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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6922
    光币
    28760
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： :Nz2z[W$  
     mUik A9u5=  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； |3KLk?2  
     j=r P:#  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 g0["^P1tV  
     yL-YzF2  
    结构设计 Yz +ZY  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 .0`m\~L  
     7V!*NBsl  
    S;286[oq@  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 R[hzMU}KB  
     YOmM=X+'H  
         1`qMj0Y_  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 IHv[v*4:  
     7E79-r&n  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 GE%Z9#E  
    S(*sw 0O@+  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 =V-|#j  
     ]Hefm?9*^  
    Ku} Z  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值  jYmR  
    NUWDc]@J*  
    3@$,s~+ 3  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 g'n7T|h ~  
     biU^[g("  
    ?En O"T.  
    VKG&Y_7N  
    导出加工数据 _C*fs< #  
     gf &Pn  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) pUQ/03dp  
     3 09hn  
    ':3 pq2{  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 afuOeZP  
     fY51:0{  
    CFMo)"  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 xRzFlay8  
           pm 9"4z  
    lvBx\e;7P  
    PGhY>$q>b  
    CR"|^{G  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 $!-c-0ub  
    SwTL|+u  
    <66X Xh.  
    #FCnA  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 '$ =>  
     C.Kh [V\Ut  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 T?tgd J  
    t4zkt!`B  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 C'.L20qW  
    _/-jX  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 6;\I))"[  
    {GK;63`1  
    =S+wCN  
    导出加工数据列表 d iL +:H  
     >~[c|ffyo/  
    P2BWuh F  
    8 D3OOab  
    导入加工数据 j,lT>/  
     .f%fHj  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI bLij7K 2H  
     &_dt>.  
    - D  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) QwJV S(Gs4  
     r ~jm`y  
    P;=n9hgHI  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) #~}nFY.  
    :dl]h&C^  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 nm5cpnNl  
     Fq~yL!#!  
    0QXVW}`hz  
    J>wt (] y  
    3G,Oba[$<  
    0%&1\rm+j  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Neq+16*u  
    Y!~49<;  
    Z0x ar]4V  
    6) 导入完成，观察3D视图 ,<n}W+3  
     LSa,1{  
    Q]Y*K  
    \r;#g{ _  
    Cc+t}"^  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ocqU=^ta  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 5gb|w\N>  
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