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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 |N:kf&]b M2LW[z 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 D;6C2>U~L
_^`TG ]F 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ESni r6HoU
zin'&G>l 要求工具箱：光栅工具箱 cpM]APF-
U3t) yr h 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 =4K:l}} )|K ZGr 一、模拟任务： fkD-mRKw 二、光栅的描述 JY$+<`XM
j<}y( ~ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 + {WZpP},v
c "z E 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 60r0O5=|Fl
6o~g3{Ow 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 C@ "l"
]Ryg }DOQ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” g&X
X@I8+v
.5iXOS0
G 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 CQ'4 ".7
.B{:<;sa 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 0[Z wtfL1 J/\^3rCB @m9dB P Wo6C0Z3g} 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Zz! yv(e)H ` $yi18F bRI `ZT0 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 7A{,)Y/w ^ fT5vO.a
8^hbS%s! 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm T*](oA@ @-XM ox/ '[Bok=$B) 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm G1ED=N_# %[BOe4[
y ~Vl0f; 5. 参数运行 6{H@VF<QY!
lLN5***47J 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 pI}6AAs}Z
OD).kP}s^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 LNF|mS\+D lD,;xuQ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 7kmd.< qjf9ZD& ,AyQCUz{*? \6vr)1~N> 7. 总结 N9=?IFEe]
4AYW'j C 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 #Wely~
_ o?[0 E 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ~!"z`&
I04c7cDp 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 #=czqZw :nxBM#:xu
)uy2, `z QQ：2987619807 MR.c?P?0Q
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