-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-08-13
- 在线时间1833小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Ibr%d2yS= (-yl|NFBw 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 NC 23Z0y
~ 9o6 W", 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 @|-OJ 4[5
@M;(K<%h 要求工具箱：光栅工具箱 ~4 #B'Gy[
'A{h iY 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L^Wz vv] D> ef 一、模拟任务： X~U >LLr 二、光栅的描述 mO rWJ~=
cSD{$B: 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 I+?hG6NM
_]>JB0IY 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Zc5
:]]
dDcZ!rRaL@ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 &_-](w`
?bX 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” O12Q8Oj!0
5N/Lk>p1u 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 rGwIcx(%
0irr7Y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 S q@H b Y8GA X T>('qy HMQI&Lh=U 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm oVO.@M# j'rS&BI G t 0O4GcAN 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 4SVW/Zl.? )/t 6" " |"7Pv
skT 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ,Qc.;4s- 5D`26dB2 ! p.^ITM3S 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm C3 ;[e0.1b Ej(2w Q Q+[ .Y& 5. 参数运行 wT_^'i*@I
)C]x?R([m 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 pO/% N94s
?T'][q 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 K b(9)Re Jbw!:x
[ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 EQ
>t[ &
Ob@Hng% v G2Qjoe`U c 7>.OVh< 7. 总结 D(X qyN-P
Yv\!vW7I 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 U6j/BJT"
Z6s5M{mE 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 bKz{wm%
L]bVN)JU 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 NB)t7/Us O.\ h'3C
A" !n1P QQ：2987619807 Go8F5a@j
|
