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摘要 7qj9&bEy GFel(cx:K 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }RHn)}+ m9" n4a|: }z\_;\7 QAvir%Y9Q 设计任务 6`v7c!7 1_\;- !t 4g
:>[q COW}o~3-4 Y}uCP1v 光栅特性与参数的严格分析 e XfZ5(na 5dB'&8DX 不同光栅周期的衍射效率 ai
nG6Y<O` *M$0J'-BQ Bx/L<J@ @6mBqcE'? 考虑光栅周期的选择 :{IO=^D=$ 1jc,
Y.mP du)~kU>l 偏振相关衍射特性 Dh5X/y $OP7l>KZY
DdVF, /c2w/+ _ 偏振相关衍射特性 0&/b42W Iz
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mml<9fbH M-[$L XR 偏振相关衍射特性 %,Ap7X3:QT J2j U4mR S(uf(q|{ Q8DQlqHm 基于参数优化的光栅设计 G(~;]xNW+ "g'jPwFG 具有固定周期的二维参数优化 7vABq( |7X:TfJ
(rkU)Q 二维参数优化 - 设计#1 ,:??P1 .!G94b
=k/IaFg 6w %K>.lh@ 二维参数优化 - 设计#2 #{=;NuP IdXZoY
4H|(c[K; !OT-b>*w 制造公差分析 - 设计#2 |i ZfYi&^ aBNZdX]vzO
* 1Od-3 J,zO2572u 不同光栅周期的三维参数优化 v>Mnl CT1ja.\;
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2'5 ]~ 制造公差分析 j%y$_9a7 "m ^'
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