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摘要 +tt9R_S )eYDQA>J 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9#k0_vDoW Mvb':/M b9Y_!Qe 8o|P&q(v* 设计任务 ffE#^| b5pMq$UVL UTCzHh1 =eBmBn 7,'kpyCj 光栅特性与参数的严格分析 exDkq0u] SEM8`lnu 不同光栅周期的衍射效率 oM,- VUr uS<_4A;sD, eLfvMPVo ?Elg?)os 考虑光栅周期的选择 rh%m;i<b ``|AgIg pSfYu=#f 偏振相关衍射特性 *(QH{!-$s uzBz}<M=
s0C:m p[v#EyoC 偏振相关衍射特性 WeMAe
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rmd;\)#*` gfy19c 9 偏振相关衍射特性 oyx^a9 27D!'S OH6^GPF6 ,gx)w^WTm 基于参数优化的光栅设计 PaO-J&< \we\0@v 具有固定周期的二维参数优化 UBZ9A K84^Oq
9&Ne+MY^% 二维参数优化 - 设计#1 nJZ6?
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pyZ9OA!PD =!b6FjsiG 不同光栅周期的三维参数优化 },@^0UH4c d8o53a]
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