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摘要 O9OD[VZk &7* |rshZ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m&/{iCwp S,Q!Xb@ C"bG?Mb mG4myQ?$ 设计任务 (.Hiee43 &$yC+cf juQ&v>9W) ( ONn{12Q .`Ey'T_ 光栅特性与参数的严格分析 i
oX [g `N$:QWJ 不同光栅周期的衍射效率 C?@vBM} yl|?+ )N[9r{3 6?y<F4
考虑光栅周期的选择 C/Vs+aW
n 2e_ssBbb Il(p!l<Xz# 偏振相关衍射特性 r|$@Wsb?# 40TS=evG
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偏振相关衍射特性 ~jdvxoX- _'9("m V
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[/9e 偏振相关衍射特性 K)z{R n C[f'1O7 JCoDe. *_G(*yAe( 基于参数优化的光栅设计 ]IbX< Oax*3TD 具有固定周期的二维参数优化 [J0f:&7\ Ewjzm,2
"`P/j+-rt 二维参数优化 - 设计#1 ]dzBm!u O$QtZE61
NQQ+l0txI z~[:@mGl 二维参数优化 - 设计#2 W;~ f865 (,Zy2wr=
X}T/6zk YyOPgF] M 制造公差分析 - 设计#2 +O`3eP`u 2aQR#lcv
=l6aSr 32yGIRV 不同光栅周期的三维参数优化 Jg3OMUt eqvbDva^
O@*7O~eO Cjh0 .{ 制造公差分析 >*DR>U >uVo'S.
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