1. 描述 j$k/oQ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !6J+# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )2F%^<gZ# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |+1k7S,
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*7!)8 2. 系统 Pj7MR/AH 0}\8,U 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)+a]M1j 3. 透镜系统组件编辑 = Fwzm^}6
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 v2>Dn=V
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 V|;os
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?'OL2~
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +4k4z:<n
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zzX9Q: 4. 光线追迹系统分析器-选项 }vW3<|z c`#4}$ Y_nlIcu
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 eS2VLVxu
■ 可以选择选取光线的方法: nyPW6VQ0n
— 在x-y-网格 Hnbd<?y
— 六边形 Kxsj_^&|i
— 自由选取 >yr3C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QaAMiCZFR buxyZV@1 5. 系统的3维视图 inyS 4tb u6/;=]0
Aoy=gK 6. 其他系统参数 qjIcRue'" ■ 系统由单色平面波照明 H&0S ■ 照明波长266.08nm mz^[C7(q'( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~tqNxlA — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iBqIV — 一个虚拟屏位于焦平面
83:qIfF — 光束尺寸探测器置于焦平面 kk/vgte-)e ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [Ny'vAHOj {ALOs^_- |bjLmGb w%f51Ex W u693< 7. 光线追迹系统分析器的结果 #M8>)o c 13I~
光线经过整个光学系统的三维视图
O9)k)A]`O 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Y\{lQMCy ~;nW+S$o
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9.,# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 GI#TMFz3 Q37zBC0 w7_2JS
■ VirtualLab可用于计算点列图。 8?k.4{?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K?mly$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8hvh
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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:,=Z)e 9. 焦平面上的结果 7>|p_o`e
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IR*:i{
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \ffU15@N
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }i2dXC/
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm )1]LoEdm`
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7.xJ:r|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 TWTRMc;z+ x8*@<]! 10. 总结 Hxd^oE ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \(xQ'AQ- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 .#ATI<t ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^b(>Bg)T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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