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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 /0QGU4= jR7 , b5 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） BQVpp,] }OO(u C2 所需工具：Grating Toolbox Basic 0S@O] k) h: :'s&| 相关Tutorials：G.001; G.014
2V(ye9 建模任务 ~Nf0 1,F .{D[!Dp#h 理想平面波照射 hGi"=Oud2 ay6G1\0W TkhbnO g6  _3<J!$]&p DUf=\p6`f 0-"ps ]X 镀膜倾斜光栅 B`OggdE 目标平面 NGB%f J v :]y#y 周期：10um _F
xq 厚度：10um "m +Eu|{ 倾斜角度：20度 ,p\^n`A32 %? +A.0]E 光栅的参数 [7B:{sH [dFxW6n —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 `*e',j2}UU yrO'15TB —填充因子 2—后面的介质 +]H9:ARI —膜层厚度 3—膜层材料 '5wa"/ ?w —光栅厚度 %Rv&VFg Gxv@ a | Q:$G!/  b_-ESs] g
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+Y $7gzu4f 设置层数和转折点 pI7\]e P, !si# !zLd ,`  2 设置层数和转折点以确定膜层 r=4'6! o%h"gbvMY! JC`|GaUy 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ]O',E i ^ @B5@3zYs `kIzT!HX 实现可编程光栅 A/RHb^ N kCxmC<34 L
q8}z-?  4q[C'
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(: 2:_FL 8lI#D)} 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9 Am&G  `48j L3| UTKS<.q 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 84)$ CA+NX r&)/3^S ' \c>9f"jS_ zkn K2e,$  s4P8PDhz X}p#9^%N 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） F6h3M~uR  \k0%7i[nZ/ }
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. { ,.1KtrSN 'IBs/9=ZC
QQ：2987619807
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