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摘要 T$;XJx Cw5K* 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =1[g`b ,quTMtk~ !17Z\Ltqyj l$ 9, 设计任务 PlUjjJU O+j:L b\S}?{m5 `aycYoD j #YFwX4. 光栅特性与参数的严格分析 kc[["w& MT0{hsuK9 不同光栅周期的衍射效率 ]l%.X7M9 H-w|JH>g Y
sV cvfAa#tq> 考虑光栅周期的选择 j}l8k@f 7k|(5P; $twF93u$ 偏振相关衍射特性 efR$s{n! /)TEx}wk
$(=1A>40 q:^Cw8 偏振相关衍射特性 Y_sVe 7bS[\5
hM w`e ;$< ek(i7 偏振相关衍射特性 Z+(V \ K67 ?
d {[*_HAy7 zK?[dO 基于参数优化的光栅设计 ]E^f8s0#V [^~9wFNtd 具有固定周期的二维参数优化 y@_?3m7B= RiG!TTa
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w-Fk&dC69 二维参数优化 - 设计#1 q/79'>`|ai caht4N{T
[hbp#I~*[ ,O$C9pH9 二维参数优化 - 设计#2 KW^aARJ) IIiN1
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kELyD(^P` g<%-n, 制造公差分析 - 设计#2 *pp1Wa7O 89mre;v`
eCD,[At/ ]5/U}Um 不同光栅周期的三维参数优化 Ms)zEy>[Ql Ya 4$7|(
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5&=n 制造公差分析 (=V[tI+Ngt bz]O(`
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