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摘要 B$_4ul\) R ZY=c 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 w(Z ?j%b JXK\mah
<:v+<)K b_31 \ 建模任务 pbzFzLal `I5^zi8
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X 结果-容差分析 zqeQ r<UVO$N
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H#TkIFo] /t0L%jJZ 在VirtualLab Fusion中查看 aOzIo- QH/py -+*h'zZ[<w Rd#R}yA VirtualLab Fusion的工作流程 {@InOo!4w] ]@&X*~c^Z •构造光栅结构 +F;2FD$ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] N[I@}j - 倾斜光栅的高级配置[用例] %Rk|B`ST •分析光栅衍射效率 BsQ;`2 - 光栅级次分析器[用例] GE/!$3 •使用参数优化优化光栅参数 Pd91<L •使用参数运行进行容差分析 g3tE.!a5- - 参数运行文档的用法[用例] 24jf`1XFW {D4FYr
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