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摘要 '{*>hj5.8 e9~4wt 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 zjZTar1Re :NyE d<' A0k>Nb\c3 qxr&_r 设计任务 c\ *OId1{; nAC#_\ UN 4)>\Y `*!>79_2C YGmdiY:;1 光栅特性与参数的严格分析 j7 3@Yi% P&^7wud-sb 不同光栅周期的衍射效率 #E@i @'T 9>>}-;$ A)\DPLAG Bx!` UdRn 考虑光栅周期的选择 `v{X@ x 0>MI*fnY" Bb"4^EOZ, 偏振相关衍射特性 .O.R @h,$&=HY
sYI':UQe W+S; Do 偏振相关衍射特性 6+z]MT GK%ovK
gQDK?aQX \ \}/2#1=c 偏振相关衍射特性 gD=5M\ S:\hcW6 1y;zPJ<ntm wKbymmG 基于参数优化的光栅设计 e!Okc*, u.FDe2|[) 具有固定周期的二维参数优化 5/ju
it A\.*+k/B
9X` QlJ2| 二维参数优化 - 设计#1 (\>'yW{f BF!zfX?n
N+75wtLy& +eXfT*=u5 二维参数优化 - 设计#2 Acv{XnB rv%[?Ml
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MZ 制造公差分析 - 设计#2 1iDo$]TEK H12@12v
n82Q.M-H J,Ap9HJt 不同光栅周期的三维参数优化 LL
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