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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 :Al!1BJQ C+]I@Go'Tk 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ~?dI*BZ )] l k!@? 所需工具：Grating Toolbox Basic *#2h/ Q. GVz6-T~\> 相关Tutorials：G.001; G.014 ibw;}^m( 建模任务 )1z@ q| 7( 理想平面波照射 LscG Ts, cS$_\6 5 W/ \g~=vo  0%B/,/PxD 9^x> 3Bo : DNjhZ 镀膜倾斜光栅 vIvIfE 目标平面 1cDF!X] +mPx 8P&% 周期：10um t7pFW^& 厚度：10um TrNF=x> 倾斜角度：20度 yVfC-Z TzZq(? V 光栅的参数 ni<(K
0~ <%^&2UMg —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Zfw,7am/ Om<a <q —填充因子 2—后面的介质 f^e)O$N9] —膜层厚度 3—膜层材料 V+\Wb[zDJ —光栅厚度 TvM~y \s "tZe>> I ^Pf WG*  m~|40)
[UR-I0 s!/ JJnH%Q 设置层数和转折点 )+^+s d W)/#0*7 wL1MENzp*z  2 设置层数和转折点以确定膜层 CITc2v3a iscz}E,Y TC('H[
] 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 UG^q9 :t Iv *<L a "Q<MS'a 实现可编程光栅 S/ *E,))m )BE1Q*=
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6p|q_e 2 双击Data Series Diagram ig!+2g g-A-kqo9 采样结果 _w{Qtj~s|  \RiP
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 97]E1j] sx%[=g+<2(
QQ：2987619807
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