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摘要 PHQ{-b?4t )^t!|*1LA 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^G}# jg. IXGW2z; 5a=nF9/ jA4PDH f+ 设计任务 L7SEswMti wn
&$C0 Y.DwtfE oJP<'l1 90Xt_$_}s 光栅特性与参数的严格分析 ]UK`?J=t2g h6g=$8E 不同光栅周期的衍射效率 "Jb3&qdU %lXbCE:[ $GQphXb$ ;LHDh_.pX 考虑光栅周期的选择 ?V#Gx>\ iPMB$SdfO M6# \na 偏振相关衍射特性 {UP'tXah zLh Fbyn(
Oc7 >S.1 -Bj.hx* 偏振相关衍射特性 <\h*Zy $np=eT)
>OT\~C V?=TVI*k 偏振相关衍射特性 Q`N18I3 dY1J<L}") 1XG$ z@NN G]b8]3^ 基于参数优化的光栅设计 iDZrK%fl !~kEtC 具有固定周期的二维参数优化 _HwpPRVP/ l$M$o(
3a'q`.L 二维参数优化 - 设计#1 5!~!j
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/M:H9Z8! t')h{2&&!2 制造公差分析 - 设计#2 2sUbiDe- sv'
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z4g+2f7h-X Fqo&3+J4 不同光栅周期的三维参数优化 0F^]A"kF 7ZQ'h3K
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