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摘要 Dp)=0<$y 7R6ry(6N 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Dpl A? @\f^0^G n ~shK<!C 4lKq{X5< 设计任务 0:9.;x9_ (oEC6F m 8aITd8 2QJ{a46} v":x4!kdX 光栅特性与参数的严格分析 1Cgso` _V7r1fY: 不同光栅周期的衍射效率 /SrCElabP C~o7X^[R\ -OapVa c zi]\<?\X 考虑光栅周期的选择 BYVY)<v/ \$*7 >`k mP0yk| 偏振相关衍射特性 J&.{7YF 5hQE4/hH
-o$QS, M$/|)U'W 偏振相关衍射特性 u>kN1k Q8 G!>z;5KuS
gm igsXQ e=B|==E10M 偏振相关衍射特性 Kx;eaz:gx 05b_)&4R ,
udTvI +trC,D 基于参数优化的光栅设计 ;" dV"W
ms*(9l.hOK 具有固定周期的二维参数优化 $a
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y5?RVlKJ 二维参数优化 - 设计#1 G9xmmc s$Z
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Ye2 {f"F @~!wDDS 制造公差分析 - 设计#2 VyzS^AHK "alyfyBu'M
'98VYCL pTPi@SBaP{ 不同光栅周期的三维参数优化 {khqu:HUn` mS(fgq6
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