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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ;!S5P(  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vRC >=y*=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 rP7 QW)NF  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f;BY%$  
    6_KvS  
    2. 系统 4jebx jZ  
    0j(U &  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    yjL+1_"B  
    3. 透镜系统组件编辑 %AA&n*m  
    S._2..%G  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 z6@8IszU  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v:4j 3J$z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4!!PrXE  
    包括序列光学表面和光学介质。 s2SV   
    XJeWhk3R9  
    +S0aA Wal  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 U[x$QG6m!  
    iKrk?B<  
    2H.g!( Oza  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 i,<'AL )  
    可以选择选取光线的方法: ]-X6Cl  
    — 在x-y-网格 D tZ?sG  
    — 六边形 gjG SI'M0B  
    — 自由选取 GxD`M2  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    {f-O~P<Z4  
    E8r6P:5d`  
    5. 系统的3维视图 ?j/FYi  
    qA!p7"m|  
    P1rjF:x[*  
    6. 其他系统参数 ?V!5VHa  
    系统由单色平面波照明 "JSIn"/  
    照明波长266.08nm v[ML=pL  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P*iC#w]m  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 xA7~"q&u  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 PF/K&&9}  
    光束尺寸探测器置于焦平面 v2rO>NY4  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (J5} 1Q<K  
    a`xAk ^w+  
    \h=*pAf  
    oMg-.!6  
    */IiL%g4u  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 XjL3Ar*  
    @!dIa1Q"  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    S=) c7t?a  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    YdO*5Gb6  
    e7"T37  
    [G$#jUt/O  
    G1jj:]1  
    Wx]Xa]-  
    g?"QahH G  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o 7kg.w|  
    W=^.s>7G  
    V5ZC2H  
    VirtualLab可用于计算点列图。 RN-gZ{AW  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ``jNj1t{}  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 vwu/33  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 HBe*wkPd  
    xSD*e 0  
    9. 焦平面上的结果 asYk #;z\"  
    r9{@e^Em  
    Nf!N;Cy?  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /lUfxc4  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 I{dy,\p  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm $Okmurnn  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 FulFEnSV  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    #fa,}aj  
    HJ]v-  
    10. 总结 /jJD {  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kE<CuO  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 50 Gr\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &,G2<2_b  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qI7KWUR  
     
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