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摘要 K,+`td# &=@R, 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CDoZv"" .J&~u0g #q(BR{A>t
S7~yRIjB 设计任务 {%b>/r ,&z_ 2m -D38>#Y {l\v J#r: r(J7&vR}h 光栅特性与参数的严格分析 nPvR :t^=~xO9 不同光栅周期的衍射效率 an0@EkZ bZ )3{ .E[k}{k,
2Xe2%{ 考虑光栅周期的选择 <J[*~v%( t~,!a? S7 =xai 7iM 偏振相关衍射特性 z4H!b+ h`&mW w
9FH=Jp }5zH3MPQH 偏振相关衍射特性 N[dhNK" kf&id/|
/rKrnxw tv\P$|LV`8 偏振相关衍射特性 4'G<qJoc AO>K
6{ O#cXvv]Z* oA_AnD?G+ 基于参数优化的光栅设计 AkT_ZU> vA(3H/)- 具有固定周期的二维参数优化 A -c3B+ DV{Qbe#In
*Fp )/Ih 二维参数优化 - 设计#1 >*vI:MG8 9QWS[E4
1UxRN7 -`f JhQ| 二维参数优化 - 设计#2 dwB-WF%k ]*I&104{
aHwrFkn Il*wVNrZI 制造公差分析 - 设计#2 [8O`VSV3 1=W>zC
k@KX=mG< 8~}Ti*Urc 不同光栅周期的三维参数优化
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