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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 >TglX t+  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Aa_@&e  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |$ ^3 5F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 iDcTO}  
    9n is8  
    2. 系统 D7nK"]HG;l  
    W0MgY%Qv[  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    cWo>DuW&  
    3. 透镜系统组件编辑 Iu P~Vt{m  
    }j2;B 8j  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Q3%]  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]&H"EHC<$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 q)9n%- YgP  
    包括序列光学表面和光学介质。 N {{MMIq  
    eCR^$z=c  
    C-S>'\ |8  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 p*5_+u  
    FRR05%K  
    UUDHknm"  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "p3<-06  
    可以选择选取光线的方法: N$e mS  
    — 在x-y-网格 OS`jttU@  
    — 六边形 SF-E>s!XL  
    — 自由选取 $ c-O+~  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    -5  
    YFS6YA  
    5. 系统的3维视图 ~n@rX=Y)]0  
    q/zU'7%@  
    aL[6}U0(}  
    6. 其他系统参数 ?2#'>B  
    系统由单色平面波照明 j24 3oD  
    照明波长266.08nm 8Yk*$RR9  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +@^);b6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3 e'6A^#  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 L$3lsu!4n  
    光束尺寸探测器置于焦平面 2Q%7J3I  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %H\J@{f  
    bKmwXDv'  
    \mh #MMp  
    PlH~um[J  
    =3(Auchl$Y  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Z[IM\# "  
    -c]AS[(  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    t?G6|3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ]Ac}+?  
    pAatv;Ex  
    V>T?'GbS  
    {>1FZsR49t  
    J?3/L&seA  
    z5$Q"Y.D  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w1"+HJd  
    z4SJxL  
    cw!,.o%cD  
    VirtualLab可用于计算点列图。 c$ZV vu  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "QdK Md  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0uDDaFS  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Q"qI'*Kgt  
    >E<ib[vK[  
    9. 焦平面上的结果 aq$ hE-{28  
    Ldjz-  
    l@B9}Icq  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tsc `u>  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lNL=Yu2p_  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm z/{X{+Z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 *(Dmd$|0|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    C")genMH  
    v3-' G gM  
    10. 总结 |[>@Kk4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tON>wmN  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 H\S)a FY[  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5X!-Hj  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 SL4?E<Jb  
     
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