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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 4?&=H *H:  
    &a0%7ea`.S  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bw4b'9cK  
    brFOQU?  
    ;?cUF78#  
     VcP#/&B|  
    建模任务 F-X>| oK>z  
    csV1ki/A  
    ZLV~It&)  
    概述 g&[g?L  
    "Vh(%N`6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ks{s Q@~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ZTun{Dw{  
    ir m8z|N-  
     $?A]!Y;  
    L{=z}QO  
    光线追迹仿真 A(uN=r@O  
    <(iOzn  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #B?7{#.1  
    •单击go！ crT[;w  
    •获得了3D光线追迹结果。 x4. #_o&  
    yTEuf@  
     GZ e )QH  
    cD>o(#x]  
    光线追迹仿真 9xz`V1mIL  
    v ipmzg(S  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  [ ~E}x  
    •单击go！ F,W(H@ ~x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9W8Dp?:  
    ?-VN+ d7  
     ff0B*0  
    -Av/L>TxlI  
    场追迹仿真 $DVy$)a!u  
    tY#^3ac  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5|b/G  
    •单击go！ u>E+HxUJ  
    Grqs*V &|g  
    c1/x,1LnMf  
     >!2'|y^  
    场追迹仿真（相机探测器） Z`%;bP:  
    B^qB6:\t  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 KYQ6U.%W  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^>" ?!lv  
    n5 i}J/Sa2  
     C+k>Ajr  
    pxF!<nN1,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） yx-"YV}5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {\e}43^9N  
    G pd:k  
    okv7@8U#p  
     @|@43}M]C-  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o i?ak  
     j oG>=o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ..t=Y#  
    2V]2jxOQ  
     pGFocw  
    r3kI'I|bq  
    文件信息 5Zov< +kE  
    Wama>dy%  
     c1^3lgPv  
    Yem\`; *  
     pIXQ/(h31  
    QQ：2987619807 oW_WW$+N  
     
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