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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 W7!.#b(hU Y"> 4Qx4W 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） I}:L ]H{E z
Bf;fi 所需工具：Grating Toolbox Basic :|XCnK0 e`DsP8-&v 相关Tutorials：G.001; G.014 ;?im(9h"v! 建模任务 rycJ yiw<- _:,.yRez 理想平面波照射 '\4fU% d)*(KhYie@ g.*&BXZi  URw!7bTz +#v4B?NR 9H$g?'; 镀膜倾斜光栅 E *4t8 目标平面 75(W(V(q {( HxG4~ 周期：10um </w 7W3F 厚度：10um XqFu(Lm8= 倾斜角度：20度 S1C^+Sla] wF;B @ 光栅的参数 UT-ewXh B/u*<k4 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ^?Vq L\V5 8dV=1O$ / —填充因子 2—后面的介质 oQBiPN+v.3 —膜层厚度 3—膜层材料 m3%e f —光栅厚度 -,@bA @& z\h, SX< U zPE#[\O21B  v|y<_Ya
{fElto
w&+\Wo;([b 设置层数和转折点 NV(fN-L (.oaMA"B 7BrV<)ih{*  2 设置层数和转折点以确定膜层 ?k
w/S4 )T<D6l
Lt X o_] v 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 l) i v\j v+ 7*R)/ t_Z _!Qy 实现可编程光栅 CMKhS,,o cCYl$Ms kZ WxDb3l~  N7+#9S 5fv
~e+0c'n\ |Pj9ZG# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _H/67dcz,  J,`_,T w2K Wa-BO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） WkcH 5[ Flne=ij6g ->Q`'@'|P t0I>5#*WU  5@CpP-W# sOjF?bCdO 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） kkHTbn=!  oFwG+W / ^,~N7` 2 双击Data Series Diagram ZtKQ]jV&@ A &;EV#]ge 采样结果 3[,wMy"  S]5VEn;pV
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. vx PDC~3; oMz/sL'u
QQ：2987619807
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