1. 描述 }%VHBkuc ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rP*?a~< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hVd63_OO ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &oT]ycz%
\\[P^ tsF 2. 系统 ~ WVrtY Ju W7.]V)$wM 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
0py0zE6,, 3. 透镜系统组件编辑 c0tv!PSw
W] RxRdY6[
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 f1Rm9``
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c^m}ep\F5L
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9;:Lf
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?A]:`l_"
,\Cy'TSz `AYHCn 4. 光线追迹系统分析器-选项 S:Hg
=|R ]E, u\6:Txqq
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `TAhW
■ 可以选择选取光线的方法: +|^rz#X
— 在x-y-网格 6}[W%S]8
— 六边形 ?:UDK?
— 自由选取 ETYw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,KZ_#9[> *r[PZ{D+ 5. 系统的3维视图 KpSHf9!&[ 'DVPx%p
c\n\gQ:LQ 6. 其他系统参数 2LXy$[)7 ■ 系统由单色平面波照明 ptX;-'j( ■ 照明波长266.08nm `^RpT]S ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: iQ:]1H s — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 =EFF2M`F — 一个虚拟屏位于焦平面 &g|-3)A — 光束尺寸探测器置于焦平面 `NrxoU= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j:rGFd |[C3_'X Rs7=v2>I kAU[lPt*R =!
/S | 7. 光线追迹系统分析器的结果 F?TAyD* e;!si>N 光线经过整个光学系统的三维视图
qY0p)`3!% 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
:+; UW
\ nT9B?P> sAWUtJ UP^{'eh a3JG&6- :4/RB%)" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rD
fUTfv|Q 9tWu>keu a//<S?d$:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 )y_MI
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Z_Hc":4i
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WM~@/J
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
K'Wg_ihA
o{lR_ 9. 焦平面上的结果 SVo:%mX
_|`S9Nms
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +.:- :
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .sgP3Ah
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm RdRF~~R%
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 FTsvPLIv"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *v_+a: ".Luc7 10. 总结 Q!iM7C!8 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 fKb8)PDP ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n3-5`Jti ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M<4~ewWJ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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