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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5279
    光币
    20639
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： 5C|Y-G  
     BIk0n;Kz<L  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； s IE2a0+  
     >OLKaghV.5  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 6VsgZ"Il  
     E0s|eA&  
    结构设计 #aeKK7[  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 S /kM#  
     ]+ KN9  
    U{JD\G 8m  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ]27  
     P5K=S.g  
         &qjc+-r{l  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 :< d.  
     w!j'k|b>  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 S <RbC  
    D"z3SLFW{  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 VK]cZ%)  
     /TndB7l"3  
    ]VkM)< +  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 J\@W+/#dF  
    [qL{w&R  
    Km)VOX[ZZ  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 z]%c6ty  
     k Xg&}n7  
    LJc"T)>$`  
    -`8pahI  
    导出加工数据 '-l.2IUyT  
     k',#T932x1  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) j&Trvw<t  
     7K 'uNPC  
    [X%Wg:K  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 QhJuH_f 0  
     ]wZlJK`K  
    0z =?}xr  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 !0Mx Bem  
           (B^rW,V[R  
    JE *d-  
    dHsI<:T#  
    [2P6XoI#  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 Mp7X+o/  
     W<@9ndvH  
    rHa*WA;TE  
    DP8%/CV!*  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 ;TC"n!ew  
     "OO)m](w  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 jl"su:y  
    LG+2?+tE"  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 xep8CimP'  
    a_3w/9L4r  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 h.*v0cq:  
    ]<*-pRN  
    j>`-BN_  
    导出加工数据列表 3OB=D{$V  
     YvG=P<_xw  
    |JLXgwML  
    (2Z k fN  
    导入加工数据 < 2SWfH1>  
     AGGT] 58|  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 3c=>;g  
     +P=Ikbx AO  
    QnA~,z/ .w  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) yu>o7ie+;Y  
     mIZ6[ ?  
    f#kT?!sP  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) mKBO<l{S  
    ij,Rq`}l  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 pft-.1py  
     c;Gf$9?iC  
    GO)5R,  
    q-s(2C  
    D&{CC  
    @h9QfJ_f  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Fs3 :NH  
    /Nkxb&  
    FP'-=zgc  
    6) 导入完成，观察3D视图 v!W{j&N  
     K3iQ/j~aq  
    E&N~ h|CL  
    7$*X   
    EsS$th)d  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 la}cGZ; p.  
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