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摘要 cS%;JV>C
xz-?sD/xe 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ncpNes B *o=[p2d"X  P>hR${KE N (0%C? 设计任务 W.c>("gC !}hG|Y6s  O DxCD%L e3k58 &<EixDi4q 光栅特性与参数的严格分析 1oI2 : j`4nXm 不同光栅周期的衍射效率 |~B` [p]5H -#Jp@6'k%  6eQa @[.Q D$Ao-6QE
W 考虑光栅周期的选择 0D/7X9xg9+ -
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n^Q-K}!T/ 偏振相关衍射特性 WJ/X`?k
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 t{e}3}LEd ]VaMulb4 偏振相关衍射特性 9h"3u;/, 0lU
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Jo\karpb 基于参数优化的光栅设计 oxug
C,B{7s0- 具有固定周期的二维参数优化 p2h PLq
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 A+Kp ECP 二维参数优化 - 设计＃1 A&V'WahC@I v, Z?pYYo
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 1sq1{|NW~ :464~tHI[` 制造公差分析 - 设计＃2 Nk<H=kw+ 6('CB|ga
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