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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ;tlvf?0!  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。  tmKHT  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c1Skt  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }Ge$?ZFH  
     (cx Q<5  
    2. 系统 `f S$@{YI_  
    0 *2^joUv  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    uWkW T.>$  
    3. 透镜系统组件编辑 ',P$m&z  
    kZ$2Uss  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qx|~H'UuBN  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 -e(e;e  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  Z/RSZ-  
    包括序列光学表面和光学介质。 a[I :^S  
    .kcyw>T`I  
    5<YV`T{5Kl  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 T,r?% G{XE  
    7_HFQT1.N  
    }20~5!  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xPCRT*Pd  
    可以选择选取光线的方法: l|v`B6(  
    — 在x-y-网格 WUrE1%u  
    — 六边形 Lcb5^e?'Q  
    — 自由选取 F JCs$0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    @q]4]U)  
    zncKd{Q\tP  
    5. 系统的3维视图 g-?@a  
    {.eo?dQ  
    u:.w/k%+  
    6. 其他系统参数 F/V -@SF  
    系统由单色平面波照明 w$iQ,--  
    照明波长266.08nm y*=sboX  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T[Lz4;TRk5  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 'h R0JXy  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 F_G .$a Cc  
    光束尺寸探测器置于焦平面 jIEntk  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DQ<4`wEM  
    (@m/j2z  
    U$|q]N  
    ?zex]!R  
    8yk7d76Y  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ?8N^jjG  
    __!LTpp  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    y 4U|~\]  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ulE5lG0c  
    gFqF&t  
    ,?P<=M  
    4M#i_.`z  
    60;_^v  
    LTxP@pr  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %_."JT$v{  
    OClG dFJ|  
    :_}xN!9LA  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _K}q%In  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _3(rwD  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )(0if0D4  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 s_  t/  
    +5S>"KAUt0  
    9. 焦平面上的结果 vJxE F&X  
    O}>@G  
    <8(=Lv`)q  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p[w! SR%=  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Fei5'  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm (<YBvpt4>  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /78]u^SW  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    yX4 Vv{g  
    tL3R<'  
    10. 总结 &Ts!#OcB,  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3m= _a  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +j{(NwsX  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "I66 @d?  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Da615d  
     
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