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摘要 e hq6.+l _#:1Axx1 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9 h{G1XL n21J7;\/+  D~:fn|/Brp rGWTp N 设计任务 U|nk8 6r Jk*MxlA.b  R7 i*f/m JSU\ Hh! ?x97 q3I+] 光栅特性与参数的严格分析 f7'%AuSQ( Up&q#vqIj 不同光栅周期的衍射效率 k s}o9[D3 (L1`]cp  ;l'I. j )-@EUN0E>5 考虑光栅周期的选择 )[1m$> OBZj-`fq J  O u^dI 偏振相关衍射特性 p98lu'?@ &%lh ov
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 [H1NP'Kg] M<"D!h9YP 偏振相关衍射特性 pK4)>q Q$%@.@  oa|0=
N mQ]qv 基于参数优化的光栅设计 W5p}oN kBzzi^cl 具有固定周期的二维参数优化 G\Me%{b#
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