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摘要 m_f^#: LEa:{s<: 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 'z5 ;o:T `Yve
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?MFvwE 设计任务 KJSy7F 7w({ GZ nTlrG6 j. cH,Y 5G[^ah<Tg 光栅特性与参数的严格分析 GMI>$$< |u=57II#xK 不同光栅周期的衍射效率 -fn~y1 $5O&[/L Jt][b 7.-|3Wcg 考虑光栅周期的选择 k0|InP7 <C(2(3 W;W\L? r 偏振相关衍射特性 sS|5x Hqv(X=6E0
.kV/0!q? J)f?x T* 偏振相关衍射特性 wDzS<mm c-{]H8$v
KxI(#}5o& K;O\Pd 偏振相关衍射特性 Fx 2&ji6u XZJx3!~fm VPzdT*g] K[Kc'6G 基于参数优化的光栅设计 NKN!X/P K+H82$
# 具有固定周期的二维参数优化 c$TBHK;c -#h
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>FO=ioNY 二维参数优化 - 设计#1 NO)*UZ F u)7J4Z
EhoR. -i4gzak 二维参数优化 - 设计#2 [a2/`ywdV 4l:+>U@KU
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1k`!w} ^;e`ZtcI 不同光栅周期的三维参数优化 OXo-(HLE Vj1AW<
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W5j 制造公差分析 .
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