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摘要 MWh Y&I+ ?qaWt/m 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 RTm/-6[N
L\Pm T  + GI906K T[bC Y 6 设计任务 ">oySo.B? O1z]d3x
 =+!l8o&o, Tf86CH=)5 W}CM;~*L 光栅特性与参数的严格分析 ;2<5^hgk IA@>' O 不同光栅周期的衍射效率 t R|dnC4U Ku75YFO,5  / D&&7;jJ sC Fxn 考虑光栅周期的选择 r0 XEB,} =:^aBN#  \_
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 K^u,B3 K-0=#6?y4 制造公差分析 - 设计＃2 u 272)@R ! g@K y$
 7 Sx|n}a-3 J o5B mh0 不同光栅周期的三维参数优化 !5`MiH
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