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摘要 S| #9rCF 3P 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 FG5YZrONx >uP1k.z'I
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ekCt1^5Y G7k.YtW VirtualLab Fusion一瞥 :v%iF!+.P $xK(bc'{
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C VirtualLab Fusion中的工作流程 SN5Z@kK JpZ3T~Wrf 构建光栅结构 g+QNIM> −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] :MILOwF −倾斜光栅高级设定[用例] K_}81|= •光栅衍射效率分析 iUk#0 I −光栅阶序分析器[用例] B&sa|'0U •使用参数优化进行光栅参数优化 R_duPaWc@ •使用参数运行的容差分析 6#Bg99c fl71{jJ_ IFkU8EK&B w-5_Ru VirtualLab Fusion技术 BFPy~5W Tl
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6BObV/S Jg zvKypx 文件信息 X({R+ TL@{yJ;s
2l}3L ,a\pdEPj WZf}1.Mh* QQ:2987619807 cpQhg-LY|
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