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摘要 h9RL(Kq{ l$/.B=] 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4 ))Z Bq? ]-g9dV_[>j }2%L
0 n37P$0 设计任务 ?`hA :X< 4]G J+a q<[m(]: #;D@`.#\ G9_7jX* 光栅特性与参数的严格分析 ` {/"?s| 1Be/(pSc 不同光栅周期的衍射效率 FRhHp(0}5 L%;fYi;n gx9=L&=d U'@#n2p:k 考虑光栅周期的选择 4v.{C"M o3W@)|> u+
b `aB 偏振相关衍射特性 vN&(__3(( !mH
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XFSHl[uS1 R0~w F> 偏振相关衍射特性 +wp !hk&C5 T*z*x=<5
i^@hn>s$ 1>=%TIO) 偏振相关衍射特性 i&KBMx 5[LDG/{Tys os n ,kD* T]x]hQ 基于参数优化的光栅设计 cs9"0&JX {ub'
具有固定周期的二维参数优化 h<G7ocu ! 4k!>JQor
&PPYxg< 二维参数优化 - 设计#1 &z05h<] dDA,Ps
=)}Yw) #+H3b!8= 二维参数优化 - 设计#2 [e>2HIS, XVF!l>nE
W=y9mW|p/ =zR9^k 制造公差分析 - 设计#2 +TAyCxfmt
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FE1'MUT_ !$/P8T``M 不同光栅周期的三维参数优化
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Fr-Vq=j& ~Rx`:kQ 制造公差分析 MAp#1+k Q9c*I,Oj
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