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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 -
N>MBn {cK^,?x 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） A \rt6/ (%CZ*L[9Z 所需工具：Grating Toolbox Basic 6Q4X 6U:WB V{-AP=C7 相关Tutorials：G.001; G.014 C;AA/4Ib 建模任务 X#xFFDzN +`mGK:> 理想平面波照射 zHWSE7! LVIAF0kX :qhpL- ER  e[u?_h -!RtH |P J; t 7&Zpe 镀膜倾斜光栅 ivO/;)=t 目标平面 |s7`F% JE 5 周期：10um 8rZ !ia! 厚度：10um S|V4[ssB 倾斜角度：20度 @r(Z%j7 =-cwXo{Q.O 光栅的参数 #BVtL :x@ XKL3RMF9r —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 sML=5=otx QB!~Wh —填充因子 2—后面的介质 - F&U —膜层厚度 3—膜层材料 r'LVa6e"N —光栅厚度 rj ]F87" +'@+x'/{^ Jo(`zuLJ  |LG4=j.l
!{et8F@d| :nHKl
设置层数和转折点 Kr 'f- { uf<@ruN TQX)?^Ft  2 设置层数和转折点以确定膜层 $\o {_?}1 =.<@`1 zIC;7 5# 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 nZ1zJpBmI "@@I!RwA YG:3Fhx0~ 实现可编程光栅 >% p{38 S0h'50WteJ @53k8  WtQ8X|\`
_8fr6tO+ CHd9l]Rbe 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {u{@ jp  yw[ # ( m\$hX 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） CZn K8&VDY t-
u VZ!`\ \]Kh[z0" 2M<R(W!&  @Q&3L~K" =@Dwlze 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,jA)w J  M wb/jTp 0`.^MC? 2 双击Data Series Diagram d\MLOXnLq; WH ?}~u9 采样结果 K/ m3  h'J|K^na
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. :(dHY -aRU]kIf
QQ：2987619807
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