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摘要 Y>i
Qp/k: _P_R`A)" 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 K?S5C8
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 '8^>Z.~V
sVS),9\} 建模任务 > W^"*B AhV V  ;|vn;s/ 概述 ]D >\Z(b 0$R}_Ok •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9Kc;]2m •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Xj 6 ?,J AbMf8$$3SH
 ti ic>j\D !5zj+N 光线追迹仿真 v00w
GOpW x]"N :t •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $.Qq:(O:6 •单击go！ 7@!ne&8Z? •获得了3D光线追迹结果。 ;3O=lo:$~ .gwT?O,
 r[&/* ~xL >@|XY< 光线追迹仿真 w2] ]##J KupQtT< •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 yMe; •单击go！ mm`yu$9gbP •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x1 .yi- fXx !_Z
 G8 CM Q[% +y. 场追迹仿真 s+ ] 6X*) /80RO:'7 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sTzt •单击go！ K1|xatx1V 6 8a  yex0rnQ|
[G} l; 场追迹仿真（相机探测器） 0(az 80
p -* piC( •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8CGj I?j •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }Lb[`H,}A 2 u^/y l
 /: }"Z b ty)~]!tA 场追迹仿真（电磁场探测器） mT#ebeBaf •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e_t""h4D
\oV g(J&o  A}(Q^|6
p V`) 场追迹仿真（电磁场探测器） .h ytn`+9
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 Ab)X/g-I @ 8\_ YP3 文件信息 ]c$)0O\O kmF@u@5M
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