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摘要 a]wcA 55\X\>
0C7 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 DN8pJa GY$?^&OO> nog\,NT J,=E5T}U^ 设计任务 ge
{4;,0= Ae_ E;[mj x"wM_hl5L >3
.ep}, +81+4{* 光栅特性与参数的严格分析 vYt:}$AE 8rG&CxI 不同光栅周期的衍射效率 rDx],O _ o&F.mYnqX o27`g\gDR, e"adkV 考虑光栅周期的选择 qp_ `Fj: CG>2,pP, 'lRHdD}s 偏振相关衍射特性 ^R'!\m|FR +e]b,9.sR
]ifHA# z`~ ,WDAcQ8\ 偏振相关衍射特性 hYZ:" x !g&B)0u]*
*,[=}v1 IK? $!jh 偏振相关衍射特性 t02"v4_i v|RaB S w(
H] )B&<Bk+ 基于参数优化的光栅设计 e/Oj T S2
h 具有固定周期的二维参数优化 'sQO0611S PRlo"kN
x0;}b-f 二维参数优化 - 设计#1 pVa|o&, FuiW\=^
}7z+ g5 |\G%dOt 二维参数优化 - 设计#2 %+!9 I2lZ>3X{
g)D}p@>m ZznWs+ 制造公差分析 - 设计#2 }qdJ8K h16Nr x
,h`D(,?X \q1%d.\X 不同光栅周期的三维参数优化 %` [`I>
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