1. 描述 ;tlvf?0! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 tmKHT ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c1Skt ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }Ge$?ZFH
(cx
Q<5 2. 系统 `fS$@{YI_ 0
*2^joUv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
uWkW T.>$ 3. 透镜系统组件编辑 ',P$m&z
kZ$2Uss
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qx|~H'UuBN
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 -e(e;e
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
Z/RSZ-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 a[I
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.k cyw>T`I 5<YV`T{5Kl 4. 光线追迹系统分析器-选项 T,r?% G{XE 7_HFQT1.N }20~5!
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xPCRT*Pd
■ 可以选择选取光线的方法: l|v`B6(
— 在x-y-网格 WUrE1%u
— 六边形 Lcb5^e?'Q
— 自由选取 FJCs$0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @q]4]U) zncKd{Q\tP 5. 系统的3维视图 g-? @a {.eo?dQ
u:.w/k%+ 6. 其他系统参数 F/V-@SF ■ 系统由单色平面波照明 w$iQ,-- ■ 照明波长266.08nm y*=sboX ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T[Lz4;TRk5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 'hR0JXy — 一个虚拟屏位于焦平面 F_G .$aCc — 光束尺寸探测器置于焦平面 jI Entk ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DQ<4`wE M (@m/j2z U$|q]N ?zex]!R 8yk7d76Y 7. 光线追迹系统分析器的结果 ?8N^jjG _ _!LTpp 光线经过整个光学系统的三维视图
y4U|~\] 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ulE5lG0c gFqF&t ,?P< =M 4M#i_.`z 60;_^v LTxP@pr 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %_."JT$v{ OClG dFJ| :_}xN!9LA
■ VirtualLab可用于计算点列图。 _K}q%In
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _3(rwD
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )(0if0D4
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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+5S>"KAUt0 9. 焦平面上的结果 vJxEF&X
O}>@G
<8(=Lv`)q
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p[w! SR%=
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 F ei5'
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ( <YBvpt4>
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /78]u^SW
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 yX4Vv{g tL3R<' 10. 总结 &Ts!#OcB, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3m= _a ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +j{(NwsX ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "I66@d? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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