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摘要 `Fa49B|`D w}No ^.I*4 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 2 w\$}' 56gpAc
?PVJeFH y6NOHPp@ 设计任务 o#3?")>| uT'_}cw
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2{;&c 9rXbv4{ 结果-容差分析 Z0&^U#] 88}+.-3t$
NbOeF7cq+ rt">xVl 结果-容差分析 RrrW0<Ed ^kZfE"iE2
f!6oW( r-L (ii6w d<* VirtualLab Fusion一瞥 =B4,H=7Spf 1=BDqSZ@9
lOIBX@K E }$M 2XF VirtualLab Fusion中的工作流程 iEx.BQ+ r~cmrLQa 构建光栅结构 P^m+SAAB −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] kwxb~~S}h( −倾斜光栅高级设定[用例] HQHFD0hv •光栅衍射效率分析 3TUW+#[Gu −光栅阶序分析器[用例] BiGB<Jr •使用参数优化进行光栅参数优化 ~\= VSwJ •使用参数运行的容差分析 $r`K4g \#4??@+Xf l`lo5:w is=sV:j: VirtualLab Fusion技术 5G .Fi21
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