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摘要 b#{[Pk,w9 $n9Bp'< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Z/[ww8b. ]=T-Cv=t @xPWR=Lb HF]|>1WV[ 设计任务 (GDW9: ZuVucP>>_d ;=E!xfp5U t8upS
u| ~{gV`nm=J 光栅特性与参数的严格分析 D eM/B5qw xe!6Pgcb 不同光栅周期的衍射效率 C:@JLZB ,7w[r<7 4lpkq t73" d#+ 考虑光栅周期的选择 G[z4 $0f <gbm
1iEe "1%YtV5R{ 偏振相关衍射特性 pv ;ZR s^Rig[
?'r=>'6D 1wM~),B8 偏振相关衍射特性 ya0D50m }2~$"L,_
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& 6 q[MZSg 偏振相关衍射特性 k_hs g6Ur. Dt\rMSjZ9 uQ'Izdm YVS~|4hu?i 基于参数优化的光栅设计 Ym5ji$!2 f{eMh47 NC 具有固定周期的二维参数优化 `hE@S |4 /r@~"Rx '
B~t[Gy 二维参数优化 - 设计#1 d\A!5/LG ;<)<4N"
EHqcQx`K_ s2ixiv= 二维参数优化 - 设计#2 Cqc5jx0) '\I!RAZ
f15f)P q}0xQjpo 制造公差分析 - 设计#2 K \_JG$(9 UUaC@Rs2
uKE?VNC] =UMqa;\K 不同光栅周期的三维参数优化 # 8fq6z|JZ WXX)_L$2
7\nR'MOZ |;k@Zlvc 制造公差分析 T99\R% T.x"a$AU
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