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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    6297
    光币
    25630
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： m9vX8;.  
     c {/J.  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； GLgf%A`5/_  
     aaP_^m O  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 8N%nG( 0  
     >`r3@|UY  
    结构设计 +D@5zq:5  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 AtewC Yo  
     u\V^g   
    I)tiXcJw  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 @/F61Ut  
     ak7kb75o  
         9.8%Iw  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 #MKM.T,\t  
     zcKQD)]  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 |GtvgvO,  
    _ Ao$)Gu)  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 W%4=x>J-  
     p}^5ru  
    yVII<ImqIH  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 B2e"   
    T5 (|{-  
    4qE95THB  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 @(Y!$><Is  
     @^xtxtjzux  
    VGmvfhf#"  
    &'SD1m1P  
    导出加工数据 &E_a0*)e  
     )V\@N*L`ik  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 7 !$[XD  
     h:nybLw?  
    7~ PL8  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 =5q<_as  
     J0?kEr  
    H/c (m|KK  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Zz0e4C  
           yd).}@  
    'v"=   
    y3zP`^  
    |^6{3a  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 _!nsEG VV  
    s V_(9@b  
    u= NLR\  
    &EfQ%r}C  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 bC/":+s& p  
     @1MnJP  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 +!/ATR%Uci  
    uh )S;3|  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 98>GHl'lM  
    8R,<S-+v  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 BmG(+;;&  
    zxbf h/=  
    %2?+:R5.  
    导出加工数据列表 rO'DT{Yt  
     DN*5q9.  
    WMSJU/-P  
    {KG6#/%;  
    导入加工数据 yD7BZI xW  
     JE=t e(a  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Z0F~?  
     0zaK&]oY0  
    S/nPK,^d2  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) EY,jy]|#  
     ,`@pi@<"#  
    MUO<o  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) bMyld&ga  
    Zt`Tg7m  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 b:m+I  
     +0'F@l  
    JvpGxj  
    6l#x1o;  
    (W ~K1]  
    rbZbj#  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 M:S-%aQ_<y  
    CU'JvVe3  
    \|]mClj#  
    6) 导入完成，观察3D视图 Nep4 J;  
     6b2UPI7m~  
    k }=<51c  
    f"Zl JVa  
    T5S4,.o9W  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 8-q^.<9  
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    离线无损的
    实习生
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    3
    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 10-14
    谢谢指导，非常感谢 Ei;tfB  
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