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摘要 ZaJg$ S0().2# 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -Yx'qz@ 8&?Kg>M 'fO[f}oa_. Zg1=g_xY 设计任务 FrBoE# =.`(KXT 6L[ Yn?; NrH2U Jm P34UD: 光栅特性与参数的严格分析 4ti\;55{W (os}s8cIh 不同光栅周期的衍射效率 Bfe#, ~t7?5b?*\ Hx[YHu
KL^ 4FURm@C6 考虑光栅周期的选择 9IJBK <[mT*
AjBwj5K 偏振相关衍射特性 B1)gudP` ?'ID7mL
"D#+:ix8G| {FRUB(68b 偏振相关衍射特性 Kn-cwz5 -7E)u
gDbj!(tm d-/{@
偏振相关衍射特性 "(bnr0
UhKC:<% Y,BzBUWK }ie O 基于参数优化的光栅设计 ~D# -i >Z
QOXG:?v\ 具有固定周期的二维参数优化 O@.C.5Ep 3
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.*\TG/x 二维参数优化 - 设计#1 9e|-sn N{oi }i6
OsI>gX> pG"pvfEl9f 二维参数优化 - 设计#2 k1Z"Qmz Jw13
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E D0\k $ <12 ia"} 制造公差分析 - 设计#2 0u[Vd:()v( MLD1%* &0
wUb5[m UuXq+HYR 不同光栅周期的三维参数优化 }!_x\eq^ r{NCI
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