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摘要
I&?(=i)N GoP,_sd\O 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D::$YR
~R _fx0-S*$  \ Y&* sfQ u[q1]] 设计任务 o^hI\9 6!bp;iLKy  4nQk*:p(X +b"RZ:tKp +e?mKLw1 4 光栅特性与参数的严格分析 d0$ dQg P9= L?t. 不同光栅周期的衍射效率 U]tbV<m % T+ey>[  GO{o #} ,e{( r0 考虑光栅周期的选择 N WWag} < 7N 8L  \]ouQR.t@\ 偏振相关衍射特性 Y?W"@awE"\ Vw.c05 x
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@ c,KK~{ 偏振相关衍射特性 NSH20$A<
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 Rp$t;=SMD qplz != 偏振相关衍射特性 =67dpQ'y /cHd&i,>  t)P5bQ+$u9
wv0d"PKTS 基于参数优化的光栅设计 5[l9`Cn&A M:x?I_JG8 具有固定周期的二维参数优化 u=NpL^6 s<
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 f q(r,h=| 二维参数优化 - 设计＃1 CBw/a0Uck i(P/=B
 V \Oe ] w gM_z`H 5[! 二维参数优化 - 设计＃2 Ah:! i
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 KNT(lA0s GyI(1O AW 制造公差分析 - 设计＃2 ^DVj_&~ "{>I5<:t
 <tkxE!xF`J td Z,sHY6 不同光栅周期的三维参数优化 \`?#V xz
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