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摘要 M$d%p6Cv Ppt2A6W 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 N!x =eC 4)4+M
G0{H5_h b}wC|\s 建模任务 ?EpSC&S\ +|{RE.DL
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(j"( C"qU-&*v 在VirtualLab Fusion中查看 nL}5cPI FvuGup`w w[-Fm+A> %tt%`0 VirtualLab Fusion的工作流程 cx$Gic:4 %F9{EXJy •构造光栅结构 &Q=ZwC7# - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] [;oCYb$9 - 倾斜光栅的高级配置[用例] W Qzj[ •分析光栅衍射效率 qxMnp}O - 光栅级次分析器[用例] vhT_=:x •使用参数优化优化光栅参数 Y'3}G<'% •使用参数运行进行容差分析 Koln9'tB - 参数运行文档的用法[用例] %T=A{<[` O:/yAc`
w_4]xgS: !b-bP,q VirtualLab Fusion技术 =}fd6ea(o HFQR
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