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摘要 7 7`` 8, -zprNQW 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 zgK;4
22$m Pow|:Lau!  658\#x8| )+?HI^-[S 设计任务 $> ;a 'f~ EVG"._I@  9-b 8`|s .M8=^,h^K Q2q| *EL 光栅特性与参数的严格分析 N. jA 8X Z^<Sj5}6 不同光栅周期的衍射效率 &T7cH>E'K^ R+s1 [Z  WI6(#8^p 'v\j.j/i 考虑光栅周期的选择 L/)B}8m\ ;:U<ce=  ANotUty;y 偏振相关衍射特性
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lO[E[c G 偏振相关衍射特性 b9y)wBC%`
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 M"B@M5KT *(icR 偏振相关衍射特性 S4)A6z$ vffH  :Z[(A"dA
$5x]%1 R 基于参数优化的光栅设计 >d97l&W Uh}+"h5 具有固定周期的二维参数优化 v[VC2D
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 %;tJQ%6-.S 二维参数优化 - 设计＃1 ).Q[!lly * .o"ZVl
 T ~h.=5 (V!0'9c 二维参数优化 - 设计＃2 QypZH"N p /eb-'m
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 H~eGgm;p 94y9W# 不同光栅周期的三维参数优化 #hy+ L
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