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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 !Fs<r)j  
    &[N_{O|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,kl``w|1M  
    |qU~({=b  
    ~ftR:F|9  
     AOz~@i^  
    建模任务 Zcg-i:@  
    ID<[=es6  
    ]u:Ij|.'y0  
    概述 EiyHZ  
    90ov[|MkM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "{c@}~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 P0k.\8qz  
    #F6M<V'  
     "I@akM$x  
    Q!I><u  
    光线追迹仿真 Vl'rO_?t  
    9%m^^OOf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -U\s.FI.AR  
    •单击go！ ?u0qYep:  
    •获得了3D光线追迹结果。 ^b^buCYw  
    PWO5R]  
     k7(lwEgNG  
    Qv)DSl  
    光线追迹仿真 ' t^ r2N/  
     RcZ&/MY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <~u-zaN<W  
    •单击go！ +WguWLO"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8x8nQ *_  
    Fc|N6I'o  
     :4LWm<P  
    z$Qy<_l  
    场追迹仿真 ^+kymZ  
    omT^jh  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 c_aj-`BKp  
    •单击go！  sHOBT,B  
    L D%SLJ:  
    N9u {)u  
     ^S(QvoaQ  
    场追迹仿真（相机探测器） mApl;D X  
    K?yMy,9%Yw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }}oIZP\qM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 };f^*KZ=0  
    H8m[:K]_H  
     SPauno <M  
    ?.c:k;j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /4upw`35]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cqcH1aSv  
    ~b%dBn]n>  
    zXkq2\GHA  
     Ga pM~~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g\*2w @  
     Fz| r[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /PG%Y]l0b  
    |\)Y,~;P  
     ?/(*cA  
    Fw^^sB  
    文件信息  O@skd2  
    iEbW[sX[ 4  
     6t'.4SR  
    qV-1aaA  
     bzZ7L-yD  
    QQ：2987619807 Ty*+?#`  
     
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