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摘要 ]d(Z% VfzyBjQ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ffk>IOH {wM<i
GpTZp#~; vmNo~clt\ 设计任务 Xbmsq,*] \2+ngq) rPy,PQG2w Ju#j%! wg[
+NWJ 光栅特性与参数的严格分析 r&xIVFPI[ GmNCw5F 不同光栅周期的衍射效率 O9N!SQs80 'eBD/w5U q1xSylE ;/V])4= 考虑光栅周期的选择 HdlOGa6C H.iCYD_= g4q{
] 偏振相关衍射特性 ;Egl8Vhr dpE^BW v3 7R[7M%H o% Q7 el$f 偏振相关衍射特性 R%r25_8 v(Kj6 ' M^\`~{*T Q1*_l 偏振相关衍射特性 ~rI2 RJ lFf>z}eLy LsI@_,XW< n}Eu^^d 基于参数优化的光栅设计 tkm@&e=e% whe%o 具有固定周期的二维参数优化
}BW&1*M{ S=S/]]e o_=4Ex
" 二维参数优化 - 设计#1 VWt=9D; 61QA<Wb :Nf(:D8 LtwfL^ # 二维参数优化 - 设计#2 oR`rs[Kj #s(ob `0| Ar~<l2,{r \H>Psv{ 制造公差分析 - 设计#2 QsPg4y3?D x(Uv>k~i} s+_8U}R 8[,R4@ 不同光栅周期的三维参数优化 6qmV/DL XySkm2y (bsywM W\0u[IV.x 制造公差分析 ]qZj@0#7n IC"ktv bHz M`Wk@t6> -#;ZZ\fdj 走进VirtualLab Fusion <#"_Qgdix h8M_Uk JgHYuLB Ivcy=W=Jk VirtualLab Fusion 工作流程 x]hG2on! jR:\D_: <2kv/
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