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摘要 \x JGR! O*MC"%T 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )6?(K"T 9b`J2_ ]k `%
sKF b!W!Vvf^x 设计任务 |Sg
FHuA nS xFz! *b+ef jYAD9v% F?b5 !<5 光栅特性与参数的严格分析 r)$(>/[$ O+vuv,gNi 不同光栅周期的衍射效率 y8T%g( &WW|! 6 r+8%oWj _jmkA meu 考虑光栅周期的选择 Fl,(KSTz #R&Dgt
aa!o::; 偏振相关衍射特性 eil"1$k s;-(dQ{O
qaK9E@l 2/.Euf 偏振相关衍射特性 NUVFG; Y`@:L'j
h+o-h4X %%[ "& 偏振相关衍射特性 x:bJ1% R
+H0+omj AH$D./a (ly4[G1y 基于参数优化的光栅设计 VUF^ r7e %u"3&kOV 具有固定周期的二维参数优化 .
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G]Fp}, OgpZwwk 制造公差分析 - 设计#2 xij`Mr 2y/|/IW=
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