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摘要 -u+@5K;^Y EHI%QT 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 b,C2(?hg ) 0NKL:u
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9j94]w2v "Y'MuV'x 在VirtualLab Fusion中查看 FZFYwU\~.L f%,Vplb 5:R$xgc ov3FKMG? VirtualLab Fusion的工作流程 }xx" T'^ Do/ •构造光栅结构 x."R_> - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 8NF93tqD6 - 倾斜光栅的高级配置[用例] q\DN8IJ •分析光栅衍射效率 -G'U\EXT - 光栅级次分析器[用例] hZZ •使用参数优化优化光栅参数 ,r5'nDV=d •使用参数运行进行容差分析 (r6'q0[ - 参数运行文档的用法[用例] ^uiQZ%; c/6
*;ehSg9 yf4I<v$y VirtualLab Fusion技术 @5RbMf{ iY,FfuE
hr@kU x ?2(52?cJ 文件信息 PEr &|H2 ~:krJ[=
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