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摘要 MLcc u1&pJLK0[ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 S0Y$$r 70:a2m PQ|kE`' FXOA1VEg 设计任务 {@oYMO~ #^v|u3^DD g%Ap <iT Khxl'qj >LwZ"IEV 光栅特性与参数的严格分析 Ed)t87E b{t'Doe 不同光栅周期的衍射效率 0>m-J ^60BQ{ne t3b%f`D 70L{u+wIy 考虑光栅周期的选择 o+(.Pb 969*mcq' T'l >$6 偏振相关衍射特性 @twClk.s 8|w_PP1oE
~fE@]~f>
wEo/H 偏振相关衍射特性 =$IjN v(? hof:+aW
'tp1|n/1 :0j9 偏振相关衍射特性 9Ay*' ZUb6d*B `Xnu("w) !~cTe!T 基于参数优化的光栅设计 m6)8L?B g#;w)- Zj 具有固定周期的二维参数优化 rm NqS+t aO?(ZL
1j<=TWit 二维参数优化 - 设计#1 37Z:WJ?
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HKCMKHR e;56}w 二维参数优化 - 设计#2 b:Dr_| nW3`Z1kq})
_gjsAbM "*WzoRA={ 制造公差分析 - 设计#2 6yKr5t H4 ;Id%{1
-#H>kbs C XZm/^ 不同光栅周期的三维参数优化 1GVJ3VXt `itaQGLD
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