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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 j>8DaEfwx ybaY+![* 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 .* zN@y3
x*OdMr\n8? 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 & ALnE:F
pBtO1x6x/ 要求工具箱：光栅工具箱 <rC%$tr
2w|5SK_ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 WD5J2EePT OP/DWf 一、模拟任务： !h? HfpYv 二、光栅的描述 @*%3+ 9`yq
s|C[{n<_ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Hf4_zd
n;Bb/Z!~ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 u(vZOf]jL
h'y" `k - 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 6_mi9_w
a (U52dO, 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” x`E<]z*w}
ERPg TZT 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 (%_X{R'
6 Bq_<3P_ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 TV{GHB!p" yD"]:ts3 } c G)$E bEcs(Mc~ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 9'MGv *Ho 2u.0AG @i ~ A7L0/ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm kf@JEcKV dD,}i$ nJI2IPZ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm rrL.Y&DTK e!6yxL*[@[ eT
b!xb 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm /LFuf`bXV 4/
` *mPW WK|5:V8E 5. 参数运行 7z? ;z<VJ
$;5Q
mKQ' 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 2^[dy>[y0
YR'F]FI 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 |_?e.}K b8d0]YS 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 L:HvrB~ <::lfPP ^J] &($- ^N7H~CT" 7. 总结 3ijPm<wn
Vh~hfj" 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Pn!~U] A$%
7y$\|WG?!r 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 um%_kX
N
sdpE?V 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 FKO2UY#&7 .B]l@E-u
U: 8[% a QQ：2987619807 VAiJL
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