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摘要 [#.E=s+& PbvRh~n 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 y1G Vn o :
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1 oP VirtualLab Fusion的工作流程 EhL
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t~D( •构造光栅结构 S{'/=Px+ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] q1}HsTnBH - 倾斜光栅的高级配置[用例] <ZGEmQ •分析光栅衍射效率 `@1y|j:m - 光栅级次分析器[用例] J/X{
Y2f •使用参数优化优化光栅参数 W/q-^Zkt,9 •使用参数运行进行容差分析 pESlBQ7{I - 参数运行文档的用法[用例] t[* ;v ky>0
?0
93'lA mO<sw VirtualLab Fusion技术 ]wFKXZeK Z^5j.d{e$
s3@sX_2 C%_^0#8-0 文件信息 RP 'VEJ 3
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aL}i(P1 e&%m[:W:< ,S[,F0"% QQ:2987619807 DID&fj9m
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