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摘要 Uu[dx}y /{>_'0 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a^g}Z7D'T WX4f3Um L};P*{q2Z wK!7mZ 设计任务 Ejt?B')aB5 &fe67#0r) WP5Vev9*+ Vy 7 )_D q+ 2v9K@ 光栅特性与参数的严格分析 I(uM`g hdDL92JVg 不同光栅周期的衍射效率 kgP6'`}E[ d]vom@iI )nlFyWXh. t~%( Zu>S 考虑光栅周期的选择 *:?XbtIK u "EBCf.3- BVG.ZZR}) 偏振相关衍射特性 }poLHS/ 4}-G<7* t1ers> h <9]J/w+ 偏振相关衍射特性 zNM*xPgS d)kOW!5\ cb }OjM F nCDG PzJ 偏振相关衍射特性 a
y$CUw 8&SWQ 9L>73P{_ w[g`)8Ib 基于参数优化的光栅设计 kTA4!654 0[p"8+x 具有固定周期的二维参数优化 e"|ZTg+U f h:wmc' -`D<OSt7 二维参数优化 - 设计#1 9B/iQCFtj$ C8%MKNPd w\a6ga!xt" =w7+Yt 二维参数优化 - 设计#2 Q@[ (0R1 d^8n hjz`0AS YB.@zL0.( 制造公差分析 - 设计#2 X/h|;C*9 ;Irn{O U+[h^M$U <vt}+uMzXv 不同光栅周期的三维参数优化 Ro=dgQ0:t '4}8WYKQ 5p ,HkV cNMDI 制造公差分析 erOj(ce ccT
<UIpq @U:PXCvh K/_"ybR7 走进VirtualLab Fusion 4m6/ba X|C=Q yp)D"w4@ K{:[0oIHc VirtualLab Fusion 工作流程 Js^(mRv= %<`sDO6Q? vy-q<6T}:p rdsZ[ii VirtualLab Fusion技术 #'n.az=1 <fHN^O0TS D^6Q`o 文件信息 yd[4l%G(zS lYmxd8 In8{7&iVO |l@z7R+4* ;*hVAxs1 QQ:2987619807 0"Zxbgu)
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