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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 }%VHBkuc  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rP*?a~<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hVd63_OO  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &oT]ycz%  
    \\[P^ tsF  
    2. 系统 ~WVrtYJu  
    W7.]V)$wM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    0py0zE6,,  
    3. 透镜系统组件编辑 c0tv!PSw  
    W] RxRdY6[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 f1Rm9``  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c^m}ep\F5L  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9;:Lf  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?A]:`l_"  
    ,\Cy'TSz  
    `AYHCn  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 S:Hg =|R  
    ]E,  
    u\6:Txqq  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `TAhW  
    可以选择选取光线的方法: +|^rz#X  
    — 在x-y-网格 6}[W%S]8  
    — 六边形 ?:UDK?  
    — 自由选取 ETYw  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ,KZ_#9[>  
    *r[PZ{D+  
    5. 系统的3维视图 KpSHf9!&[  
    'DVPx%p  
    c\n\gQ:LQ  
    6. 其他系统参数 2LXy$[)7  
    系统由单色平面波照明 ptX;-'j(  
    照明波长266.08nm `^RpT]S  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: iQ:]1H s  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 =EFF2M`F  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &g|-3)A  
    光束尺寸探测器置于焦平面 `NrxoU=  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j:rGFd  
    |[C3_'X  
    Rs7=v2>I  
    kAU[lPt*R  
    =! /S |  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 F?TAyD*  
    e;!si>N  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qY0p)`3!%  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    :+; U W \  
    nT9B?P>  
    sAWUtJ  
    UP^{'eh  
    a3JG&6-  
    :4/RB%)"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rD fUTfv|Q  
    9tWu>keu  
    a//<S?d$:  
    VirtualLab可用于计算点列图。 )y_MI r  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Z_Hc":4i  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 WM~@/J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 K'Wg_ihA  
    o{lR_  
    9. 焦平面上的结果 SVo:%mX  
    _|`S9Nms  
    ;5?$q  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +.:- :  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .sgP3Ah  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm RdRF~~R%  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 FTsvPLIv"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *v_+a:  
    ".Luc 7  
    10. 总结 Q!iM7C!8  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 fKb8)PDP  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n3 -5`Jti  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M<4~ewWJ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B ;@7  
     
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