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摘要 39F
Of :HxA`@Ok 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pCpb;<JG v4miU;|\
(R~]|?:wt 9mc!bj^811 设计任务 0Z<I%<8bK {K{EOB_u
Lj\/Ji_ <!$:8ls 1级参数优化 t%zpNd2lk _sE#)@p
O|A_PyW ]9=h%5Ji> 结果-容差分析 LWsP ya $P7iRM]
YJS{i iGDLZE+? 结果-容差分析 kL7#W9 ffXyc2o
{*ZY(6^ Ogt]_ VirtualLab Fusion一瞥 qQi.?<d2"s "!>DX1rsi
j#~Jxv%n 3bqC\i^[\m VirtualLab Fusion中的工作流程 3lLMu B+ _mS!XF~`P 构建光栅结构 < _$%@4 L −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] H_!4>G@ −倾斜光栅高级设定[用例] {u!)y?}I- •光栅衍射效率分析 1Kvx1p
−光栅阶序分析器[用例] 8;y&Pb~) •使用参数优化进行光栅参数优化 &|%6|u9 •使用参数运行的容差分析 RO0>I8c1c p_ Fy>j IC{eE =z{JgD/ VirtualLab Fusion技术 6~#Ih)K PN~@
!/ y!QXj M@P1, Y 文件信息 {ng"=3+n 133I.XBU
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