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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 C.M]~"e ,zmGKn#n2 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 "I.PV$Rxl
|` gSk v 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 DuJbWtA
<t[WHDO` 要求工具箱：光栅工具箱 ,g Hgb
Q$_S/d%* 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L=zt\L ^M60#gJ 一、模拟任务： \Q[u ?/TF 二、光栅的描述 _+ z5~6>
/L,VZ?CmtK 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }lzUl mRTe
m:@-]U@ 6 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 r9@4-U7v&
Y'6GY*d L 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 8':^tMd
,1 +AfI 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” u'"VbW3u n
5N=QS1<$5 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 |1vi kG8
J A'C\ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 =#qf0 qH(3Z^ #.| +/ ,J$( IN2F O/Y@ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Aa^%_5 z)$ X/v 6BT o% 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm bL>J0LWQ = 1' / ? `4V_I%lJ& 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm P~Cx#`#(V Q)}_S@v|% 9Yg= 4>#$ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm <4!SQgL 83i o@*D -z"=d<@ 5. 参数运行 ;E? Z<3{
f=%k9Y*) 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ~3YN;S t-
WZkAlg7Z 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 R{zAs?j =<nx [J 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 w#EP`aM2$= dq$H^BB+> oZ% rzLH CT1)tRN 7. 总结 L[4Su;D
8sm8L\- 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ZuV/!9qU
FM\yf ]' 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 {%WQQs
c=? =u 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ^_dYE]t q.]>uBAQ?
Sl @$ QQ：2987619807 h`X>b/V
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