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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 {xH ?b0> ,ga6 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 tHAe
qXhdU/
= 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 YRo,wsj
Bhv$
要求工具箱：光栅工具箱 .T )wG;+
R1 D ; 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 >,E^ R `y ]A x z}: 一、模拟任务： b\"w/'XX 二、光栅的描述 [F'|KcE3
V$sY3,J7A% 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 &
+*OV:[;
8XG';K_ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ? ^M,Mt
|Fi5/$S. 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 zh|9\ lf
*ziR &Fr! 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” l#`G4Vf
J hfVm*, 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 bMGn&6QiP[
\+l*ZNYM3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ;AE-=/< nYFrp)DLK 5nUJ9sqA :n QlS 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm MUAs(M; 2ozh!8aL Rd& DH_<+^ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm An$2='=/ Xv|=RNz xbm%+ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm !t^DN\\# ])o{!}QUl\ XTo7fbW* 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm }Nsdk',} vWZXb ` IQRuqp KL 5. 参数运行 Jsysk $R
ca{MJz' 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ;~EQS.Qp
D]]wJQU2 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 @kqxN\DE !: ^q_q4 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 L%T(H< G d=PX} o^ 8 o$rF7.- yQE'!m 7. 总结 a:f P
mK[Z#obc= 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ? : yz/9(
%bAQ>E2 ;m 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 IHni1
N) H "'#- 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 gvA}s/ NO o?
AJ bCC QQ：2987619807 _^r};}- }
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