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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 N6-2*ES 64IeCAMVo 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 @k#z &@ b
#8WR{ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 A3<P li
kV]%Q3t 要求工具箱：光栅工具箱 ba8-XA_~U
r!-L`GUm 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 >G w%r1) *NX*/(Q 一、模拟任务： )%nt61P\W 二、光栅的描述 C {H'
4Tbi%vF{ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 \?p9qR;"4
T3 B |r<>I 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ^OGH5@"
q%)*,I< 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 P+_\}u;
[|P]S t- 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” l{%Op\
{H"=PY R 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 iNa C ZC
b(.o|d /P 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 : \ON+LQr !W 6 f;qKrw = *U%j 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm oM?
C62g\ O!@KM; rE'
%MiIK 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 1)c=15^ _4x[}e7KF 1v8:,!C 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm c] :J/'vc VG*=)8{ SgQmYaa& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm -`ys pE0? F KvO7? K XDv7#Tv_wv 5. 参数运行 3YZ3fhpw
z 2EI"'4\9 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ?X5glDZ $
c# 4ZDjvm6 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 9zM4D V'BZ=.= 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 @"#gO:|[i0 e"&9G}.f .L 5T4) ?28G6T]/?d 7. 总结 @ #O|
dA!f v`,6- 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 'E6 gEJ
e]y=]}A3{ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 j]] ziz,E
&rtz&}ZB; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。
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d)J] Y=j QQ：2987619807 #I@[^^Vw
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