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摘要 [ )3rc}:1 X)o xNxZ[A 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [As9&]Bv5 ] H| O  c ?5?TJpm uN>JX/- 设计任务 A12EUr5$ A,67)li3  9gq+,g>E_ 2[|52+zhc `#HtVI 光栅特性与参数的严格分析 V=^B7a.;> F!7dGa$ 不同光栅周期的衍射效率 mi[t1cN)= Jq>rA  Vu.VH([b]Q O6*2oUKqK 考虑光栅周期的选择 &1 /OwTI4J $7h]A$$Fv  Zt_~Zxn3 偏振相关衍射特性 m`i_O0T P:D;w2'Q
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5(zdM)Y7 基于参数优化的光栅设计 9?X8H1 :@uIEvD? 具有固定周期的二维参数优化 >``sM=W at
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