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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 V&/Cb&~Uw Y Y$Z-u( 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） | Ho}
D ~ [@3.dd 所需工具：Grating Toolbox Basic Uc
; S@ ixoN#'y<" 相关Tutorials：G.001; G.014 T-x9IoE 建模任务 aZ|S$-} &Z9rQH81f> 理想平面波照射 3Tc90p l*t $:UD #eh0? CHj m7  (h[.
Ie m,6[; J$T(p% 镀膜倾斜光栅 [ A]
+Azc 目标平面 mtw{7 E wSdiF-ue 周期：10um jfam/LL{V 厚度：10um 2E!Q5 l!j 倾斜角度：20度 ZsYY)<n = .) :tGDp 光栅的参数 G
c , u?>8` ]r —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 dl`{:ZR S N-Bw&hEZ —填充因子 2—后面的介质 Sw? EF8}[ —膜层厚度 3—膜层材料 Ysw&J}6e —光栅厚度 }}"|(2I M!%|IKw Sogt?]HB$  sWKdqs
,Vof<,x0 +=nWB=iCb 设置层数和转折点 ,,Ivey!kL m,}GP^<1i u% =2g'+)_  2 设置层数和转折点以确定膜层 k\g:uIsv$ KYl!Iw67d $' ::5 1 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 $ERiBALN: J: I@kM SO<9?uk. 实现可编程光栅 UA*Kuad gr# |ZK.` "{2niBx  f9)0OHa
l?Ibq} [~ wLvM< p7OX 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） T#[# w*w/  :YLurng/] 0J qvV 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） g8" H{u Y n0iu$;n hf7[<I,jov C \^,+)Y\~  IlB*JJ nl X!@ Y , 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Y.#fpG'  +wI<w |! *u < ZQq 2 双击Data Series Diagram FJT0 lC ;krIuk- 采样结果 0ZZ Wj%  <|w(Sn
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. HuQdQ* Q I8Y CXh
QQ：2987619807
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