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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 )f8 ;ze UjLq[,_! 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） m+:JNgX6 K" |~D0Qgo 所需工具：Grating Toolbox Basic C[hNngb7R E2t& @t%W 相关Tutorials：G.001; G.014 =cb!2%? } 建模任务 dtTfV.y4w L+T'TC: 理想平面波照射 \IYv9ScAx j cvq:i{ zDEgC  \ykA7Y% n7Bv~?DM isy[RAP< 镀膜倾斜光栅 "L `BuAB 目标平面 |pbetA4& I $x<B7U 周期：10um gR
gB=
C{ 厚度：10um #@5VT* /7 倾斜角度：20度 _V e)M% Gd`7Tf)' 光栅的参数 z C$F@ (UhJ Pco" —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 oR!h
eCnu "PWGtM:L8Y —填充因子 2—后面的介质 E(_k#X —膜层厚度 3—膜层材料 EE | c@M^ —光栅厚度 ut]UU*g^$ u|.|dv'mbp @$L|  6R8>w ,
S!x;w 7j 1JdMw$H 设置层数和转折点 ZREy I(_ _
W#Km UWhHzLcXh  2 设置层数和转折点以确定膜层 AS:k&t $Q}L*4?] B0p;Zh 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 5D?{dA:Rq ]Ol
w6W?% +t1+1 Zv 实现可编程光栅 ,' t&L] bG* l_ uPN^o.,/.  d2US~.;>l
J#4pA{0 1w \fSruhD 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |; mET
 ;{&4jcV* RhT:] 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :SO4@JT{W xC= $ym] zVe,HKF/ s! yD%zO  5T9[a 9-&@ Y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） [AFGh
L+t3  lA4J# qK@,O \ 2 双击Data Series Diagram |HJ`uGN<b EV* |\ te 采样结果 tj8o6N#  2$b1q!g<
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 8@rF~^-_
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QQ：2987619807
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