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摘要 1{*x+GC^/
=~)n,5 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wBf
bpoE7 *+G K?Ga U!h!z`RU54 A/MOY@%G 设计任务 (L\tp>
E- ^0 t`EZ$ wGB'c's* nv={.H W{%M+a[#l 光栅特性与参数的严格分析 Gfvz%%>l eK`tFs,u 不同光栅周期的衍射效率 *ULXJZ% TS-[p d :=/DF `f(!i mN 考虑光栅周期的选择 @{bf]Oc E^rN) R75sK(oS 偏振相关衍射特性 _*+M'3&= Xd4~N:
tlW}lN} uJ%ql5XDV 偏振相关衍射特性 }"szL=s >uVG]
d00r&Mc
z\\MLyS 偏振相关衍射特性 =[P || Q5Wb) G#csN&|, g,.iM8 基于参数优化的光栅设计 AojX)_"z p4/D%*G^` 具有固定周期的二维参数优化 /rquI y^ J[^-k!9M
CkOd>Kn 二维参数优化 - 设计#1 \X(.%5xC 1PWDK1GI8
{3l]/X3 8garRB{ 二维参数优化 - 设计#2 S -im
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PJ);d>tz NZv1dy`fa 不同光栅周期的三维参数优化 <FP&1Eg!| Ygg+*z
w'}b 8m(L `CRW2^g 制造公差分析 SlmgFk!r! 1;>J9
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