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摘要 X>ck.}F N3?hu} 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 F'^?s= QX 48n 7<M;I
p=]z`t 4i(?5p>f 设计任务 >d$Sh`a6 dR
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|M(0CYO &``nYI g/ 结果-容差分析 tz/NR/[ gR@,"6b3
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Hjc *WTu
03a<Cd/S VirtualLab Fusion一瞥 Gw?$.@L'I6
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>2dF^cDE-3 70yM]C^ VirtualLab Fusion中的工作流程 Kp%:\s,lO )P
#MUC 构建光栅结构 v}BXH4 &Y −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] FmC
[u −倾斜光栅高级设定[用例] TtP2>eh- •光栅衍射效率分析 W4n(6esO −光栅阶序分析器[用例] M 3c •使用参数优化进行光栅参数优化 do=s=&T •使用参数运行的容差分析 %2<u>=6byG y\c-I!6>26 5yQ\s[;o3 }+i~JK VirtualLab Fusion技术 9\KMU@Ne ~oE@y6Q
t B Kra 'uU{.bq 文件信息 lbiMB~rwI qfsu# R
w}r~Wk^dLI IhPX/P ]c\d][R N QQ:2987619807 to#N>VfD
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