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摘要 5B'};AQ er?'o1M 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d= -/'_' }#/,nJm' -
zQ |NcfR"[c 设计任务 RqIic\aD IP` ;hC %:eepG| P#g"c.?; D+.h*{gD 光栅特性与参数的严格分析 !v2D 18( uYPdmrPB?l 不同光栅周期的衍射效率 1Yy5bg6+E .`OdnLGy U.
1Vpfy /?jAG3" 考虑光栅周期的选择 Gv!*
Qk4 M<,E[2op mk;l;!*T8 偏振相关衍射特性 UpgY}pf} MEQ:[;1
#KonVM(` L!7*U.+ 偏振相关衍射特性 pNo<:p tVZjtGz=
@L8('8~d 9tVA.:FOZ 偏振相关衍射特性 N4%q-fi f!~gfnn ?#^_yd|< Dq!Vo ;s2 基于参数优化的光栅设计 &WIiw$@ +'H_sMmi{ 具有固定周期的二维参数优化 5A:mu+Iz6H Kc*h@#`~oL
;/W;M> ^ 二维参数优化 - 设计#1 TE4{W4I 9}FWO&LiB
*f:^6h q@ >s# 二维参数优化 - 设计#2 AlNiqnZ "SyAOOZ
=uZ[ d_&R>GmR$ 制造公差分析 - 设计#2 q&Sd+y& |