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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 /o 'lGvw 4Yi kC 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 .O5V;&,
-9,~b9$ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 p'2IlQ\
jga \Ry=nw 要求工具箱：光栅工具箱 R#^ku)0
P E4
L7 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L-D4>+ ".(vR7u' 一、模拟任务： >L2_k'uE+; 二、光栅的描述 d-+jb<C&
&s vg<UZ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 DR}I+<*%aD
aXJ/"k #Tl 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 kodd7 AD
n>j2$m1[ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 # 5)/B
VYkh@j 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” n f 8V:y4
8TeO h 1\ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 .
c+m(Pk
|zpy!X 3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 *kFd#b+xB 2WFZ 6 'A7!@hVy ^ ?+[yvq 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm lsOv#X-b E /ta}12Z Lxv 4w 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 49&i];:%7% m] >zdP+ h'
!C 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm rBTg"^jsw +yW D>PY( |di(hY| 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm D`a6D N knS:r&2 (is' ,4^b 5. 参数运行 'lA} E
1 ~L;S 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 :&vX0
Ce:
U`qC.s(L 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 g&xj(SMj-$ Intuda7e1 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 %%s)D4sW 1 #,4P 1" s;OGb{H7 ITw *m3 7. 总结 Zpkd8@g@
lK=Is
v + 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 H}F
UgA;
/f1]U
LmC: 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 H%vfRl3rB
l[$GOLeS 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 .T9$O]:o l&+O*=#Hh
*HR
pbe2 QQ：2987619807
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