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摘要 t}NxD`8 1mA)=hu 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5Ko"- Bg7?1m F
\} Kh3 9x{T"' 设计任务 7e}p:Vfp Z<ke!H x1A^QIuxO :~6%nFo 2LD4f[a; 光栅特性与参数的严格分析 ]T
zN*6o zU1rjhv+ 不同光栅周期的衍射效率 kC LeHH|K }3)$aI_ ;'p0"\SV ?]5wX2G^|J 考虑光栅周期的选择 vuw1ycy) 5]'iSrp yd>kJk^~/ 偏振相关衍射特性 NK"y@)%0 O7rm(
fI"`[cA"] zRf]SZ(tO 偏振相关衍射特性 ncS^NH(& mv30xcc
t'[vN~I' Fb-NG.Z# 偏振相关衍射特性 ]YOQIzkL4} %J+$p\c ;B1}so1] b[BSUdCB 基于参数优化的光栅设计 1
C[#]krh ! '2'db 具有固定周期的二维参数优化 #*Mk@XrV NWoZDsu
*wh'4i}u 二维参数优化 - 设计#1 %t<Y6*g [Q^kO;
RA\H?1;8C QjQJ " 二维参数优化 - 设计#2 6j`
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?Bh} yK}#|b'cM 制造公差分析 - 设计#2 R[_7ab]A `
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