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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 I1jF`xQ&0 #wfR$Cd 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） `pr ,lL j3U 8@tuG 所需工具：Grating Toolbox Basic :Vc9||k 4a~_hkY] 相关Tutorials：G.001; G.014 MaM7u:kD# 建模任务 %,BJkNV K9iR>put 理想平面波照射 WqO* vK!t 4!wfh)Z 4{ &  Bd i~ B") |BR&p)7) o/#e
y 镀膜倾斜光栅 !% Md9Mu!o 目标平面 ~}fpe>M: 5{UGSz 1 周期：10um K AGq\7 厚度：10um :1Ay_ b_J 倾斜角度：20度 coBxZyM 1} x.I-z@\E 光栅的参数 =:DNb( nBd;d}LD —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质
I`7[0jA~ P_}$|zj 7 —填充因子 2—后面的介质 B s*s8}6 —膜层厚度 3—膜层材料 \BA_PyS?W+ —光栅厚度 .+. Pc_fv sE% n=Ww &f$jpIyV X  /$E1!9J
MWB?V?qPSC % rkUy?=vu 设置层数和转折点 \%#jT GFs~ F -m1GG0s h4U .wk  2 设置层数和转折点以确定膜层 l\H9 Io3 NW$Z}?I x Zhh%~ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 oPi)#|jcb 2ma.zI@^u9 z[B7k%} 实现可编程光栅 CR<* <=rI aDs[\ ' 1cPi>?R:  % tpjy,
?U&onGy fYpy5vc-dm 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） f_}55?i0  /%~`B[4F y<Z8+/f`f 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,ua]h8 <I7UyCAF -k'=s{iy : E.mU{  ~*&_zPTN 8<xJmcTEwO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） wI)W:mUZZ  #+XKfumLk &#~yci2{ 2 双击Data Series Diagram 0&<{o!>k 7:]I@Gc' 采样结果 a XwFQ,  qRNGe8
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. V /| @ zg]9~ i8
QQ：2987619807
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