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摘要 x;,H>!r"i \lVxlc0{? 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `k} &}P{w 7tgn"wK
}5Yd:%u5 设计任务 RzG<&a3B3s
[]D@"Bz 6>! ;g'k rAK}rNxI 1级参数优化 R^Wed o7N3:) I^pD=1Y] J+3PUfg>@R 结果-容差分析 ]Ma2*E!p
hfpSxL Sq,ZzMw Ij_Y+Mnl4: 结果-容差分析 H]5%"(h \vVGfG?6 +@wa?" A ^YHtJ VirtualLab Fusion一瞥 <QGf9{m v%(2l|M +~Ni7Dp] F.)b`:g VirtualLab Fusion中的工作流程 aZGX`;3 #M;Cw}pW 构建光栅结构 okx~F9 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] <S'5`-& −倾斜光栅高级设定[用例] u9Wi@sO# •光栅衍射效率分析 JTw\5j −光栅阶序分析器[用例] KUG\C\z6= •使用参数优化进行光栅参数优化 Ti`H?9t •使用参数运行的容差分析 =p 9d4smbn !BD+H/A.{ R8a4F^{* gbOd(ugH VirtualLab Fusion技术 R9X*R3nB iX0s4 $gm`}3C< N5u.V\F!z\ 文件信息 q y1$(3t$ ngM>Tzirt h$)},% e VkCv`E nlaJ QQ:2987619807 G<9UL*HU
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