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摘要 `^9(Ot $ kJQ#Wz|z] 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~8T(>!hE1h =Gk/k}1  wnLi2k/Dt< w}R~ C 设计任务 ww k
P F os lJC$cy'  Cx_Q : 6T a4i :| !T,AdNa8 光栅特性与参数的严格分析 nqVZqX@oE w$Ot{i|$( 不同光栅周期的衍射效率 AJ^#eY5 )yK[ Zb[  <M]h{BS= 8 ho[I] 考虑光栅周期的选择 9 @ 16w '3IC*o"  B[4pX
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