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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ,UJPLj^  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 e/I{N0SR  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @)B5^[4(;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `)_FO]m}jS  
    L.&Vi"M <@  
    2. 系统 T{2//$T?  
    pNme jz:  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    g(/O)G.  
    3. 透镜系统组件编辑 [9Hm][|Ph  
    Zl/+HU~  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?O]gFn  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9K_HcLO%y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C 5!6k1TcE  
    包括序列光学表面和光学介质。 T[K?A+l  
    dKG<"  
    "[Lp-4A\  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4p g(QeR  
    h.%Qn vL  
    lw lW.C  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -2XIF}.Hu  
    可以选择选取光线的方法: z@LP9+?dE  
    — 在x-y-网格 R5~m"bE  
    — 六边形 {_D'\i(Y_  
    — 自由选取 6iS+3+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    a.Vs >1  
    g4932_tC  
    5. 系统的3维视图 m=y)i]=1  
    2Nszxvq,  
    F= lj$?4{  
    6. 其他系统参数 KWkT 9[H  
    系统由单色平面波照明 Msdwv.jM  
    照明波长266.08nm D7oV&vXg  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ` OK }q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $a]dxRkz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 lKSI5d  
    光束尺寸探测器置于焦平面 pEP.^[  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;]e"bX  
    mQ)l`w Gh  
    "@Fxfd+Ot  
    9]9(o  
    kF7Al]IgT  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ,4UJ| D=J  
    "R]K!GUU  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    cZ,_O~  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    au v\fR :  
    3Pq)RD|hn  
    Q?q m~wD  
    e$h\7i:(  
    (/BkwbJyE  
    {hR23eE)#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 UJ&,9}L8  
    n(MEG'9}  
    8t"DQ Y-R  
    VirtualLab可用于计算点列图。 we? #)9Q<  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 vUNE! j  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 W>49,A,q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 C$; ~=  
    {,-#;A*yW  
    9. 焦平面上的结果 Plv+mb  
    &0TheY;srf  
    u?i1n=Ne  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4]R3*F  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 :-8u*5QK]`  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 'r0gqtB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _X/`4 G  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    c`Cn9bX  
    >a K&T"  
    10. 总结 '{~ ej:  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 XQPJ(.G  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~>|U%3}]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 + u+fEg/A  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 SfR_#"Uu  
     
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