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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3) 0~: Y@Y(;C"SW 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） -y.AJ~ T _?c.3+;s 所需工具：Grating Toolbox Basic AwrK82 .p}Kl$K ] 相关Tutorials：G.001; G.014 hyoZh Y 建模任务 BF!zfX?n N+75wtLy& 理想平面波照射 +eXfT*=u5 Acv{XnB rv%[?Ml  d~ 8~RT2m ptQ (7N 1iDo$]TEK 镀膜倾斜光栅 H12@12v 目标平面 n82Q.M- H XCriZ|s 周期：10um W2N 7 厚度：10um .& xNJdsY 倾斜角度：20度 J@iN':l- &Qjl| 2 光栅的参数 R*m" '|U qQvb;jO —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 RY< b]| D .`\ ^a —填充因子 2—后面的介质 e 8 bJ ] —膜层厚度 3—膜层材料 3>Snd9Q —光栅厚度 >6+K"J-@ &N0| tn NM.B=<Aw*  }}1Q<pu M
]H2aYi $ mO.U )tL[ 设置层数和转折点 pnJT]?}, !g"9P 7p ^ ni_%`Ag  2 设置层数和转折点以确定膜层 xltu
g## ;i>E @ EZBzQ"" 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 eS:e#> ( U^\~{X Q;nr=f7Ys 实现可编程光栅 ~#\#!H7 p ]=;t" GR
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\S@6@ UGv 9zd/5|W 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） wgr O W]e  a0\UL"z#+ iZk``5tPE 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1A-EP@# J &y\2:IyA DU8LU*q' "~
stZ.  HC,@tfS aS G2K0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） TVwY FX  P^W47
SO =]"|x7'! 2 双击Data Series Diagram yG$@!*| -74T C 采样结果 B)8Hj).@B  zAJUL
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. yVzg<%CR^ `wd* &vl
QQ：2987619807
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