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摘要 uRKCvsi sX viAvD6e 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3Kf ZI&g (j+C&*u  Gu<3*@Ng yE-&TW_q:> 设计任务 9tXLC|yl? pK4I?=A'  '!Vn <FMW%4 nbw&+d cJ8 光栅特性与参数的严格分析 tOwwgf Nc[>CgX"@ 不同光栅周期的衍射效率 oDx*}[/ r~u/M0h ` 
SMk{159q& {.z2n>1J{T 考虑光栅周期的选择 |t|+pBB *4r
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