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摘要 !QC-> y'Wz*}8pr 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <tFq6| o'Po<I  |%TH| ?kB CQ13fu +|6 设计任务 o2Z#
5- g3"`b)M  _L&C4 <e' ?; }2 Z) x/5%a{~j2 光栅特性与参数的严格分析 ][#]4 _ 5qUyO kI 不同光栅周期的衍射效率 yP uT%H&i Vx?a&{3]-  &~ uzu{ t[0gN:s 考虑光栅周期的选择 Ue~M .LZb R z%+E0  L# (o(4g2 偏振相关衍射特性 N{oD 1% 8]+hfB/
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ar>S_VW* 偏振相关衍射特性 oXb} 6Y C
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 * 496"kU _[IN9ZC 2G 偏振相关衍射特性 qfG`H#cA< s _p?3bKu  X[| -F3 o
8"RX~Igf 基于参数优化的光栅设计 LXfDXXF q=g;TAXZl 具有固定周期的二维参数优化 E}4R[6YD
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 c00a;=ji 二维参数优化 - 设计＃1 0 FHN >`\~=ivrD
 YV 2T$#7u qKZ ~)B j 二维参数优化 - 设计＃2 ZShRE"` ANi}q9SC
 \JN?3}_J `3\5&B f 制造公差分析 - 设计＃2 *|ubH?71%Y ~B|K]&/]
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