1. 描述 BHXi g~d ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8;PkuJR_] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
&)eg3P)7 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w =^.ICyb@
0lw>mxN 2. 系统
y(A' *G9 J~YT~D2L 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Onmmcem 3. 透镜系统组件编辑 "fFSZ@,r
?KT{H(rU
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bqx5N"
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]rcF/uQJ<n
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jDzQw>TX
■ 包括序列光学表面和光学介质。 voWH.[n^_
"kg`TJf= Lu.zc='\ 4. 光线追迹系统分析器-选项 gN&i&%*! eH&F gmU f|RmAP;X,
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^l &lwSRVt
■ 可以选择选取光线的方法: K}*ets1s}
— 在x-y-网格 .nV2n@SR
— 六边形 DM.lQ0xk
— 自由选取 oy+|:[v:Fk
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |dRVSVN {C1crp>q 5. 系统的3维视图 :qYp%Ub OLw]BJXYaE
LZ*8YNp1' 6. 其他系统参数 mh
}M|h5Im ■ 系统由单色平面波照明 9hp&HL)BOa ■ 照明波长266.08nm Uqr>8|t? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yzK; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p|UL<M9{a] — 一个虚拟屏位于焦平面 OG\i?N — 光束尺寸探测器置于焦平面 8&<:(mAP ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Hxu5Dx5![ .hTqZvDa =u~nLL
%&ejO=r X-pbSq~5 7. 光线追迹系统分析器的结果 `y8pwWo-o j50vPV8m 光线经过整个光学系统的三维视图
dj gk7 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
tm1= r924!zdbR =C\Tl-$\f F^ q{[Z HB07 n4 |
'g v0;L 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *dBy<dIy ;p`1Y<d-O m*0YMS>Y |
■ VirtualLab可用于计算点列图。 dab]>% M
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |}"YUk^
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @!ChPl
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
[-~pDkf:
Mw[3711v 9. 焦平面上的结果 rYUIFPN
hA=uoe\
jP@ @<dt
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2D\pt
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ZR>BK,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q3@ zUjq_Q
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 SX4*804a_
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 D%SOX N 7Sdo*z 10. 总结 Z)!8a$M~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 CS^6$VL7e ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [6GYYu\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /VR~E'Cy% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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