1. 描述 `c(,_oa{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 O&E1(M|*> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v3Te+oLg ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (s,Nq~O
Uk6Y6mU V 2. 系统 x44)o: ol:,02E& 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?U iwr{Q 3. 透镜系统组件编辑 ov*zQP
,BOB &u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?K|PM<A
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 TM[Z~n(wt
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +\\*Iy'xK
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %4imlP
9IN=m 5 y? )v-YGu 4. 光线追迹系统分析器-选项 +2|X 7wA 1;080|,s )PB&w%J
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J &u&G7#S
■ 可以选择选取光线的方法: Czid"Ih-
— 在x-y-网格 E)NH6~
— 六边形 R]m`v: 9
— 自由选取 3@XCP-`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0{gvd"q MS_&;2 5. 系统的3维视图 #HJ F== PF1!aAvVb
`a3q)}*Y 6. 其他系统参数 N 2L/A ■ 系统由单色平面波照明 nwOr ■ 照明波长266.08nm mhnD1}9,Ih ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: D$YAi%*H — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 43A6B — 一个虚拟屏位于焦平面 HJ !)D~M{ — 光束尺寸探测器置于焦平面 *<Fz1~%* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {{tH$j?Q !5?#^q ^.nvX{H8~= slOki|p; yodJGGAzk 7. 光线追迹系统分析器的结果 w4:n(.;HK {5#P1jlT 光线经过整个光学系统的三维视图
\-#~)LB]M 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
n&r- TEh]-x`
!|9$ 5w@ ;B x98LOO uQ vW@Tt 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Hm-+1Wx I{_St8 >#$(M5&}-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 c1jHg2xim
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l(v$+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 i74^J +xk
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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rPaD#GA[7 9. 焦平面上的结果 mB"zyL-
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2 8f-8B
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ua5m2&U