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摘要 q{a#HnZo" [X; >*- 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B }6K d pG0 !ALT  ~k9O5S{ F|ETug
n 设计任务 Cf Qf7- }C=Quy%Z<  ^fkC yE;= YV*b~6{d E::L?#V 光栅特性与参数的严格分析 0r1g$mKb Oz :D.V
3~ 不同光栅周期的衍射效率 JYPxd~T/- gzor% )C  ft{W/ * +_ &k b\,mQ 考虑光栅周期的选择 smV!y8& llNXQlP\B  rqF"QU= l 偏振相关衍射特性 /E)9v$! *yrnK3
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0Su_#".-* 基于参数优化的光栅设计 V7P6zAJ y P Q,+hq 具有固定周期的二维参数优化 !#. \QU|
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 yO c|*O=]U 二维参数优化 - 设计＃1 :.DI_XN` }S,-uggz
 i (0hvV>' zwnw' 二维参数优化 - 设计＃2 9<v}LeX 8hZwQ[hr
 ^1.7Juvb va^0JfQ 制造公差分析 - 设计＃2 R3?:\d{ +lKrj\Xj
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