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摘要 ?[VpN2* Hpi%9S AM 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^qO=~U!{ 7TkxvSL X  R
pI<]1 !I5~))E 设计任务 G4Kmt98I RO{@RhnV  030U7 VT1 HNy/ - F`0c ?) 光栅特性与参数的严格分析 "6N~2q,SW pzq; vMr 不同光栅周期的衍射效率 *Z`XG_ s5 LuP?$~z  g&+Y{*Gp jD/7 /G* 考虑光栅周期的选择 Q"|kW[Sg Mf:M3H%YV+  Z-SwJtWk 偏振相关衍射特性 AB"1(PbG d)0LVa(
 g T XW2S
?o rh JS 偏振相关衍射特性 aLKMDiT
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 tyuk{* Me: 3G%wZ,)C 偏振相关衍射特性 qsihQ d ^+.t-3|U  =0h|yjnL/
t0e{| du 基于参数优化的光栅设计 [Iw>|q <e @1v 3-n= 具有固定周期的二维参数优化 x^)g'16 `
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 ,$h(fM8GC 二维参数优化 - 设计＃1 1Sg|3T8bGT N )zPx Q
 ]eYd8s+ )C>}"#J > 二维参数优化 - 设计＃2 > 'aG /( =Y &9
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