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摘要 ; -3M D4G{= Y}G 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 wGB'c's* nv={.H
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设计任务 R
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z\\MLyS VirtualLab Fusion一瞥 =[P || Q5Wb)
G#csN&|, g,.iM8 VirtualLab Fusion中的工作流程 AojX)_"z p4/D%*G^` 构建光栅结构 ]WS 7l@ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] myPo&"_ x −倾斜光栅高级设定[用例] D;Z\GnD •光栅衍射效率分析 Y,+$vj:y8 −光栅阶序分析器[用例] [ [Z*n/tr •使用参数优化进行光栅参数优化 B${Q Y)t •使用参数运行的容差分析 S2`p&\Ifn zfS`@{;F`| ETmfy}V8 ^mH^cP?/ VirtualLab Fusion技术 kw!! 5U;7 VlKWWQj
1v`*%95 w|N LK 文件信息 EayZ*e] &L_(yJ~-
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