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摘要 Fl`U{03 iHPsRq! 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 J
p?XV<3Z H!IVbL`a{  pA y4%|( ^-"Iw y 设计任务 z.8/[) X)3(.L  @62,.\F =|? `5 !A ;E.]:Ia~ 光栅特性与参数的严格分析 &s".hP 6 NH/A`Wm 不同光栅周期的衍射效率 nm5DNpHk 5 bI :xL}  6}6Q:V| 5Y *4a%" 考虑光栅周期的选择 {[!<yUJ`S# ^C'S-2nGH  v5M4Rs&t 偏振相关衍射特性 lx|Aw@C3~ J+P<zC
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