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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 z.!N|"4yr  
    `X}:(O^GO  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 L"NHr~  
    <"J]u@|  
    :t{~Mi=T  
     [YfoQ1  
    建模任务 w{6C4~0  
    67YC;J]n=z  
    ksOGCd^G7  
    概述 Y8\P"q b  
    4 "HX1qP  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @)?]u U"L  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 { K]5[bMT  
    NEIkG>\7q  
     >s f g`4  
    &$F<]]&  
    光线追迹仿真 FM >ae-L-  
    r8J7zTD&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LdV&G/G-#D  
    •单击go！ yZ|"qP1  
    •获得了3D光线追迹结果。 T)rE#"_]{  
    $/++afi m  
     DAB9-[y+  
    s9;6&{@%wO  
    光线追迹仿真 En?V\|,  
    !Qe ;oMqy}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l%0bF9\  
    •单击go！ ff\~`n~WZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t'rN7.d  
    d,b4q&^X8  
     RZm%4_p4s  
    ,Of^xER`  
    场追迹仿真 G@[8P?M=Z  
    6Dlm. ~G  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f"QiVJq  
    •单击go！ qN)y-N.LI(  
    IOcQI:4.`  
    d(T4Kd$r  
     %9J@##+  
    场追迹仿真（相机探测器） BBB@M  
    $ J`O-"M  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MzJCiX^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 G*fo9eu5$  
    GM%+yS}(P  
     hmO2s/~  
    mgq!)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }}AIpYp,P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /BL:"t@-  
    k$w~JO!s  
    .Pc>1#z&[  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） 2$JGhgDI  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,ks2&e  
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    文件信息 Z2% HQL2  
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    QQ：2987619807 mmAm@/  
     
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