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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 plzE 71K\.[ =- 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） p*A^0DN'Fn <1ztj #B 所需工具：Grating Toolbox Basic d)`nxnbMeM :7HVBH 相关Tutorials：G.001; G.014 % <8K^|w 建模任务 m~Lf ^gbG? dM);LT8@ 理想平面波照射 wxdh?sQ :6\-9m8JM ^4n2
-DvG  $#6 Fnhh} e_fg s>o`( 'DaNR`9 镀膜倾斜光栅 ?7rmw y\ 目标平面 &6|6J1c8 T{5M1r 周期：10um fY| @{]rx 厚度：10um 5^G7pI7 倾斜角度：20度 cP}5}+ >=Rd3dgDG 光栅的参数 ?^e*UJNM )?=
kb —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 m)tI :X1`wBu —填充因子 2—后面的介质 :epitpJ —膜层厚度 3—膜层材料 KD[)O7hYC —光栅厚度 Zq2H9^ $g}/T_26
+oxqS&$L jk WBw.( 设置层数和转折点 \kua9bK HnH2u; M8 ^ziZ Y  2 设置层数和转折点以确定膜层 zD#+[XI]K (_s !,QUe jS5t?0 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 )VSGqYr# juve 9HaW RN cI]oJ 实现可编程光栅 DI2S
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4 gvwCo Cbb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） p!rG PyGC  ^YB\\a9 D%5 {A= 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） q(${jz4w [8om9 Z3 Q>+_ W2~] 7\Yq]:;O  0lJBtk9wn u+, jAkr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） r(/P||`l  }gi`?58J6 ,M9hb<:m 2 双击Data Series Diagram 37<GG) ./5MsHfbxt 采样结果 aV92.Z_Ku  'DB({s
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Qg8eq_m( `b,g2XA
QQ：2987619807
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