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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 8 tQL$CbO ;*j
K! 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 1G5A L2
KB|mtsi 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 c 1s&
2p\xgAW? 要求工具箱：光栅工具箱 _.V5-iN
e1h7~ j 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 X5VNj|IE |C z7_Rn 一、模拟任务： *8?2+ )5" 二、光栅的描述 M.}J SDt
P658
XKE 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Y * rujn{
i]?
Eq?k 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 >| ,`E
U\:Y*Ai 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 TmLCmy!
IJ2' 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” @XM*N7
y-nv#Ejr 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 BQ Vro;#Jc
6P717[ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 2p](`Y` cpP}NJb0;% |6bvUFr >zX ^*T# 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm z=U+FHdh/- ?rQ .nN ] -{ fr+ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm -_5Dk'R#` a
dr\l5pWQ '#3FEo 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm "X2'k@s` b:hta\%/2 W g7
eY'FE 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm iY07lvG< *w(n% f RVwS<g)~1 5. 参数运行 n8; p]{
4>V@+#Ec5 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。
b7\> =
):>?N`{V 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 c:0n/ DC +vxf_*0; 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ^Z9bA( w8 Pa Q lQ# &-Ch>:[
)SJM:E 7. 总结 "% D"h
3WQa^'u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 j]kgdAq>
"z Y~*3d 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 V;MmPNP |
|\uj (| 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $ eI
cCLF 5U7,,oyh
NO[A00m|OL QQ：2987619807 Rh~b,"
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