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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 +Tp>3Jh2  
    0SWec7G  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 lA7\c#  
    / CVhvK  
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     rc]`PV  
    建模任务 Zo36jSrCL  
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    I)X33X,  
    概述 <al/>7z' O  
    n8>( m,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '>5W`lZ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 TW?A/GoXI  
    xD<:'-ri>  
     |Orp:e!  
    2AI~Jm#  
    光线追迹仿真 bIahjxd:  
    p_2-(n@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }zu?SZH  
    •单击go！ 3]}wZY0  
    •获得了3D光线追迹结果。 ^< O=<tN\  
    Mk@%Wuxg2  
     .#y.:Pb|e  
    -%^KDyZ<&  
    光线追迹仿真 v9s /!<j  
    =E''$b?Em  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !r*Ogv[  
    •单击go！ q}mQm'  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 IH1 fvW e  
    A296 f(  
     "]C$"JR  
    `-L{J0xq  
    场追迹仿真 eE/E#W8  
    *^q%b /f  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P Yp<eo\  
    •单击go！ 4:p+C-gs  
    `Al( AT(p  
    .. xg4V/  
     HqpwQ  
    场追迹仿真（相机探测器） #4e Taik  
    ~ g\GC  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9,`eYAu  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -_RMiGM?T  
    hI{M?LQd  
     -mlBr63Bj  
    ~]_g q;bG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G 'sEbw'[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fH/J8<  
    9$pQ|e0tJ  
    tz&oe  
     |lOH PA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CG(G){u&  
     L`Lro:E?kL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ny:4L{)  
    O%.c%)4Xo  
     ~a^"VQ5]ac  
    ~al4`:rRx1  
    文件信息 IOx9".  
    &cEQ6('H  
     jF}u%T)HL  
    :eIu<_,}  
     "r Bb2.  
    QQ：2987619807 z+>FKAF  
     
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