-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-08-06
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 v)% [ |z ] aa 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 { _-wG3f|
>@z d\}@W 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 "h QV9 [2\
HKM~BL
"X 要求工具箱：光栅工具箱 _jiQL66pY
a (P^e)< 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 <r0.ppgY C+T&O 一、模拟任务： u0wn=Dg 二、光栅的描述 (y %% 6#bd
ip<15;Z 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 R i9Kr
ZK%Kgk[\:~ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 U8EJC
.e&O
p1Y+ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 RfD{g"]y
Wk7L:uK 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Gg'<Q.H
z7|
s%& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 wwo(n$! \
~6\& y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?e"Wu+q~L B {[f}h.n 0Z@ARMCe|m @gH(/pFX 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm /A %om|+Gq 1 ,#{X3 "xL;(Fqu 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm =X)Q7u".7 X\o/i\ C} fEx+gQW_ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ;r g H}r A*G
)CG
c Bg,k[, 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm pQk=x T ~gSwxGT7d 3Ne9% " 5. 参数运行 TS\9<L9S
(~q# \ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 - 3C* P
GS$ZvO 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ox!|)^`$_ 9`)w@-~~ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ,Wz[t YL* ) j{WeG7L -}=@
*See# pe\Txg6 7. 总结 * i=?0M4S
" z^BKb5 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 qk_p}l-F1
): /< H 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 3~cS}N T
,ma Aw}= 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3g?MEM~ /K i0+(4
B, QC -Tn QQ：2987619807 yq/[ /*7^
|
