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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 7 R4t%^F azs lNL 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ?Z0NHy;5 rIh"MQvi[ 所需工具：Grating Toolbox Basic ,+d\@ : )Ja&Y 相关Tutorials：G.001; G.014 F I(iqSJ6 建模任务 j`D%Wx_ K9HXy*y49 理想平面波照射 |3bCq(ZR\P O)aWTI cXd?48O  f`gs/R @^2?97i
c FwjmC%iY 镀膜倾斜光栅 n9 %&HDl4 目标平面 anzt;V.;Y N^TE
;BM 周期：10um 6CV9ewr 厚度：10um 7'g{:dzS*3 倾斜角度：20度 ]aMeMhe- QVR8b3T@ 光栅的参数 *U mWcFoF (a9>gLI0 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 2. 2G79 U, iLbf:DXK( —填充因子 2—后面的介质 o bz|*1M? —膜层厚度 3—膜层材料 (M-W ea!q —光栅厚度 tW
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H 57[Yg  ]zATdfa
fZtuP1- 4 1EemVZdY 设置层数和转折点 1!=^mu8 q2e=(]rKE{ K(3 _1*e  2 设置层数和转折点以确定膜层 @OGHS} -\ s qEOXO nJhaI 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 XCd[<\l XQPlhpcv <} Hs@`jS 实现可编程光栅 wj2z?0}o 0a}a O63:t$Yx#  m>9j dsqB
-(lC M/h EXEB A&* 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） EM7Z g 6 5  i@L_[d^|j` -d4|EtN 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） G @+R!IG E0) 43 )>(ZX9diV P[%nD cB  1W'0h$5^" DS|q(O=7~t 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '\% Kd+k  O^~Z-; FA ,92wW&2 2 双击Data Series Diagram _$P1N^}Z s 1d 1
~`B 采样结果 *TgD{>s  }0}=-g&
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 0fog/c#q(
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QQ：2987619807
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