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摘要 , p3]`MG "-djA, ` 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #6 vf:94 Xy%||\P{)  IIih9I`IR n?nzm "g 设计任务 [|ZFei)r xVw@pR ;  %L^( eTi[ "9r$*\wOf jC_'6sc` 光栅特性与参数的严格分析 p5$}h,7 I5q $QQK 不同光栅周期的衍射效率 `kuu}YUi @"` }%-b  YnuY/zDF "5L?RkFi\ 考虑光栅周期的选择 ZT@=d$Z&t (D%vN&F  *~g*J^R} 偏振相关衍射特性 -Uy)=]Zae \wD/TLS}
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