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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 =4e=wAO(i ]VWfdG 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） b.4Xn0-M Q==v!"Gi| 所需工具：Grating Toolbox Basic !/}FPM_ c[ ony:6 相关Tutorials：G.001; G.014 O4/n!HOb 建模任务 M%{? \)s cIr1"5POXK 理想平面波照射 9"aFS=>< b%;59^4AjD sJb)HQ,7x  9*KMbd ^T )_v\{N A,gx5!J 镀膜倾斜光栅 5Vi]~dZu7 目标平面 W3/ 7BW` YvruK: I 周期：10um C6d]tLE 厚度：10um yvz?4m"_yB 倾斜角度：20度 #jZ@l3 oM<!I0"gC+ 光栅的参数 14D 7U/zer V -_/(xt* —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 "]m*816' R|1xXDLm*E —填充因子 2—后面的介质 =x^l[>sz —膜层厚度 3—膜层材料 MdH97L)L.0 —光栅厚度 tKZ&1E Px?Ao0)Z, 5!AV!A_J p  :Sc8PLT
fYhR#FVI -+ }5ma 设置层数和转折点 \ C K(;J Ud#X@xK<h h}| 6VJ@.  2 设置层数和转折点以确定膜层 %f(S'<DhC sz/ *w 7 " #pzZ)Zh 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 (`6%og#8
j/9WOIfa sS2_-X[_ 实现可编程光栅 {y-2 e40udLH~x 3Q"F(uE v^  d=XpO*v,[
{pDTy7!Hs 5g``30:o 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 'j,oIqx  kG1;]1tT# qO-C%p
[5 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） a@#Q:O)4 R-pH Quu3 4.|-m.a qL|
5-(P  JI"/N`-?;b /vjGjb=3U 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） TZ_rsj/t  #JA}LA"l g5#CN:%f 2 双击Data Series Diagram ja[OcR-tX |2)Sd[ q 采样结果 QjA&IZEC
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. N = LM?(H XFW5AP
QQ：2987619807
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