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摘要 6w=`0r3hy W=#AfPi$& 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Khb Ku0Z g)5mr:\ CLTkyS)C hrm<!uKn 设计任务 /O5&)%N 9O- 2 !~&&&85 o{6q>Jm ?=ffv]v| 光栅特性与参数的严格分析 ?G5,}% {#:31)P 不同光栅周期的衍射效率 {zWR)o .= vQ
L$.A3> 8PzGUn;\ a}uYv: 考虑光栅周期的选择 {#ynN`tLyF @)BO`;*$fF W|D
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z)S6f79`Q PJcfiRa'jQ 偏振相关衍射特性 1$8@CT^m <:V~_j6P0
J*[@M*R;& F~8'3!<9 偏振相关衍射特性 =C2sl;7~* 'w27Lt'V :{2~s o]~\u{o#. 基于参数优化的光栅设计 kDE-GX"Y |DV?5>> 具有固定周期的二维参数优化 fO$){(]^ :{#O
#n'.a1R 二维参数优化 - 设计#1 ov,|`FdU^T 0muC4
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F)(^c X>Vc4n<} 制造公差分析 - 设计#2 R7/S SuG6\ vY-CXWC7
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