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摘要 $
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< 04T*\G^:= 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2Xq !'NrS s].'@_~s  (<:rKp ck4T#g;= 设计任务 H(* = 9 fSQ3 :o  | WwFE|< U
K]{ ]- VEdnP +D 光栅特性与参数的严格分析 "< hx zdpLAr 不同光栅周期的衍射效率 WriJco<v 4'4s EjyA  QW Q6j#` {0Ol/N;|D 考虑光栅周期的选择 0Ts_"p 4|o{_g[  `sp'Cl! 偏振相关衍射特性 (qc!-Isd~[ ePcI^}{
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 /IQ-|Qkg rsIPI69qJ. 偏振相关衍射特性 >|o9ggL`J5 0f}Q~d=QL  'frL/[S
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 $(mdz)Cfy {*r$m>HpM 制造公差分析 - 设计＃2 R (Pa Q DP'Dg /D
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