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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 RT)d]u  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \<y`!"c  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :Qumb  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Rn{iaM2Y<  
    nX(+s*Y+w  
    2. 系统 zY,r9<I8_x  
    ;k7xMZs  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    I 4,K43|  
    3. 透镜系统组件编辑 PIH*Rw*GKZ  
    @$LWWTr;  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4T!+D  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "Jt.lL ]5  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 iTag+G4*  
    包括序列光学表面和光学介质。 QS{1CC9$  
    r9 ui|>U"  
    0BH_'ZW  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 qjf[zF  
    TQx.KM>y  
    kMtwiB|7j  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 <FWF<r3F  
    可以选择选取光线的方法: pcT:]d[1)  
    — 在x-y-网格 fcNL$U&-,i  
    — 六边形 (xVsDAp=@  
    — 自由选取 } p&&_?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    RAG3o-  
    |g #K]v  
    5. 系统的3维视图 o(:[r@Z0z  
    % !du,2  
    dHK`eS$sb  
    6. 其他系统参数 ~.UrL(l=  
    系统由单色平面波照明 AgFVv5  
    照明波长266.08nm zgs(Dt;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <Wp QbQM  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 PI`jExL  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 yto,>Utzg  
    光束尺寸探测器置于焦平面 )yTm.F  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [ { bV4  
    _~*,m#uxJ  
    o(S{VGi,  
    f. FYR|%tq  
    KuMF^0V%c  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 )('%R|$ /  
    z)9wXo#~  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    wi4=OU1L)a  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    3'^k$;^  
    \ gLHi~  
    4\6N~P86  
    'B@e8S) y  
    DwrO JIy  
    :cGt#d6  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cG?cUw).E  
    ,4ei2`wV  
    Eh|]i;G%  
    VirtualLab可用于计算点列图。 <o+<H  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 GKoK7qH\J  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w9o^s5n  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 " t7M3i_  
    {W]=~*w  
    9. 焦平面上的结果 'A:x/iv}^  
    (HSgEs1d  
    D<Z p!J1o  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 'k4E4OB  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nzmDA6d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm hWKJ,r%9;  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 55;g1o}}f  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    wlEdt1G  
    K^ B%/T]d  
    10. 总结 ~i21%$  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @DZB9DDR  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 WHlYo5?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =e8bNg  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 V^\8BVw  
     
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