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摘要 L_.B cRy )jK"\'cK
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =>Vo|LBoe
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Z7 >k wAxXK94#3 VirtualLab Fusion的工作流程 zR/d:P? <jT6|2' •构造光栅结构 R74kt36M - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ^ad
p<?q4 - 倾斜光栅的高级配置[用例] &dZ-}.
af •分析光栅衍射效率 _|xO4{X - 光栅级次分析器[用例] SIjdwr!+ZZ •使用参数优化优化光栅参数 yc2c{<Ya5 •使用参数运行进行容差分析 A1:<-TF6^p - 参数运行文档的用法[用例] 8/*q#j
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 <Brq7:n| rl9YB %P VirtualLab Fusion技术 a|`Pg 1j#
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