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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 j 'BMAn ? Q~j`Y mR| 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 4y5UkU9| Hf vTxaK 所需工具：Grating Toolbox Basic [fKUyIY_ 5GPo*Q pl 相关Tutorials：G.001; G.014 K%X^n>O7C 建模任务 cPU/t kc CBD6b l|A 理想平面波照射 S -'fS2 y(=#WlK } w&B#goS  mUz\ra;z KhW;RD nE^Qy=iE 镀膜倾斜光栅 O=dJi9;`#_ 目标平面 {nvLPUL f4guz 周期：10um BZXUwqEh 厚度：10um jvV9eA:zl 倾斜角度：20度 +ke1Cn'[ }Iz7l{al 光栅的参数 Gsc\/4Wx x"CZ]p&m —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 3,Q^&
1 XFh>U7z. —填充因子 2—后面的介质 en:4H —膜层厚度 3—膜层材料 h'$ 9C —光栅厚度 YNBHBK4; 6"D/xV3Z =Od v8yhn  )5.C]4jol
LT,? $I vUnR i=:| 设置层数和转折点 cn-
nj] a+9 *@z2 W. 1As{  2 设置层数和转折点以确定膜层 5&e<#" Cb_oS4vM 1 `7<2w 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 DtEwW1J 4
8{vE3JY CY&
hIh~S@ 实现可编程光栅 !!:LJ 2EK%N'H zP;cTF(C  .?>5-od2
V&|!RxWK q,3;m[c A 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） k3t78Qg  fbkd "7u wM _
6{ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） rO:u6."_ B<~U3b u?[ q=0.J7 7E @+  8p!*?RRme[ ^o !O)D-q 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U5] pi +r  o iH|uIsqR 8V-\e?&^ 2 双击Data Series Diagram $j 5,%\4< yt+}K)Hz 采样结果 M@thI%lR  6st^4S5
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ]}UgS+g>$ f):~8_0b
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