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摘要 r DY q]` 3@}HdLmN| 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 zoOm[X=?3 ,oP-:q!PC  ;8g#"p*& 0{PK]qp7 设计任务 ,h]N*Z-I" _jZDSz|Y b  Ok6Y&#'P 2.&v{gq jVRd[ 光栅特性与参数的严格分析 ;lAz@jr+ F;ONo.v; 不同光栅周期的衍射效率 fV} \ u(ZS sftat  )hQNIt3o_ x el&8 ` 考虑光栅周期的选择 SsznV}{^ 3<+l.Wly  >M:5yk@ 偏振相关衍射特性 jgbw'BBu u>S&?X'a
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