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摘要 !;S"&mcPDJ 8TE>IPjm 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 kbYeV_OwM ?s?$d&h  Tk*w3c"$ UZGDdP 设计任务 .6 3=(o iXFP5a>|  * RWm47 5+- I5HX|~ n2 {S V 光栅特性与参数的严格分析 \ECu5L4 y+9h~,:A 不同光栅周期的衍射效率 PFM' & ;V */z??fI27  tu0aD%C bUZ_UW 考虑光栅周期的选择 TJ(K3/)Z H6K`\8/SeN  S|em[D[Y^ 偏振相关衍射特性 rkB'Hf =Q<L
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 a|4~NL 二维参数优化 - 设计＃1 f )Z%pgB pZ(Fx&fy
 O(z}H }Fv \.uc06 二维参数优化 - 设计＃2 $HJT j29/ i3VW1~ .8
 1L nyWZ |Ic`,>XM 制造公差分析 - 设计＃2 EW<kI+0D 2xwlKmI N
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