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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 o)n)Z~ q8-hbWNm4 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） a
j$& 9][ VCiq'LOR,< 所需工具：Grating Toolbox Basic ^,t@HN;gA &Td)2Wt 相关Tutorials：G.001; G.014 J 7-
vB",U 建模任务 )8eb(!}7 Y*p<\{,oC 理想平面波照射 fA?v\ 'Qq/ V/#J>-os}W <|?)^;R5!  aaw[ia_E L vu91"
4Fa TXXG0 G 镀膜倾斜光栅 s :BW}PM 目标平面 mvc ;.+ yzT1Zg_ER 周期：10um {:VK} w 厚度：10um
N- &ZaK 倾斜角度：20度 C& XPn;f ceD6q~) 光栅的参数 2
'D, 1F %eW7AO> —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Fw{# 4 vM!2?8bEFd —填充因子 2—后面的介质 _u u&? <h —膜层厚度 3—膜层材料 mCk_c —光栅厚度 `H>&d K|/ 9L3P'!Z nTD%i~t ~o  z~tdL tcX
5@
td0 F E {c{G< 设置层数和转折点 VS ;y vV$^`WY4 "v`q%(TA  2 设置层数和转折点以确定膜层 ~TXu 20c p-)@#hE 0z T-]0 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 $gz8!
f? GD
d'{qE6 =q)+_@24>d 实现可编程光栅 z;2& d<h v O&X<5?Qc \9tJ/~  V9}\0joM
rr\9HA %mU$]^Tw( 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8v8- 5N  <YEKbnw$o Lb<IEy77\ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ("j;VqYUL E<u(Yw6= 4|I;z ((#BU=0iK  NS` hXf Qjnh;uBO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） xoj,> [7 D  (jh i<eV qzA_ ~=g 2 双击Data Series Diagram 3fpaTue|x xg^%8Ls^ 采样结果 l<4P">M!.  0<uLQVoR2n
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. .o]I^3tf c xr@;w8X`^
QQ：2987619807
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