1. 描述 pm]fQuq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 jXR16| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j Z'&0x"U ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "ahvNx;x
_D-Riu>#J 2. 系统 -p8e nem@sB;v# 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
l$XA5#k
3. 透镜系统组件编辑 XxOn3i
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qrDcL>Hrn
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S< x:t(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _01Px a2.
■ 包括序列光学表面和光学介质。 =_QkH!vI
)zJ=PF 2k+16/T 4. 光线追迹系统分析器-选项 n,nisS +X^4;
& D 'L{wm
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [ud|dwP"
■ 可以选择选取光线的方法: 6%?A>
— 在x-y-网格 og-]tEWA1
— 六边形 Y6VQ:glDT-
— 自由选取 qG9qN.|dC
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "$8w.C f z%tA39m 5. 系统的3维视图 oh\1>3,Ns B||c(ue
x!?Z*v@I 6. 其他系统参数 sXB+s ■ 系统由单色平面波照明 re uYTH ■ 照明波长266.08nm Uu5C%9^s ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: k/#>S*Ne — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,!>fmU`E4 — 一个虚拟屏位于焦平面 8^X]z|[d2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 N!m%~kS9k< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :`J>bHE Hsl{rN
1nB@zBQu- `Bu9Nq F5IZ"Itu( 7. 光线追迹系统分析器的结果 A&l7d0Z^j5 Wz{%"o 光线经过整个光学系统的三维视图
xG%*PNM0q 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
f)^t') evOb U**)H_S/~ KjYDFrR4 uF<S *<kD"m 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 c[{UI }+DDJ6Jzs U Um|@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 xjrlc9
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~:Ixmqi}R
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {8:o?LnMW
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
W 5I=X]&
!KDr`CV& 9. 焦平面上的结果 UE7'B?
sVoR?peQ
%MuaW(I o
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s##Ay{
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (}0S1)7t
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm w \DspF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ,'_(DJX
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 K;C_Z/<% dXO=ZU/N 10. 总结 @g\;` #l ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8^T2^gs ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M5u_2;3 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^4UcTjh ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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