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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 U;IGV~oT B 8?9L8M} 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ]f?r@U'AS|
xQU//kNL 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 >2 #<tH0
(+;D~iN` k 要求工具箱：光栅工具箱 oV;sd5'LG
s,f2[6\ Y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 G[]%1
_QCO >N 2kWSa 一、模拟任务： G6qZ>-GiL 二、光栅的描述 J[r_ag
p`rjWpH 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 8t=O=l\
5Z a<]qxr 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 \)wVO*9*0
[%R?^ *] 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 @%2crJnkS
Sz<:WY/(x 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” %'h:G
B kd
+X+R8 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 H)E,([
? Fa$lE4 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 W`JI/ TCzlu#w f/Y7@y R[6R)#o 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm : UH*Wft1 dc 4XX5Z Z.Z31yF:f 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm [h-NX 0PFC %x Z L0k 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm L g X2KU" YU 0pWM Q .7X3 A8 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ~N;
dX[@BT f% t
N2k MIl\Bn 5. 参数运行 roAHkI
0Bp0ScE|FA 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 *c/| /
uE r.LCAS 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。
|0u qW1 W7 ~_XI 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 muF&t'k Y>F Lc* h ?P9VdS1- J0e^v 7. 总结 MFO%F) 5
G@~e :v) 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 s nx we
fM:bXR2Y' 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 zK1\InP
[:e>F XV 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Wt!;Y,1 s u 1}dHMoX~
PIFZ '6gn QQ：2987619807 H&F2[ j$T
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