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摘要 !QEL"iJ6M' '{f=hE_/ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NQ9Ojj{# :gI.l1 :Q@)*kQH [B^ G- 设计任务 !e3YnlE [vTMS2 h qmSE'8 8]< f$3. KJh,,xI>by 光栅特性与参数的严格分析 XM~~y~j 0^~\COa 不同光栅周期的衍射效率 5Qa
zHlJ 1S$h<RIPAc (/h5zCc/v w([$@1] 考虑光栅周期的选择 [@"wd_f{l >UHa P<;7j? 偏振相关衍射特性 Qw)9r{f K: r\{#9
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3T,&?r {6
.o=EyM{ 偏振相关衍射特性 }
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.q;ED`G ^O6*e]C$ 偏振相关衍射特性 AQ{zx1^2>K z4M1D9iPY Llz['"m
=P^wh 基于参数优化的光栅设计 Xl%0/o cHD%{xlb 具有固定周期的二维参数优化 M{N(~ql K7`YJp`i
. (`3JQ2s 二维参数优化 - 设计#1 HJhH-\{@ rwqv V^
H{fM%*w B|o%_:]+E 二维参数优化 - 设计#2 7*+TP~WI or?%-)
BWUq%o,@g JlZ0n; 制造公差分析 - 设计#2 ..KwTf F^kwdS
LSd*|3E}n p1O6+hRio 不同光栅周期的三维参数优化 fA^Em)cs2 ~&VN_;j_
6yIvaY$KR uV]ULm#,i 制造公差分析 Vk}49O<K/ 3]LN;s]ac
eD;6okdP ' UMFS 走进VirtualLab Fusion :FQ1[X1xm D`o<,Y
\54}T4R |V&G81sM VirtualLab Fusion 工作流程 3h=8"lRc aXR%;]<Dw hWEnn=BW h)x_zZ%>o VirtualLab Fusion技术
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