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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 (|o@ $ta JVVF 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) Ta/zDc"e [OUV!o 所需工具:Grating Toolbox Basic +/eJ#Xw3u8 pY3/AO= 相关Tutorials:G.001; G.014 +;,J0,Yn 建模任务 eq8faC5 bma.RCyY< 理想平面波照射 );}M"W8 LVm']_K(f O-)[!8r $IX(a4' 5lP8#O?= }~PG]A 镀膜倾斜光栅 .|g@#XIwe# 目标平面 eN
</H.bm] ht L1aQ. 周期:10um
59SL
mj 厚度:10um N%Y!{k5T7 倾斜角度:20度 iHf):J?8
y (jhi<eV 光栅的参数 qzA_ ~=g zDtC]y' —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 _z%~m2SP MZf?48"f —填充因子 2—后面的介质 .E+O,@?< —膜层厚度 3—膜层材料 l59
N0G —光栅厚度 Cg~1<J?2 V_m!<sr ( <oT1&C{ fJ5mKN ||TZ[l YT'V/8US 设置层数和转折点 8%YyxoCH pV(Mh[ }P 'U ZzH$h 2 设置层数和转折点以确定膜层 yi~]}M X[$|I9 Zos.WS# 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 z)v o lc~c=17 m;rr7{7X 实现可编程光栅 edcz%IOM( L>g6
9D! )CE]s)6+2 u{\>iQ
3)o>sp)Ji$ :eD-'#@$u 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) H<q|je}e 3dbaCusT$ )16+Pm8 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Hhk`yX c_ ]3='TN8aQF
Ci4c8 eg?p)| N TDmOS\, {`
bX*] 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) eFf9T@ ]}l.*v\uK T|h!06 2 双击Data Series Diagram TNN@G~@cm g@M5_I(W 采样结果 eY?OUS E>*Wu<< 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. HOH5_E>d sGNHA(; QQ:2987619807
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