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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ?1
4{J]H4 y?? XIsF 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） =X:Y,? 7[XRd9a5( 所需工具：Grating Toolbox Basic >} i E( U!\.]jfS 相关Tutorials：G.001; G.014 WW~sNC\3`( 建模任务 M!^az[ [ Ai 3*QX 理想平面波照射 VjZ|$k tg4pyW < m&&m,6``P  U$z-e/ hhc,uJ">! qu{ &xjTH8 镀膜倾斜光栅 +#@I~u _}D 目标平面 3;]H 1
1 #.)0xfGW)n 周期：10um k,+0u/I 厚度：10um 'I6i ,+D/q 倾斜角度：20度 y}ev ,j g*C7
' 光栅的参数 .p"
xVfi6 ` Eo.v#< —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 w%jII{@, 00~mOK;1 —填充因子 2—后面的介质 ^8N}9a —膜层厚度 3—膜层材料 [/ 41 % B2 —光栅厚度 56 kI
5: R(G7m@@{ =W!/Z%^*8  ope^~+c~\
Z o(rTCZX f?X)k,m 设置层数和转折点 l}A93jSL @Qt{jI ! ')<hON44EX  2 设置层数和转折点以确定膜层 -k"/X8 *#+An<iT ; *_\_'@1|J) 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 {8bSB.?R _ZSR.w}j/ "b3"TPfK 实现可编程光栅 )R1<N \bvfE P | [b{)s?x  5vnrA'BhBU
p947w,1 #5o(h+w) bq0zxg% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） f
x+/C8GK A_q3KB!$=+ Ao&"r[oJSv q9s=~d7  d<P\&!R( Bh-y m8D 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） NU2;X (z[  O)r4?<Q @GW #&\yM 2 双击Data Series Diagram rf{ rpe$ FXkM#}RgNm 采样结果 * VxgARIL  }b.%Im<3R
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. I^$fMdT ] >E s4 s
QQ：2987619807
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