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摘要 |K%}}g[<e; ITONpg[f 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 5^yG2&># T?>E{1pS
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H'EY)s Hi j&WL*XP&5 VirtualLab Fusion一瞥 [(|^O>k8c 3[r";Wt#
ACb/ITu lyyX<=E{) VirtualLab Fusion中的工作流程 FPF6H puV
O}C)~GU 构建光栅结构 %(`#A.yaE −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ]*3:DU −倾斜光栅高级设定[用例] 4O(@'#LLz •光栅衍射效率分析 =NZ[${7mq −光栅阶序分析器[用例] \5~;MI.Sq •使用参数优化进行光栅参数优化 t,h{+lYU •使用参数运行的容差分析 /Wu |)tx Iq^if> b#/i.!:a ^O)ve^P VirtualLab Fusion技术 %&+TbDE+T -f?A h
JO=1ivZl MS*G-C 文件信息 >&WhQhZ3kg *P!s{i
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