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摘要 %5@>
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 av:%wJUl,$
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R!Aw. uigzf^6, VirtualLab Fusion的工作流程 n,_9Eh#WD o? K>ji! •构造光栅结构 .SSPJY(
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] .G"T;w 6d - 倾斜光栅的高级配置[用例] oU*e=uehj •分析光栅衍射效率 ?g 0dr?H - 光栅级次分析器[用例] -Y N ( j \ •使用参数优化优化光栅参数 7; ?7q •使用参数运行进行容差分析 2^U?Ztth6 - 参数运行文档的用法[用例] %?8.UW\m
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