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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 {6A3?q  
    ULAAY$o@5  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {3!v<CY'  
    *qGxQ?/  
    4Yx?75/  
     gNN{WFHQX:  
    建模任务 P b2exS(  
    7pmhH%Dn$  
    A=E1S{C  
    概述 ~x`OCii  
    kcI3pmgj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2et7Vw  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "ifYy>d  
     Wu9@Ecb  
     }"%tlU!}  
    ;#cb%e3  
    光线追迹仿真 OZs^c2 W  
    xR\$2(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x.~Z9j  
    •单击go！ fD]}&xc  
    •获得了3D光线追迹结果。 8`kK)iCq  
    i\2~yXw\  
     DNC2]kS<  
    R/xeC [r  
    光线追迹仿真 n<uF9N<   
    9 }jF]P*Q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y6 &w0~?!  
    •单击go！ ; Sq_DP1W  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AWc7TW  
    :WJ[a#  
     seB ^o}  
    ab: yH ')  
    场追迹仿真 6ix8P;;}#  
    >7p?^*&7;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 g%Sl+gWdJ  
    •单击go！ #\_N-bVu  
    .B+R+2uY3  
    >/Gz*.  
     y}FTLX $  
    场追迹仿真（相机探测器） #Huvn4x  
    {'NdN+_C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JJPU!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @~qlSU&  
    4U*J{''L  
     mADq_` j  
    py6|uGN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d dkh*[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q~48lxDU  
    4siNY4i"  
    D .oX>L#:  
     #HfvY}[o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3pl/k T.\  
     RtwlPz<~S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 # y%Q{  
    <,$(,RX  
     N.vt5WP  
    $e)d!m.  
    文件信息 6sJN@dFA  
     yl0&|Ub  
     y0k*iS e  
    ^1sX22k  
     L}T:Y).  
    QQ：2987619807 1JM EniB+9  
     
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