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摘要 `E:&a]ul +JlPQ~5 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pr.+r?la] u [Dz~ W\1V`\gF ^=@`U_(,G 设计任务 1a@b-V2
d& kT1 2 lNbAt4]}f( 2Y1y;hCK ^_5t5> 光栅特性与参数的严格分析 /#-zI#iK
#dhce0m 不同光栅周期的衍射效率 o8c5~fG1 /Dj-@7.C/ dBb
&sA-A \ Dccf_(Pb 考虑光栅周期的选择 a1
v%G 5Ei4$T @O9wit. 偏振相关衍射特性 :D:Y-cG*n< K*9~g('
(U([T -H # ~(lY} 偏振相关衍射特性 H84Zg/ ^ b-?d(-
3{H&{@Q S(#v<C,hd 偏振相关衍射特性 sa
w j^6,V\;l JJ4w]Dd4 awU&{<,=g 基于参数优化的光栅设计 E>isl" ]Wg&r Y0 具有固定周期的二维参数优化 #7Jvk_r9Y .g>0FP
M~l\rg8 二维参数优化 - 设计#1 4L<;z' V i<6i0
z`:tl7 oCSJ<+[(C 二维参数优化 - 设计#2 ,Q,3^v- /WMJ#IE
MmH(dp+ _jM+;=f 制造公差分析 - 设计#2 -7u_ \XFk @S)p{T5G
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N;1F Nn{/_QG 制造公差分析 ODCv^4}9 3B5 `Y
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