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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 n ^qwE ' < >Q20 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Iv9 U4
vGJw/ij'X 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 #\x y,C'Y
%g>k0~TRf# 要求工具箱：光栅工具箱 b ng/v
u~ '_Uqp 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 &h6 `hP_ 7N v RZ! 一、模拟任务： ]*)l_mut7 二、光栅的描述 |vG ?H#y
}+u<w{-7/ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 q/@r#
wA,-!m 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ||7x51-yj
jzi^ O I7 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 w'xPKO$bzR
4/S3hH 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” A~0yMww:$
p>T 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 g*4^HbVxt
2*n~r 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 K^b'<} $|p mv$gL 2`FDY3n o9]!*Y!RA 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm wI F '|" }^n"t>Z8 brqmi<*9"[ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm =6fJUy^M\ Vm I
Afe bi-z%!Z 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm t|UM2h cvtn,Ml6 zE}ry!{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm {e[~ 1]j3 !0KN A1w, 6s! =de 5. 参数运行 9: E.Iy
6mIRa(6V 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 LzEH&y_O
Jep/%cT$w 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 V4,\vgGu cy2 K# 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 criNeKa /}d)g4\j _.W;hf` X:(t,g*7 7. 总结 {~Q}{ha
N=!k2+ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 u*7>0o|H:
mMK 93Ng"& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 yOk]RB<'r
Q$yQ ^ mG 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ZRa~miKyM H]{`q
I]91{dq QQ：2987619807 +KP&D.wIo
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