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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： $9)|cO  
     ~ (I'm[  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； )*Xd  
     )2~Iqzc4  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 }}y~\TB~}  
     KF(N=?KO  
    结构设计 QpbyC_:;$4  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 XR3=Y0YDf  
     D',[M)  
    KsZd.Rf=@  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 U51C /A  
     /i.3v45t"  
         8&+m5x S  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 LX5, _`B  
     OFH!z{*  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 pu3ly&T#a_  
    SFP%UfM<  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 HuzHXn)  
     b5NPG N  
    h' #C$i  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 %\<SSp^n  
    [Tmpj9! q  
    &Cv0oi&B  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Qv4g#jX{  
     [ed6n@/O@  
    0@cc XF E  
    ~ A?  
    导出加工数据 MhT.Zg\  
     St 4YNS.|  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) nZ7FG  
     8y:c3jzP_  
    Ut|G.%1Vd%  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 *?dw`j_b >  
     oVDqX=G  
    bUJ5j kZ)  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 1T96W :   
           p{c+ +P5  
    %uA\Le  
    GBMCw  
    `*Ar6  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ~Q4 emgBD  
    VkKq<`t<  
    B}Lz#'5_  
    #*r u*  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 e;_ cC7  
     X%1j-;Wr@  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 %#g9d  
    E}&Z=+v}  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 8}5dyn{cvE  
    o'uv5asdb  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ~x}/>-d  
    _@-D/g  
    gt~hUwL  
    导出加工数据列表 AL(YQ )-Cg  
     +aa( YGL  
     ^##tk  
    qhNY<  
    导入加工数据 E Ux kYl  
     MJxTzQE  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI RfM uWo:  
     e~Hx+Qp.G  
    `F)Q=  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) EKwA1,Xz  
     7x,c)QES`  
    Q $wa<`  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 4d\"gk  
    Y6J7N^  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 N001c)*7Q  
     ~Z ,bd$  
    mn5"kYy?  
    T!GX^nn*O  
    .'+*>y!  
    xUp[)B6?:  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 GoVB1)  
    )T4%}$(  
    mQVc ZV  
    6) 导入完成，观察3D视图 fa~u<m   
     -85]x)JE  
    fWr6f`de  
    t6zc$0-j "  
    8UA bTqB-  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 mY}_9rTn|  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 10-14
    谢谢指导，非常感谢 Mn<G9KR  
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