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摘要 rd7p$e=i /ZyMD(_J 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 DQGrXMpV0 }||u{[ CHGa_ &|x7T<,) 设计任务 M
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K| 光栅特性与参数的严格分析 wQG?)aaM x=cucZ 不同光栅周期的衍射效率 QF/ULW0G! Ba[,9l[ SMrfEmdH+ <&m50pq 考虑光栅周期的选择 OKh0m_ )7 *;@wPT (tYZq86` 偏振相关衍射特性 1
tOslP@ qFWN._R m\qeYI6, Z B>nj{W<o 偏振相关衍射特性 6FzB-], [2-n*a(q KRL.TLgq) ?Kgb-bXB 偏振相关衍射特性 l WYp :|n[z jK/S 9)7$U QY LWCFCkx% 基于参数优化的光栅设计 :EOai%i S L
5k^| 具有固定周期的二维参数优化 Zp)=l Td s|WwBT Dnd; N/9 二维参数优化 - 设计#1 ]L~NYe9 (T*$4KGV 7_\F$bp` O2 >c|=# 二维参数优化 - 设计#2 u{DEOhtI4 d1/WUKmbZ MS\vrq'_ ~yJ 2@2I 制造公差分析 - 设计#2 {A/^;X{N^ ~)f^y!PMQ bg Ux&3 zx%WV@O9 不同光栅周期的三维参数优化 ['o ueOg Mw0>p5+ cy *,JE[M 4fsd5# 制造公差分析 ketp9}u G$f%]A1 3q'AgiW ;~<To9O 走进VirtualLab Fusion ?5EH/yV; e%[*NX/ *:yG)J 3F /:F^*] VirtualLab Fusion 工作流程 ol"|?*3q w*6b%h%ww uj6'T Sl E<\$3G-do VirtualLab Fusion技术 i3,.E]/wX@ ~bZ=]i 1x|3|snz) 文件信息 o=YOn&@% {[2o 5z_d$.CIc 8)0]cX @N4~|`?U QQ:2987619807 cR3d&/_,U
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