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摘要 'cZN{ZMWG 8AFczeg[[ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 kyw/LE3$- s Kicn5 < B g8,; I~*
? d 设计任务 .3qu9eP KP"%Rm`XN 3.Gj4/f zDOKShG ~g;
光栅特性与参数的严格分析 JC?N_kP%W UL@9W6 不同光栅周期的衍射效率 <W)u{KS#TY Q%S9fq,q wBk@F5\< nR;D#"p% 考虑光栅周期的选择 ]bdFr/!'S+ >ezi3Zx^ _Xcn
N:Rt 偏振相关衍射特性 .4y>QN#VL &BE
g M\<w#wZ lK7m=[j 偏振相关衍射特性 sJx+8
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?rJ }R4c eJCjJ) 偏振相关衍射特性 {LzH&qu B@YyQ' Fm_y&7._ UaG1c%7?X 基于参数优化的光栅设计 %(/!ljh_ F^$led1/F 具有固定周期的二维参数优化 Ter:sge7 yF._*9Q3hK Os%n{_#8 二维参数优化 - 设计#1 e-hjC6Q U T'-FV `?(Bt|<> 2S3lsp5! 二维参数优化 - 设计#2 >ydRSr^ #EGA#SKoq T\s)le RC#C\S6 制造公差分析 - 设计#2 :wqC8&V
6M.;@t,Y I&|f'pn^< zQ6p+R7D 不同光栅周期的三维参数优化 [k$*4u> T^<>Xiam ^rl"rEA Q:C$&-$ 制造公差分析 o\otgyoh wXjFLg!g? =,!\~`^ cXMhq<GkAA 走进VirtualLab Fusion rx"s!y{!- b
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