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摘要 fv|]= e -glugVq 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *8z"^7?^= V?OuIg%=: h S4.3]ei ;avQ1T'{?g 设计任务 ~j=xi P ARP KzF`Wq /+>)"D6'
j:7*3@f }VF#\q 光栅特性与参数的严格分析 3)}(M &=YSM.G 不同光栅周期的衍射效率 b`$yqi<[ 2b5 #PcKa +}P%HH]E/p J0=7'@(p 考虑光栅周期的选择 q(,cYu BWWq4mdb{ YQ;
cJ$ 偏振相关衍射特性 ^V[/(Lq .Y;b)]@f
1@xP(XS 2d-{Q8Pi 偏振相关衍射特性 m+?N7 R,%_deV\(
C\7u<2c 9z:K1 偏振相关衍射特性 98GlhogWt u#1%P5r&X k}GjD2m _g[-=y{Bb 基于参数优化的光栅设计 -;$nb~y {3LA%xO 具有固定周期的二维参数优化 o]<jZ_|gB %,/lqc Fo
(?vK_{ 二维参数优化 - 设计#1 6JhMkB^h TjxA#D)
xRlYr# % )>\4ULR83 二维参数优化 - 设计#2 []zua14F6 yG\UW&P
WfZF~$li` 9t?L\ 制造公差分析 - 设计#2 Pe}PH
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5w 不同光栅周期的三维参数优化 qNxB{0(D \7Qb229?
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