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摘要 O)g\/uRy *g
=ey?1S 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ew>E]Ys
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gkDyWZG B 建模任务 Q/EH vb] #'} ?.m  -ea":}/ 概述 aw
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v7^ ! •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "M.\Z9BCt •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p8CDFLuV I^h^Q eBis
 .t\ #>Fe GAK!qLy 9 光线追迹仿真 sTx23RJ9 R"NR-iU •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &s.S) 'l4l •单击go！ IbFS8 *a\ •获得了3D光线追迹结果。 ZzZy2.7 .W[ 9G\
 L4bx [ ~gz_4gzb 光线追迹仿真 K0hmRR= |G^w2"D_Z •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?7 Kl)p3 •单击go！ p*F.WxB)4 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xY] Y B}n
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 7[= MgnmuC < {1'cx 场追迹仿真 0Z. bd=H : b9X?%L~ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t=
=+SHGP •单击go！ H_H3Gp luNEgCq  =ELl86=CG
-:mT8'.F - 场追迹仿真（相机探测器） WvV!F?uqZ - \ {.]KL •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 QrmiQ]d*p •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 v(5zSo >NL4& MV:
 vwA d6Tm q]}fW)r 场追迹仿真（电磁场探测器） zQpF, N<b •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <kJ,E[4` v/NkG;NWM  . d}7c!
{<f |h)r 场追迹仿真（电磁场探测器） BO6u<cu"-
[FhFeW> •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u">KE6um kkA5 pbS
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b F^La\cZ*' 文件信息 :=CRsQAn bq+ Q$#F2X
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