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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    25895
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： YDt+1Kw}D  
     V>Wk\'h  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； a)qan  
     ks '>?Dw  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 7u):J  
     D Ez,u^   
    结构设计 CD|[PkjW  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 D&@]  
     !IxO''4  
    ?^}30V:E  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 }U_ ' 7_JT  
     "t@p9>  
         8%?y)K^ D  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 {@Mr7*u  
     {$*N1$(%  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 bx@l6bpQ  
    vvoxK0  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 I2cz:U7  
     ZL MH~cc  
    A'WR!*Yt  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 z6>@9+V-&  
    c OYD N[k  
    :6^7l/p  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 U|(+-R8Z  
     .])prp8  
     {_rfhz  
    y_]+;%w:  
    导出加工数据 6b|?@  
     jmok]-pC  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) Y +gY"  
     ']]d-~:  
    nB[-KS  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 YO6BzS/~  
     k ;WD[SV  
    GK(CuwJe  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 vqf$("  
           Hvl n>x@  
    6% D9;-N)  
    s='+[*&&  
    I`>U#x*  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 IgT`on3Y  
    <=uYfi3,  
    .8hI ad  
    Mf}M/Fh  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 G=dzP}B'WA  
     2|1fb-AR  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ~6vz2DuB=  
    iyskADS  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 +Y\:Q<eMFg  
    IRdt:B|@  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 tF2"IP.  
    boh?Xt-$  
    c/{FDN  
    导出加工数据列表 |"H 2'L$  
     1^ iBS  
    *O?c~UJhhV  
    )P$(]{  
    导入加工数据 !>UlvT-  
     . ,7bGY 1$  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 0p.bmQSH  
     )?n'ZhsX  
    XtF m5\U  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) lame/B&nc  
     U"oNJ8&%|  
    @hLkU4S  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 1uF$$E6[  
    }D/+YG  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 jDzQw>T X  
     rIb+c=|F  
    Tt;F-  
    Lu.zc='\  
    gN&i &%*!  
    c]=2>ov)hR  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 f| RmAP;X,  
    &&ioGy}1  
    ^xo<$zn  
    6) 导入完成，观察3D视图 UA[`{rf  
     5*0zI\  
    ,'#TdLe  
    kmB!NxF>)F  
    F_-Lu]*  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 m 0HK1'  
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    离线无损的
    实习生
    发帖
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    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 10-14
    谢谢指导，非常感谢 z2=bbm:  
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