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摘要 o>G^)aRa 0/Q"~H?%
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 N7}Y\1-8
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 bM%c*_$F7 |ULwUi-r 在VirtualLab Fusion中查看 g;M\4 o GNv5yWQ@  4
Ii@_r> Q302!N VirtualLab Fusion的工作流程 WecJ^{g>r{ $ZQ?E^> B •构造光栅结构 8G SO] R - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 7+h*&f3> - 倾斜光栅的高级配置[用例] OR\-%JX/5 •分析光栅衍射效率 FyZ iiH4| - 光栅级次分析器[用例] =XT'D@q~W •使用参数优化优化光栅参数 A{7N#-h_ •使用参数运行进行容差分析 ^edg@fp - 参数运行文档的用法[用例] ji &*0GJQ
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 B-OuBS,fwC }PR^Dj. VirtualLab Fusion技术 rCmxv7"
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