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摘要 [ )3rc}:1 X)oxNxZ[A 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [As9&]Bv5 ]H|O c?5?TJpm uN>JX/- 设计任务 A12EUr5$ A,67)li3 9gq+,g>E_ 2[|52+zhc `#HtVI 光栅特性与参数的严格分析 V=^B7a.;> F!7dGa$ 不同光栅周期的衍射效率 mi[t1cN)= Jq>rA Vu.VH([b]Q O6*2oUKqK 考虑光栅周期的选择 &1/OwTI4J $7h]A$$Fv Zt_~Zxn3 偏振相关衍射特性 m`i_O0T P:D;w2'Q
UE9RrfdN ;~D$rT 偏振相关衍射特性 Q g~cYwX 7Tb[sc'
IiU\}<O c wNJ{S+ 偏振相关衍射特性 Q,nJz*AJ Y5c,O>T5Y i<0_sxfUD 5(zdM)Y7 基于参数优化的光栅设计 9?X8H1 :@uIEvD? 具有固定周期的二维参数优化 >``sM=W at 9xi nX-x;n
r7)qr%n 二维参数优化 - 设计#1 QC,fyw\ (E;+E\E
;b{yu| GYZP?E p* 二维参数优化 - 设计#2 Hr_5N,
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'-U&S i0:1+^3^U 不同光栅周期的三维参数优化 1 | 4#CHX^De
lZAXDxhnT Rh}}8 sv 制造公差分析 5?MaKNm } ]_BH"ng}
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