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摘要 Nan[< klUQkz |<a 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v9T_& Z4IgBn(Z_} BC'llD FZ8b7nJ)4m 设计任务 [
Bl c^C{f Xy%p "b< ,]b~t0|B 3P;>XGCxZ trE{ FT 光栅特性与参数的严格分析 !Ra*)b" 5E notp[ 不同光栅周期的衍射效率 Hr$QLtr /rSH"$ SM@QUAXO s=[h?kB 考虑光栅周期的选择 n@ G[ <oz!H[! 0?>dCu\ 偏振相关衍射特性 `O'`eY1f @O[5M2|r
*}8t{ F@k 4 {9B9={ 偏振相关衍射特性 }-
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IT$25ZF (e"iO`H 偏振相关衍射特性 IIyI=WlpG DfKr[cqLM 36am-G ;`6^6p\p 基于参数优化的光栅设计 hdVdcnM -1J[n0O. 具有固定周期的二维参数优化 MMj9{ou Gdg"gi!4
/JT#^Y 二维参数优化 - 设计#1 /@|/^vld +o9":dl
Y/7 $1k <^$<#Kd 二维参数优化 - 设计#2 H9CS*|q6r ~9j%Hm0ht
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h 制造公差分析 - 设计#2 jRL<JZ1N :^(>YAyHj^
DY^;EZ!hb xNbPsoK 不同光栅周期的三维参数优化 A,4fEmWM v,ju!I0.
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