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摘要 He}"e&K Z>ztFU 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 FdS'0#$ (iY2d_FQ[
OA&r8WK3 }}4uLGu) 建模任务 rh6 e 4+F@BxpB
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8n/[oDc] +Q+!# 在VirtualLab Fusion中查看 /F}dC/W ^'4I%L" FES0lw{G# { &pBy VirtualLab Fusion的工作流程 /n3S E0Y WWv.kglz •构造光栅结构 __)"-\w-_( - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] rz5@E - 倾斜光栅的高级配置[用例] Mqm9i •分析光栅衍射效率 .zvvk - 光栅级次分析器[用例] Q,R|VI6Co •使用参数优化优化光栅参数 E=qfI>2U& •使用参数运行进行容差分析 2o~UA\:+= - 参数运行文档的用法[用例] /cx
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ZW:q +(oExp(! VirtualLab Fusion技术 }XRRM:B|)( QX+&[G!DZH
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