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摘要 e%u1O -* V1,O7m+F2 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ks7DoXCvE vSX71  L1
O\PEeT rK 9X68) 设计任务 ,FlF.p t 1-Sc@WXd  *&^`Uk,[ 9YwK1[G6/ %\Z{~(&-v 光栅特性与参数的严格分析 mtOCk 5E 3 T+#d-\ 不同光栅周期的衍射效率 9Qs t5n\Z eZJrV} V  ZEiW\ V @Q
8E)k@ 考虑光栅周期的选择 G n>#Mvq g/'CX}g`  NffZttN 偏振相关衍射特性 VK5| w: 'P3CgpF<Z2
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