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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6107
    光币
    24688
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： y2Eq-Ie  
     2kukQj (n  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； K9-;-{qb  
     0xE37Ld,  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 >?3yVE  
     !@>_5p>q*  
    结构设计 $~)BO_;o  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ctg U  
      vVvx g0  
    {"kE u  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 \e)>]C}h  
     /Z3 Mlm{  
         QjT$.pU d  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 P}"=67$  
     Ygeg[S!7  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 t)qu@m?FZ)  
    @ FNaCmBX  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 -d-vzri  
     M[eq)a$  
    5:R$xgc  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 $G\WW@*GE  
    "mk@p=d  
    ?Z^?A^; }$  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 s+m3&(X  
     \p4>onGI  
    >b;o&E`\  
    d9=i{i3  
    导出加工数据 bwR$9 10b  
     ,|}}Ml  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Aj{c s  
     KIRCye  
    ;{L~|q J  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 *;ehSg9  
     SAVA6 64  
    oMNt676  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 s!IX3rz  
           C(%b!Q,2  
    Ei HQ&u*  
    %~e+H|  
    r5,V-5b  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 qkbGM-H%U  
    REg&[e+%  
    Sj'Iz #  
    N%f% U  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 .IU\wN  
     *SK`&V  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ""f'L,`{.  
    wPE\?en  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 {{r.?m#{  
    " "@kBY1C  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 _j\GA6  
    ]5O]=^ u0  
    RW`j^q,c3  
    导出加工数据列表 RVN;j4uMg  
     Yi?v |H<a  
    0f5c#/7C9  
    !AXt6z cZ  
    导入加工数据 y3 "+4e  
     pi|=3W  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI rRvZG&k  
     nYnB WDnV  
    oh0*bh  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) /:;"rnvq  
     aGAeRF  
    ,<(0T$o E[  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) @tIY%;Bgk  
    MBqw{cy  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 <y=+Gh  
     ^]NFr*'!  
    ~H c5M5m  
    $KVCEe!X  
    KG=57=[  
    b5S4C2Ynq  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 dw>1Ut{"3  
    oCxy(q'y  
    *{("T  
    6) 导入完成，观察3D视图 Q_)$Ha{>H,  
     Qt\^h/zjG  
    8AJ#].q0F  
    x#XxD<y  
    cN:dy#  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 FeNNzV=  
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