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摘要 _7T@5\b :; =PHIpFIuk 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h*B|fy4K9U ULH0'@BJ  C0*@0~8$9 . lgPFr6X 设计任务 Q&'}BeUbm p&-'|' A@*:<Hs% U-k VNBs 5kNzv~4B,; 光栅特性与参数的严格分析 LPYbHo3fq )~6zYJ2 不同光栅周期的衍射效率 YW \0k5[ X[gn+6WB%  6x)$Dl J [~5U~F 考虑光栅周期的选择 R9rj/C o !QI\Fz?  %M|,b!eF 偏振相关衍射特性 E m
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}N0 Qm[R 偏振相关衍射特性 1 ?*
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Bd, k3 二维参数优化 - 设计＃1 gBh;=vOD /&F,V+x
 '0y9MXRT VvFC -r,=G 二维参数优化 - 设计＃2 0;4t&v 7 #_ Z$2L"U
 Uw,2}yR OouP j@r 制造公差分析 - 设计＃2 b^ D$jY -[ U1]R
 kr$ b^"Ku ydw)mT44K 不同光栅周期的三维参数优化 ?pgG,=?
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