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摘要 b`X"yg + D(^ |'1 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
QTuj v<| bc E%EQ  Czt>?8x` h&6t.2<e 设计任务 =]hPX ]x`I@vSf7R  zoO9N oUHW h2fTG 6>; dJV 光栅特性与参数的严格分析 CsW*E,|xyP qC$h~Epp4 不同光栅周期的衍射效率 'X1fb:8m8 62z"cFN  `DcZpd.n F/zbb 考虑光栅周期的选择 <aEY=IF4 } l4d/I  4.0JgX 偏振相关衍射特性 c!}f \ ]D @&E{
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v5!G/TZ1 基于参数优化的光栅设计 d
%Z+.O m?=9j~F * 具有固定周期的二维参数优化 8C!D=Vhh
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 r]+N(&q 二维参数优化 - 设计＃1 GMO|A.bzzN ]Y@ia]x&P
 X #!oG)or 9e:}q O5) 二维参数优化 - 设计＃2 L_WV Tz?` .^J7^ Ky,
 HX]pcX^K h"~GaI 制造公差分析 - 设计＃2 E5}wR(i,4 P6cc8x9g(
 (}C%g{8 LVj62&,- 不同光栅周期的三维参数优化 jS,zdJs=
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