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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 6}$cDk`dz :9Pqy
pd+ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 jo~vOu
jtwO\6 t& 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 04t _
E?uv&evPK7 要求工具箱：光栅工具箱 iy9]Y5b
jBbc$|O4SY 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 _guY%2% yR :e;fs.C 一、模拟任务： J4i 0+u 二、光栅的描述 N}= - +E|
]\U'_G2] 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 {w++)N2sh
T9A5L"-6T 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 (x@"Dp=MZW
Zj;!7ZuT1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 iVcBD0 q)
XEI]T~ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” {ex ]_V>
nDvWOt 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ; o\wSHc
W +E2({ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 AdNsY/ Y( BJ5#!I%h $B2@mC([S h!
<8=V( 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm T$ e_ ao| g nGw 7V :>k\ uW 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm *bx cq .uP$ M(?j q,G L#L 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm YAo g;QL ~ocr^V{"<~ y~fy 0P:T 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm M<nn+vy` vuf|2!kh/ nL ? B 5. 参数运行 >Vvc5 5z
:vj buqN] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ^R yrUb
1X5\VY>S`h 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 *K;~V fCKcv | 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 >&R|t_ypw #?9o A4Q R~i<* \0 $?r4A 7. 总结 Vk"QcW
VYBl0!t 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 > nxtQ
_?ym,@} # 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 .jCdJ
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e|I5Nx2) 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 C9h8d ;8@A7`^
Ii)TCSt9U? QQ：2987619807 =k'dbcfO$9
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