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摘要 0Z@ARMCe|m > 6*(}L9 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _{[k[] pk;ff q@  iTj"l A ,}eRnl\ 设计任务 R5m`;hF J' I1, 5(  _)OA$ Y')O>C 0~ (y-x01H 光栅特性与参数的严格分析 cWgbd ^ J " PZYgl 不同光栅周期的衍射效率 #;wkr)) LDT'FwMjy  1M 7\:te* LvS P #$f 考虑光栅周期的选择 aQl?d<|+lk (45NZBs  3'?h;`v\Lo 偏振相关衍射特性 9@$tiDV fBHkLRFH
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,`ZPtnH+ 偏振相关衍射特性 MV
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偏振相关衍射特性 H.j LGe> ?2J S &i  Bpk@ {E9
?)Tz'9l 基于参数优化的光栅设计 ^U-vD[O8 Sf+(1_^` t 具有固定周期的二维参数优化 se<i5JsSV
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 )ZS:gD 二维参数优化 - 设计＃1 n u \ &(5^v w<0
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/~||s 制造公差分析 - 设计＃2 O vyB<r [(D}%+2
 *Gk<"pEeS 9s;!iDFn 不同光栅周期的三维参数优化 H ]% mP|
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