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摘要 M`,Z#)Af 8 H"f9S=K 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "u> sS
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 GZ>% &^E #?d#s19s VirtualLab Fusion一瞥 '-~/!i+=
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 v pw&"?T |ssIUJ VirtualLab Fusion中的工作流程 *"bp}3$^^ sNpBTG@{l 构建光栅结构 .BB:7+
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "ddH7:(k<
−倾斜光栅高级设定[用例] 6 G})h!
•光栅衍射效率分析 >u[1 v
−光栅阶序分析器[用例] gd,%H @3
•使用参数优化进行光栅参数优化 a9_KQ=& CI
•使用参数运行的容差分析 9@a;1Wr/f ,^Srd 20  %YAiSSsV N jyIwo0
VirtualLab Fusion技术 %>U*A
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