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摘要 T0=8 U;
= aj>6q=R 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 oC"1{ybyl 3aL8GMiu
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yL ?dC"c %3ieR}:/e& VirtualLab Fusion中的工作流程 s2`:NS 2h:*lV^ 构建光栅结构 tCoT-\Q −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] x^ 0MEsR −倾斜光栅高级设定[用例] QC/%|M0 { •光栅衍射效率分析 ()Cw;N{E −光栅阶序分析器[用例] o \r6iO •使用参数优化进行光栅参数优化 ]Ak/:pu •使用参数运行的容差分析 YwYCXFQ| 3b9SyU2 Y/|wOm;| $7\! VirtualLab Fusion技术 G]DSwtB?D 86_`Z$ s
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