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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 u]Q}jqiq" wAw1K 2d 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 2{.g7bO Yn[ >Y) 所需工具：Grating Toolbox Basic F b?^+V]9 QJj='+R> 相关Tutorials：G.001; G.014 O_ qwD6s-_ 建模任务 /@|iI<| /{: XYeX 理想平面波照射 :._Igjj$= I`(53LCqo er5!n e  qFK.ULgP` up+0-!AH <{ k`K[) 镀膜倾斜光栅 "AZ|u#0P 目标平面 .8Bu%Sf G^tazAEfo 周期：10um (~eS$ 8>. 厚度：10um zBl L98 倾斜角度：20度 > SLQ W @!=Ds'MJC 光栅的参数 6`7tTn?n p:TE## —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 /='0W3+o*L $K!Jm7O\ —填充因子 2—后面的介质 S9Oz5 _x —膜层厚度 3—膜层材料 (D%vN&F —光栅厚度 f*<Vq:N=\ -Uy)=]Zae \wD/TLS}  n<bU' n
"o+?vx- %-yzU/`JF 设置层数和转折点 *ma
w`1 ]}PXN1( X5YOxMq  2 设置层数和转折点以确定膜层 >zq aV@T 4P[MkMoC W M` 3QJb 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 sBB [u'h! #%Bt!# ~ 1D^C |% 实现可编程光栅 SFRP
?s 7bk77`qWr 2=- .@,6  ~;3#MAG
L&DjNu`!9 A!Cby!, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m{Vd3{H40  72d|Jbd !Z t qh Xr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u0Wt"d-= Vt(Wy j{OA%G(I b'\Q/;oz>  '";#v. ! .*x: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） $ uHQl#!;  z
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-Dd Hl8 2 双击Data Series Diagram oh< -&3Jn YK)m6zW5 采样结果 qg& /!\  %jzTQ+.%]^
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. H P.=6bJWi >t3_]n1e
QQ：2987619807
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