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摘要 :O'C:n<g c."bTq4tJ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F'>GN}n ~r>EF!U`h #S53u?JV8 ,;cel^.b 设计任务 ]Z$TzT&@% ,+\4
'` h%1~v$W` `gt&Y- >1a\%G 光栅特性与参数的严格分析 [Zt#
c C+ I*:qGr+ WJ 不同光栅周期的衍射效率 I`"-$99|t1 <nw<v9Z Q@e*$<3 .YjrV+om1 考虑光栅周期的选择 8yE%X!E GcZM+ c }c35FM, 偏振相关衍射特性 a81!~1A S)\JWXi~:J
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/sEec 偏振相关衍射特性 4V228>9w H]tSb//qc
Q/QQ:t<XUi ~@-QbkC 偏振相关衍射特性 Evr2|4|O~ #aitESbT ;Na8_} Avs7(-L+s 基于参数优化的光栅设计 C!ZI&cD9
(XbMrPKG 具有固定周期的二维参数优化 P[rAJJN/E VD9
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/'&.aGW4% 二维参数优化 - 设计#1 bK$/,,0=X/ ^i{,z*vi
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i(M(OR/4 q3c*<n g# 制造公差分析 - 设计#2 /e.FY9 lq>*x=<
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