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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    5302
    光币
    20742
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： u68ic1  
     ",' Zr<T  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； DiZ;FHnaG?  
     5kADvi.  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 T!Lv%i*|Y  
     "ZA`Lp;%w  
    结构设计 {Z1-B60P  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Z_7TD)  
     y<#Hq1  
    AP8J28I  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7[i&EPN  
     *~w?@,}  
         RWoVN$i>  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 9;rZ)QD  
     lTFo#p_(  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 9>ZX@1]m_  
    B B^81{A  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 !!m GsgnW  
     <y"lL>JR  
    |uX&T`7?-  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Uo[`AzD3  
    =/4}!B/  
    IxY!.d_s|~  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 q!q=axfMD  
     fSGaUBiq}  
    6 \ %#=GG  
    Xob(4  
    导出加工数据 e'=#G$S?g  
     'lgS) m  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) MW=rX>tE  
     a`Q-5* \;z  
    SL<EZn0F9  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 lg 1r]  
     gV'=u z v  
    Ju.T.)H  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 1W9uWkk_d  
           VY0-18 o  
    'ztY>KVj  
    )1O|+m k  
    p#gf^Y5  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Cn>t"#zs!~  
    msw=x0{n5  
    )xTu|V   
    U{HBmSR  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 B<,AI7  
     4>]B8ZxH  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 *bi;mQ  
    >~T2MlRux  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 a%wa3N=v  
    P> 7PO~E.  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 jf& oN]sZ  
    KU_""T  
    M|7{ZE`Y  
    导出加工数据列表 p Acu{5#7  
     Lx3`.F\mG  
    CW~c<,"  
    w5a;ts_x  
    导入加工数据 w.Go]dpK  
     EL9JM}%0v  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI t;lK=m|  
     lq)[  
    =#vU$~a  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) byJ[1UK  
     L>,xG.oG  
    e`% <D[-  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) YU1z\pK  
    :Y&h'FGZm  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 >):>Pz%U  
     #vT~D>zj  
    SCXtBZ`.G  
    |f+fG=a67V  
    m?`$NJST  
    N1'$;9 c  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ks<+gL{K|i  
    'k9 1;T[  
    Gv 6#LcF#  
    6) 导入完成，观察3D视图 A,%NdM;t=5  
     -2y>X`1Y  
    `qj24ehc  
    UjS,<>fm  
    :Pi="  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 3X}>_tj  
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