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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 0[7"Lhpd  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q;nC #cg  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;!3: 3;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 2)QZYgfh  
    3m$Qd#|  
    2. 系统 L EFLKC  
    G2P:|R  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    p&HO~J <w  
    3. 透镜系统组件编辑 <HpUP!q8v  
    (>lH=&%zj  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8;f5;7M n  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 g{2~G6%;0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E9 @Sc>e  
    包括序列光学表面和光学介质。 Y&DoA0/y  
    rD !GEU  
    GR 1%(,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 (eHTXk*V`  
    it-2]Nw  
    i]qxF&1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J*Cf1 D5!  
    可以选择选取光线的方法: X7tBpyi  
    — 在x-y-网格 1/?K/gL  
    — 六边形 2j ]uB0  
    — 自由选取 h$%h w+"4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    QDb8W*&<  
    Z4gn7 'V  
    5. 系统的3维视图 8-@H zS%  
    7fl{<uf  
    y!q`o$nK  
    6. 其他系统参数 wZKmU  
    系统由单色平面波照明 >CHb;*U  
    照明波长266.08nm oc[z dIk  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: t=jG$A  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 nD!t*P  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 D^f;X.Qm  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7m:TY>{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u4 ~.[3E*  
    b"OHXu  
    .VohW=D3  
    %D% Ok7s})  
    Tiimb[|  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0E{DO<~  
    o/=61K8D  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nAX/u[  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    R+.kwq3CED  
    w")m]LV  
    4C*0MV  
    6(ER$  
    ;w._/  
    ' hdLQ\J  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]M~ 7L[  
    JLg/fB3%  
    v0T?c53?  
    VirtualLab可用于计算点列图。 x<.(fRv   
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q"3gvIyc  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :X}Ie P  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 C3 BoH&  
    iDltN]zS  
    9. 焦平面上的结果 n_wF_K\h  
    oqg +<m  
    ;*=7>"o'`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _p^Wc.[~M  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T#vY(d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm TpdYU*z_Br  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Kb'4W-&u!  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    S9'Xsh  
    0vMKyT3 c  
    10. 总结 *uKYrs [  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 a^Q ?K\c4N  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K1&t>2=%  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 en6;I[\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X}ihYM3y/  
     
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