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摘要 $&I'o kL*0M<0 ( 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 v
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9)dfL?x8V{ UK[v6".^h 建模任务 6QQfQ, 2'0K WYM
J>vMo@ *?p|F&J 1阶的参数优化 4Ft1@ bCv {1]RC2
?)4?V\$ oA-:zz>wL 结果-容差分析 aBuoHdg; o2H1N~e#c
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Pt,ebL~ giY80!GX 在VirtualLab Fusion中查看 k"UO c= iP@6hG`: sy* y\5yJ Y-!YhWsS VirtualLab Fusion的工作流程 $D1w5o- }GwVKAjP •构造光栅结构 V<Z'(UI - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] dtStTT - 倾斜光栅的高级配置[用例] Ut@RGg+f8 •分析光栅衍射效率 (?)7)5H - 光栅级次分析器[用例] m|tC24 •使用参数优化优化光栅参数 I,@r5tKo •使用参数运行进行容差分析 ChrY"
- 参数运行文档的用法[用例] zt24qTKL #Il_J\#
$RX'(/ Z3KO90O!8 VirtualLab Fusion技术 ,U,By~s :fcM:w&
b,H[I!. % %V!iQzL1 文件信息 x+5k
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