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摘要 31H|?cg< K:C+/O 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 :K?iNZqWN6 H_v/}DEG
rC=f#YjR =y`-sU Hx 设计任务 VB}P Ng Gl=@>Dc%
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6="M0% xtG)^x! VirtualLab Fusion一瞥 @?(nwj~ s` 6f<*1YR
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_Jt_2o%G \3,$YlG VirtualLab Fusion中的工作流程 YN$ndqOP jqV)V> M. 构建光栅结构 yN%3w0v −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ytuWT,u −倾斜光栅高级设定[用例] 94S .9A •光栅衍射效率分析 o%y+Y;|?J −光栅阶序分析器[用例] 17?NR\Q •使用参数优化进行光栅参数优化 RI7qsm6RN •使用参数运行的容差分析 ot&j HS' ayB=|*Q" o;Hd W ]0at2 VirtualLab Fusion技术 &6=TtTp"9 qJe&jLZa
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文件信息 *rujdQf 5x93+DkO\
[M,27 eHfG;NsV/ R]V~IDs QQ:2987619807 RBMMXJj
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