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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 [L(h G a  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?LP9iY${  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *%gF2@=r8F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 BVpO#c~I  
    ,[!LCXp  
    2. 系统 EWj gI_-  
    KbW9s,:p  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    W?Ww2Lo%Y  
    3. 透镜系统组件编辑 =,V|OfW  
    !{%&=tIZ  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 cg{AMeW  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 z#6?8y2-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  QLKK.]  
    包括序列光学表面和光学介质。 l"+J c1\X  
    \6!W05[ Q  
    q3P+9/6  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 <q2?S  
    z-T{~{q  
    =^;P#kX  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l.+yn91%>  
    可以选择选取光线的方法: jZ*WN|FK?  
    — 在x-y-网格 ~O6\6$3b5E  
    — 六边形 ('[TLHP  
    — 自由选取 gm)@c2?.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    gVR@&bi7  
    +&=?BC}L9^  
    5. 系统的3维视图 jp2Q 9Z  
    B&?sF" Y  
    {*m?Kc7k  
    6. 其他系统参数 z@ 35NZn  
    系统由单色平面波照明 98XVa\|tl  
    照明波长266.08nm Zu*K-ep"  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yd_ (?V&;_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  ti@kKz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 jeUUa-zR3  
    光束尺寸探测器置于焦平面 mN_Z7n;^eh  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3L5r*fa  
    zZ-\a[F  
    k@mVxnC  
    TFQ!7'xk)  
    j]rz] k  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 IH *s8tPc  
    cC{"<fYF  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    V^s0fWa  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    qQ]]~F  
    )?! [}t  
    5e8AmY8;  
    q8P.,%   
    }iB|sl2J  
    YX*x&5]lq  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Y"g.IK`V  
    r=.A'"Kf  
    BqK(DH^9N  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ^Q<mV*~  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 m"eteA,"k_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kS5_&#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 KJn!Ap  
    O`1!  
    9. 焦平面上的结果 ,MPB/j^o5!  
    V N{NA+I  
    k44Q):ncY7  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bPK Ow<  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 k;W@LfP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm nuQ]8 -,  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 68fiG  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Hy:V`>  
    8 )*2@-Rp  
    10. 总结 jEdtJ EPa  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uP $ Cj  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 g^Yl TB  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qFX~[h8i+  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 w8Q<r.  
     
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