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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 o JV dFE nVpDjUpN 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Nl4uQ_"
Z2;~{$ &M+ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 `m V(:
VVF9X(^rQ 要求工具箱：光栅工具箱 z>W?\[E<2
b 2\J<Nw 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 PY CG#U 7LaRFL.,kO 一、模拟任务： P {RGW.Ci@ 二、光栅的描述 <&+0[9x
dR s\e(H' 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 )"Ujx`]4r
UN <$F yb 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 7iy 2V;}
:MYLap&L& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #.FhN x
{#t7l V'4 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” a'q&[08
iqF|IVPoi 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 s_Z5M2o
n1x3q/~ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ;<MHl[jJD O ZKZv, 9 qq6P! A{3nz DLI 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm !;t6\Z8& [IyC}lSW^- *>GRU8_} 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Eb'M< ZY 2L.6!THG 2Z9ck|L> 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm PTQN.[bBh
zGL.+ @ `OZiN;*| 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm -Zg.o$
J6
A3Hrg 1vh[sKv9% 5. 参数运行 G[d]t $f=
M?m@o1\;W 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 1Fs a}UK
IU G}Q7w5 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 i:&$I= 7 /" Z/^ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 L8pKVr Yru,YA
f(EO|d^u ey:%Zy
[~ 7. 总结 ~A(^<
%4wHiCOg 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 I,/E.cRV<
+wGvY r
2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Fbw.Y 6
R_80J=%0 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $}H,g}@0 \Jwc[R&x
(V}?y:) QQ：2987619807 (F#2z\$;
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