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摘要 _7t|0aNo\ @[[Cs*- 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 )edU <1P 7><*
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lN=m$ J nJM9c[Ou^H 结果-容差分析 C7c|\ T -h^} jP8
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\CEnOq 04T*\G^:= VirtualLab Fusion一瞥 G-Ml+@e> sQ3ayB`
F%ylR^H> l5N\>q VirtualLab Fusion中的工作流程 19YJ`(L`x Sv^'CpQ 构建光栅结构 1rvf\ [ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $M8>SLd −倾斜光栅高级设定[用例] QVZ6;/ •光栅衍射效率分析
^F{)4 −光栅阶序分析器[用例] "< hx •使用参数优化进行光栅参数优化 NXG}0`QVT •使用参数运行的容差分析 l2KxZteXY0 >-./kI " /w0v5X7 hvv>UC/ VirtualLab Fusion技术 0z<]\a4 kAe-d
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