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摘要 H9oXZSm 6\NX
5Gh 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u|]mcZ,ZW +#de8/x  oi33{#%t )*psDjZ7* 设计任务 3I(dC|d SH@  =
]dz1~/ l(3'Re v#FJ+ 光栅特性与参数的严格分析 I ?^Q084 9 AQ96 不同光栅周期的衍射效率 sw 3:HNG= M~d+HE  A{DIp+ CS^ oiV%{s 考虑光栅周期的选择 \] L::" e]dPF[?7 偏振相关衍射特性 P;HVL flu tu?Z@W/
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L V[66<T 偏振相关衍射特性 P sF- 9&_
Ti9:'I
 fY)4]= L O]$*EiO\ 偏振相关衍射特性 V8 KTNt% P!)7\.7  ,Do$`yO+
:uU]rBMo 基于参数优化的光栅设计 `[C v- .dg 4gr \D 具有固定周期的二维参数优化 u@:=qd=\
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 )DklOEO 二维参数优化 - 设计＃1 .NNcc4+ hX'z]Am<
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 T ? <'= /`j K 制造公差分析 - 设计＃2 @]y{M; Vx\# +)4
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