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摘要 =BAW[%1b jc[Y}gd, 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F {4bo$~> MSqVlj O#~yKqB ]uJ"?k= 设计任务 P& -Qc s.N/2F&*W J76kkW`5 1&evG-#<: j94=hJVKi 光栅特性与参数的严格分析 a /l)qB# lC("y'
:: 不同光栅周期的衍射效率 L Mbn 5Y'qaIFR 2%@4] 8 \ +T8(m 考虑光栅周期的选择 m}aB?+i A gg<tM{yB &<5zqsNJ\a 偏振相关衍射特性 3<Zq ]jk?n ?{|q5n
C] eSizS. !N7s dY 偏振相关衍射特性 V>)OpvoT# rEnQYz
4 \K7xM! {M$1N5Eh 偏振相关衍射特性 D},>mfzF +0%w ;'9z 1N^[.= :q7Wy&ow 基于参数优化的光栅设计 Zq|I,l0+E *{@Nq=fE 具有固定周期的二维参数优化 V>%rv'G8 wj<6kG
Gg3,:A_ w 二维参数优化 - 设计#1 }6}l7x BB$>h}
A*R^n}sh Y3cMC) 二维参数优化 - 设计#2 N1S{suic qIE9$7*X
Lpz>>} eIEeb,#i 制造公差分析 - 设计#2 qI9z;_,gNz >`mVY=Hi
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