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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： B5A/Iv)2  
     f]_{4Olk  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； e7_.Xr~[  
     ^cz4nW<  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 `i2:@?Kl9  
     Y:?cWO  
    结构设计 H1t`fyri2  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 8mm]>u$  
     ron-v"!  
    `MLOf  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 >fq]c  
     \PzJ66DL!  
         '5)PYjMnH  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 MwuRxeRO-  
     A3 uF 0A  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 u\y$<  
    mG*ER^Y@D  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Bs3M7z RG  
     `;}w!U  
    C>:,\=y%  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ymW? <\AD,  
    \[J\I  
    Dq~ \U&U\$  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 sd5)We  
     W]W[oTJ5  
    +:_;K_h  
    ^$AJV%3wI  
    导出加工数据 <r1/& RW,  
     %Q080Ltet  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 9 _b_O T  
     3sK^ (  
    1\X_B`xwD  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 %HD0N&  
     R*`=Bk0+  
    /8? u2 q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Qx_]oz]NY  
           ( }RJW:  
    ]~@uStHn  
    u_=^Bd   
    O>LqpZ  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 0t?g!  
    0aqq*e'c  
    o}=c (u  
    [y&uc  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 @b9qBJfQ  
     3De(:c)@  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 '!"rE1e  
    %D49A-R  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 M#.dF{ %%  
    J(Fk@{!F.*  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 GD1L6kVd1  
    r`Bm" xI  
    _&RGhA  
    导出加工数据列表 8wLGmv^  
     8 +mW  
    = G>Y9Sc  
    f%/6kz  
    导入加工数据 8K9RA<  
     yS.)l  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI J6mUU3F9f  
     s[;1?+EI  
    %F87"v~  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) T}jW,Ost  
     )S9}uOG#  
    p+;;01Z+_  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) o0_H(j?  
    * >k6n5%  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 Zm vtUma  
     &],O\TAul  
    qGi\*sc>x  
    pQoZDD@B$  
    c1xX)cF  
    `-g$ 0lm7  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 cv_t2m  
    e> Dux  
    y/>Nx7C0=2  
    6) 导入完成，观察3D视图 %3yrX>Js  
     +4F; m_G6  
    qOAhBZ~  
    5& _R+g  
    y*E{X  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 H'I5LYsXO~  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 uN0'n}c;1.  
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