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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 H;=JqD 8` F s{}bQyQ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） mT3'kUZ}] Z2t
r? ] 所需工具：Grating Toolbox Basic Z7G l^4zn B S^P&TR! 相关Tutorials：G.001; G.014 ,iy;L_N 建模任务 R oY"Haa jW< aAd 理想平面波照射 RPh8n4&(" 0\X'a}8Bu ,xzSFs >2  -:P`Rln L*'3f~@Q -:jC.}
Y 镀膜倾斜光栅 w<o#/J9 目标平面 JKMcdD?' Cr;d
!= 周期：10um B'U;i5u4' 厚度：10um hj* Fn 倾斜角度：20度 .zM M!l3 b~L8m4L 光栅的参数 @:M ?Re`L "{ X_[ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 %(v<aEQtt @0qDhv s —填充因子 2—后面的介质 J_tI]?jrU —膜层厚度 3—膜层材料 &58TX[# —光栅厚度 giNyD4uO &l| :1 a=%QckR *  f|cF [&wo
d$O)k+j NU#rv%p 设置层数和转折点 =JK# "' ;i,:F`b~ a#NP69  2 设置层数和转折点以确定膜层 LqOjVQ xz \~{b;$N} S^/:O.X)c, 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 s (3iGuT xn`<g|"# 6 lKM 5,Oa 实现可编程光栅 TXDb5ZCzM HbUadPr Z"u|-RoBV  j}dev pO
w*3DIVlxL 1qgzb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ?\J.Tv $$$  }ippi6b:r 0s%r d>3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qt
!T %K U(t_uc5q OlJkyL8| c{SD=wRt,y  |!=KLJUA <s737Rl 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） cYaf QyU  iO?Sf8yJ: 4Cd ST3 2 双击Data Series Diagram h+! ktMUTL(B 采样结果 #VA8a=t  HxXCx I3
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ]*Tnu98G} aRh1Q=^@(4
QQ：2987619807
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