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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 p Nu13o~ 1F5F 2OT$8 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ji( S ?^
"VWxHRVg4M 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 tazBZ'\c
n X
Qz 要求工具箱：光栅工具箱 0;TMwE
U2 A Nu| 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 6x@-<{ L ,XP9NHE 一、模拟任务： ,)L.^< 二、光栅的描述 gr=ke #
g{$&j*Q9 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 oRu S_X
McnP>n 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 5<w0*~Z d~
^:-%tpB#! 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 '~ ]b;nA
9Z rn(D 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” .yWdlq##
JmY i& 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 I )B2Z(<Q
0/K NXz 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 6-X7C9`C {8 jG6 jv0e&rt 1 <R
\V 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm w-nkf
M~ FpRK^MEkG %n}]$
d 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm [=E<iPl SyYa_=En *`jEg=) 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm &(. ZHF Dkdm~~Rr mU& J,C 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm rfPJBD{Ve f CVSVn"o Vk_L*lcN 5. 参数运行 @/7Rp8Fr
.HtDcGp 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 \R#XSW,
E{Q^ZSV3B 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 v^E5 'M[A ,vhR99g{ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?)PcYrV nEn2!)$ IaF79}^ LQQhn{[D 7. 总结 tIvtiN6[|l
n+i }>3'A 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Q%>,5(_V]
yi%B5KF~Al 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 @LmUCP~
>3Y&jsh< 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Z2 @&4_P BW*zj=N%
>%[W2L\' QQ：2987619807 0!z WXKX
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