1. 描述 0[7"Lhpd ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q;nC #cg ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;!3: 3; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 2)QZYgfh
3m$Qd#| 2. 系统 L EFLKC G2P:|R 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
p&HO~J<w 3. 透镜系统组件编辑 <HpUP!q8v
(>lH=&%zj
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8;f5;7Mn
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 g{2~G6%;0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E9@Sc>e
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Y&DoA0/y
rD !GEU GR 1%(, 4. 光线追迹系统分析器-选项 (eHTXk*V` it-2]Nw i]qxF&1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J*Cf1 D5!
■ 可以选择选取光线的方法: X7tBpyi
— 在x-y-网格 1/?K/gL
— 六边形 2j]uB0
— 自由选取 h$%h w+"4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QDb8W*&< Z4gn7
'V 5. 系统的3维视图 8-@HzS% 7fl{<uf
y!q`o$nK 6. 其他系统参数 wZKmU ■ 系统由单色平面波照明 >CHb;*U ■ 照明波长266.08nm oc[z dIk ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: t=jG $A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 nD!t*P — 一个虚拟屏位于焦平面 D^f;X.Qm — 光束尺寸探测器置于焦平面 7m:TY>{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u4 ~.[3E* b"OH Xu .VohW=D3 %D%
Ok7s}) Tiimb[| 7. 光线追迹系统分析器的结果 0E{DO<~ o/=61K8D 光线经过整个光学系统的三维视图
nAX/u[ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R+.kwq3CED w")m]LV 4C*0MV 6(ER$ ;w._/ ' hdLQ\J 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]M~7L[ JLg/fB3% v0T?c53?
■ VirtualLab可用于计算点列图。 x<.(fRv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q"3gvIyc
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :X}Ie P
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
C3
BoH&
iDltN]zS 9. 焦平面上的结果 n_wF_K\h
oqg +<m
;*=7>"o'`
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _p^Wc.[~M
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 T#vY(d
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm TpdYU*z_Br
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Kb'4W-&u!
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 S9'Xsh 0vMKyT3 c 10. 总结 *uKYrs [ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 a^Q
?K\c4N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 K1&t>2=% ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 en6;I[\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
X}ihYM3y/