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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    4741
    光币
    18081
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： <raqp Oo&  
     4uE5h~0Z  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Iy 8E$B;  
     e4_aKuA  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 pQ2)M8 gf  
     T4, Zc  
    结构设计 qt&"cw  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ^OcfM_4pN  
     $@f3=NJ4k  
    d/99!+r  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ,Vn]Ft?n  
     m$UT4,Ol  
         KD3To%  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 !Z2n;.w  
     n^(yW  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 e~~k}2~  
    E@}j}/%'O  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 q^+NhAMz  
     WBIB'2:m  
    *B~:L"N  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 bOGDz|H``  
    >^ 1S26  
    - 5Wt9  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 :/[ZgreN6  
     XI(@O)  
    ,* vnt6C*  
    r[4F?W  
    导出加工数据 +Y^F>/4=Y  
     Ip|^?uyrk  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ok _{8z\#  
     fQA)r  
    qJzK8eW  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 c] 0  
     Mz. &d:  
    Gqc6).tn  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 TS8E9#1a  
           `.-k%2?/  
    =F-^RnO%\  
    4< >:]  
    zLK ~i>aW  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 m95$V&  
    toZI.cSg4  
    3E@&wpj  
    rBPxGBd4  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 0P/LW|16  
     KgAX0dM  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 `B 0*/ml  
    g]Ny?61  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Sf:lN4  
    _1%^ ibn  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 #_|^C(]!  
    eh(]'%![/  
    g%P4$|C9 i  
    导出加工数据列表 GV[BpH  
     rzj'!~>U  
    ({b/J0 <@D  
    $iJ #%&D  
    导入加工数据 bu5)~|?{t  
     AG0x)  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI PS]X Lz  
     <W^~Y31:0  
    uCr  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) \Rt  
     UzwIV{  
    IT33E%G  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) y>1 8)8  
    n_2 LkW<?  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 0evZg@JP`  
     (ajX ;/  
    .8~ x;P6  
    9 9-\cQv  
    39e oL;O_  
    qT%E[qDS  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 k_`S[  
    '|r !yAO6  
    \MPy"uC  
    6) 导入完成，观察3D视图 w$HC!  
     9V!K. _Cb  
    KWMH|sxO=  
    f& *E;l0  
    %"V,V3kw4  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 [c~zO+x  
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