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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ?"x4u# x <7^|@L
6 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 !#KKJ`uB"
2Vx4"fHP#N 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 o1.~g'!^
.@VZ3" 要求工具箱：光栅工具箱 iq; |
i!
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&X<- 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 0'Pj nk-i 8Qg10Yjy 一、模拟任务： 5 4 _}9_g 二、光栅的描述 op6]"ZV -C
5)#j }`6 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 cJ4My#w
-zg*p&F 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 aCG rS {
{i D/0q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 C`. YOkpj
-b-a2 1,m> 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” J>Ar(p
AFAg3/ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 $J7V]c*-b
,!:c6F+ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ';I} 6N X7*F~LFr j ;+ hh|NiQ P6gkbtg 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm WcN4ff - ,->ihxf OgF[= 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 8+'}` J6Ilg@}\ |;gx;qp4cN 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm B"4 3o7C iuV4xyp Cd%5XD^ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm F-;J N ?@"@9na i2qN 0?n 5. 参数运行 V;SfW2`)
b<u\THy# 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 u 3h(EAH>
k \OZ'dS 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 j7P49{ uX 7L1~s- 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 <-`bWz=+ a
,mgM&yD ~?/7: S Q6
*n'6 7. 总结 ().C
Ab$E@H # 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 maa p X/J
Y9abRr K 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 #(] D ]f[@
IogLkhWX 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `gl?y;xC HYl+xH'.j
uI,*&bP QQ：2987619807 d!I%AlV
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