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摘要 ~lB im$o ,SEC~)L 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 v=n'#:k R7'a/
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|A^!Zm 建模任务 z}XmRc_Ko X6_m&~}15
Q_p!;3 UsT+o 1阶的参数优化 Z<7FF}i ^Y mq<*X
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^G5BD_ lTNfTO^ 在VirtualLab Fusion中查看 `1I@tz| yc|j]? 7"L`|O?8) [Xy^M3 VirtualLab Fusion的工作流程 Q~/TqG
U $s]c'D) •构造光栅结构 RS`]>K3t - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] l=jfgsjc - 倾斜光栅的高级配置[用例] %m\dNUz4g •分析光栅衍射效率 -C9_gZ - 光栅级次分析器[用例] JN5<=x5r •使用参数优化优化光栅参数 yn;h.m [): •使用参数运行进行容差分析 .SdHFWx - 参数运行文档的用法[用例] .(!> *ka| =F>@z4[P-
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