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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ;Z^\$v9? +~xY} 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） )!z4LE >T84NFdz+ 所需工具：Grating Toolbox Basic 4Z8FLA+T, 1eHU!{<fqm 相关Tutorials：G.001; G.014 )Y 4 ;@pEU 建模任务 h</,p49gM (;\"
K? 理想平面波照射 pmda9V4 B xAyjA6 tofX.oi+C$  ;] v{3m uuHg=8( &/dYJv$[9 镀膜倾斜光栅 U{1%ldOJ% 目标平面 7R5m|h`M r2ZSkP. 周期：10um F8xz^UQO 厚度：10um Hk&op P9) 倾斜角度：20度 ;|qbz]t2( l4Au{%j\ 光栅的参数 M./1.k&@
V .w
L —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 mD5Vsy{Pb ,~Y[XazT —填充因子 2—后面的介质 :m]KVcF. —膜层厚度 3—膜层材料 {L'uuG\9U —光栅厚度 Ml,~@}
p zv .#9^/y &=f] a  n4X EyCrD
V h ?5 ZR] p7{8B 设置层数和转折点 ,#Pp_f< g"{`g6(+ 8|JPQDS7  2 设置层数和转折点以确定膜层 >o:y.2yCe [n]C h\T}$jgfWm 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 v[ ~ ~q E]w2
{% M{z&h> 实现可编程光栅 ,_K y'B w` GjQIA :(A k:  r\A|fiL
}!uwWBw` ilRPV'S^ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） s Wyx_  cb=ixn $b U .6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）
bV$g]->4e -!lSk?l ;.66p he /Qu<>#[?  T O&^%d U(+%iD60i 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '2qbIYanh  }0[<xo>K vs^) = 2 双击Data Series Diagram q P[_!C. ZU$Qw I8 采样结果 C%# w1k  TH"<6*f2L
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. |J"\~%8 ],
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QQ：2987619807
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