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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 G`n $A/9Q  
    nyi!D   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'o}[9ZBjn  
    [HY r|T  
    1Zn8CmE V  
     YyxU/UnhG  
    建模任务 {rR(K"M  
    u*Xp%vNe  
    $4xSI"+M%  
    概述 Bz_'>6w  
    vb]kh _  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ="YGR:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0)Ephsw  
    MBg[hu%  
     :1UMA@HP  
    ecs 0iW-,  
    光线追迹仿真 )pHlWi|h  
    z5$Q"Y.D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kd^H}k  
    •单击go！ o:Kw<z,$H  
    •获得了3D光线追迹结果。 U&WEe`XM  
    Kb(11$U  
     /_l\7MeI  
    =J]WVA,GqA  
    光线追迹仿真 c$ZV vu  
    1`7zYW&L  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wUCxa>h'  
    •单击go！ K#Ck,Y"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @5nFa~*K%  
    jj[6oNKE1  
     `?Q p>t  
    d:';s~  
    场追迹仿真 r+Ki`HD%  
    `RnWh9  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /j GBQ-X  
    •单击go！ swF{}S"  
    0h@FHw2d  
    V,_m>$Mo  
     tsc `u>  
    场追迹仿真（相机探测器） }aRib{L  
    VQla.Y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 EpAgKzVpJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Vbl-Ff  
    12n:)yQy  
     u)0I$Tc"  
    N;|^C{uz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vt#;j;liG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E7A!,A&>  
    |[>@Kk4  
    k|)fl l  
     z l r !   
    场追迹仿真（电磁场探测器） *XTd9E^tXq  
     0y9 b0G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p +i 1sY  
    &|>~7(  
     5^Qa8yA>7  
    rz"$zc.)  
    文件信息 >Wr%usNxc  
    /IpCo  
     *V6| FU  
    C27:ty V  
     92DM1~ *  
    QQ：2987619807 +x"uP  
     
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