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摘要 *(D_g!a |M9x&(H;Hw 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k\HRG@
/G QVzLf+R~ 96MRnj*Y[ G78rpp 设计任务 ]9;WM. G>*s+ KY2xKco $Iqt
c)DA |`:Uww+3 光栅特性与参数的严格分析 If]g6
B.= =_.Zv 不同光栅周期的衍射效率 i~ zL,/O8 V,
)kw{]( T'fE4}rY ,+zLFQC0@ 考虑光栅周期的选择 ]<++w;#+x @}aK\ rpDH>Hzq 偏振相关衍射特性 D/@:wY X#+A?>Z]}<
o7]h;Zg5r u8-)LOf( 偏振相关衍射特性 2 B5kpmH: NoDq4>
KWN0$*4 }ndH|, 偏振相关衍射特性 :^J(%zy
uop_bJ >{npg2 ]O&TU X@) 基于参数优化的光栅设计 1T!_d&A1o B\Rq0N]' M 具有固定周期的二维参数优化 T5W r;a ;) (qRZd6
,ulTZV 二维参数优化 - 设计#1 ?ew^%1!W. KC8A22
uR@\/6!@ <NT /+>:2 二维参数优化 - 设计#2 4lvo9R ]#S.L'
Oh<Z0M) L-G186B$r 制造公差分析 - 设计#2 KJcdX9x }6m5MH$7q
9I30ULm )p12SGR5 不同光栅周期的三维参数优化 N-K.#5 E(]yjZ/
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