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摘要 FDal;T
;-AC}jG 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 WZM HA74s':FN
*7o@HBbF p""\uG' 设计任务 %uw7sGz\ UZpQ%~/
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}9kn;rb$g bFhZSk) VirtualLab Fusion中的工作流程 iJH?Z,Tjf 2wu\.{6Zp 构建光栅结构 RN&6z"|jR −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }
m"':f −倾斜光栅高级设定[用例] CG;+Z-"X •光栅衍射效率分析 7g$*K0m` −光栅阶序分析器[用例] =h xyR; •使用参数优化进行光栅参数优化 U1 `pY:P •使用参数运行的容差分析 W_6gV +|Izjx]ZV nDcH;_<;9a zm8k,e +5- VirtualLab Fusion技术 g&{CEfw& -<L5;
_0BQnzC= |ZC'a! 文件信息 P%ThW9^vnj Y9I|s{~
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