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摘要 7?_gm>]a }(na)B{m 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h;(mb2[R [<^ '}-SJ tmoclK- .VmRk9Z 设计任务 0#Q]>V@rO4 bFA
lC eA(FWO nC$c.K' h{~GzrL* 光栅特性与参数的严格分析 w9x5 IRW k 0iMfyW: 不同光栅周期的衍射效率 8ce'G"
b $S?xB$ ]d|M@v~c4 voP#}fD 考虑光栅周期的选择 V^;lg[: -0CL#RzKR XTb.cqOC 偏振相关衍射特性 j\BtaC vON7~KA
//$^~}wt D iHj!tZN 偏振相关衍射特性 Csgby(D*O 7D8 pb0`;J
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{pRa%DF I[06R YAi@EvzCVy 基于参数优化的光栅设计 %N7G>_+ 0(uba3z 具有固定周期的二维参数优化 (r<F@)J #7J3,EV
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dr"@2=Z m&_!*3BAG 不同光栅周期的三维参数优化 Zc9S[ivq THwq~c'
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