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摘要 FZtT2Z4&i Zx^R -9 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &Y1RPO41J =55V<VI }fL
] }& `.3{ 设计任务 aj]pN,g@N uLr-!T z[l_<`J$9 h>ZU67- TecWv@. 光栅特性与参数的严格分析 ce7$#
# f >OKc\m2%Q 不同光栅周期的衍射效率 TGuCIc0B{ wU-Cb<^ )!=fy'] zQoJ8i> 考虑光栅周期的选择 /$^SiE+N y=zs6HaS FTu<$`!1L 偏振相关衍射特性 Sobp;OZ5 UaBNoD
\_ MWZRMc5 r=# v@]zB 偏振相关衍射特性 K0Lc~n/ #g~]2x
[nLd> 2P !eP0b~$/^J 偏振相关衍射特性 LBIEG_/m 0s6eF+bs .&.L@CRH <7o@7r'0 基于参数优化的光栅设计 ekd;sEO f{U,kCv 具有固定周期的二维参数优化 Ict+|<f k#G+<7c<
;}'Z2gZB 二维参数优化 - 设计#1 ;ZTh(_7 g{JH5IZ~
o(D6 YGhHIziI 二维参数优化 - 设计#2 O^IS:\JX& ([]\7}+8
40$9./fe) wrVR[v>E< 制造公差分析 - 设计#2 X/H2c"!t 9#a/at]
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