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摘要 $iu[-my_ eXW|{asx 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q.c)>= !. Snx!^ 4+MF  EU$.{C_O( q`VL i 设计任务 "j@\a)a .\n` 4A1z  l~6K}g? )th[fUC( "9wD|wsz 光栅特性与参数的严格分析 5o#JHD >2'"} np* 不同光栅周期的衍射效率 z aqX};b 0B}4$STOo[  /|IPBU 5 VPe0\?!d 考虑光栅周期的选择 FJ:^pROpm *yu}e)(0  =~B"8@B 偏振相关衍射特性 K JA
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