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摘要 +p3 Z#KoC OCCEL9d 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Y2<dM/b/ tWm> j
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{7qA &c= =L"^.c@ 在VirtualLab Fusion中查看 ibXe"X/_ =+<d1W`>0 ~AQ>g#|% 3qtr9NI VirtualLab Fusion的工作流程 b$Ln}< [Eu]; •构造光栅结构 vIVr@1S - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] /PXioiGcs - 倾斜光栅的高级配置[用例] =h|wwQE •分析光栅衍射效率 MLV:U - 光栅级次分析器[用例] # ORO&78 •使用参数优化优化光栅参数 1* ^'\W. •使用参数运行进行容差分析 $o.Kn9\ - 参数运行文档的用法[用例] ! RPb|1Y}+ P?
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