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摘要 ?IiFFfs (gutDUO; 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d8^S~7 _tnoq;X[
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oDcAjH ( d8rfet 1阶的参数优化 cw~-%%/ \%#luk@:
17ynFHMd, 4_ZH Y?VRd 结果-容差分析 6s: VQ2B|v
xZMAX}8 v -wnBdL 结果-容差分析 X/S%0AwZ x{VUl
rWuqlx# zgSv -h+f 在VirtualLab Fusion中查看 *nY$YwHB -
SCFWc DPlmrN9@= Rdy-6 VirtualLab Fusion的工作流程 [ldx_+xa:E ,Mu"r!MK •构造光栅结构 5e
c T. - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] &c81q2 - 倾斜光栅的高级配置[用例] YD;"_yH •分析光栅衍射效率 -$f$z(h - 光栅级次分析器[用例] 1F[W~@jW •使用参数优化优化光栅参数 hJoh5DIE95 •使用参数运行进行容差分析 w`>g^_xsg - 参数运行文档的用法[用例] SKSI\]Cc J/A UOInh
YM +4:P2 xbze{9n" VirtualLab Fusion技术 t[bZg9; n'<F'1SWv
e>_Il']Mb Z}r9jM 文件信息 #D8u#8Dz vb]H$@0
2NWQiSz !4fT<V( W&9X <c* QQ:2987619807 :>, m$XO
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