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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 kj-S d^ #cmj?y() 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） xUe LX`73 CF$^we 所需工具：Grating Toolbox Basic Q p< 6qM35 UCq+F96j 相关Tutorials：G.001; G.014 ^ 5UIbA( 建模任务 Z& 21gN \
(X~Z 理想平面波照射 K(Cv9YQ TSD7.t) ^ fYH%vr)  av5l gv)3 >Vg<J~[g ?5+= 镀膜倾斜光栅 (IEtjv}D 目标平面 EmH2 Dbw K\;b3 周期：10um 0mCrA|A. 厚度：10um 3
D+dM0wM 倾斜角度：20度 <)"Mi}Q[)p Ao=.=0os 光栅的参数 rt. "P20T %*Y:Rm'> —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 g y&B"` c"fnTJXr79 —填充因子 2—后面的介质 a|66[ —膜层厚度 3—膜层材料 *,z_ _S$Q) —光栅厚度 ^Dd$8$?[ 'GNT'y_ <S5Am% vo  \f%jN1z
r0hu?3u1? pYVQ-r%QF 设置层数和转折点 U*,5t81 &
XcY|y=W 3VKA rv-  2 设置层数和转折点以确定膜层 [['un\~r~ iGm[fxQ| qf+I2 kyS 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 1 'Kn:I qM]eK\q 1 lB3W|-Ci 实现可编程光栅 ci|6SaY* :3u>% nV
GrW#'E  HP&+ 8
{bl^O NCd_h<}|6F 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） W}nD#9tL  V[A uw3) %?R}sUo 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） mmEr2\L [,$] %|6wt pT.iQ J| BPe5c :z  tec CU[O g/'MECB 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） = K}5 fe  ti3T ?_ @'s ^ 2 双击Data Series Diagram hH|3 s-o GR Rv0M 采样结果 9U ZKL @KC  3<CCC+47
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. %fo +Y+t U"af3c^2
QQ：2987619807
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