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摘要 '\yp}r'u Y{yN*9a79 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ub^v,S8O NPjh2 AJm &^WJ:BvA|^ iwb]mJUA 设计任务 @Y2"=QVt 2p3ep, Gt{'` P,&9 dxm_AUM O&=40"Dr 光栅特性与参数的严格分析 ;DWtCtD BPAz.K Q 不同光栅周期的衍射效率 5X^bvW26 H`!%" 4}nsW}jCc B- 63IN 考虑光栅周期的选择 UO-<~DgH Op] L#<&T 8ut:cCrmg 偏振相关衍射特性 u@!iByVAg @)0-oa,u+
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S (GnwK1f 偏振相关衍射特性 &=SP"@D "m^whHj
9:tvkl 1iOQ8hD 偏振相关衍射特性 6 isz =}@m$g Z
Mp _E({!t"` 基于参数优化的光栅设计 :UuPy|> ;1Kxqpz_i 具有固定周期的二维参数优化 G$\2@RT9[ S30@|@fTz
:sT\-MpQvn 二维参数优化 - 设计#1 !oXA^7Th6] pa0'\
g=?KpI-pn0 1c=Roiq 二维参数优化 - 设计#2 I0\}S [+H 'TPRGX~&
j[/'`1tOe X8T7(w<0%f 制造公差分析 - 设计#2 , WF)GS|7V iR-MuDM
/f!_dJ^ H!dUQ 不同光栅周期的三维参数优化 Ed/@&52z0 HLMEB0zh^
J90q\_dY. Zp|LCE" 制造公差分析
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