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摘要 rqqd} kA "NGfT:HV 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :-JryiI AD?XJ3 p^RX<L/\=_ $/IFSB9 设计任务 oeZuvPCl Abt<23$h HdB>CVuh xUsL{24 S_Wq`I@b 光栅特性与参数的严格分析 Q[rZ1z 51Y%"v t 不同光栅周期的衍射效率 >$L7J=Em 1(IZ,*i ^4^N} 7>5 7_76X)gIV 考虑光栅周期的选择 .7gh2K ~o"=4q`> ~U"m"zpLP 偏振相关衍射特性 Ue
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dVEs^ZtI <a @7's 偏振相关衍射特性 8TeOh1\ .
c+m(Pk 7`;sX?R "N6HX* 基于参数优化的光栅设计 2WFZ6 9AX}V6\+ 具有固定周期的二维参数优化 @GQfBV|3 :1j8!R5
zH}3J} 二维参数优化 - 设计#1 hDJG.,r U\?D;ABQ%
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'LE1DK b3E1S+\=~ 制造公差分析 - 设计#2 /h+ W L |du%c`wl
3u/JcU-< v-3VzAd=*& 不同光栅周期的三维参数优化 F8?2+w@P g&xj(SMj-$
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