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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 p6Z |)1O] 9:P]{}
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Uo71C 4ev uFha N\S 所需工具：Grating Toolbox Basic ^=5x1<a9$ ^q nmKA>"F 相关Tutorials：G.001; G.014 z;!"i~fFK 建模任务 #*:^\z_Jd ?w+ V:D 理想平面波照射 JQ 6M,O Z"RgqNf fjOq@thD  R<U]"4CBx 7f4O~4.[i g/fpXO\ 镀膜倾斜光栅 P#7=h:.522 目标平面 vFB^h1k~.M y pyKRsx 周期：10um #=={h?UDT 厚度：10um [orL.D] 倾斜角度：20度 u>n"FL 'e %4f.<gz~r| 光栅的参数 ;0Pv49q 0~z\ WSo —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 N@L{9ak1 |/vJ+aKq —填充因子 2—后面的介质 E^zfI9R
—膜层厚度 3—膜层材料 c(e>Rmh —光栅厚度 I{jvUYrKH #,u|*O: [ r8 ZAS  Pal=I)
+l/v` =C 9&5<ZC -D 设置层数和转折点 f+Sb> $ }&t>j[ dWPQp*f2  2 设置层数和转折点以确定膜层 o]Rlivahm G %6P`: KGHSEZi] 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Iz5NA0[= 2 \7uM5 k}l |7tD&9< 实现可编程光栅 yjg& /6 Pp s-,*m R2gV(L (!!  +7^p d9F.
RHg- Cg` ]m b8R:a1 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） %)x9u$4W2  `daqzn /}(d'@8p 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） UnF8#~ -juG [zn L meP J *iE tXv  lGl' A}]#$ hlaN'j
<C 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -f)fiQ-<  ds(?:zx# hPDKxYD ]f 2 双击Data Series Diagram rtRb r_ zKO7`.* 采样结果 hTr5Q33y>  iq QT ^
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. o )AwM" /i'078F
QQ：2987619807
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