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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 5<pftTcZ G0 J4O!3 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 V3;.{0k
[]R? ViG 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 hRI"y":zD
9Ya<My 要求工具箱：光栅工具箱 {gA\ph% s
&;,,H< p 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 kd:$oS_*s W%2
80\h 一、模拟任务： B&+`)E{KB 二、光栅的描述 EFuvp8^y
\I- #1M 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 w@-PqsF
1(zsOeX 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /){KOCBl;
UtB 6V)YI 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 4h !f/aF'
5erc D 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” do-ahl,
J `q]6qf# 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 e~ aqaY~}
^,F;M`[ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 s](aNe2j zl-2$}<a EV #MQM V}d 9f 2 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 5(W" - A} <^b7cOFQ Mypc3 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm KfBTL!0# YSJy ` +x9cT G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm L@75- T PkE5|d*, di)*-+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm B/5=]R 4k/V BZB yKXff1^M 5. 参数运行 n9 pN6,o+
*19ax&|*S 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 nJRS.xs
tx"sH]n 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 -U<Upn)2 Tmh(=
TB' 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 _A<u#.yd a9n^WOJ6 6:U$w7P0
e _, ;j7%j 7. 总结
: Ih|en^w
2f U$J>Y 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 xD&^j$Em
)!g{Sbl 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 |/g W _;(
IchCACK 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 =. y* _Ja d=, %= @
bifS 2>c QQ：2987619807 \BWyk A>
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