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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    5302
    光币
    20742
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Mi/ &$" =  
     +F7<5YW&(  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； zOao&  
     NHFEr  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 CEX}`I*-  
     JwI`"$ > w  
    结构设计 7Js>!KR  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 7dlKdKH  
     b,rH&+2H  
    `z?KL(rI  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 RhV:Z3f`6  
     $p0 /6c  
         L*UV  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 }l}yn@hYC  
     0tW<LR-}E  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 c>R`jb@$N  
    )@<HCRQ'q  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 "^9[OgE:  
     y7M:b Uh  
    EREolCASb  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ]<8B-D?Z  
    uEScAeQXsI  
    jNe(w<',P  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 [:nx);\  
     %Le:wC  
    8:P*z  
    jJ*@5?A  
    导出加工数据 ^nHB1"OCV  
     Q5p+W  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) aE7u5 PM  
     C5PmLiOHY>  
    (2 T#/$  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 uq!;  
     _e?q4>B)c  
    ^s^ JzFw  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 @cuD8<\i  
           49+ >f  
    E\]OySC%C$  
    Qy=HrL]x  
    6o=qJ`m[?  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 N+CXOI=6x  
    HYjMNj0  
    )%iRZ\`f  
    w~kHQ%A  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ~9JW#HHzn  
     ~lzdbX  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 DR k]{^C~  
    $?FS00p*|X  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Q'Jv} 'eK_  
    le7 `uz!%  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据  20I4r  
    `6a]|7|f  
    UGhW0X3k  
    导出加工数据列表 'oz hz2s  
     b!i`o%Vb  
    Qs|OG  
    )n\*ht7  
    导入加工数据 cQ8dc+ {  
     Y%<`;wK=^  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI `9.dgV  
     6m4Te|  
    F,*2#:Ki  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ]>tq|R78  
     %mY|  
    Wgxn`6  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Eo%UuSi  
    %x&F4U  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 <=q*N;=T,  
     cyW;,uT)D  
    K*_-5e  
    ?VFM ]hO  
    ?22d},.  
    f?,-j>[.=f  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 *;<e '[Y7f  
    5a'yXB}  
    \% }raI;Y@  
    6) 导入完成，观察3D视图 Pj'62[5z  
     ; ;<J x.  
    ./$ <J6-J  
    {tPnj_|n<  
    :~yzDk\I"-  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 \I;cZ>{u"}  
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