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摘要 4YG/`P T*2C_oW 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /z."l!u6 e]+OO
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1IH[g*f Iq'O 在VirtualLab Fusion中查看 =WZ%H_oxi I@7/jUO HQVh+ ( Y)HbxFF`/ VirtualLab Fusion的工作流程 $N+6h# CDg AGy •构造光栅结构 q|#MB7e/ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] y).P=z - 倾斜光栅的高级配置[用例] ``4wX-y •分析光栅衍射效率 9/TY\?U - 光栅级次分析器[用例] Eek9|i"p •使用参数优化优化光栅参数 2wpjU&8W! •使用参数运行进行容差分析 ija:H'j - 参数运行文档的用法[用例] D5]{2z}k [,f)9v)
2hOPzv&B /)#8)"`nT VirtualLab Fusion技术 is#8R:7.: xxX/y2\
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