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    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6655
    光币
    27424
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： k"NVV$;  
     r30 <(nF  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； -u2P ?~  
     )z&/_E=  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ]|MEx{BG-  
     }emN9Rj  
    结构设计 ppZDGpp  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 G '6@+$ppS  
     POvP]G9'"  
    ~~v3p>zRr  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 X:6c}p%,!  
     Q^ pmQ  
         gW-V=LV (  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 kPVO?uO  
     VY~yg*  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 =&,]Z6{ >  
    LG<J;&41~S  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 W}5xmz  
     #a<Gxj  
    c2&q*]?l;  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 R $&o*K`?  
    %] >KvoA  
    +n#V[~~8AI  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 @&1ZB6OCb:  
     nHm}zOLc  
    w+yC)Rmz  
    4WJ.^(  
    导出加工数据 rd9e \%A  
     @7?#Y|`  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) '=Rs/EDME  
     Fxm$9(Y  
    E=>FjCsu<-  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 <-[wd.M_  
     4"(<X  
    *g6n  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 {buo^kgj`]  
           ; mZW{j  
    cUY`97bn  
    G&4&-<  
    8P1=[i]  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 h&--,A >  
    K#pNe c  
    h"_MA_]~  
    1(|'WyD  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 XDFx.)t  
     3?1`D/  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 H[S%J3JI  
    D^=J|7e  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 P;Ga4Q.  
    `QyO`y=?[Y  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ;4.!H,d  
    kzt(i Y_6  
    m+lvl  
    导出加工数据列表 b/C`J p  
     ~])t 6i  
    v 8$>rwB  
    4`!Z$kt  
    导入加工数据 Sgp;@4`M  
     k3) dEH1z  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI WJ4li@T7V  
     qI~xlW  
    A'jP7 P  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) bdQ_?S(  
     4cl\^yD  
    e> (<eu~P  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) tE]= cTSV  
    F.w 5S!5Q  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 E0MGRI"me  
     a2 Y;xe  
    ] :BX!<  
    /.Ww6a~  
    .ys6"V|31  
    <gJU?$  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 D"ND+*Q [X  
    7z!tKs"TMT  
    h-Fn?  
    6) 导入完成，观察3D视图 rL+!tH  
     4KH45|; 3  
    }M3fmAP}  
    & 8l%T'gd  
    eC[$B99\  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 vfq%H(  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 $ep.-I>  
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