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摘要 `Gsh<.w!7 !.3
MtXr 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I0)iC[s8; oHeo]<Fbv  hhYo9jTHW (m.]0v*&c 设计任务 |Zkcs]8M! h1)p { 5}H  7"8HlOHA EXb{/4 /[{?zS{ 光栅特性与参数的严格分析 zhYE#hv2
-pX/Tt6 不同光栅周期的衍射效率 j|+B| }3)$aI_  i-niRu< {L<t6A 考虑光栅周期的选择 =X% D;2 #gsAw na3  _ );1dcnR 偏振相关衍射特性 Z/Mp=273 p aMw88*u
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Z\dILt:#z 偏振相关衍射特性 NK"y@)%0
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W>1\f0' 基于参数优化的光栅设计 | mci-ZT hoU&'P8 具有固定周期的二维参数优化 Snh\Fgdz
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 xES+m/?KlZ %f:'A%'Qb 制造公差分析 - 设计＃2 y/kCzD T , Zc%S`zK`7
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