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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 n@//d.T LOe l6Ui 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） mZL0<vU@^ Gs( ;&fw 所需工具：Grating Toolbox Basic 7Q # A a} :2lL% 相关Tutorials：G.001; G.014 p!+bn,?G 建模任务 4si q OBnvY2)Ri 理想平面波照射 aoU5pftC ~p\r( B7G u~1 ,88&U  j%fi*2uX L
[X "N x{$/|_ 镀膜倾斜光栅 N=c {@h 目标平面 7J5Y zu)D a- 7RJ. 周期：10um rVDOco+w 厚度：10um z KNac [: 倾斜角度：20度 (kSb74*g (T =u_oe 光栅的参数 w9CX5F g Gn 1 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 256V
xn :VlMszy}B3 —填充因子 2—后面的介质 (4FZK7Fm —膜层厚度 3—膜层材料 X6n8Bi9Ik —光栅厚度 hF9y^Hx4 Hn Y.=_G ]|B_3* A  X@% 4N<
OZ2faf G( #EW + 设置层数和转折点 sxPvi0> |u M(A~? Ba9"IXKH  2 设置层数和转折点以确定膜层 f:ep~5] G pzxlh(a9 jN!sL W 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ^2" w5F x=V3_HI/} a0hgF_O1 实现可编程光栅 m0JJPBp qmq#(%Z <W be>KG ZU0  xhncQhf\
'o1lJ?~ kH kDc/]Zb% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2Kw i4R  /B5rWJ2AS +A2}@k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） K#dG'/M|Pb py9`q7 F $2$jV1s eyG[1EEU  6V-JyTcxGI &}FWpo! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |6~ Kin  CA ,2&v" ^fti<Lw5 2 双击Data Series Diagram Qe] aI7Ei 2 .& %mSN 采样结果 /rv=ml pRL  y1 Y
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. O,0j +1? cd)}a_9
QQ：2987619807
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