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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5545
    光币
    21885
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： x[X`a  
     #jA)>z\Q^  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； m`}{V5;  
     G1d(,4Xp  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 O/b+CSS1  
     cWa)#:JOV  
    结构设计 A@$kLex  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 rs]I  
     Ew$I\j*  
    gXy -Mpzp  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 3FNT|QF  
     %8r/oS  
         vFQ,5n;fF  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 4W;S=#1  
     jfp z`zE  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 QyGnDomQ  
    dRaOGm)  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 lV6dm=k  
     Zu/<NC (  
    i9A~<  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 )Gk`[*q ;  
    %j+xgX/&  
    ub K7B |p  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 fU+Pn@'  
     [L(h G a  
    nxo+?:**  
    nwmW.(R4  
    导出加工数据 [[+ pMI  
     A''pS  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) eQDX:b  
     EWj gI_-  
    09h.1/  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 W?Ww2Lo%Y  
     =,V|OfW  
    !{%&=tIZ  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 cg{AMeW  
           _$s> c!t,#  
     QLKK.]  
    l"+J c1\X  
    \6!W05[ Q  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 q3P+9/6  
    ]$b2a&r9  
    ~nY]o"8D  
    pv,45z0  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Jkt4@h2Q}  
     rS8 w\`_  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 B.dT)@Lx0  
    {XCf-{a]~  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 >3.X?  
    g(E"4M@t!  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 `3_lI~=eH  
     aSutM  
    Ond'R'3\E  
    导出加工数据列表 9jir* UI  
     ipE ]}0q  
    8V/L:h#7  
    >SbK.Q@ei  
    导入加工数据 X[yNFW}S2W  
     vX|UgK?2^  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI  C})'\1O%  
     BMyzjteS+  
    ca<"  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) .ic:`1  
      |a^U]  
    Nf41ZT~  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) {FO$yw=>  
    V ~{fB~  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 x2Lq=zwJ  
     qoMfSz"(  
    XzIx:J6  
    ]; $] G-  
    KvFMs\o6p  
    }28=  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ),}AI/j;zY  
    ?#A]{l  
    e GL1  
    6) 导入完成，观察3D视图 oXsL9,  
     J9~i%hzr  
    8jlLUG:g  
    0#o/^Ah  
    + kK  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 {V19Zv"j  
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