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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    5271
    光币
    20599
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： S Xgpj  
     3`="4  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； [KCh,'&  
      5+VdZ'@  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 @++ X H}  
     v[HxO?x^  
    结构设计 ]C]tLJ!M  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 N8m^h:b  
     TmO\!`  
    ~6@~fhu  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 bt~-=\  
     3>?ip;  
         }3N8EmS  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 PhW#=S  
     Zso .3FR,  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 #H5*]"w6I  
    OPKm^}  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 >Z>*Iz,LP  
     sRY: 7>eg  
    >.M `Fz.  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ts)0+x  
    t6 js@Ih  
    \r<&7x#j  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 "jAV7lP  
     "7gS*v,r  
    l*%?C*  
    r;S%BFMJS  
    导出加工数据 [[TB.'k  
     Sgr<z d'b  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) #<se0CJB  
     7b Gzun&  
    (<1DPpy95O  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 LscAsq<H<  
     (-"A5(X:/  
    5t0i/&zX  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 x6F\|nb  
           orTTjV]_m  
    p>R F4  
    yP[GU| >(  
    AV%Q5Mi}  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 0aGfz=V&  
    >} aykz*g  
    |5g*pXu{  
    Qaagi `  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 tD>m%1'&  
     L{(r@Vu  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 Sw(%j1uL  
    sU{+.k{  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 BH*vsxe  
    <5L!.Ci  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 -3KB:K<  
    4"7Qz z  
     .# M 5L  
    导出加工数据列表 R]ppA=1*_l  
     RRq*CLj  
    %/U Q0d~b  
     eKu&_q  
    导入加工数据 ((X"D/F]  
     A"9aEOX-?i  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI YQ?|Vb U  
     s/A]&! `  
    |y=CmNG,  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) UayRT#}]  
     t`DUY3>36  
     H) (K  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) wmoOp;C  
    _I'O4s1S  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 kXG+zsT  
     gc(1,hv  
    .h*&$c/l  
    EA8(_}  
    7 s[ ATu  
    h]'fX  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 MvRuW:  
    [;X YT  
    @MN>ye'T  
    6) 导入完成，观察3D视图 A4&e#  
     }hBv?B2/1  
    otPEJ^W&  
    [s7I.rdGzz  
    (@&|  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 3^`bf=R  
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