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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    5279
    光币
    20639
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Lg0Vn&k  
     "5"6mw?  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 2F[smUL  
     @,F8gv*  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Kv^ez%I  
     q{5wx8_U  
    结构设计 GoP,_sd\O  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 ?Y7'OlO  
     5@ecZ2`)+h  
    zZ &L#  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 `,gGmh  
     -B-?z?+(O  
          17AJT  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ifTMoC%  
     bmgK6OyVR  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 bwR_ uF  
    3e4; '5q;  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 p\T9 q  
     /4J2F9:f  
    bCr) 3,  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 9 ?a-1  
    "| 0g 1rd  
    7\m.xWX e  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 /fC@T  
     ?muI8b  
    z/6/   
    xP%`QTl\  
    导出加工数据 J0CEZ  
     l!CWE  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) hbRDM'  
     #va|&QBZxM  
    W`_pjld  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 VN`T:!&  
     p?(w !O  
    |g<1n  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 [ lZo'o  
           q$FwO"dC  
    SFCKD/8  
    K dY3  
    &~VWh}=r  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 2<HG=iSf  
    d\C x(Lb[  
    {* S8n09v  
    ReE-I/n8f  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 RU&,z3LEb  
     ^%l~|w  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 V^fSrW]  
    >^}nk04  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Ncr38~;w  
    ,,1H#;j  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 "8MG[$Y  
    d'ddxT$GG  
    W/_=S+CvK  
    导出加工数据列表 k[lYd k  
     *lHI\5  
    .3WDtVE  
    qjcy{@ j  
    导入加工数据 mUW|4zl i}  
     3Mw\}q  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI T \%{zz_(  
     %qA@)u53  
    rmpx8C Y"  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 3GVE/GtU  
     BG:l Zj'I  
    '@enl]J  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) cx%[hM09  
     .b] 32Ww  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 AQkH3p/W  
     0tbximmDb  
    me]O  
    7^$PauAv  
    $nN`K*%  
    }p-<+sFo  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 ]D|sQPi]F  
    1(!w xJ  
    tI50z khaB  
    6) 导入完成，观察3D视图 1Xy{&Ut\  
     :NB|r  
    T&Dt;CSF  
    Z}bUvr XP  
    c\GJfsVk  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 \(UEjlo  
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