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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 j>8DaEfwx  
    ybaY+![*  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 .*zN@y3  
    x*OdMr\n8?  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 & ALnE:F  
    pBtO1x6x/  
    要求工具箱:光栅工具箱 <rC%$tr  
    2w|5SK_  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 WD5J2EePT  
    OP/DWf  
    一、模拟任务 !h? HfpYv  
    二、光栅的描述 @*%3+9`yq  
    s|C[{n<_  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 Hf4_zd  
    n;Bb/Z!~  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 u(vZOf]jL  
    h'y"`k -  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 6_mi9_w  
    a (U52dO,  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” x`E<]z*w}  
    ERPg TZT  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 (%_X{R'  
    6 Bq_<3P_  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 TV{GHB!p"  
    yD"]:ts3  
    }c G)$E  
    bEcs(Mc~  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm 9'MGv*Ho  
    2u.0AG   
    @i ~A7L0/  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm kf@JEcKV  
    dD,}i$  
    nJI2IPZ  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm rrL.Y&DTK  
    e!6yxL*[@[  
    eT b!xb  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm /LFuf`bXV  
    4/ ` *mPW  
    WK|5:V8E  
    5. 参数运行 7z? ;z<VJ  
    $;5Q mKQ'  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 2^[dy>[y0  
    YR'F]FI  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 |_?e.}K  
    b8d0]YS  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 L:HvrB~  
    <::lfPP  
    ^J]&($-  
    ^N7H~CT"  
    7. 总结 3ijPm<wn  
    Vh~hfj"  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Pn!~U] A$%  
    7y$\|WG?!r  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 um%_kX  
    N sdpE?V  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 FKO2UY#&7  
    .B]l@E-u  
    U:8[%a  
    QQ:2987619807  VAiJL  
     
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