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摘要 \+>b W( W%$p,^@S5 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `86b .g|pgFM?
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qxrOfsh 0loC^\f 在VirtualLab Fusion中查看 U$J]^-AS yqYX<<!V Ri3m438 v
EX <9 VirtualLab Fusion的工作流程 x
Dr^&rC ~/Ry=8 •构造光栅结构 hQ\]vp7V - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] jjbw.n+1 - 倾斜光栅的高级配置[用例] JBg>E3*N •分析光栅衍射效率 D0-e,)G}V, - 光栅级次分析器[用例] p75w^ •使用参数优化优化光栅参数 UnMDdJ\ •使用参数运行进行容差分析 C[s*Na- - 参数运行文档的用法[用例] 8q0 .yhb k |Lm;g
VEn%_9(] fU8;CZnx VirtualLab Fusion技术 ,L^L uw'7 Op0
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_1hqD EM 'nLv0.7* 文件信息 qI"mW@G~H uI%[1`2N-
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