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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: `O-$qT, _  
    >$k_tC'"  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; LC2t,!RRl&  
    Busxg?=  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 0fwo8NgX  
    [T.kwQf4$  
    结构设计 +!CG'qyN>  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 % ?@PlQ  
    [{L4~(uU8  
    UJ2Tj+  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 Y}Y2 Vx  
    ?tSFM:9PU  
         y.HE3tH  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 )lE]DG!  
    5l}v  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ==~X8k|{E  
    FlttqQQdf  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 %TP0i#J  
    ['Hl$2 j  
    m6bAvy]3<t  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 zvL;.U  
    ^/U-(4O05*  
    b[%sKl  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 K]1A,Q  
    =bi:<%"  
    $~75/  
    /q0[T{Wz$  
    导出加工数据 ia?{]!7$  
    =]K;"  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) |L 11?{ K  
    lQ {k  
    }.>( [\ q  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 _8v8qT}O~4  
    qH1[Bs Ox  
    9LI #&\lba  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 !?,7Cu.5#6  
           Tu"bbc  
    tURjIt,I  
    _ fJ 5z  
    -W38#_y/\  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 MqDz cB]  
    &Op_!]8`U  
    B4Ko,=pg  
    US[{ Q  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 G:7HL5u  
    t6(LO9Qc  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 % put=I  
    ?%-VSL>$w=  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 bFD vCF  
    <=[,_P6|  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 ^yL6A1  
    lI~T>Lel2  
    f3El9[  
    导出加工数据列表 WT;4J<O/  
    _IYd^c  
    )WuU?Tn&  
    t.Q}V5t{g  
    导入加工数据 #; ~`+[y?\  
    HqC 1Dkw  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI 5#|D1A  
    s&&8~ )H  
    V{4=, Ax  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) %Z_/MNI  
    OCHjQc  
    H2[VZ&Pg  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) p)2 !_0  
    pn"TFapJA  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 IC"lsNq52  
    %:Mi6 sR|  
    5^lFksZ  
    kd55y  
    nY y%=B|>  
    [.:SV|AF#  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 -7-r~zmr  
    Ad7N '1O  
    X% JQ_Z  
    6) 导入完成,观察3D视图 d?[gd(O  
    9|BH/&$  
    8k[=$Ro  
    ["O/%6b9+  
    n1!hfu7@s  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光币
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 k65V5lb