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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 v}cTS@0 #QUQC2P(~ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） }1xD*[W
lU\v8!Ji 所需工具：Grating Toolbox Basic k)3b0T@b !:]/MpQ ? 相关Tutorials：G.001; G.014 ?&`PN<~2z 建模任务 /` ;rlH* z|M+
FHl$ 理想平面波照射 (]@yDb4 _J,lF-, `i `F$ ;  qWdob>u g mqL,H# !g .?+~@ 镀膜倾斜光栅 $etw' c0 目标平面 5!s7`w]8*0 g1H$wU3eu 周期：10um ;f!}vo<; 厚度：10um ,q K'! 倾斜角度：20度 B*@0l: )MWbZA I 光栅的参数 ?3_^SRW&a _x` oab0@ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 I&J> p
2>\ —填充因子 2—后面的介质 TWeup6k —膜层厚度 3—膜层材料 6/dP)"a(' —光栅厚度 T;M4NGmvd vWH)W?2 :|HCUZ*H(T  :!QT ,
Xk(p:^ R Z#t}yC%^d 设置层数和转折点 HkQ rij6 ?:Sqh1-z =c ;. cW  2 设置层数和转折点以确定膜层 )i ^ S:2 [9C{ \t YXLZ2-%ohZ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 h]vu BHJ} 5v[2R.eT- MP|$+yuR~ 实现可编程光栅 P,s>xM S } 3? I]-"Tw  {O!B8a
W_L;^5Y;m 7o7*g 7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） cz41<SFL  E#~J"9k98 Ez+8B|0P 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #G]g q Qwf#& X?$"dqA sZ> 0*S  \'6% Ld5km pG^>y0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +F92_a4  Xd@ d$ G.~Ffk 2 双击Data Series Diagram K*P:FCz =<X4LO)C 采样结果 zwJ\F '  8^pu C
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. W+i&!' C.RXQ`-P}
QQ：2987619807
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