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摘要 Z+NF(d 8jRs=I 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]53O}sH> wAw42{M T_eJ}(p @zo7.'7P 设计任务 |)9thIQF q^5yk=2fq 0Y7$d` kB8
M i @!e~G'j%VD 光栅特性与参数的严格分析 P^"R4T fb23J|" 不同光栅周期的衍射效率 ZI,j?i6\ tmp6hB 8q0I:SJy ZP-dW|<[x 考虑光栅周期的选择 j?xk& R\*)@[y9l fmFzW*,E 偏振相关衍射特性 _lXt8}:+ !x7o|l|cP
:/6()_>bO Axlm<3<wf" 偏振相关衍射特性 )Ob]T{GY #,&8&
lkb2?2\+ Z ] '> 偏振相关衍射特性 oCVku:. 34z+INkX :N2E}hxk ^2EhlK^) 基于参数优化的光栅设计 /Pk:4, 3htq[Ren 具有固定周期的二维参数优化 fJy)STQ4 wX0l?xdI
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!5-. 制造公差分析 - 设计#2 oxfF`L" J=iRul^S
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