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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 [PIh^ DhK  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 }R9>1u}6  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zhC#<  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 APJVD-  
    (y^svXU}a  
    2. 系统 1 u~Xk?  
    F(; =^w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    (ri eg F  
    3. 透镜系统组件编辑 RM3"8J  
    r`\6+Ntb.  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #?h-<KQQ  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 W9rmAQjn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  NZu2D  
    包括序列光学表面和光学介质。 q/h , jM  
    u|+Dqe`  
    \S_o{0ZY}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4[lym,8C  
    ;%Zu[G`C  
    iw{rns  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [*K.9}+G_  
    可以选择选取光线的方法: 6n?0MMtR  
    — 在x-y-网格 ["H2H rI2  
    — 六边形 xFScj0Y  
    — 自由选取 Aa`R40yl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    wBlo2WY  
    .[:y`PCF  
    5. 系统的3维视图 0 K(&EpVE  
    K2qKkV@  
     6hO]eS  
    6. 其他系统参数 .)c+gyaQ  
    系统由单色平面波照明 P_.zp5>  
    照明波长266.08nm B!x7oD9  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^2`*1el  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7Tc^}Q  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 <u}[_  
    光束尺寸探测器置于焦平面 n[gc`#7|{e  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -PCF Om"  
    PVi0|  
    a_ \t(U  
    @M*oq2U;  
    $ vBFs]h  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 A~ @x8  
    $}JWJ\-]  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    aeE~[m  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    WS.lDMYE7  
    7n[0)XR>  
    ,: Ij@u>)  
    T2}X~A  
    ^4C djMF-E  
    Oh3A?!y#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !PfdY&.)  
    wW, n~W  
    48)D%867.;  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ' 7H"ezt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .naSK`J,`  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6f^IAa|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +yxL}=4s  
    X`A+/{ H  
    9. 焦平面上的结果 hz+c]K  
    I&f!>y?,Z  
    !l$k6,WJi  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 bR<XQHl  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L5 wR4Ue)  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm p^s:s-"f\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 m[nrr6 G"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    OCu/w1 bc  
    y9~:[jB  
    10. 总结 K(AZD&D  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;NF:98  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bb}Fu/S  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K$wxiGg8P  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]VaMulb4  
     
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