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摘要 NCivh&HR z#*> u 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L>&9+<-B G]zyx"0Sqb  H (tT8Q5i i\dd 设计任务 5p H6] $ V*gh"gZ<  &3f^]n!@ |+Cd2[hN 9xOTR#B:_V 光栅特性与参数的严格分析 zuS4N?t`p \49s;\I] 不同光栅周期的衍射效率 Slv91c&md, UsgrI>|l  y' RQ_Gi u;9a/RI 考虑光栅周期的选择 rGlnu.mK^ W
H%EC$  LRqlK \ 偏振相关衍射特性 6t4Khiwx !3)WW)"!r
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[;Q 偏振相关衍射特性 et=i@PB) jI%glO'2  rE%H NPO
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