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摘要 WX|`1b XXcl{1Kp!@ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ata:^qI P'[3Fqe 9} M?P %^GfS@t 设计任务 lbl?k5 =BAW[%1b 94.DHZqh ""F5z,' 'UX!*5k<: 光栅特性与参数的严格分析 Y}|X|!0x ca*DZG/ 不同光栅周期的衍射效率 tKx~1- V>-e y9Q\ 4`]^@"{ O#~yKqB 考虑光栅周期的选择 dkBIx$t Tg)|or/% ][h%UrV 偏振相关衍射特性 P& -Qc })8N5C+KU
=I;ZMJR /dQl)tL 偏振相关衍射特性 QIvVcfM^ sn$9Shgh
)SRefW.v ujq=F 偏振相关衍射特性 FvXZ<(A{ l2rd9-T "ZoRZ'i >#~& -3 基于参数优化的光栅设计 A) %/[GD2 xU>WEm2 具有固定周期的二维参数优化 7#ibN! [-k
D] jzAx 二维参数优化 - 设计#1 xH(lm2kvT }`QUHIF
ag#S6E^%S )Y6 + 二维参数优化 - 设计#2 G"U9E5O w/S%YW3*
A8fOQ eH3JyzzP, 制造公差分析 - 设计#2 H*&f: |