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摘要 ^k9rDn/AW j)<[j&OWw 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1'OD3~[R Pb=rFas*C wO\!xW: r?XDvU 设计任务 &*c'uNw c( 8W8R Lj-{t% } a:xgjUt&5 <W9) Bq4 光栅特性与参数的严格分析 g BH?l/ mc56L[ 不同光栅周期的衍射效率 n%8#?GC` X!?wL0n 5lG|A6+w{ ;C6O3@Q 考虑光栅周期的选择 +"G( BfEx'C i&B?4J) 偏振相关衍射特性 pJ$(ozV %L.rcbg:<c
f#2#g%x o|BFvhg 偏振相关衍射特性 xP{m9_Qj rQuOt
Ny[s+2? mKMGdN~ 偏振相关衍射特性 IFkvv1S` $R3.yX=[\ c[6 zX#{` s:G[Em1 基于参数优化的光栅设计 S@;&U1@h FW5*_%J 具有固定周期的二维参数优化 ]r]+yM| [cY?!Qd0
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-<}C%C 二维参数优化 - 设计#1 {m>~` re2Fv:4{
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二维参数优化 - 设计#2 aslNlH 6 '&1
a'o}u,e5 `8qT['`#R 制造公差分析 - 设计#2 ,$ho2R),Fn +YkmLD
I}I}K~se* b"*mi 不同光栅周期的三维参数优化 #xD&z^o hG< a
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