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摘要 U'#{v7u W``e6RX- 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $MsM$]~ gr-%9=U q  h{Tn vI/" zd;xbH//)b 设计任务 &E9%8Q)r( w$t2Hd  o<!#1#n+: KztF#[64W^ (8>k_ 光栅特性与参数的严格分析 V5A7w
V3~ 9GQTe1[t4 不同光栅周期的衍射效率 ^^ ?ECnpcU h2tzv~  E3KP jK Uz62!) 考虑光栅周期的选择 v'iQLUgI _e -a>y  o= 8yp2vG 偏振相关衍射特性 4
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