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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 j$k/oQ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !6J+#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )2F%^<gZ#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |+1k7S  ,  
    zH *7!)8  
    2. 系统 Pj7MR/AH  
    0}\8,U  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )+a]M1j  
    3. 透镜系统组件编辑 = Fwzm^}6  
    @nM+*0 $d  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 v2 >Dn=V  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 V|;os  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?'OL2 ~  
    包括序列光学表面和光学介质。 +4k4z:<n  
    Fz]!2rt  
    zzX9Q:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }vW3<|z  
    c`#4}$  
    Y_nlIcu  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 eS2VLVxu  
    可以选择选取光线的方法: nyPW6VQ0n  
    — 在x-y-网格 Hnbd<?y   
    — 六边形 Kxsj_^&|i  
    — 自由选取 >yr3C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    QaAMiCZFR  
    buxyZV@1  
    5. 系统的3维视图 inyS4tb  
    u6/;=]0   
    Aoy=gK  
    6. 其他系统参数 qjIcRue'"  
    系统由单色平面波照明 H&0S  
    照明波长266.08nm mz^[C7(q'(  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~tqNxlA  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iBqIV  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  83:qIfF  
    光束尺寸探测器置于焦平面 kk/vgte-)e  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [Ny'vAHOj  
    {ALOs^_-  
    |bjLmGb  
    w%f51Ex  
    Wu693<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #M8>)oc  
    13I~   
    光线经过整个光学系统的三维视图
    O9)k)A]`O  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Y\{lQMCy  
    ~;nW+S$o  
    GoG_4:^#h  
    +Z%8X!Q  
    S3YAc4  
    W7 9.,#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G I#TMFz3  
    Q37zBC 0  
    w7_2JS  
    VirtualLab可用于计算点列图。 8?k.4{?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K?mly$  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8hvh xp  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 OY(znVHU  
    :,=Z)e  
    9. 焦平面上的结果 7>|p_ o`e  
    u5dyhx7  
    IR*:i{  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \ffU15@N  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }i2dXC/  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm )1]LoEdm`  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7.xJ:r|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    TWTRMc;z+  
    x8* @<]!  
    10. 总结 Hxd ^oE  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \( xQ'AQ-  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 .#ATI<t  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^b(> Bg )T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 [KwwhI@3  
     
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