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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： _<%\h?W$  
     o!s%h!%L  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； :,S8T%d  
     u 5Eo  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 $(KIB82&  
     3b|7[7}&  
    结构设计 OK M\"A4  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 jiwpDB&[  
     H b A3*2  
    wuIsO;}/9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 95$pG/o  
     SaR}\Up  
         waXDGdl0  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 V~J*49t&2J  
     Evr2|4|O~  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 2AXF$YjY  
    BN\fv,  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 DOF?(:8Y  
     [j:}=:feQ  
    -SQJH}zCT+  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ?jNF6z*M6  
    8/Et&TJ`  
    FylWbQU9  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 2I]]WBW#:  
     q)K-vt)98  
    Wj&<"Z6'm(  
    &\[Qm{lN  
    导出加工数据 C 'B4 mmC  
     2!{_/@I\Y  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 5E]UI YAkV  
     wUZQB1$F  
    ERp:EZ'  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 E1c>nrnh*  
     u;+%Qh  
    @@xO+$6  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Q7CwQi  
           jo,6Aog|u  
    tXf}jU}  
    Y H<$ +U  
    _L*f8e8  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ^H5w41  
    _-@ZOhw&  
    C+/Eqq^(  
    U/.w;DI   
    5) 进入光学界面数据导出窗口 *oEv,I_  
     H/^ ~<U#p  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 u{g]gA8s  
    -]Q3/"Q  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 {[Uti^)m%  
    "[awmZ:wo  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 vn|TiZ  
    "NxOOLL  
    |f"-|6  
    导出加工数据列表 4|zd84g  
     T1lXYhAWS  
    o{9?:*?7  
    l*QIoRYFW  
    导入加工数据 ! (B_EM  
     =RQ )$ %  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI aN>U. SB  
     8BHL  
    ZvUp#8x(3  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) =Ml|l$  
     C@ FxB[  
    3sS=?q  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) btUq  
    :L]-'\y  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 M_tj7Q3 W  
     40 A&#u9o  
    CI IY|DI`l  
    ''_,S,.a20  
    ah 4kA LO  
    `f%&<,i  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 P`}$-#DF  
    S2Zx &D/_  
    1W*V2`0>  
    6) 导入完成，观察3D视图 IZ+ *`E  
     D=2~37CzQ1  
    \'[3^/('  
    XxhsPFv  
    ,(6)ghr  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 yXkt:O,i  
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