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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 5OP`c< Y}STF 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) Qx`~g,wk8 %_M2N.n 所需工具:Grating Toolbox Basic ;/8 {N0 ;%!m<S|%k 相关Tutorials:G.001; G.014 ,?-\
x6 建模任务 k9si|' K
k[`dR; 理想平面波照射 LMl~yqM E^Gg
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FG-L0X 3I=kr i+vsp@d 镀膜倾斜光栅 z3?\:Yz 目标平面 F}
DUEDND* TH1B#Y#<J 周期:10um 7"v$- W y 厚度:10um )R)a@op 倾斜角度:20度 9IZu$- aP()|js 光栅的参数 ((3}LQ (?&=T.*^ —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 W?RE'QV8 GH4iuPh] —填充因子 2—后面的介质 ${&5]!E[>D —膜层厚度 3—膜层材料 P`SnavQBt —光栅厚度 15H6:_+=0 Y:QD i u]&; "4xfrlOc NX6nQ )ZR+lX} 设置层数和转折点 fys X]*QUV]i =[tSd)D,y 2 设置层数和转折点以确定膜层 o4^Fo p z4U9n'{ OEgI_=B 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 O}ejWP8> Sr.;GS5i x8#ODuH 实现可编程光栅 f"5g>[1 7,$z;Lr0S j) vlM+ yubSj* dj9?t akuJz 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) jx`QB')kX 3tS~:6-/ 9h,u6e 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) _GtBP'iN vwGeD|Fb5 *wbZ;rfF A7XnHPIw (&\aA 0-}H \k8rxW 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ~|+zJ5 PH4%R]{8{ MQ/
A]EeL 2 双击Data Series Diagram Ze^jG-SL$9 L#h:*U{@40 采样结果 <g2_6C\j wFn[9_`* 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. &lc8G T)CzK<LbR QQ:2987619807
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