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摘要 yRyRH%p) [D+PDR 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _O87[F1 ]x8Y]wAU&{ $$4flfx #>_fYjT 设计任务 d!&LpODI]* LR#.xFQ+ twldwuN t W "3Dnp?gB 光栅特性与参数的严格分析 og+Vrd ?Y\WSI?i 不同光栅周期的衍射效率 Jr2>D= 6z~ [Ay Z(4/;v <CT ';v2ld 9 考虑光栅周期的选择 GpXf).a@ a>8]+@ t,XbF 偏振相关衍射特性 leizjL\P d9e~><bPJ
G;t<dJ8 5gx;Bp^_ 偏振相关衍射特性 :|I"Em3R :nnch?J_
=r`E%P: q(s0dkrj 偏振相关衍射特性 si]MQ\i+ {ByKTx& 'X&"(M ~]W
@+\l 基于参数优化的光栅设计 E'8XXV^I?P 'S
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V10$5 具有固定周期的二维参数优化 }Sh@.3* G6Wa0Z
v)K|{x 二维参数优化 - 设计#1 #z_.!E Zmk 9C@
8h}1t4k T|YMU?4 二维参数优化 - 设计#2 V*%><r Gh{9nM_\"
)r*F.m{&: tg/!=g 制造公差分析 - 设计#2 0!:%Ge_ rO1N@kd/
Iz#jR2:yn @WKJ7pt`'N 不同光栅周期的三维参数优化 9Z 6 Esj1Vv#
%3HF_DNOY= ^\VVx:] 制造公差分析 V2 ;? [zrFW
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