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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 lMcO2006L  
    #fk1'c2  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ].sD#~L_  
    wc-v]$DW  
    ^=8/Iw  
     .hUlI3z9  
    建模任务 ,/kZt!  
    ]wfY<Z  
    PXML1.r$Q  
    概述 VVcli*  
    K_k'#j~*?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F'CJN$6Mw/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hj{)6dBX%  
    Wf-XH|j[  
     JSID@ n<b?  
    lM#,i\8Q  
    光线追迹仿真 ,v`03?8l(  
    ` TH\0/eE  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @pH6FXVGzt  
    •单击go！ ] ^?w0A  
    •获得了3D光线追迹结果。 (?TK P 7  
    5>UQ3hWo  
     0g HV(L?  
    A%x0'?GU  
    光线追迹仿真 %dzO*/8cWo  
    M8$e MS1  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 apt$e$g  
    •单击go！ R_>.O?U4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4S4gK   
    /t! 5||G  
     5<Uh2c  
    k~3\0man  
    场追迹仿真 :{VXDT"  
    C%{2 sMJz  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (nXnP{yb  
    •单击go！ m*YfbOhs#  
    X|G[Ma?   
    IP@3R(DS%  
     8@LUL)"  
    场追迹仿真（相机探测器） `)4v Q+A>  
    +H *6:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fE_%,DJE(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =f [/Pv  
    w%..*+P  
     !m%'aQHH(  
    X Q CE`m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fD3'Ye<R  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )=`DEbT  
    qL`yaU  
    w w[|| =  
     fM|s,'Q1x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cvE)  
     !3\$XK]5ZT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [@JK|50|K  
    KUK.;gG*Z  
     4:^MSgra  
    6\jbSe  
    文件信息 .tppCy  
    r:$*pC&{  
     ngmC~l*,  
    iSR"$H{  
     -iY-rzW  
    QQ：2987619807 #5kclu%L$  
     
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