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摘要 .DG`~Fpk ,37\8y?o\ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dNfME*"yN K]c\3[v R  '$\O*e' /@QPJ~%8Ud 设计任务 OT{cP3;0*o ::R5F4  T_/ n#e * faG0le !rZ r:@ 光栅特性与参数的严格分析 3P2x%G p SA[wF c 不同光栅周期的衍射效率 b:t|9 FE% ~D\zz }l  oo2CF!Xy ] CxD m 考虑光栅周期的选择 Dlqvz|X/ ^2)<H7p  g`\ 5!R1 偏振相关衍射特性 Bx 9v2x. ]wm<$+@
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5V ZZk%oy 偏振相关衍射特性 F0x'^Z}Q;
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 A} v;uNS] c.4WwzK 偏振相关衍射特性 ^bk: g}o (bp4ly^  ;fe~PPT
7 F> a&r 基于参数优化的光栅设计 SQs+4YJ qN\? c W' 具有固定周期的二维参数优化 / ?H q
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a{x.2/o} AjD? _DPc 二维参数优化 - 设计＃2 2$TwD*[ ]8f$&gw&A
 w8}jmpnI 7!/ !a*z g 制造公差分析 - 设计＃2 7Fzj&!>ti t$z 5m<8
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