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摘要 Nv "R'Pps 6eE%x?# 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ";}Lf1M9 i)f3\?,,
8v@6 &ras@ EW*!_| 设计任务 ~t[ #p: P7QOlTQI
C\Q3vG H `y.jSNi 1级参数优化 JL $6Fw; &B^#?vmO
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6l&m+!i :khl}| VirtualLab Fusion一瞥 @Tb
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{<`Z VirtualLab Fusion中的工作流程 6la# 0U23 L>+g;GJ 构建光栅结构 /tRzb8` −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] _?>!Bz
m −倾斜光栅高级设定[用例] K:yS24\% •光栅衍射效率分析 l=D E|: −光栅阶序分析器[用例] c_clpMx= •使用参数优化进行光栅参数优化 QwXM<qG* •使用参数运行的容差分析 xb\(>7M6Y ANtp7ad Yf.H$L Sxf|gDC VirtualLab Fusion技术 rg+28tlDn @+~=h{jv<
I8HUH*|)n 3U<\y6/ 文件信息 8+Al+6d|! ;5^grr@,4
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