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摘要 (iub \` A[lbBR 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }
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`o~dQb/k+ zbQ-l1E 建模任务 -*xm<R], 7|4t;F!
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e$HN/O #oBM A 结果-容差分析 W/03L, 1 =!}n .
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lmmB =F Vl=!^T}l+ 在VirtualLab Fusion中查看 mocR_3=Q? Wp2b*B=- zxN,ys BET3tiHV VirtualLab Fusion的工作流程 Dn{
hU$* V>"nAh]}. •构造光栅结构 kb"g - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] VI83 3 - 倾斜光栅的高级配置[用例] n-X;JYQW •分析光栅衍射效率 X|o;*J]( - 光栅级次分析器[用例] 5]C}044 •使用参数优化优化光栅参数 <{$0mUn;s| •使用参数运行进行容差分析 {+D
6o - 参数运行文档的用法[用例] )6K Q"* ]/byz_7]
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