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摘要 v@,n]" srS2v\1: 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M~/Pk7CC 1`6kc9f. tL#~U2K |)TI&T;k 设计任务 h2S!< S7!+8$2mc_ jpwR\"UJ q8Jhs7fv ujin+;1 光栅特性与参数的严格分析 gm^j8B DUrfC[jpv 不同光栅周期的衍射效率 Ga<Uvr%+ =Ff _)k
4*0C_F@RX r~[Bzw"c 考虑光栅周期的选择 lIhP\:;S& WHF[l1 ()}(3>O- 偏振相关衍射特性 $Wy(Wtrx| 8_W=)w6
rtSG-_[i 9ZJn 8ki 偏振相关衍射特性 -s3q(SH APgjT';P^
:QoW*Gs1 q"@>rU4 偏振相关衍射特性 /nq\*)S#&
<(Rbu2_ !-veL1r v:F_!Q 基于参数优化的光栅设计 V?L8BRnV wo+b": 具有固定周期的二维参数优化 11^.oa+` 8P?p
oBS m>V 二维参数优化 - 设计#1 ]qd$rX A+=K<e
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+ h}y]Pt? 二维参数优化 - 设计#2 Q]{ `m wi/qI(O!
Yi?v|H<a ]?7q%7-e.a 制造公差分析 - 设计#2 Yycfb <*Gd0 v%
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不同光栅周期的三维参数优化 nYnBWDnV >Jk]=_%
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