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摘要 o8:9Y js PtQ[({d3R 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /,~]1&?}1 v]@ XyF\j8  <f}:YDY' ;s$4/b/~ 设计任务 )O*h79t^Q n4{?Odrf  0#Us * :[6 G2n. NW#d4 h J%$Te 光栅特性与参数的严格分析 P5G0fq 7 Av n-Ug 不同光栅周期的衍射效率 EGv]K| IY!.j5q8  8f~*T /8:e|
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