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摘要 =Hj3o_g- N Cm=l 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 sr~VvciIy D^{jXNDNO  h[ C XH" !=+;9Ry$z 设计任务 ](IOn:MuDE *6v5JH&K  F-$NoE L p%OVl[^jp E>"SC\#7 光栅特性与参数的严格分析 `"$9L[> l8l J & 不同光栅周期的衍射效率 9YBlMf`KEf cL"Ral-qB  paxZlA
o CKDg3p'; 考虑光栅周期的选择  Pfm B{ 偏振相关衍射特性 \o w(4O# 4X eO^#
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 FwQGxGZ ;47 =x1j i 偏振相关衍射特性 I*(7(>zgyv mNX0 BZ  n|PW^kOE/
b_@bS<wsF} 基于参数优化的光栅设计 li~=85 J v\XO?UEJ2 具有固定周期的二维参数优化 "fSK7%BP
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 "(:8 $F b 二维参数优化 - 设计＃1 {_4zm& y!\q ', F
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 a & 6-QVk /j(<rz"j 制造公差分析 - 设计＃2 H]Gj$P=k Q RER[8]r$
 C 7Hgzc|U Vb~;"WABo 不同光栅周期的三维参数优化 PS??wlp7
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