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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 %.u*nM7sos Y 'm;x A 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） J=78p#XUg P_0[spmFU 所需工具：Grating Toolbox Basic =H8FV09x} v4Rci^ 8 相关Tutorials：G.001; G.014 o ?m1 建模任务 C> x)jDb? bo Ci*] 理想平面波照射 #:N#i L fc y#3! _ q1\8y  Zk lpnL*! *P9" 1K + !4D?X\~"% 镀膜倾斜光栅 7S
8X) 目标平面
]UEA"^ gED|2%BXb 周期：10um 8x)i{># i 厚度：10um b/qK/O8J 倾斜角度：20度 6;:D!},'c ~GX
]K H 光栅的参数 ; U7P{e05 +>1?ck —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 P (7Q8i' D iOd!8Y —填充因子 2—后面的介质 zSD_t —膜层厚度 3—膜层材料 l,]%D —光栅厚度 ?B;7J7 T - E GZ |>x uH#Q  u6?9#L(
`:~Wu/Ogr &v*4A Z[' 设置层数和转折点 6lg]5d2CD _*?qOmf= 1hCU"|VH:  2 设置层数和转折点以确定膜层 /3rNX}tOMH HBvyX`- w.aEc}@(^ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 gsEcvkj* Mb[4_Dc *_YR*e0^nN 实现可编程光栅 )P
b$ GVlT+Rs7 YJHb\Cf.  G%l')e)9Gq
+x`p WH]2 \/j, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c CDT27 @  fPKpV`Hr3 &xB9;v3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） W?aP%D"(i \ db=]L=| T-ST M"~% ]ne bL{}5  wGT>Xh! _<mY| 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） K n1; =k  uQn1kI[y ({C[RsY=6 2 双击Data Series Diagram j0~c2 9#hp]0S6 采样结果 vxk 0@k_  t CO?<QBE
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. H c>yZ:c; r0[<[jEh
QQ：2987619807
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