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摘要 %aw/Y5
7/7A 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 OD1ns ==FzkRA) R&xD|w8UjM hChM hc 设计任务 6AQ;P g"Ii'JZ? *R~oA` "\_}"0H c7rYG] 光栅特性与参数的严格分析 n@mUQ6 D[-Ct 不同光栅周期的衍射效率 u|:VQzPd- %!.rP VGvOwd)E ]lO$oO 考虑光栅周期的选择 rz7yAm [\.>BK %ANPv = 偏振相关衍射特性 h,p&/oU4U ^cAJCbp7
O3BU.X1'% /Cg/Rwl 偏振相关衍射特性 HdnSs0/ d?{2A84S
&0C!P=-p LAwS8t', 偏振相关衍射特性 50R+D0^mh ^#t<ILUa E
Fv+[ r2Z`4tN: 基于参数优化的光栅设计 vCmh3TQ a0LX<} 具有固定周期的二维参数优化 +_}2zc4 ~Igo
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/nmfp&@ 二维参数优化 - 设计#1 ,pG63&?j z`2d(KE?
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J~Ph)|AiS `dNb%f> 制造公差分析 - 设计#2 PJ.jgN(r :OZhEBL&b
CFA> j,-7J*A~ 不同光栅周期的三维参数优化 YOoP]0'L 68>zO%
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