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摘要 Mi!ak a(U/70j 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =c[mch%E <
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[o'}R`5) GwD"j] 建模任务 %MfT5*||f ^w
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{*|$@%y! lce~6} 结果-容差分析 g.EKdvY"%H a'@?c_y;$
7"_gX A`1/g{Ha 结果-容差分析 DB1Y`l 64!V8&Ay
Ks7kaX )\0c2_w> 在VirtualLab Fusion中查看 VM
ny>g&3 rNHV 20uR? /|@ 7W#9ki1 VirtualLab Fusion的工作流程 j[1^#kE jr5x!@rb •构造光栅结构 =HvLuVc - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] +%RXV~ - 倾斜光栅的高级配置[用例] hta$k%2 •分析光栅衍射效率 7<ES&ls_ - 光栅级次分析器[用例] HaamLu •使用参数优化优化光栅参数 yYTiAvN •使用参数运行进行容差分析 ;c>Rjg&[ - 参数运行文档的用法[用例] P(r}<SM W,n0'";')
My'6yQL ?3i-wpzMp VirtualLab Fusion技术 ZGOI8M]@ mk~Lkwl
>&9Iy" $}7WJz: 文件信息 Wm ?RB0 /SD2e@x{U
dkf?lmC+M )Nq$~aAm QSy #k~ QQ:2987619807 =l3*{ ?G
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