切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1096阅读
    • 1回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    4681
    光币
    17781
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: TJCoID7a8  
    4Hu.o7  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; ?qdG)jo=  
    5dhRuc  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 D[<8(~VP  
    7Y_S%B:F  
    结构设计 4ed( DSN  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 [!v:fj  
    9nB:=`T9  
    >kd2GZe^_J  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 4Vt YR  
    B1Xn <Wv  
         ' e-FJ')|  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 >Z/,DIn,I  
    M6?*\ 9E  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 _m@QeO'yh  
    `w&|~xT  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 .@R{T3 =Q  
    Iu%S><'+  
    m'Wz0b^BO  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 )wAqaG_d  
    b" p,~{  
    %c[by  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ~v2_vEu}JX  
    bd9]'  
    a(bgPkPP  
    NoV2<m$  
    导出加工数据 Wh"oL;O  
    WPLAh_fe  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) C:W}hA!  
    #;H+Kb5O  
    T-eeYw?Yf  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 P#6y  
    p9Ks=\yvL  
    eEXer>Rm   
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 p1CY?K  
           \DpXs[1  
    ~c+0SuJ  
    w R1M_&-s  
    ? %F*{3IP  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 {p+7QlgK  
    ~[Mm0L}8  
    J'|qFS  
    !|hv49!H  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 rE EWCt  
    0d~>zKho  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 <S%M*j  
    #"=_GA^.{  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 h]&8hl_'m  
    | x/,  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 9PIm/10pP^  
    A2!7a}*1(  
    >#<o7]  
    导出加工数据列表 #O* ytZ  
    L@XhgQ  
    Jn-iIl  
    x<4-Q6'{S  
    导入加工数据 \|RP-8  
    G ,An8GR%&  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI !0{":4 \  
    aovRm|aOo'  
    QD-#sU]  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) e}D#vPaSY  
    ]z;%%'gW6  
    d#T~xGqz  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) TeSF  
    );'8*e'  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 MPhO#;v  
    B>Mr /'  
    LcI,Dy|P  
    ayTEQS  
    9K-=2hvv  
    @.6l^"L  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 B0T[[%~3M  
    [/.o>R#J(  
    % V/J6  
    6) 导入完成,观察3D视图 89?$xm_m  
    u|z B\zd  
    > r6`bh [4  
    Y<0 [_+(  
    OB FG!.)  
    QQ:2987619807
     
    分享到
    离线wx349643041
    发帖
    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 PBc.}TSGj