以选择选取光线的方法: \[BnAgsF
— 在x-y-网格 %AFy{l
— 六边形 a)e2WgVB/E
— 自由选取 sQkP@Y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 U"Y$7~ Tr8+E;; 5. 系统的3维视图 7?4>' 2WoB ;=
8{RiaF8 6. 其他系统参数 KK?}`o ■ 系统由单色平面波照明 n~h%K7
c ■ 照明波长266.08nm -;v:.
[o. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o7 kGZ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .IqS}Rh — 一个虚拟屏位于焦平面 q/Q*1 — 光束尺寸探测器置于焦平面 G8SJ<\? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `?)i/jko" O;w';}At 9Ah4N2nL-b 1~+w7Ar=( ?^hC|IR$ 7. 光线追迹系统分析器的结果 Bn.8wMB <(v!Xj^yO 光线经过整个光学系统的三维视图
B\Uj 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
~Oq(JM
$M ]k hY8it ^^v!..V]J \Tc$P# w$p v @c/~qP4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6|zA,-= _jtBU /+rHy7(\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 js{ RaR=
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Nz m
7E]
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *+b[v7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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]8RcZn 9. 焦平面上的结果 ?vXy7y&4
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qwN-VCj
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xHf
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'p<(6*,"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !Ed';yfz\(
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >Zr`9$i
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 k?_Miqr "2 Kh2[K 10. 总结 J<'4(}^| ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -G{}8GM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 3N;X|pa ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 spJB6n( ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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