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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 U+B"$yBR \ 9V_[xD+ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ej kUNCKQt hOZTD 0 所需工具：Grating Toolbox Basic L v/}&'\( l9eTghLi 相关Tutorials：G.001; G.014 (n?f016*%d 建模任务 XfVdYmii .txtt?ZF2 理想平面波照射 t!/~_}eD J k`N*_/(|n r ^C(|Vx  T?!SEblP] WR#h~N
9c 9 M9Fif. 镀膜倾斜光栅 Y#V(CIDe 目标平面 _oBx:G6E M$i eM[_T 周期：10um P}g tJ; 厚度：10um AU`z.Isf 倾斜角度：20度 "A~dt5GJ ~Uv#) 光栅的参数 rqN+0CT leNX5 sX —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 M=;csazN 4+ d(d —填充因子 2—后面的介质 #BBDI —膜层厚度 3—膜层材料 FN!?o:|( —光栅厚度 l }^ziY! ;k#_/c PZV>A!7C8n  j 1{` }\ e
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!tK 设置层数和转折点 Z.@n7G VM<0_R24z Hn)?
xw]x  2 设置层数和转折点以确定膜层 k CGb~+ [T7&)p +0 ukLc@ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ^C^I UYZ C% $5x jsgDJ} 实现可编程光栅 _7:Bxx4B (_}q>3 ~x'8T!M{  ~YW;'
8 NNh8k#6 cOpe6H6,bz 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,|\\C 6s  4>L* 7i MhE".ZRd 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '*Dp2Y {7 Fng {*h FG:u (
EJ1g^|"  sXPva@8_ lj&\F|-i 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4pXY7+e2'  Q/Z>w+zh# W!X Buk- 2 双击Data Series Diagram .0U[n t6 z@19gD#8 采样结果 NkGtZ.!pk  ^2rj);{V
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. *!`&+w "\;n t5L
QQ：2987619807
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