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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 UkR3}{i  
    b'>8ZIY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^c9ThV.v  
    <2  
    ?SY<~i<K-  
     }\v^+scD  
    建模任务 }wt%1v-10U  
    ZofHi c  
    v@ONo?)  
    概述 P`s(kIe  
    .")b?#K  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 EiV=RdL  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]>:^d%n,}  
    zCXqBuvu1  
     &B-[oqC?  
    [h}K$q  
    光线追迹仿真 $CtCOwKZ  
    PN F4>)  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AfWl6a?T8:  
    •单击go！ Ph7pd  
    •获得了3D光线追迹结果。 9rj('F & 1  
    }(i(Ar-  
     c]Unbm^w  
    G_oX5:J*  
    光线追迹仿真 FuP}Kec  
    KvFR8s  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }X1.Wt=?  
    •单击go！  ';lfS  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^JhFI*  
    j)D-BK&+  
     UC9{m252  
    6c\DJD  
    场追迹仿真 {*=E?oF@  
    SfI*bJo>V  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7u%a/<  
    •单击go！ _%IqjJO{=r  
    Fn,k!q  
    :4;S"p  
     wkT;a&_  
    场追迹仿真（相机探测器） ?R?Grw)`H  
    7~.ZE   
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2,AaP*,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 N_vXYaY  
    *caLN,G  
     R`He^  
    &telCg:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7z<Cu<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 KSOO?X0j  
    UD*+"~  
    k}B DA|\s  
     :HZ;Po   
    场追迹仿真（电磁场探测器） +Jw{qQR/*  
     8IWw jyRr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PRp E$`WK  
    ;:_(7|  
     9-- dRTG  
    <|JU(B  
    文件信息 ~L){O*Z  
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    QQ：2987619807 7)PJ:4IqS  
     
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