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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5423
    光币
    21295
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： -Zg@#H  
     v:9Vp{)  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； f~p[izt  
     ET6}V"UD  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 2)q$HUIX  
     i^}DIx{  
    结构设计 +6<g N[  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 #'y^@90R  
     >lO]/3j1  
    UX ?S#:h  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 `DP4u\6_  
     a)/ }T  
         7zXX& S  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 9\6ZdnEKu,  
     ;|Rrtf9  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 DpL|aRdbK  
    !OR %AdxB  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 emS7q|^  
     >>h0(G|  
    ,L(q/#p  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Novn#0a  
    z }P1+Pm  
    o{K#LP  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 }/%^;@q;  
     8d>>r69$pa  
    {'f=*vMI  
    $-mwr,i  
    导出加工数据 qI1J M =  
     ;J?zD9  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ItQ3|-^  
     {,o =K4CD  
    ~5_>$7L>  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 :k oXS  
     SBG.t:  
    /A%31WE&1  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 $4rMYEn08  
           )Yw m_f-N  
    0BHSeO,  
    E&2mFg  
    koOp:7r  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 X}j_k=,C  
    .h>tef  
    ?h|w7/9  
    rY(h }z  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 &UoQ8&  
     K<D=QweOon  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 B pl(s+  
    '0E^th#u-0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 %0^taA  
    ZHOh(  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 dW2Lvnh!>/  
    x[eho,6)  
    a*KJjl?k  
    导出加工数据列表 H{fOAv1*  
     W .bJ.hO*  
    .VfBwTh7q8  
    :k7h"w  
    导入加工数据 G' a{;3  
     AU/L_hg  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI }SF<. A  
     3/?{= {  
    jMB&(r  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) VT`C<'   
     *Z=:?4u  
    dQH9NsV7g  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) b'5L|1d  
    wT+b|K  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 >ay% !X@3"  
     b#z{["%Zp  
    ]W>kbH Imz  
    dw e$, 9  
    B&k"B?9mL  
    1me16 5y<B  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 mtg3}etA  
    o+T %n1$+V  
    @{y[2M} %]  
    6) 导入完成，观察3D视图 q+/7v9  
     2YL)" w  
    g4 G?hv`R  
    W|aFEY  
    ('7qJkV  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 pa@@S $(  
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