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摘要 =>PX~/o 6 [XaIco=C 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 QE"$Lc) b/\O;o}]  4J,6cOuW4 m`zd0IRTP 设计任务 *g}==o ` b?0WA.[{  rkS'OC ]b}3f<
Rq| 5%;1 光栅特性与参数的严格分析 "K>!+< P JK Y$s. 不同光栅周期的衍射效率 o/
\o -kC} ?xKiN5q"6  h\#4[/ 3@eI? (N 考虑光栅周期的选择 P[H`]q| W!8$:Ih_Z  n3J,`1*ct 偏振相关衍射特性 zB y%$5~Fw GPAC0K^p
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>/.jB /q 偏振相关衍射特性 myXGMN$ i
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 2\$<&]q ]lJ#|zd8 o 偏振相关衍射特性 .w m<l: ; /m> c{  $+ e (k~
4mBM5Tv 基于参数优化的光栅设计 ,9=P=JH lKI] q<2 具有固定周期的二维参数优化 b N>Ar
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 PK?}hz 二维参数优化 - 设计＃1 ND9;%<80 k]& I(VQ"
 .*FlB>1jy *Z"Kvj;> u 二维参数优化 - 设计＃2 g+.E=Ef8<4 *qMj o P,
 6*ZZ) W< Rx%kAt2X 制造公差分析 - 设计＃2 N9 )ERW2`* Z#%77!3
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s 不同光栅周期的三维参数优化 $[=`*m
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