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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6200
    光币
    25145
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： :yOJL [x  
     OJ7y  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； "(a}}q 9-  
     PJh97%7  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 JgldC[|7  
     .4=A:9  
    结构设计 >k 2^A  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 oTpoh]|[  
     r6+IJxUd  
    !:D,|k\m  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ;|CG9|p  
     r"lh\C|  
         "W"r0"4  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 :O*62olC5  
     Ak\"C4s  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 M !rw!,g  
    3TKl  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ksqb& ux6  
     ! j0iLYo(*  
    %S%0/  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 >LFj@YW_)  
    SsIN@  
    8WG_4e  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 2u} ns8wn  
     e" p5hpl  
    M[&p[P@  
    Wp= &nh  
    导出加工数据 ~rbJtz  
     l{3ZN"`I  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) liH1r1M  
     yL3F  
    z`|E0~{-  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ??Dv\yLZI  
     JjQTD-^  
    (/J %Huy  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 7+J<N@.d  
           .@f )#2  
    S)A;!}RK6  
    $K!6T  
    +|spC  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 z%/<|`  7  
    $/P\@|MqYQ  
    ^|%7}=e  
    tqOx8%  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 boIFN;Aq"  
     ko T: r  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ~ZRtNL9   
    g);.".@"  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 izr 3{y5  
    uulzJbV,K  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ltmD=-]G_  
    Z4PAdT  
    D?9EO=  
    导出加工数据列表 ; HjT  
     X0%BE!  
    {=kW?  
    &}lRij&`  
    导入加工数据 3_c4+u"6  
     'J#uD|9)  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI -<gQ>`(0  
     FGRG?d4?h  
    ZvW&%*k=  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) {:BY IdX  
     C<iOa)_@Q  
    AG,;1b,:81  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) _jrkR n1"  
    5lakP?  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 %'[ pucEF  
     %{";RfSVX%  
    #'h(o/hz&&  
    =zKbvwe%X  
    L~L]MC&  
    / , .rUn1  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 !EO 2  
    {]:B80I;2  
    VufG7%S{  
    6) 导入完成，观察3D视图 7#iT33(3  
     #+PfrS=  
    8*yk y  
    38(|a5  
    I K Dh)Zm  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 nXF|AeAco  
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