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摘要 *L%HH@] %_ G$}\~dD 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +'2Mj|d@p fySzZ <s2IC_f<+ N\l\ M 设计任务 Zk"'x,]# y/h~oGxy b/5?)!I Mi,yg=V ]C3{ _?= 光栅特性与参数的严格分析 Oj\lg2Ck
Q}d6+ C 不同光栅周期的衍射效率 OGh9^,v [0El z@.C RmY5/IYR|: ^](sCE7 考虑光栅周期的选择 [U]U *x _(5SiK R qxf!]jm 偏振相关衍射特性 #Gx%PQ` 6!bVPIyYO
cKdn3 2Y4 0z #'=XWk 偏振相关衍射特性 8{#WF# V$VqYy9 *
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O#5 偏振相关衍射特性 >0Y >T6! C=IT`iom1C u\ro9l 6X~.J4 基于参数优化的光栅设计 i#Io; g(B &A
P_e 具有固定周期的二维参数优化 #( F/P!qk @X+m,u
_VGAh:v 二维参数优化 - 设计#1 0_q8t!<xJw uf]SPG#/D
p:Ry F4{b2 }(A`aB_ 二维参数优化 - 设计#2 ukpbx;O:hc "3.v(GVr
3}(6z"r 3)88B"E 制造公差分析 - 设计#2 gI "ZhYI
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-0r0M) \@;$xdA$ 不同光栅周期的三维参数优化 r*HbglB ^\
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