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摘要 (gvaYKvr +QtK
"5M 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 'F5&f9A B3c
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UY^vz. 在VirtualLab Fusion中查看 DJS0;!#
|O }XX)U_x l"f.eo0@7 ^QpP' VirtualLab Fusion的工作流程 U rm&4&y vCb3Ra~L` •构造光栅结构 B~D{p t3y - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] E2Q;1Re@ - 倾斜光栅的高级配置[用例] QpBgG~h" •分析光栅衍射效率 =$X5O&E3' - 光栅级次分析器[用例] p3&/F=T;) •使用参数优化优化光栅参数 V\W?@V9g- •使用参数运行进行容差分析 ~-.}]N+([ - 参数运行文档的用法[用例] dPc*!xrq f<=<:+
MT[V1I{LV )iNMjg VirtualLab Fusion技术 n!2"pRIi yS[:C
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