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摘要 #jbC@A9Pe DzC`yWstP 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g.\b@0Uy' :7@[=n WjBml'^RY Q_T,=y 设计任务 /}u:N:HA% THl:>s o.$48h( \m`IgP* TT/=0^" 光栅特性与参数的严格分析 7Kym|Zg R14&V1 tZ 不同光栅周期的衍射效率 j1Ys8k%$l 3 EAr=E] )t~ad]oM +@$VJM%^7b 考虑光栅周期的选择 7]@M 3SM'vV0[ C,;?`3bH@ 偏振相关衍射特性 D~inR3(} Gb2|e.z
^uX"04>; K*^'tltJ 偏振相关衍射特性 Qc33CA W'Gh:73'}
@3eMvbI ks$5$,^T2o 偏振相关衍射特性 Cpzd k~+H T7YJC,^m 6oKlr,. 4FnePi~i 基于参数优化的光栅设计 lBn<\Y!^ ]V fp,"op 具有固定周期的二维参数优化 2w8YtM3+"z DmoY],9I+p
)1 @v<I 二维参数优化 - 设计#1 ZS l K &=zJ MGa
%AV3eqghCg 5i$P$ R 二维参数优化 - 设计#2 uUl ;}W ldG8hK
0$XrtnM Ev#,}l+ 制造公差分析 - 设计#2 YTgT2w =PU@'OG
( 3,7 $sL+k 'dY 不同光栅周期的三维参数优化 `U?S 9m aorL ,l
NgGpLdaC2v kPEU }Kv 制造公差分析 )`=N+k] C _W]3
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