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摘要 D~ {)\;w^! 0r@rXwz 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |)lo<}{ :Rq D0>1  oNdO@i%.q4 ' ZB%McS 设计任务 nQgn^z# 1 |%$ie  ^.4<#Qs u|Ai<2b$ Z`f _e? 光栅特性与参数的严格分析 k82'gJ;MC=
W i|.Z/ 不同光栅周期的衍射效率 1n,JynJ F%Xq}LMd  6?`py}: /q^( uWu 考虑光栅周期的选择 6ZM<M7(V 9f V 57  zL{KK 9Or 偏振相关衍射特性 U- Iwda8v $L&*0$[]Q
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B^Oh L!*tI 偏振相关衍射特性 {4I sz-P
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 'J\%JAR@ abF_i# 偏振相关衍射特性 4A Sc`w*0 ND`~|6yb  rUuM__;d
LPXwfEHOm 基于参数优化的光栅设计 ;^xku%u 3}vlj:L 具有固定周期的二维参数优化 4f>Vg$4
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 c1Hv^* Y 二维参数优化 - 设计＃1 AvwX 2?tc P--#5W;^oB
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 Coyop#q#"{ +yYz ;, \ 制造公差分析 - 设计＃2 l^SKd E 0* 81PS
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