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摘要 'Y
vW|Iq Zfb:>J@h6 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k*!J,/=k B;K{Vo:C V 9<[v?.\ ~{5%~8h.0r 设计任务 /`s^.Xh Oi7=z?+j W_DO8nX U;jk+i %pwm34 光栅特性与参数的严格分析 p19Zxh uq 6T|Zm 不同光栅周期的衍射效率 e.HN%LrhS 4h~Oj
y16& /FYa{.Vlr S[u<vHy 考虑光栅周期的选择 VX>_Sps )(ma a"&Z!A:Z= 偏振相关衍射特性 17
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yNDyh V) a6H^l 偏振相关衍射特性 71A{" M>]%Iu
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:L 偏振相关衍射特性 Hou{tUm{xC u>(Q& 25 tlcA\+%) A>4k4*aFm# 基于参数优化的光栅设计 #|CG %w 4u(}eE
f7 具有固定周期的二维参数优化 ebao7r5@ J}YI-t
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二维参数优化 - 设计#1 9|e"n|[ {jc~s~<#
J%A`M\ z)]EB6uRg 二维参数优化 - 设计#2 _Ng*K]0/E VAthQ<
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m\0IgZdz 制造公差分析 - 设计#2 L;f=\q"g g9
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