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摘要 kU#$ mirMDJsl% 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;xj^*b |:EUh D%BV83S F!Nx^M1 设计任务 &Wn!W U:IQWl C Xt$?Kx_, HF0J>Clq UHxXa*HyI 光栅特性与参数的严格分析 1g|H8CA .-<o[(s 不同光栅周期的衍射效率 EW YpYMkm $osDw1C t4 aa5@r ,{]>U'- 考虑光栅周期的选择 ="XxS|Mq3 ==Y^~ab;K |~uCLf> 偏振相关衍射特性 G`TO[p]q [Si`pPvl
)C <sj hL&z"_` 偏振相关衍射特性 7MBz&wE^f U${dWxC
1k;X*r# t&-7AjS5 偏振相关衍射特性 SVeL c QhN5t/Hr hGzj}t
W8d CbwQ'c$} 基于参数优化的光栅设计 J/
4kS<c XFH7jHnL+U 具有固定周期的二维参数优化 C'hZNFsF; Q?Q!D+~mND
;B!&( 50e 二维参数优化 - 设计#1 ](3=7!!J EK[~lIXg
7TlOF 0urQA_JC 二维参数优化 - 设计#2 .hn"NXy z,$^|'pP
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u _PQQ&e)E 制造公差分析 - 设计#2 na>UFw7>* !~PV\DQN
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