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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 8N8N)#A[ 0\N n.x% 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 'k?%39 5V|D%t2N 所需工具:Grating Toolbox Basic iL%Q@!ka PW[NW-S`c 相关Tutorials:G.001; G.014 U',9t 建模任务 /:YJ2AARY ^,?dk![1Cv 理想平面波照射 ubpVrvu@ I(cy<ey+e Q9UBxpDV: O[tOpf@s. : " ([i" S-M|
6fv 镀膜倾斜光栅 rM
sd) 目标平面 5iG+O4n% xS4B"/ 周期:10um h;^H*Y&` 厚度:10um )<.BN
p 倾斜角度:20度 j"8 f,er {Q&@vbw' 光栅的参数 J^Dkx"1GD ,}("es\b —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 cZ!%#Az $6(,/}==0 —填充因子 2—后面的介质 (dL;A0L —膜层厚度 3—膜层材料 ]w3-No —光栅厚度 bD&^-&
G *bl*R'; U_ -9rkUa 0X`sQNx f`8]4ms" [@l:C\2 设置层数和转折点 7 +RsZu nK@RFU6 Q\P?[i] 2 设置层数和转折点以确定膜层 y%y F34 pwiXA{ Hcp)Q76X 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 {HJzhIgCf :GXD-6}^| >O{U4_j@( 实现可编程光栅 x6, #Jp DNP%]{J ZB+N[VJs) q`l&G% "kLu]M< )zFPf]gz 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) b'D|p/)m0S Mw0Kg9M duCso M/ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 'nK(cKDIG ?0v(_ v g UfLw /[[_}\xI% IfGmA.O h
0EpW5 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ` ^rN"\ mfYY?]A*+ ]kJinXHW 2 双击Data Series Diagram !>~W5c^ .{cka]9WJz 采样结果 N36<EHq ^-s'Ad3 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. [k"@n+% mkA1Sh{hX> QQ:2987619807
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