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摘要 /ig:9R 2EfF=Fm> 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x}Aw)QCh+r T`Mf]s)* hrhb!0 ^9ePfF)5 设计任务 &&VqD
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Cw VirtualLab Fusion一瞥 Hx\H $Y ~I799Xi e&qh9mlE ,i,q!M{- VirtualLab Fusion中的工作流程 &ZX{R#[L S -'fS2 构建光栅结构 pTyi!:g3W −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] YcN!T"wJ@ −倾斜光栅高级设定[用例] nYa*b=[. •光栅衍射效率分析 Wxbq)Z[V −光栅阶序分析器[用例] &_gTD •使用参数优化进行光栅参数优化 ZU9c 5/J •使用参数运行的容差分析 y:vxE8$Q NM6Teu_ Q]w&N30 *s>BG1$< VirtualLab Fusion技术 k!KDWb
!DI{:I_h( HCa l$jxLZ 文件信息 v^_mFp-}\ yGsz2T;w bgK<pi)d /2HN>{F^Y \#>T~.Y7K QQ:2987619807 fuB)qt!E
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