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摘要 G }U' ?p Fm4)| 5 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 L<0eIw
C!}t6
 67A g.f6-
C (}N*e1 建模任务 = jkiM_<h G!.% Qqs  `w EAU7m: 概述 ; P9cjfSn BMYvxSsm •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H,0Io •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 GDY =^r 1)hO!%
 Y|~+bKa f8S! FGiNc 光线追迹仿真 4}Dfi5 :
.^V9XN{'a •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o e,yCdPs •单击go！ +MyXIWmD •获得了3D光线追迹结果。 6D/K=- M6XpauR-
 c|<E~_ .w@ v`Yj ) 光线追迹仿真 % 9 } ?*U _p;=]#+c& •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !z2 KQ
4C •单击go！ THY=8&x) •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tO +Lf2Ni+ 36UUt!}p
 4KB>O)YNg' raJv$P 场追迹仿真 9 y?) Ga ,f}u|D 3@ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,*CP G$L •单击go！ >!W H%J OQiyAyX  ): 7mK03J
x &*2R#Ai 场追迹仿真（相机探测器） 8 DPn5E#M1 r mJ`^6V •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ";;Nc>-Y •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U# U*^# 9w dl1QS
 GD0Q`gWNe mOfTq]
@B 场追迹仿真（电磁场探测器） PnZY%+[I •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jJyS^*.X d8.A8<wUr  0+Z?9$a1
M`p[ Zq 场追迹仿真（电磁场探测器） _B7+n"t\r
{ep.So6 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r <5i K# L DmC
 dfT uU/'oZ? 文件信息 <+_WMSf;4 Yht |^ =a
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QQ：2987619807 #=,c8" O
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