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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 tf>"fU\P R-Gg= l5 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） d M;v39 4mm>6w8NT 所需工具：Grating Toolbox Basic iE^=Vf; $nN CBC= 相关Tutorials：G.001; G.014 d_Z?i#r0l 建模任务 ,b t
j6hg G54`{V4&s 理想平面波照射 a-NicjV# : CP ,DO -o@L"C>  5jsZ Jpk$ yXCHBz 6& bg^ <e}{<H 镀膜倾斜光栅 se29IhS!e 目标平面 2~%^ y6lR kTm}VTr
1 周期：10um z 2 mjm 厚度：10um R#W= *cN 倾斜角度：20度 [=^Wj` ; pL2{zW`FDh 光栅的参数 BR:Mcc ;] W@W1)$ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 =OFx4 #6a BCh|^Pk —填充因子 2—后面的介质 &BN#"- J —膜层厚度 3—膜层材料 - ]Q\G —光栅厚度 dQy K 4T W@D. /Th ,O FNV|S$  `pqT iV
:a9 ]#vi/6\J 设置层数和转折点 WF<3
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!  2 设置层数和转折点以确定膜层 4B)%I` dj{~! } "6Z(0 iu:{ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 6i%X f i e/ }4Pt 9T 0g%& 实现可编程光栅 w[AL'1s] h=B=
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Q"H/R Mo- `UT U rM 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） I
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 W:K '2 j A# Y:VavQ? 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） <,D*m+BWn 3c F8DNh `@#rAW D "uFwsjz&B  'c# }^@G gU1Pb]] 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） iUk#hLLC  A WJA? x_r*<?OZ 2 双击Data Series Diagram cQm4q19 73Hm:"Eqd 采样结果 z"Mk(d@-E  u08QE,
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. -+0kay% c3r` T{Kf
QQ：2987619807
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