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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6613
    光币
    27214
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： pgd9_'[5  
     jI/#NCKE  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ,8@q2a/  
     <I 0EjV  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6qR5A+|;  
     'IQ;; [Q  
    结构设计 _J&IL!S2  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 yRy^'E~  
     W %<,GV  
    y/Ui6D  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 x~?|bnM#3  
     C23Gp3_0/  
         LkyT4HC8n  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ovk^  
     cC pNF `DN  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 "M}3T?0 O  
    b Bkg/p]  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 f]NaQ!. 7  
     wd*V,ZN7  
    nTv^][  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 |33_="  
    o*5b]XWw  
    ~--b#o{  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 0ky3rFSh1  
     f?lnBvT|b  
    LS/ZZAN u  
    Zx&=K"  
    导出加工数据 J3 xi5S  
     +WE<S)z<  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) NQx>u  
     ]D_ AZI  
    _};T:GOT  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 g oZw![4l  
     'tDVSj  
    8Xa{.y"  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 F%I*m^7d  
           I:UN2`*#  
    , }B{)  
    PNpH)'C|  
    LHMA-0$?)  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 9gFfbvd  
    'XI-x[w  
    s+9b.  
    _| >bOI  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 IAd[_<9D  
     >mMmc!u>G  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 :0% $u>;O:  
    DI\^&F)3T2  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Bgs,6:  
    e@DVf  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 pnGDM)H7  
    (,['6k<  
    S[y?>  
    导出加工数据列表 `G2!{3UD  
     o(YF`;OhvS  
    P G*FIRDb  
    m88[(l  
    导入加工数据 x8Nij: K#  
     #{~3bgY  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI i%otvDn1  
     qb PC5v  
    15cgmZsS  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) "v+%F  
     wV"C ,*V  
    }/VSIS@Z  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) -O6\!Wo=-  
    R ]y9>5 'U  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 E#`JH  
     hQ Lh}}B  
    70E@h=oQ  
    Dl_SEf6b  
    S^ JUQx7  
    HE*P0Y f=  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 C44*qiG.  
    EK}QjY[i  
     p/?TU  
    6) 导入完成，观察3D视图 6gD|QC~;  
     fqZ+CzH  
    C<hb{$@  
    ?v Z5 ^k  
    qR8 BS4q_p  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 g<PdiVp+  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 O7\ )C]A  
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