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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ev{;}2~V $M0F~x 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 '#oNOU
_<8~CWo: 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Qvx[F:#Tk
UqA <rW 要求工具箱：光栅工具箱 DO^ J=e
[Zpx
:r} 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 pnpx`u; B1U<m=Y 一、模拟任务： EL$"/ptE 二、光栅的描述 w<P$)~6
m-v0=+~& 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 V ?zCON
it#,5#Y: 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 O6[ 4=4L
-Gyj]v5y`c 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 u^ 3,~:E
:f/T $fa* 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” D^30R*gV
7 :S4 Ur 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 HPus/#j'+
nn?h;KzB 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 mH,L,3R;R Q`B K
R]/ 9sI&&Jg ,8`CsY^1 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm A hCqQ.O71 %S$+ 3q%F b;5&V_ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm "T4buTXJ O!U8"Yr$ y(fJ{k 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm DCheG7lo{ QSNPraT E |K|AdL 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Pl\r|gS; Oj,v88= "|^-Yk\U 5. 参数运行 Q|7$SS6 $
!SP u9: 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 N87)rhXSo,
ec sQshR 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 +.2O Z3( gtwUY$ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5I6u 2k3 !zZ3F|+HB B~h3naSe :?P>))vT% 7. 总结 ' 5xvR G
W' Y?X]xr 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 K k\TW1w3
Tv6HPD$[ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ?e#bq]
} `uFLBG3 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 PY76;D*` 3 5KRJY#
.gclE~h. QQ：2987619807 $V\Dl]a1
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