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摘要 WX$mAQDV O)NEt 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &"]Uh d5mhk[p7\J
oace!si T|dQY~n~ 设计任务 !mLQdkTE F[uy'~;@
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`X23 VirtualLab Fusion一瞥 mNS7/I\ Y
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[C 1o9c! rrBu6\D VirtualLab Fusion中的工作流程 Esh3cn4 S0?4}7`A 构建光栅结构 vpR^G`/ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] pUtd_8 −倾斜光栅高级设定[用例] 0\3mS{s •光栅衍射效率分析 j/"{tMqQp −光栅阶序分析器[用例] GCSR)i| •使用参数优化进行光栅参数优化 ?
tre) •使用参数运行的容差分析 za{z2#aJ $B6CLWB Fr{u=0 X ($a ?zJr VirtualLab Fusion技术 Pp-\#WJ ~<b/%l>h1
~&-8lD];LM a#H2H`% 文件信息 4u}"ng
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