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摘要 4l!Yop0h hv8[_p`> 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 EKS<s82hF& {F9Qy0.*u
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]B' ^V,/4u VirtualLab Fusion一瞥 >s?;2T2"yx jqsktJw#i
Y},GZ ^zqy LmdV@gR VirtualLab Fusion中的工作流程 [_G0kiI}W" FT<* 构建光栅结构 HPCA$LD −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 4qcIoO −倾斜光栅高级设定[用例] 2Xs < 1rF •光栅衍射效率分析 [>9"RzEl −光栅阶序分析器[用例] !4cdP2^P •使用参数优化进行光栅参数优化 /2V',0 •使用参数运行的容差分析 1% %Tm" r_Yl/WW Z4zMa& $,#IPoi~X VirtualLab Fusion技术 WY~[tBi\ eV+wnE?SB5
!e"m*S.(6{ 'eY[?LJ]U 文件信息 3evfX[V# cDyC&}:f
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