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摘要 i/!KUbt /Zx"BSu 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Wap\J7NY K 9nW"0>  zc,X5R1 LUpkO 设计任务 W&I:z-VH #BH]`A J  ajkpU.6E: u'T>Y1I 3{ea~G)[9 光栅特性与参数的严格分析 v=&xiw z} w=ufJR j 不同光栅周期的衍射效率 LCH w. ' fzJw  }h3[QUVf% ox";%|PP1 考虑光栅周期的选择 ~0Zy$L/D EVLDP\w{  o##!S6:A 偏振相关衍射特性 bpDlFa tpgD{BY^wJ
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 ]\ZmK0q<: /}eb1o 偏振相关衍射特性 usi3z9P>n WK {F  >Wd _?NaI
1k$5'^]^9] 基于参数优化的光栅设计 OU?.}qc<wE 9R[P pE'' 具有固定周期的二维参数优化 6y{CM/DC
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