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摘要 l2>G +t (, S2K_>kvG)~ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 +Y,>ftN !v^D}P 3Y
9 )u*IGj =?T\zLN= 建模任务 vrdlI^ .&.j?kb
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< i*v r#*kx# " 结果-容差分析 xRW~xr2h@ E#r6e+e1Q%
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V0z.w:- !HL7a]PB 在VirtualLab Fusion中查看 ;rJR+wpNa fLL_{o0T cjsQm6 jZS6f*$ VirtualLab Fusion的工作流程 $'dJ+@ Rtw^
lo •构造光栅结构 eX7Ev'(H - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Bvzl*
&? - 倾斜光栅的高级配置[用例] F"VNz^6laV •分析光栅衍射效率 4.7OX&L'G - 光栅级次分析器[用例] $q]((@i. •使用参数优化优化光栅参数 Rv
?Go2 •使用参数运行进行容差分析 MFcN.M - 参数运行文档的用法[用例] :pcKww|V G`PSb<h\oc
aiGT!2 dG}fpQ3& VirtualLab Fusion技术 7(^<Z5@ 6c>t|=Ss(
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