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摘要 ?[VpN2* Hpi%9SAM 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^qO=~U!{ 7TkxvSL X R
pI<]1 !I5~))E 设计任务 G4Kmt98I RO{@RhnV 030U7 VT1 HNy/ - F`0c?) 光栅特性与参数的严格分析 "6N~2q,SW pzq;vMr 不同光栅周期的衍射效率 *Z`XG_ s5 LuP?$~z g&+Y{*Gp jD/7/G* 考虑光栅周期的选择 Q"|kW[Sg Mf:M3H%YV+ Z-SwJtWk 偏振相关衍射特性 AB"1(PbG d)0LVa(
g TXW2S ?orh JS 偏振相关衍射特性 aLKMDiT }B"|z'u
tyuk{*Me: 3G%wZ,)C 偏振相关衍射特性 qsihQd ^+.t-3|U =0h|yjnL/ t0e{|du 基于参数优化的光栅设计 [Iw>|q<e @1v3-n= 具有固定周期的二维参数优化 x^)g'16` 0AK?{y U
,$h(fM8GC 二维参数优化 - 设计#1 1Sg|3T8bGT N )zPxQ
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x*me'?q m!5HRjOO 制造公差分析 - 设计#2 cX%: &@YFje6Lcm
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