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摘要 H=&/ Q ;T.s!B$Uu
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 t0bhXFaiE
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 !/Iq{2LX DS:>/m>) 在VirtualLab Fusion中查看 U*3A M_w I tI0x  d> %gW* -)1-~7
r VirtualLab Fusion的工作流程 < <=e9Lh ?a5h iN0 •构造光栅结构 C.J`8@a]? - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] zL:&Q< - 倾斜光栅的高级配置[用例] :}y9$p
•分析光栅衍射效率 `$s)X$W? - 光栅级次分析器[用例] &?.n2+T+
= •使用参数优化优化光栅参数 3 p/b •使用参数运行进行容差分析 D]IBB>F - 参数运行文档的用法[用例] fdlvn*H
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