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摘要 l7M![Ur Wi3St`$ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (TQhO$, UYW{AG2C
;0 No@G;z ];VJ54 建模任务 "2a&G3}t" v#WD$9QWs
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~!A*@aC VirtualLab Fusion的工作流程 HJ+I;OJ Ja(>!8H>@ •构造光栅结构 ~+r"%KnG - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 1p |}=R - 倾斜光栅的高级配置[用例] |wYOO(! •分析光栅衍射效率 ]pi8%.d - 光栅级次分析器[用例] X5`#da •使用参数优化优化光栅参数 C\WU<! •使用参数运行进行容差分析 K)!Nf.r$9 - 参数运行文档的用法[用例] 2&Hn%q) ?
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