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摘要 WM#!X!Vo 0K!9MDT}* 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 S$#Awen"@ *n47.(a2i  rEViw ?^KT yF:fxdpw 设计任务
D;5RcZ CR/LV]G  V$@2:@8mo u,C-U!A ,To ED 光栅特性与参数的严格分析 T|m+ULp~ 5 xiYCOy 不同光栅周期的衍射效率 6B 8! 2 a V ^2  K,R Ia0) *-n$n 考虑光栅周期的选择 (T ^aZuuS V;z?m)ur  9> |r Iw 偏振相关衍射特性 njIvVs`q ugCc& ~`
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^b%AwzHH} 偏振相关衍射特性 n"pADTaB
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g.u 偏振相关衍射特性 B!<I[fvK qjWgyhL  i{,>2KVC|
0e:aeLh 基于参数优化的光栅设计 xS.0u"[ JvG t= v 具有固定周期的二维参数优化 _E~uuFMn*R
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 bNC1[GG[ 二维参数优化 - 设计＃1 c(~M<nL0 n;MoMGnPh,
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