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摘要 8/2Wq~& T}\>8EEG 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6MOwn*%5k :&5u)
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}#Up:o]A! E5gt_,j> 在VirtualLab Fusion中查看 ?b d&Av Bph(\=
W )cgNf]oy j}lne^ h VirtualLab Fusion的工作流程 Fu?_<G%Ynp GwgY{-|` •构造光栅结构 v7j/_;JE; - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 0XE6Hw - 倾斜光栅的高级配置[用例] ,X|
>d •分析光栅衍射效率 vzAY+EEx - 光栅级次分析器[用例] %N\45nYU: •使用参数优化优化光栅参数 K\}qYdPF •使用参数运行进行容差分析 0I)eYksh - 参数运行文档的用法[用例] REc90v2" fZs}u<3Q)
NxH%%>o> rf/]VAK VirtualLab Fusion技术 >]Mhkf/=) |I]G=.*E
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