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摘要
pER[^LH_) s:ojlmPb 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2/ejU,S <K
<|G 0Ok[`r` ='6@^6y 设计任务 ?dmwz4k0 # blh9.V&F K0Lc~n/ #g~]2x VVqpzDoXG 光栅特性与参数的严格分析 Ymm*p,` +de5y]1H,| 不同光栅周期的衍射效率 [a7S?%>Bh A>6_h1 b6g/SIae *
yGlX[ 考虑光栅周期的选择 ihD|e& Ct]? / \O)u' Bu 偏振相关衍射特性 *~^%s+b rEoOv
p1s|JI [6)vD@ 偏振相关衍射特性 M $zt;7P| x$KQ*P~q
j.:f=`xf vH@$?b3VP 偏振相关衍射特性 D0yH2[j+ |;R-q8 +1Pu29B0 7e
/Kh)5G 基于参数优化的光栅设计 0OBwe6* ~zDFL15w 具有固定周期的二维参数优化 u?KG% .jl^"{@6
LG'1^W{a 二维参数优化 - 设计#1 5Zl7crA [ 'grb@+w(
N@8tf@BT Tx(=4ALY 二维参数优化 - 设计#2 cq9d;~q Oyp)Wm;@
2>.>q9J( *2Q x69` 制造公差分析 - 设计#2 GuQ# }R`}Ey|{
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