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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    7097
    光币
    29626
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： `s#0/t  
     Pk/{~!+ $  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； wY|&qX,  
     <>/0 ;J1<  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 j<H`<S  
     5=%:CN!/@p  
    结构设计 ?B ; +,  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 %UZ_wsY\  
     0<*R 0  
    Z$!>hiz2  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 2RXU75VY  
     ({ 'I;]AQ  
         (sLFJ a6e  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ^FNvVbK|`  
     z%cq%P8g  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 [kwVxaI  
    rFJ(t7\9h  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 kBolDPvBG  
     Q\>9PKK  
    ,grdl|Dg  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 $YuVM  
    2g shiY8_  
    ,'[L6=#  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 g]au|$L4  
     &}}c>]m  
    sYnf #'  
    ,ErJUv  
    导出加工数据 8a{S*  
     ?K, xxH  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) &K2J$(.t  
     :m*r( i3  
    USF&;M3  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 %oVoE2T{@  
     tlhYk=yq  
    p6~\U5rXm  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 !Ra.DSL  
           7A0D[?^xe  
    N-* ^V^V  
    Cv7FVl-I  
    _  dFZR  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 W*A-CkrO  
    bxX[$q  
    HPl'u'.Hg  
    FPj j1U`C  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 !Ld0c4  
     MZp`  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 YC!Tgb~H  
    q{D_p[q  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 7_t\wmvYp  
    dH4wyd`  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 CZ2&9Vb9I  
    Hkq""'Mx+w  
    'r`#u@TTZ  
    导出加工数据列表 p H&Tb4  
     GFM $1}  
    r&F(VF0 6  
    G#{ Xd6L  
    导入加工数据 wX(h]X"q  
     Fkgnc{NI  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI i=b<Mz7|  
     E/x2LYH  
    VQSwRL3B=  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 2c?-_OCy;  
     tbz?th\#  
    Y1 e>P  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) D0T0Km/"  
    .hI3Uv8[  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 r$3{1HXc  
     1&{]jG{#  
    9+'QH  
    z"4UObVs  
    W)WL1@!Z  
    ^`0^|u=  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 FPM@%U  
    3SbtN3  
    [S{KGe:g  
    6) 导入完成，观察3D视图 MUo}Qi0K  
     o`B,Pt5vu  
    34Q;& z\e  
    K$>C*?R  
    eK_Q>;k5A  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 6=V&3|"  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 5<o8prt B  
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