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摘要 ?vt#M^Q
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@[ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L a>fvm |\.:h":!0~  r&%TKm^/ ncGt-l<9 设计任务 -al\* XDz :j2?v(jT_l  AQ%B&Q(V1 elJ?g
&" j(~e{HZ 光栅特性与参数的严格分析 m^!Kthq 4Jn+Ot.,d 不同光栅周期的衍射效率 ,V^2Oa '\B0#z3  \LG0 >\br8=R 考虑光栅周期的选择 niA>afo RGgePeaw  ^ >wlj 偏振相关衍射特性 'm=TBNQTS knn9s0'Q
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7Pe<0K)s( 偏振相关衍射特性 5GK> ~2c(
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 @.&KRAZ |LV}kG(2 偏振相关衍射特性 ^HhV ?Iqg Sw.k,p*r  mzf~qV^T
&w!(.u DO 基于参数优化的光栅设计 R ;k1(p 2c*w{\X 具有固定周期的二维参数优化 6E@TcN~ ,!
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AY(ro9Q( 制造公差分析 - 设计＃2 A]laS7Q }<qZXb1
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