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摘要 vZ[$H ;&+[W(7Sy 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4-]Do? POqRHuFq
[+;FV!M6 7>PF ~= 设计任务 bmj8WZ 9C557$nS^ -5V)q.Og ?418*tXd GOYn\N;V2 光栅特性与参数的严格分析 (
}]37 |D;_:x9 不同光栅周期的衍射效率 ).0V%}> ="3a%\ v Q-ixh l zfD)TWb 考虑光栅周期的选择 _`bS[%CJ 1DEO3p c
}<*~w; 偏振相关衍射特性 Qq'i*Mh :DZLjC
>AR Tr'B fKL'/?LD] 偏振相关衍射特性 CS~=Z>6EjA 94T}iY.
hlAR[ ] KWFyw>*) 偏振相关衍射特性 KY4d+~2 y#]}5gJ V/aQ*V{ R&6n?g6@/V 基于参数优化的光栅设计 Ms.PO{wb wrH7 pd 具有固定周期的二维参数优化 vP3K7En tO?21?AD D
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二维参数优化 - 设计#1 7<h.KZPc u$WBc\j
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^Vag1(hdq (N,nux(0k 制造公差分析 - 设计#2 E9^(0\Z
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E;9Z\?P jMK3T 不同光栅周期的三维参数优化 Hab!qWK` hZ!oRWIU%G
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