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摘要 K(p6P3Z ^eWD4Vp|4 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q2!vO4!<N 3R$*G8v ;*8,PV0b_< +,ojlTVlt 设计任务 x]jJ S9S%7pE %$SO9PY G8!* &vR/ ,hXhcfFl 光栅特性与参数的严格分析 l)(
3] 5Qgh\4 不同光栅周期的衍射效率 W%^;:YQ9i kG$U iwT
PJGK| XfH[:XG3 考虑光栅周期的选择 IH~[/qNk )*n2,n 924a1
偏振相关衍射特性 Q !G^CG YhNO{4D
@a}jnl(2 uu+)r 偏振相关衍射特性 K';x2ffj $fl+l5?9
#Vi:-zyY V`XtGTx 偏振相关衍射特性 :LEC[</yvl H|*Ual @fG'X
K/ 5U;oC 基于参数优化的光栅设计 hTVA^j(w s+OXT4>+ 具有固定周期的二维参数优化 l's*HExR _Kf8,|+
IG=# 2 /$ 二维参数优化 - 设计#1 R;EdYbiF b n(tx'&U"R
bL]NSD QNesiV0MI 二维参数优化 - 设计#2 q,v)X Kk9W=vd
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04( 制造公差分析 - 设计#2 W 2.Ap )7s(]~z
G"|`&r@ 9B<aYp) 不同光栅周期的三维参数优化 I$w:qS&: kx31g,cf]w
dcbE<W#ss WYXh1_nyk 制造公差分析 N(=Z4Nk5 hX9vtV5L
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