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摘要 5JBB+g Q7~'![(a 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L$Hx?^3 UAsF0&] {{V;:+62 +{,N X 设计任务 ny12U;'s, MzEm*`< [x;(cISK1 jlu`lG*e& f >mhFy 光栅特性与参数的严格分析 (KT38RhA
5^/,aI 不同光栅周期的衍射效率 `zdH1 p^w 42rj6m\ 9W{,=.%MX$ Qg'c?[~W@ 考虑光栅周期的选择 ZYE' C oLgg b#D9eJhS 偏振相关衍射特性 yGb a S~+O`y^
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偏振相关衍射特性 _*O7l P@qMJ}<j 0CPxIF& d{er|$E? 基于参数优化的光栅设计 ).pO2lLF4 J'oDOn.M 具有固定周期的二维参数优化 "6?lQw
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j]rXoV> 2zz,(RA 制造公差分析 - 设计#2 z8IPhE@ ZAMeqPt
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