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摘要 I4D<WoU;dJ (Z-l/)Q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~HmxEk9 T'1gy} PZ,z15PG] 6Cc7ejt|u 设计任务 |nY~ZVTt/ mp\%M
1< Y"!uU.=xJ 4o5i ."l J`oTes, 光栅特性与参数的严格分析 i- lKdpv [X/(D9J 不同光栅周期的衍射效率 {QQl$ys/ 6GINmkA vM4<d> .Yx_:h=u 考虑光栅周期的选择 J%Mnjk^_\S HY)ESU
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6. uLV BM]Qj 基于参数优化的光栅设计 };S0 G! n29(!10Px 具有固定周期的二维参数优化 #a,9B-X kMxjS^fr
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