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摘要 +jX.::UPm :KJZo,\ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~UV$(5&- nD;8)VI'I  6B>H 75S+H Tta+ qjr 设计任务 p*(]8pDC f}F
 x$aFJ CL a,* ~wmg 2u'h,on? 光栅特性与参数的严格分析 $qj||zA +46?+kKt 不同光栅周期的衍射效率 C\p _ Ndr4e?Xa,  B" :u5_B 8 ? &u5 考虑光栅周期的选择 Smlf9h & Lj03Mx.2S  2s:$4]K D 偏振相关衍射特性 5A=FEg Qcr-|?5L
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