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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 )f8 ;ze UjLq[,_! 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) m+:JNgX6 K"|~D0Qgo 所需工具:Grating Toolbox Basic C[hNngb7R E2t&@t%W 相关Tutorials:G.001; G.014 =cb!2%?} 建模任务 dtTfV.y4w L+T'TC: 理想平面波照射 \IYv9ScAx jcvq:i{ zDEgC \ykA7Y% n7Bv~?DM isy[RAP< 镀膜倾斜光栅 "L`BuAB 目标平面 |pbetA4& I$x<B7U 周期:10um gR
gB=
C{ 厚度:10um #@5VT*/7 倾斜角度:20度 _Ve)M% Gd`7Tf)' 光栅的参数 z C$F@ (UhJ Pco" —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 oR!h
eCnu "PWGtM:L8Y —填充因子 2—后面的介质 E(_k#X —膜层厚度 3—膜层材料 EE | c@M^ —光栅厚度 ut]UU*g^$ u|.|dv'mbp @$L| 6R8>w, S!x;w7j 1JdMw$H 设置层数和转折点 ZREy I(_ _
W#Km UWhHzLcXh 2 设置层数和转折点以确定膜层 AS:k&t $Q}L*4?] B0p;Zh 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 5D?{dA:Rq ]Ol
w6W?% +t1+1Zv 实现可编程光栅 ,'t&L] bG* l_ uPN^o.,/. d2US~.;>l J#4pA{01w \fSruhD 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) |; mET
;{&4jcV* RhT:] 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) :SO4@JT{W xC=$ym] zVe,HKF/ s!yD%zO 5T9[a 9-&@Y 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) [AFGh
L+t3 lA4J# qK@,O\ 2 双击Data Series Diagram |HJ`uGN<b EV* |\ te 采样结果 tj8o6N# 2$b1q!g< 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 8@rF~^-_
]SL+ZT QQ:2987619807
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