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摘要 rYUIFPN y:G%p3h)[ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 + NlnK6T/ ZR>BK, Q3@ zUjq_Q yi7.9/;a 设计任务 `[ZswLE /$^Tou/v Q_mphW:[ ~Xi@#s~ D(b01EQ;d 光栅特性与参数的严格分析 :e<jD_.X
a~}q]o?j 不同光栅周期的衍射效率 $5nMD= ?kjQ_K j^G=9r[, WfPb7T 考虑光栅周期的选择 zJQh~) I~,.@{4 @K;b7@4y 偏振相关衍射特性 O'4G'H) f*k7 @[rSv IjI'Hx 0U42QEG2 偏振相关衍射特性 q,v<:sS9T wt($trJ \gA!)q.; Gp%po@A& 偏振相关衍射特性 wAh]C;+{ }[+uHR6L ;lObqs*?> O9ex=m `L 基于参数优化的光栅设计 qS?o22 <4r8H-(% 具有固定周期的二维参数优化 _i_='dsyW/ Ft5A(P > *)m:u : 二维参数优化 - 设计#1 {FIzoR" P&`%VW3E ^'3c%&Zf3 ^O|fw?, 二维参数优化 - 设计#2 9r%fBiSk OG$n C ,Ckcc
PMjNc_)) 制造公差分析 - 设计#2 EN m%(G$ qu B[S)2} G
;j1zs 'LgRdtO6 不同光栅周期的三维参数优化 ^h?fr`
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