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摘要 3mWd?!+m= 7Kx3G{5ja 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 hk"^3d ! [ @>8Qhw
5gq3 >qo ?9q{b\=l 建模任务 qIQvix$8 o{\@7'G
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F'ZLN]"{ {] -nYHGL 结果-容差分析 %j=E}J<H5* ,*.C''
[_j.pMH/P La}=Ng 结果-容差分析 Y=/3_[G M3 8,SH<
&G55<tRE &..![,)w^! 在VirtualLab Fusion中查看 hB<.u ?7:"D e Zl"h-~31 9&}qie, VirtualLab Fusion的工作流程 VIbm%b$~ O*oL(dk*8L •构造光栅结构 eU7RO - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 'dj}- Rs - 倾斜光栅的高级配置[用例] <2y~7h: •分析光栅衍射效率 t]FFGnBZ - 光栅级次分析器[用例] (FMG W
( •使用参数优化优化光栅参数 *cTN5S> •使用参数运行进行容差分析 > ^3xBI:Q - 参数运行文档的用法[用例] L~V
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Ey1 D4[5}NYU VirtualLab Fusion技术 gzzPPd,hd `Pl=%DR
>C_! }~ !0`ZK-nA6 文件信息 I?-9%4 8iM wlKpHd*
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