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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    26700
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： /lUfxc4  
     ULz<P  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； FulFEnSV  
     Z S=H1  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 b]z_2h~`  
     R]%"YQ V  
    结构设计 d*{Cv2A.  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ?&wrz  
     ![K\)7iKo  
    yC1OeO8{  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 o+{,>t  
     P _fCb  
         s9sl*1n1m`  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0yC~"u[N Y  
     5]I)qij q  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中  4 Pc-A  
    :a/rwZ[r  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 {Ia1H  
     E<+ G5j  
    8%B_nVc  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 +'g O%^{l  
    ,zx{RDI  
    <rgK}&q  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 sc+%v1Y#}  
     *d=}HO/  
    HL"c yxe  
    18NnXqe-m  
    导出加工数据 ^/E'Rf3[A  
     0>CG2SRn  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) J8S$YRZ_  
     -y!Dg6 A  
    | CFG<]  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 (.!9  
     `Z,WKus  
    m   uO.  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 H6`k%O*  
           Mu`_^gG  
    (LTu=1  
    m]U  
    _@>*]g  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 MV$E_@pg  
    C2rG3X^~Jm  
    V.`hk^V,  
    wT!?.Y)aj  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 xL_QTj  
     P<R^eLZ<&  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 =I'iD0eR  
    IIY_Q9in  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 F>{bVPh VA  
    2H$](k?   
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 C0w_pu  
    Fu{VO~w  
    0cB]:*W  
    导出加工数据列表 'vVt^h2  
     %_:L_VD@  
    no-";{c  
    '{cND  
    导入加工数据 U3Gg:onuE  
     _$T !><)y  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI _Ml?cT/J.O  
     ?& :N|cltD  
    6,LE_ -G5  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) dl=)\mSFjF  
     -n"f>c_{>  
    (^B1Kt!<  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) r+%3Y:dZE  
    _"Y7}A\9  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ~H\P0G5GA  
     SPb`Q"  
    U*K4qJ6U  
    ?pJ2"/K   
    OcF_x/#  
    1 M!4hM Q  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 r:o9:w:  
    h/C{  
     Yf[Cmn  
    6) 导入完成，观察3D视图 A ,0}bFK  
     JQ}4{k  
    lv] U)p  
    ZJbaioc\  
    !2AD/dtt   
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 \l0!si  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 C4X3;l Z%S  
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