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摘要 %G&v@R Ye6O!,R 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 f5-={lUlIS T}TP.!0E
N-|Jj?c 19t*THgq 建模任务 Sx"I]N 1hWz%c|
9 JtG&^* 4\3t5n 1阶的参数优化 7KIQ)E'kG| Uy:.m
FM)*>ax{ 2cl~Va= 结果-容差分析 g-}sVvM 9R[','x
;p ('cwU% ZM?r1Z4 结果-容差分析 K=)R!e8 NZ5~\k
s`YuH <8 1%`:8 在VirtualLab Fusion中查看 ,gc#N QEKFuY<E+ Biy 9jIWI W!X]t)Ow VirtualLab Fusion的工作流程 ^ym{DSx ;I'/.gW;{ •构造光栅结构 >6 #\1/RP - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] !y?hn$w0 - 倾斜光栅的高级配置[用例] 88j
;7 •分析光栅衍射效率 Gf\_WNrSE+ - 光栅级次分析器[用例] du,-]fF •使用参数优化优化光栅参数 !X 8R •使用参数运行进行容差分析 `qz5rPyZ - 参数运行文档的用法[用例] eb\`)MI/ bicL%I2h
xk8p,>/ \k_3IP?o= VirtualLab Fusion技术 *Mc\7D T}[vfIJD
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