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摘要 PzjaCp' BwC<rOU 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bH*@,EE RCI4~q  |~SE" R6`*4z S 设计任务 eSl]8BX_ 7p ^@;@V  |G tY*| k, f)2< 9b1?W?" 光栅特性与参数的严格分析 cVp[ Z#B vYDSu.C@a 不同光栅周期的衍射效率 e
RA7 i :$=|7v  V1<ow' ^i &i5:)d]L 考虑光栅周期的选择 ^IBGYl 5n OB~C} '^$  Y
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