1. 描述 ,UJPLj^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e/I{N0SR ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @)B5^[4(; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `)_FO]m}jS
L.&Vi"M <@ 2. 系统 T{2//$T? pNme jz: 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
g(/O)G. 3. 透镜系统组件编辑 [9Hm][|Ph
Zl/+HU~
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?O]gFn
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9K_HcLO%y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C
5!6k1TcE
■ 包括序列光学表面和光学介质。 T[K?A+l
dKG<" "[Lp-4A\ 4. 光线追迹系统分析器-选项 4p g(QeR h.%Qn vL lw lW.C
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -2XIF}.Hu
■ 可以选择选取光线的方法: z@LP9+?dE
— 在x-y-网格 R5~m"bE
— 六边形 {_D'\i(Y_
— 自由选取 6iS+3+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a .Vs>1 g4932_tC 5. 系统的3维视图 m=y)i]=1 2Nszxvq,
F=lj$?4{ 6. 其他系统参数 KWkT
9[H ■ 系统由单色平面波照明 Msdwv.jM ■ 照明波长266.08nm D7oV&vXg ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `OK
}q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $a]dxRkz — 一个虚拟屏位于焦平面 lKSI5d — 光束尺寸探测器置于焦平面 pEP.^[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;]e"bX mQ)l`wGh "@Fxfd+Ot 9]9(o kF7Al]IgT 7. 光线追迹系统分析器的结果 ,4UJ|D=J "R]K!GUU 光线经过整个光学系统的三维视图
cZ,_O~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
auv\fR : 3Pq)RD|hn Q?q
m~wD e$h\7i:( (/BkwbJyE {hR23eE)# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 UJ&,9}L8 n(MEG'9} 8t"DQ Y-R
■ VirtualLab可用于计算点列图。 we?#)9Q<
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vUNE!j
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 W>49,A,q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
C $;~=
{,-# ;A*yW 9. 焦平面上的结果 Plv+ mb
&0TheY;srf
u?i1n=Ne
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4]R3*F
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 :-8u*5QK]`
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 'r0gqtB
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 _X/`4 G
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 c`Cn9bX >aK&T" 10. 总结 '{~ej: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 XQPJ(.G ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~>|U %3}] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 + u+fEg/A ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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