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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 =[ 46`-_ 1# g2A0U, 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 'c&Ed lgAoJ[ 所需工具：Grating Toolbox Basic '6`3(TK.a RU{twL.B 相关Tutorials：G.001; G.014 @n/\L< ]t 建模任务 T b}4wLu >{ ]%F*p4 理想平面波照射 ^#-l
q) GMx&y2. Z 1nM
#kJ"  >=lC4Tu qbr$>xH mU C)gA/ 镀膜倾斜光栅 H'5)UX@LP 目标平面 NX.6px1 7 f)rq%N & 周期：10um Ib!R D/ 厚度：10um B
IEO,W| 倾斜角度：20度 k}CVQ@nd g axsv[W>^ 光栅的参数 R{4^t97wH{ Po;W'7"Po` —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 t T8%yG} 2W(s(-hD —填充因子 2—后面的介质 _ye |Y —膜层厚度 3—膜层材料 /62!cp/F/D —光栅厚度 w "F
9 l 5I;&mW`1,` j;Gtu  539>WyG5
]m q|w 2qNt,;DQ 设置层数和转折点 (x|T+c"bAX `hm-.@f,9 bj^5yX;2  2 设置层数和转折点以确定膜层 X`/k)N>l 0auYG>< = i"FtcP^ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 8`{:MkXP }tu C} S?LQu 实现可编程光栅 }&D WaO]J7 T{^rt3 a v~C
Czg  c#]4awHU
lFj]4 S+6.ZZ9c 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Q\vpqE! 9  B mb0cF Q Zl!kJ:0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (L:>\m&NO hE/cd1iJ$ 1.hyCTn I > |=ts  UDFDJ m$ 3 \,4 ]l|
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） hZ,_ 6mNg  ]N]!o#q}L C.P*#_R 2 双击Data Series Diagram QIEJ6` Q{>k1$fkV 采样结果 RP|`HkP-2  Dy&i&5E.-l
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ]/6z;
~3U 3=[mP, pLh
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