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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 2^)_XVX1
!Y*O0_ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ,uZz?7mO 2>)::9e4 所需工具：Grating Toolbox Basic NW` Mc& OpmPw4?} 相关Tutorials：G.001; G.014 e!w#{</8Q 建模任务 ~JB4s%& %-a n\.a. 理想平面波照射 VP^{-mDph x5k6"S"1, 4
;^  .#LHj}u o[g] Va*8 Vg7BK% 镀膜倾斜光栅 5:T}C@ 目标平面 HG3iK # (-?i\i 周期：10um JTTI`b2l_ 厚度：10um G#3$sz 倾斜角度：20度 /a\]Dwj5 !(s L 光栅的参数 1$ ENNq#0 [pSQ8zdF" —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 nX<yB9bXDg \cQ+ 9e) —填充因子 2—后面的介质 {<Xl57w-Q —膜层厚度 3—膜层材料 nbBox,zW —光栅厚度 =91f26c!~ .8XkB<[wb 6\x/Z=}L  c1 1?Kq
jsq|K=x, 8< z 设置层数和转折点 64SRW8AH ! ~+mf^D FB
O_B  2 设置层数和转折点以确定膜层 j:0<
tj E T5aeO^ x X + B=?|M 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Se [>z( M aP - 3# idXc 实现可编程光栅 jtPHk*>^wu rrl{3
? @Z89cTO  :-j/Y'H_
sM9N Hwg 2`V(w[zTr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ( n2=.9k!  sX(rJLbD `LJ.NY pP 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） oMKG M@V ,DCrhk ($[@'?Z1 dDqT#N?Y  $
3 R5p 6g "qwWZp 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^;;gPhhWV  Su k;##I K?=g
IC: 2 双击Data Series Diagram ^Fwdi#g |qb-iXW= 采样结果 3#h@,>Z;  cFoeyI# v
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. _j]vR E>kgEfzxP
QQ：2987619807
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