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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 \cJa;WM> 60>.ul2 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 *%5{'
|CFRJN-J" 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ~NcQ1.
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$/A 要求工具箱：光栅工具箱 3L5r*fa
zZ-\ a[F 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 <n"C, ` uCI Xb 一、模拟任务： 4,p;Km& 二、光栅的描述 zg) sd1@
%3r:s `{ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 zCaT tb|@
qQ]]~F 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 )?! [}t
5e8AmY8; 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 xg@NQI@7
[{u(C!7L` 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” [^Y A=K hu
SkQswH 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 w f.T3
BqK(DH^9 N 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ^Q<mV*~ ~nLN`H d !U%T&?E l KJn! Ap 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm =@x`?o e v Q
n)d2-< w*9br SK 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 1 T<+d5[C
dq;|?ESP 5 K%SL1N 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 6?tlU>A2s d~J-|yyT ^"\ s eS 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm t&q N: J {V19Zv"j SymwAS+ 5. 参数运行 :nN1e
`O?T.p) 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 y m,H@~
75T_Dx(H 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 p/Sbt/R Cs3^9m6;d 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ]va>ex$d /wShUR{ EI~"L$? ` $LWmm# 7. 总结 Rgy- O A
BAj-akc f 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 O4 3YY2
2zSG&",2D 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 %q ;jVj[
h 5_G4J{1 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 @H b'8F 1F8 W9b^D
u6V/JI}g QQ：2987619807 eK_*2=;XRW
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