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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 @SJL\{_ 3DiLk=\~ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） p^%YBY#,H ein4^o<f. 所需工具：Grating Toolbox Basic Hfw q/Is q3.j"WaP 相关Tutorials：G.001; G.014 3D!5T8 @ 建模任务 L;Vo Jf !sDh4jQ` 理想平面波照射 kzn5M&f> ,0*&OXt I/d&G#:~  8j d;JPz@\ /<@SFF. W-x?:X<} 镀膜倾斜光栅 96 q_ K84K 目标平面 R< ,`[* Z 87<-kV 周期：10um x(hE3S #+ 厚度：10um pm*xb]8y 倾斜角度：20度 PD&\LbuG 4}_j`d/8| 光栅的参数 NO|KVZ~ d
F9!G;V —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 )PG6gZYW u.d).da —填充因子 2—后面的介质 2 ^mJ+v< —膜层厚度 3—膜层材料 IE;~ ?W" —光栅厚度 ^B(V4-| #33fGmd[ @hJ%@(  4wID]bKM
xC*6vH]?
0S le
设置层数和转折点 tw^,G( 1T y<\bZ= &<wuJ%'>)Z  2 设置层数和转折点以确定膜层 SH_(rQb y 6|aKL[%6 LQtj~c>X-| 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 uJFdbBDSh % MrWeYd1 OUeyklw 实现可编程光栅 N}pw74=1 q}~3C1 (8Bk;bd  ;'5>q&[qbP
]bj&bk# :p]'32FA! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +V m}E0Ov  z.GMqW%B A*2
bA 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） [z9 `)VIe Pl=ZRKn R_sr?V|" }._eIx"  k.uMp<)D .2%zC & ; 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） pQshUm"_  ebT:/wu,2 5Yl <h)1 2 双击Data Series Diagram Qa.<K{m#? ^C_#<m_k 采样结果 x|mqL -Q f  q:dHC,fO
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ?YZ- P{rTS B[V+ND'(
QQ：2987619807
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