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摘要 G:+16XCra IhW7^(p\ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Z H-5Qy_ .w'vD/q; d7~j^v)=^ ?vu|o'$T, 设计任务 Zd<[=%d :GL7J6 npj/7nZj #\b ;2> jfSg){ 光栅特性与参数的严格分析 w`#fH E/"SU*Co 不同光栅周期的衍射效率 rA#s zUQe0Gc.b^ v' 0!= r *]!l%Uf% 考虑光栅周期的选择 fOW_h F"BL#g66 STlPT5e.} 偏振相关衍射特性 4g!7
4a ('BLU.7IX
jM\ %$_/ no3Z\@% 偏振相关衍射特性 ~u2w`H?V FQ## 397
;Vo mFp L c(:Oyba 偏振相关衍射特性 \1{_lynD PSEWL6=]N V2QW\2@$ 8bbVbP 基于参数优化的光栅设计 ^N{X " "3ug}k 具有固定周期的二维参数优化 YE_6OLW \4@a
-R74/GBg 二维参数优化 - 设计#1 \P?--AIq< @SQceQfB
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|YXG(;-BS h.D^1 制造公差分析 - 设计#2 DCK_F8 @|'Z@>!/pV
pLJeajv)z ^@N`e1 不同光栅周期的三维参数优化 &&*wmnWCS{ >E~~7Yal
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