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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5786
    光币
    23082
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： FF~on06!   
     B;Q`vKY  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； `2 %eDFZ  
     ^VM"!O;h{  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 llTQ\7zP  
     [RGC!}"mr  
    结构设计 E< io^  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 kx;xO>dC  
     3[00-~&U  
    v%69]a-T  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 &V ^  
     ;L\!g%a  
         xr7-[)3Q$  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 sp=7Kh?|>  
     {y+v-v/#  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 t ?Njw7  
    &"~,V6,q  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 DRKc&F6Qy  
     nsr _\F\  
    x`j$9XN5  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 |)|vG_  
    ^-c si   
    !"o1ve`{  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 >h/)r6  
     &\WkJ}&PnA  
    M; S-ESQ  
    1A)wbH)  
    导出加工数据 dctA`W@:-  
     's7SZ$(  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ^Xt]wl*]+  
     I49=ozPP  
    SoM ]2^  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 mTb2d?NS  
     FzsS~C$wH{  
    |RvpEy7 6  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 |~=?vw< W  
           c!(~BH3p  
    +i q+  
    4/mj"PBKL  
    iC5JU&l  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 {_k!!p6  
    l+3%%TV@L  
    ;|2;kvf"w  
    ,Rr&.  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 [w#x5Xsn  
     RL]lt0O{  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ]( U%1  
    DY+8m8!4H  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 EiIFVP   
    ,uqbS  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 D.oS8'   
    5>z:[OdY*  
    t KqCy\-q  
    导出加工数据列表 gYH:EuY,  
     W0uM?J\O  
    E#HU?<q8  
    i5~ /+~  
    导入加工数据 mG8  
     7$dc? K  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI >aanLLO  
     n9-q5X^e>  
    ekk&TTp#  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 3K'o&>}L  
     `$x#_-Hn  
    y8(?:#ZC  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) DHujpZXQ  
    7yCx !P;  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 qwq+?fj={  
     JXR/K=<^  
    oe_[h]Hgl  
    z&HN>7  
    tU~H@'  
    Iz$W3#hi  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 m LxwJ  
    `))J8j"  
    'r?HL;,q  
    6) 导入完成，观察3D视图 aBtfZDCfzp  
     /Geks/  
    <T2~xn  
    Z?!:=x>7m  
    LXEu^F~{u#  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ZzaW@6LJF  
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