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摘要 z!;1i[|x 1NQbl+w#I 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 j]|U [u}(57DS
m%;D W14F 建模任务 *Xo]-cKL0 P 3MhU;
Yim<>. ! qy)_wM 1阶的参数优化 $$b
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#U8rO;$ xx{!3 F 结果-容差分析 J^R=dT! 0Wa}<]:^
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-( 在VirtualLab Fusion中查看 _iNq"8>2 ljl^ GFo 6T 8!xyi-+ W>-Et7&2 VirtualLab Fusion的工作流程 v8AS=sY4r F}Vr:~ •构造光栅结构 zOg7raIa - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] qC
F5~;7 - 倾斜光栅的高级配置[用例] }D+}DPL{^ •分析光栅衍射效率 CLvX!O(~ - 光栅级次分析器[用例] |5Xq0nvCe •使用参数优化优化光栅参数 >pUtwIP •使用参数运行进行容差分析 p<=$&* - 参数运行文档的用法[用例] 4pw6bK,s2\ 87hq{tTs]
=zQN[ KYzv$oK VirtualLab Fusion技术 y;/VB,4V H"A7Zo
LL:_L< 6Gf?m; 文件信息 boDt`2= x _c[B4Tw
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