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摘要 n t;m+by [C 7^r3w
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 5+0gR
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OT np^N8$i:n 在VirtualLab Fusion中查看 QD&`^(X1p ~8F k(E_  qbN
=4 Lz Kj=5'Y VirtualLab Fusion的工作流程 ./Zk`-OBT LKB$,pR~1l •构造光栅结构 'W^YM@ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] (UD@q>c - 倾斜光栅的高级配置[用例] i v38p%Zm •分析光栅衍射效率 epe)a - 光栅级次分析器[用例] l}|%5.5- •使用参数优化优化光栅参数 3AtGy'NTp •使用参数运行进行容差分析 SYJD?&C; - 参数运行文档的用法[用例] m4Qh%}9%
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