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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5423
    光币
    21295
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Bt-2S,c,o  
     (f t$ R?  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $> PV6  
     K@@[N17/8  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 odpjEeQC  
     q vGkTE  
    结构设计 w97%5[-T  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ;l=ZW  
     uY|-: =  
    <@2g.+9  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 %FO# j6  
     .qk_m-o  
         ).1 F0T  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 YeCS`IXm  
     2i_k$-  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 S U$U  
    \$[S=&E  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 .+ g8zbD4  
     <C,lHt  
    KI{B<S3*Z  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 uMe]].04  
    RwptFO  
    P<A_7Ho  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ?#P@N4Uw}y  
     JQ)w/@Vu=  
    /KH,11 )yc  
    m_g2Cep  
    导出加工数据 tjTnFP/=  
     (7_}UT@w-  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) NvqIYW  
     wXnluE  
    0B?t:XU,  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ;HbAk`\1A  
     DqGm  
    .8EaFEd  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Q,m1mIf  
           ruQ1Cph  
    j!<(`  
    !O }^Y  
    w[X/|O  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 p`-Oz]  
    Z0I>PBL@l  
    #XPY\n^k  
    u#"L gG.X  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ^\ocH|D  
     NP^j5|A*"  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 p,K]`pt=  
    :@8N${7`$A  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 +<o}@hefY2  
    -- chU5  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 3"HW{=  
    wYAi-gdOi  
    A, ;V|jv9  
    导出加工数据列表 7uW=fkxT  
     LW '3m5  
    mW&hUP Rx  
    ;S.o` z1GI  
    导入加工数据 yrVk$k#6}  
     3BzC'nplm  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ;*}tbh3;.  
     g#/"3P2 H  
    }a?(}{z-  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) +9!=pRq  
     K*[`s'Ip-  
    9H#;i]t&  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ]]^eIjg>a6  
    "F+m}GJ=a  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 t#BQB<GI  
     2M o oqJp  
    [ qx[ 0  
    )~[rb<:)b  
    QRKr2:o{  
    vnS;T+NZSC  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 EYXHxo  
    Xdtyer%  
    > t~2  
    6) 导入完成，观察3D视图 QopA'm  
     tR`^c8gD  
    &A!?:?3%O  
    V krjs0  
    G~nQR qv  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 cl1>S3  
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