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    [分享]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-01
    摘要 =emcs%  
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    对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }(MI}o}  
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    结果-容差分析 9Ub##5$[,  
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    VirtualLab Fusion中查看 t@"i/@8x$  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 #OMFv.  
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    •构造光栅结构 NoAgZ{))  
    - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] %$Sm ei  
    - 倾斜光栅的高级配置[用例]  WPu-P  
    •分析光栅衍射效率 9'" F7>d  
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    •使用参数运行进行容差分析 :MPfCiAv  
    - 参数运行文档的用法[用例] .91@T.  
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