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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5658
    光币
    22442
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： re?s.djT  
     L|@y&di  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $37 g]ZD  
     '6y}ZE[  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ?L&|Uw+  
     rgmF:C  
    结构设计 4k-+?L!/G  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 qt%D'  
     N- H^lqD  
    _WXtB#  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ,JU@|`  
     _BdE< !r  
         o6 E!IX+  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 X4l@woh%  
     &e-U5'(6v_  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 \.YS%"Vz  
    K*UgX(xu4P  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 Tm_B^ W}  
     4SPy28<f  
    B(xN Gs  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 m<FOu<y  
    J]f3CU,<N  
    +)o}c"P!  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 {:@tQdM:i8  
     ^P151*=D  
    H"ZZ.^"5FV  
    M9zfT !-  
    导出加工数据 #Zrlp.M4  
     [kE."#  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) b& 1`NO  
     F1L:,.e`  
    "HE^v_p  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 jck}" N  
     Y"A/^]  
    P ;IrBq6|o  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Reatd h  
           V<k8N^  
    q.,JVGMS  
    `{qG1  
    ^%O]P`$  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 8\:NMP8W\  
    ,#pXpAz/  
    0}_[DAd6  
    E[Cb|E  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Z+@2"%W  
     x?&$ci  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 xyI}y(CN1  
    ^o7;c[E`  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 O)vp~@ |  
    E*+{t~  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 fW?o@vlO  
    ..rOsg{  
    VkZ7#  
    导出加工数据列表 +SwR+H)?  
     ,G)r=$XU  
    ocs+d\  
    }sxYxn~  
    导入加工数据 <>Hj ;q5p  
     ~ 0M'7q'  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ~c\e'&sc;  
     X 7rMeu  
    %f]:I  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 6Oy$gW)  
     aTt 12Sc  
    I"GB <oB  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 9g<7i  
    d@qsdYu-*  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 S_Wrw z  
     M]J ^N#  
    w4gJoxY-`  
    _fKou2$yz  
    4q k9NK2 U  
    Ig f&l`\  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 mGK|ihYu  
    o7$'cn  
    .nVa[B |.  
    6) 导入完成，观察3D视图 `7r@a  
     R#I0|;q4|p  
    \pVXimam  
    <_-hRbS  
    "/wyZ  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 U`2e{>'4t  
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