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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 -JQg ~1 U37?P7i's 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 5vh"PlK`s eze(>0\f 所需工具：Grating Toolbox Basic D@b<}J>0' t ]I(98pY 相关Tutorials：G.001; G.014 :
$52Ds!i 建模任务 ^B6i6]Pd=9 >~wk 理想平面波照射 R#Nd|f< Nec(^|[ ~ :b:_ 5"  w KMk|y> =!P? / D15u1A 镀膜倾斜光栅 0*:hm%g 目标平面 0) Um W{ (R*jt,x 周期：10um aaD$'Y,<>B 厚度：10um =UKR<@QrK 倾斜角度：20度 $E x 9 RW Pd S 光栅的参数 _Il9s#NA% d |?(c~ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 B[_b J
* Z2j*%/ —填充因子 2—后面的介质 llG#nDe —膜层厚度 3—膜层材料 I7z]% Z —光栅厚度 ,t&-`U]AX %FI6\ |`M /,@v"mE7c!  ]3y5b9DuW
F)iG D~ y=qo-v59' 设置层数和转折点 6' *Uo: ] GuY5 % wr @SG="L  2 设置层数和转折点以确定膜层 KJJb^6P48W Y& !]I84] < ^q" 31f 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 JTB~nd> j.N\U#3KK
Vh2/Ls5 实现可编程光栅 N u2]~W& <J }9.k ee0>B86tE  KeHE\Fq ^V
59Q Q_#> Y6%OV?}v! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H1j6.i}q  }=m?gF%3 W#_g vW 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） }_/h~D9-T# cB F%])! 7Z~szD $,zM99  X6*y/KG N 14YV # o: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） kCjI`=7$[  BOQV X&g% j ~f 7WJ 2 双击Data Series Diagram |b~g^4 m:Cx~ 采样结果 G/3lX^Z>  L\b_, 'I
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Jd2Y) &`Z)5Ww
QQ：2987619807
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