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摘要 l\0w;:N3 {y= W6uP 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uP $ Cj ] ]U<UJ  `O?T.p) y m,H@~ 设计任务 75T_Dx(H E_z;s3AXQ  Cs3^9m6;d ]va>ex$d /wShUR{ 光栅特性与参数的严格分析 .R* !aK pW0dB_ 不同光栅周期的衍射效率 ./vZe_o)j$ xiF7}]d+  ( lm&*tKm /'2O.d0}. 考虑光栅周期的选择 ^jB8Q Psur a$:  DhLqhME53 偏振相关衍射特性 P;[OWSR[d 620 %Z*
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_ZB\L^j) 偏振相关衍射特性 \`V$
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O/`< 偏振相关衍射特性 B$3 ?K +6$g! S5{  ^mWybPqx
5<pftTcZ 基于参数优化的光栅设计 54;J8XT7 c
!Z M 具有固定周期的二维参数优化 YYEJph@06q
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 6Tw#^;q- 二维参数优化 - 设计＃1 'TC/vnM %D$,;{e w
 4D%9Rc0 G `(+o=HsD 二维参数优化 - 设计＃2 {CG_P,FO )0vU
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8-e ^. 制造公差分析 - 设计＃2 n~V4nj&_T 87 )zCq
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~^u16z, QQ：2987619807 [S.ZJUns
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