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摘要 RM,'o[% sKd)BA0` 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pds*2p)2 )b92yP{
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~ziexZ=N e+@xsn3 在VirtualLab Fusion中查看 \Y e%o}.{ 4SR(->@ J3=BE2L $<OhGk- VirtualLab Fusion的工作流程 GNU;jSh5 m7m
\`; •构造光栅结构 E[?kGR[ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] )gXTRkmw - 倾斜光栅的高级配置[用例] XLb0
9; •分析光栅衍射效率 <%K UdkzEP - 光栅级次分析器[用例] _z8;lt •使用参数优化优化光栅参数 ~`R1sSr" •使用参数运行进行容差分析 ~@P )tl> - 参数运行文档的用法[用例] wmYvD< Qra> }e%*
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