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    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5545
    光币
    21885
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： 'e_^s+l)a  
     9F845M  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； U+CZv1  
     ?wt%e;  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 } 1^/[?  
     jw?/@(AC6  
    结构设计 cq>{  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 IeLG/ fB  
     w{f!t8C*s  
    ;XNe:g.CR  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7dyGC:YuTL  
     i 2hP4<;h  
         4G"T{A`O  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 D+lzISp~e  
     S9S8T+  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 h}k&#X)7  
    D^yZ!}Kl  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 OJPx V~y  
     U+>!DtOYK  
    CMB:%  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 3[B*l@}j  
    De%WT:v  
    ];i-d7C  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 r1b{G%;mJ  
     secD ` ]  
    !G =!^RA  
    Pz7{dQqjk#  
    导出加工数据 F$QN>wPpM  
     c ]M!4.  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) k FE2Vv4.  
     z )s{>^D  
    [y-0w.V=oE  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 c,pR+DP  
     0$NcxbM  
    " 2A`M~  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 A]L;LkEM  
           Fka&\9i  
    (7^5jo[D  
    mz$)80ly  
    FDBj<uXfM|  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 1)yEx1  
    H&\[iZ| -N  
    #=C!Xx&  
    &?UIe]  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 l/0"'o_0v#  
     q}P< Ejq}  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 BwMi@r =  
    _^K)>  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 1><@$kVMm~  
    lVF}G[B  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ]D_"tQ?i  
    UJ0fYTeuI  
    ]S;^QZ  
    导出加工数据列表 OXcQMVa 6  
     :EJ8^'0Q  
    29{Ep   
     gP%S{<.?  
    导入加工数据 I/4:SNha  
     9n4vuBgv  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ERD( qL.J  
     eGcc'LBr;  
     h0}r#L  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) '-C%?*ku  
     !SRElb A;i  
    &Ui*w%  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) wJ#fmQXKJ5  
    -OV:y],-  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ^ [FK<9  
     YZ>L\  
    RhwqAok|lj  
    N3/G6wn  
    KFQ4vavNh  
    fLkZ'~e!  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 JxI\ss?O  
    ^6R Sbi\  
    (=#[om( A  
    6) 导入完成，观察3D视图 u@QP<[f  
     #._%~}U  
    T%0vifoQ_$  
    qyi5j0)W  
    @c 3GJ'"X  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ]x)^/ d  
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