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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 *q@3yB}  
    j@4]0o  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Jn9 {@??  
    n 8FIxl&u  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 2;w> w#}>  
    J6@RIia  
    要求工具箱:光栅工具箱 <)"2rxX&5  
    &3itBQF  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 z9v70 q  
    |\)Y,~;P  
    一、模拟任务 (@bq@0g  
    二、光栅的描述 JZE<oQ_Jm  
    ={jj'X9  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 (@=h(u.  
    *9`k$'  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /74)c~.W  
    |`+ (O  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 cmY `$=  
    lQ4$d{m`  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” *g4Uo{  
    J8[aVG  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 7'ws: #pC  
    om6`>I*  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 *r|1 3|k  
    ;Q[E>j?w=  
    +Q"XwxL<6  
    XMaw:Fgr  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm !yz3:Yzu  
    "kKIv|`  
    jV<5GWq  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm QJI]@3 Y  
    %~0]o@LW7  
    g9IIC5  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm q35=_'\W  
    <1`MjP*w  
    |:`)sx3@#  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm ciW;sK8  
    Qh]k)]+*|  
    X @7:FzU9  
    5. 参数运行 @scSW5+  
    9MbF:  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 W~s:SN  
    |Vp ?  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ~$1g"jIw  
    r'@7aT&_  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 SXV2Y-  
    r/QI-Cf&  
    )[=C@U  
    eUD 5 V  
    7. 总结 "J `#  
    y"H(F,(N  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 A>*#Nw5L  
    <W*6=HZ'  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 m=w #l>!  
    zJOyr"B'8  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 \8k4v#wH  
    I~-sBMm(w  
    uTy00`1  
    QQ:2987619807 Bo0T}P~  
     
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