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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： >#;.n(y  
     }~j lj  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； YTX,cj#D^&  
     +EAsW(F1  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 k\YG^I  
     `PdQX.wN  
    结构设计 wd^':  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 a %'the  
      u\x}8pn  
    ?)?Ng}  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 6BHXp# #z  
     +L| ?~p`V  
         G<8/F<m/  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Gg3,:A_ w  
     dA`IEQJL  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 swoQ'  
    @=Uh',F  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 %lx!. G  
     kr5">"7  
    S8w _ii3zd  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 5 +YH.4R  
    7qLpZ/  
    fZzoAzfv2  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 gA+qC7=p$  
     "f2$w  
    HT cb_a  
    ]z;I _-  
    导出加工数据 `?qF$g9u~  
     4 Y9`IgQ  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) $Sx'sA2  
     k&q;JyUi  
    K5VWt)Z#  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 7P5)Z-K[  
     Z1f8/?`W  
    K.nHii   
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 f:,DWw`B  
           [{,T.;'<j  
    4Zddw0|2  
    GL0L!="!  
    "]x'PI 4J  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 d-ZJL6-  
    SC!RbW@3  
     c(E{6g?  
    $q{!5-e  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 J T7nG.9  
     =tn)}Y.<e  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 syj0.JD  
    o5O#vW2Il&  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 "'.UU$]d  
    7\[@ m3s  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 2'\H\|  
    $am$ EU?s  
    `pS9_ NYZ}  
    导出加工数据列表 Hqx-~hQO  
     (vnAbR#e  
    CL;}IBd a  
    ^_W#+>&--  
    导入加工数据 Tc:)- z[o  
     j#x6  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 4G0m\[Du  
     |4z IfAO  
    RnE4<Cy  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) .bg~>T+<  
     F6|]4H.3Q  
    SmH=e@y~Lx  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) fu ,}1Mq#  
    (@VMH !3  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 `?@}>.  
     (D&3G;0tK  
    P=Jo+4O  
    n\'4  
    ] vsz, 0  
    At>DjKx]O  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 T/~f~Zz  
    iB yf{I>+  
    ,Vm < rK  
    6) 导入完成，观察3D视图 50wulGJud  
     rfg'G&A(  
    !hy-L_wL]  
    MrFQ5:=  
    pa3{8x{9m  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ^ VyKd  
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    离线无损的
    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 lrE5^;/s1  
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