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摘要 2XL^A[? iZk4K X 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m > + Xc+YoA0Ez  }c||$ 3B;Gm<fJ9N 设计任务 1q;R+65 MMk9rBf  V=fu[#<@Ig 1<~n2} ^XeJZkLEB 光栅特性与参数的严格分析 {8mJ<b>VA ()j)}F#Z` 不同光栅周期的衍射效率 ts &\JbL i|<wnJu  = W2.Nc o_\vudXK 考虑光栅周期的选择 R6X2d\l # oeKl\cgFx  IZdWEbN1 偏振相关衍射特性 D(Z#um 8n S eZ+&d
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 |:SV=T: RPMz&/k 偏振相关衍射特性 )/f#~$ws jCj8XM{c>  Nq9pory^
k~;~i)Eg 基于参数优化的光栅设计 _s-X5 xU m; =S]3 P* 具有固定周期的二维参数优化 3v $n}.
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