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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 9+qOP>m :243 H 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） DBs Dk kB{ tous#(&pK 所需工具：Grating Toolbox Basic n~g LP HY s8<gK.atl 相关Tutorials：G.001; G.014 W5pb;74| 建模任务 t '1Y@e #0"~G][# 理想平面波照射 E(^0B(JF H?` g!cX !HK^AwNY  edvFQ#,d p_2pU)% "y;bsZBd" 镀膜倾斜光栅 '#\1uXM1U? 目标平面 1 S:|3W E
D" !n-Hq 周期：10um _yH`t[ 厚度：10um 'Ot,H _pE 倾斜角度：20度 6'C2SihYp h|;qG)f^ 光栅的参数 K#mOSY;} ,Zf
9RM —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质
..W-76{ aP-<4uGx —填充因子 2—后面的介质 d 8 o53a] —膜层厚度 3—膜层材料 ?KE$r~dn —光栅厚度
V@vU" x/fX`y|(}* #{J,kcxS  JXqr3 Np1
&1| ?BZv 0?DC00O 设置层数和转折点 8wZf ]_ R^#@lI~ 3gZ8.8q3  2 设置层数和转折点以确定膜层 <|B1wa:| C.Uju`3 v-b0\_ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Z|lU8`'5
q2aYEuu, w'T q 3-%V 实现可编程光栅 S$q = ;" U(>4s]O6 u.XQ &  )cJ#-M2
7[# yu 2 LNYKm~c N 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y046:@v(  ) !bUR\ %r\n% $@_ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Dim>
7Wbh 1T&Rc4$Sn7 ;|T!#@j op2Of<{h  v X~RP
* /^SAC%PD 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） * |.0Myjo  >SF Uy\3 I=)hWC/ 2 双击Data Series Diagram p9!"O 5 |0,X<& 采样结果 HAz By\M{  K 7knK
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. f" G- 7,qYV}
QQ：2987619807
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