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摘要 Hgeg@RP
Q geQ{EwO8n 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .7'kw]{/ rk+#GO{ fbyQjvURnC e0@6Pd 设计任务 <DKS+R 6:GTD$Uz. f.aSKQD #_lt~^6 9I1tN 光栅特性与参数的严格分析 Wcb7
;~K 7^wc)E^H 不同光栅周期的衍射效率 *D o/+[Ae F(4?tX T 2LrJ>Mi Q~R
~xz 考虑光栅周期的选择 bCref$|
RZM"~ 0 }I3gU 偏振相关衍射特性 L;gO;vO 5MFxo63
X37 L\e[c ]k9)G* 偏振相关衍射特性 A7(hw~+@ :[ k4Z]t8
VrZ>bma; 6KD `oUx 偏振相关衍射特性 g{W;I_P^9 d(g^M1m ~m|Mg9- ~/mwx8~ 基于参数优化的光栅设计 pF
^#}L W@yJAQ 具有固定周期的二维参数优化 q o<&J f v9Xp97J2
TKk-;Y=N 二维参数优化 - 设计#1 2X:4CC%5 R!l:O=[<
IbcZ@'RSw }FzqW*4~ 二维参数优化 - 设计#2 YF+n
b.0. aM7uBx\8 5
S1D@vnZ3O\ P&Pj>!T5
制造公差分析 - 设计#2 rr#K"SP hFiIW77s2
n}s~+USZX K}6dg< 不同光栅周期的三维参数优化 o)OUWGjb/K hJzxbr
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{.yStB.T DE2a5+^ 制造公差分析 1?
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