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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 BHXi g~d  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8;PkuJR_]  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &)eg3P)7  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w =^.ICyb@  
    0lw>mxN  
    2. 系统 y(A' *G9  
    J~YT~D 2L  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Onmmcem  
    3. 透镜系统组件编辑 "fFSZ@,r  
    ?KT{H( rU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bqx5N"  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]rcF/uQJ<n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jDzQw>T X  
    包括序列光学表面和光学介质。 voWH.[n^_  
    "kg`TJf=  
    Lu.zc='\  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 gN&i &%*!  
    eH&F gmU  
    f| RmAP;X,  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^l &lwSRVt  
    可以选择选取光线的方法: K}*ets1s}  
    — 在x-y-网格 .nV2 n@SR  
    — 六边形 DM.lQ0xk  
    — 自由选取 oy+|:[v:Fk  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    |dRVSVN  
    {C1crp>q  
    5. 系统的3维视图 :qYp%Ub  
    OLw]BJXYaE  
    LZ*8YNp1'  
    6. 其他系统参数 mh }M|h5Im  
    系统由单色平面波照明 9hp&HL)BOa  
    照明波长266.08nm Uqr>8|t?  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yzK;  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p|UL<M9{a]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 OG\i?N  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8&<:(mAP  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Hxu5Dx5![  
    .hTqZvDa  
    =u~nLL  
    %&ejO= r  
    X -pbSq~5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `y8pwWo-o  
    j50vPV8m  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    dj gk7  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
     tm1 =  
    r924!zdbR  
    =C\Tl-$\f  
    F^ q{[Z  
    HB07 n4 |  
    'g v0;L  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *dBy<dIy  
    ;p`1Y<d-O  
    m*0YMS>Y |  
    VirtualLab可用于计算点列图。 dab]>% M  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |}"YUk^  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @!ChPl  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 [-~pDkf:  
    Mw[3711v  
    9. 焦平面上的结果 rYUIFPN  
    hA=uoe\  
    jP@ @<dt  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2D\ pt  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ZR>BK,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q3@zUjq_Q  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 SX4*804a_  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    D%SOX N  
    7Sdo*z  
    10. 总结 Z)!8a$M~  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 CS^6$VL7e  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [6GYYu\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /VR~E'Cy%  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 An2 >]\L  
     
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