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摘要 uRKCvsi sX viAvD6e 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3KfZI&g (j+C&*u Gu<3*@Ng yE-&TW_q:> 设计任务 9tXLC|yl? pK4I?=A' '!Vn <FMW%4 nbw&+dcJ8 光栅特性与参数的严格分析 tOwwgf Nc[>CgX"@ 不同光栅周期的衍射效率 oDx*}[/ r~u/M0h `
SMk{159q& {.z2n>1J{T 考虑光栅周期的选择 |t|+pBB *4r
1g+0 WYwsTsG{_ 偏振相关衍射特性 Q}W6?XDu lKI1bs]i
T%KZV/ WhSQ>h!@s 偏振相关衍射特性 CY0|.x RqXcL,,9
[sTr#9Z U{RW=sYB~9 偏振相关衍射特性 85m[^WGyh >yg mE`g `z-4OJ8~ 2K!3+D" 基于参数优化的光栅设计 q0.+ F4 gf2l19aP 具有固定周期的二维参数优化 G7pj.rQ O!lZ%j@%
`&4L'1eF{ 二维参数优化 - 设计#1 +e`f|OQ iRS )Z)
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Jv3 tjBs>w 制造公差分析 - 设计#2 \$/)o1SG >:Na^ +c
wP/&k`HQ#i `g<@F^x5 不同光栅周期的三维参数优化 BdG~y1%: 3DV';
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