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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 FLK"|*A g%+ql[(4 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） "IOC[ #&G v^<<[I2 C 所需工具：Grating Toolbox Basic =jsx (3V Av@& hD\ 相关Tutorials：G.001; G.014 D7EXqo 建模任务 3L?WTS6(u YomwjKyu P 理想平面波照射 rf )PAdj|~ hcd! A 5 ;_>s0 rUV  _'H2>V_ $,}Qf0(S K3a>^g 镀膜倾斜光栅 LQ~LB'L 目标平面 A1mYkG)l ( P 周期：10um [t {vYo 厚度：10um <GSQ2bX[ 倾斜角度：20度 #"=%b
e3 @QvfN>T 光栅的参数 ] ,!\IqO U p_>y>x —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 }*xC:A%aS V#p G; , —填充因子 2—后面的介质 2qt=jz\s —膜层厚度 3—膜层材料 8W(<q|t —光栅厚度 m]bL)]Z z~GVvgd OJnP P>  2 q2p=H>&
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6~ $ijx#a&O 设置层数和转折点 tpN]evp| =4YbVA+( }~7H2d);-  2 设置层数和转折点以确定膜层 j4.Qvj >:4 Q3 K;kS e-n W D 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 s#'|{ ]s1TJw [B 9itdRa== 实现可编程光栅 *u k \O] ]hCWe0F ^G ] KE8  qkIA,Kgy
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-DvG 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） dbf^A1HI  u i s:\Uc 9$B)h rJo
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. /NPl2\ o. B 1 jH.(
QQ：2987619807
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