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摘要 Q= fl!>P 25-h5$s 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y$\|rD^ f ow{. iv\,u  ,!^5w,P: 2M'dT Xz 设计任务 B yJPSuc D BLO ]78
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v[^8_y}A` SeDk/}/~e 光栅特性与参数的严格分析 7#%Pry G%t>Ll`` C 不同光栅周期的衍射效率 4d4+%5GE bIyg7X)/  C` ky= `(0B09~7 考虑光栅周期的选择 -Z$u[L [c ]kTx Ve  X(*O$B{
R 偏振相关衍射特性 adX"Yg!`{c 9yC22C:
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