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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 D9zw' R Y " nP mQ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \(Dq=U zQI =2] .G Gg 所需工具：Grating Toolbox Basic J]UlCg d)1)/Emyj 相关Tutorials：G.001; G.014 |RDmY!9& 建模任务 w$n\`rQ $e& ( ncM 理想平面波照射 c9-$t d& e4p:Zb: d"<Q}Ay  U_v{Vs @=,2 {JF*6 jCDZ$W89 镀膜倾斜光栅 )^7Y^u e 目标平面 * t6 XU %y)5 :] 周期：10um 8J{I6nPF 厚度：10um iDt^4=` 倾斜角度：20度 ^"7t fo8 %VOn;_Q*B 光栅的参数 Y:[W wX| `*cT79 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 s\i=-` eZ5UR01 4 —填充因子 2—后面的介质 aehGT | —膜层厚度 3—膜层材料 `,i'vb`W#b —光栅厚度 }M'h 5x 5W"n n b }S}OW2  2
*IF
) W95)] yn<H^c 设置层数和转折点 K-IXAdx "u5Hm ^H Y^m 2ealC  2 设置层数和转折点以确定膜层 I'2:>44>I6 @/*{8UBP :_JZn`Cab 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 vn| u&}h 5%"${ywI -NtT@ +AE 实现可编程光栅 LuY` mi vA@K b3 , T0s7aw[zm  s|rlpd4y
QLH& WF TJ[C,ic=D 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） hm3,?FMbq  e`k6YO {Md xIp[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qH!}oPeU' `fh^[Q|4n0 *vv <@+ gA 6eE%x?#  {k] 2h4 &h X).UvPZ/ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4* M jDb  (R G\U[ r \H+=2E' 2 双击Data Series Diagram ~t[ #p: P7QO lTQI 采样结果 C\Q3vG  F{)YdqQ
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. geU-T\1[l }qmBn`3R
QQ：2987619807
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