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摘要 =po5Q6@i hSXZu?/ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )]{& VV"1I R 28O 3N;a w"OeS;#e: 设计任务 *wV`7\@ /,3:<I ]Ab$IKY Gt;U9k|i `.YMbj#T 光栅特性与参数的严格分析 4n/CSAT1 XT\Q"=FD 不同光栅周期的衍射效率 iQz
c$y^,9 ^A$p)`KR l%v2O'h nACKSsWqI 考虑光栅周期的选择 H~~>ut6` e`;U9Z e!
0Y`lQ 偏振相关衍射特性 'Ug-64f> -_fh=}.n+"
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3h +tp@Tb U\UlQp? 基于参数优化的光栅设计 |"k+j_/+ Yjix]lUXVf 具有固定周期的二维参数优化 }+BbwBm& P*{*^DN
fC!+"g55 二维参数优化 - 设计#1 d1n*wVl wj|[a,(r
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?V(h@T S01Bc 制造公差分析 - 设计#2 Lb%:u5X\D@ Dt]*M_
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