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摘要 ]NyN@9u@( &>xz 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `d}t?qWS;F s=>^ 8[0O sQmJ3 (:HO ,*.qa0E#W 设计任务 L0;XzZS #Q"04'g 4YgO1}%G 3vHkhhYQ 1 T}jK^" 光栅特性与参数的严格分析 8[H bg [0!*<%BgK' 不同光栅周期的衍射效率 :7?n)=Tx ,B#*<_?E5 X#o<)) }ag;yf; 考虑光栅周期的选择 9\VV++}s>o Oe21noL .cz7jD
偏振相关衍射特性 n )PqA* :W#?U yo
kkIG{Bw %6la@i 偏振相关衍射特性 OkMAqS N%S|Ey@f
{^?:- #~h >FS}{O2c 偏振相关衍射特性 @<yY Mo7 m^ /s}WEqp dKY#Tl] 7NkMr8[}F 基于参数优化的光栅设计 a4mRu|x OQVo4yl" 具有固定周期的二维参数优化 :<v@xOzxx R[l~E![!j
x *a_43` 二维参数优化 - 设计#1 M5P3; ?:6w6GwAA
6,!$S2(zT U,8mYv2| 二维参数优化 - 设计#2 /m4Y87 Rm}G4Pq
MkWbPm) J&bMox 制造公差分析 - 设计#2 ==S^IBG |d,bo/:
</b_Rar Rq`5ff3, 不同光栅周期的三维参数优化 TAq[g|N-; PbfgWGr
wEw;],ur \}AJ)v*< 制造公差分析 o wwWm1@ ANfy+@
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