1. 描述 /f]/8b g> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?\M)WDO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P'F~\**5 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J% AG`
a7=YG6[ 2. 系统 e&ts\0 7vq
DZg 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
p}BGw:= 3. 透镜系统组件编辑 6lZGcRO
Se/ss!If
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,\}k~ U99
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 !U[:5@s06
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &L'6KEahR
■ 包括序列光学表面和光学介质。
d.I%k1`(
S[sr'ZW ]Y =S 4. 光线追迹系统分析器-选项 aPt{C3< >qn+iI2U sy=dY@W^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S%{lJYwXt
■ 可以选择选取光线的方法: zQt1;bo
— 在x-y-网格 zg)|rm
— 六边形 qZP:@r"
— 自由选取 D=JlA~tS>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `xGT_0&ck c l9$g7 5. 系统的3维视图 c`pYc ;xI0\a7
?F25D2[( 6. 其他系统参数 N:7.:Yw ■ 系统由单色平面波照明 Yq{jEatY{/ ■ 照明波长266.08nm p_;r%o= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: IOS^|2:, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "H@Fe — 一个虚拟屏位于焦平面
&AJUY()8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 m'c#uU ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~\3l!zIq wZ
O@J| VH[l\I(h Gg}t-_M 8M~u_`6 7. 光线追迹系统分析器的结果 i!tc Eh:yRJ_8 光线经过整个光学系统的三维视图
88#N~j~P 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Z|}H^0~7S i"<ZVw {x|MA(NO :Fc8S9 d;<.;Od$` k5q(7&C 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |MVV +.X 'Z y{mq\ u!M&;QL
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JOPTc]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }&C dsCM>2
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3eJ\aVI>pE
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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M *v^N]>"G 9. 焦平面上的结果 }=TqJy1
$G)&J2zL
6R L~iD;X
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]LMiMj
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t&38@p
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1T:)Zv'
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ]bf'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $f9 ,##/ Un]DFu 10. 总结 &&ja|o- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [1e.i ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =Z^un&' ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9#ZzE/ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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