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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 HVC\(h,)i  
    M]6=Rxq1:E  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 87*R#((  
    Tp9LBF  
    / {A]('t  
     AKS(WNGEp  
    建模任务 (V |P6C  
    6/GhQ/T%D  
    8x+K4B"oe  
    概述 oXGf#>keg  
    6z/8n f +u  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~>C!l k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #M_QSD}&  
    oiklRf  
     ^tpy8TQ  
    bjR&bIA:  
    光线追迹仿真 -,Q<*)q{  
    I{M2nQi  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F9d][ P@@  
    •单击go！ $i =-A  
    •获得了3D光线追迹结果。 E fqa*,k  
    D-[0^  
     d`^@/1tO  
    0w OgQ n  
    光线追迹仿真 hR. EZ|.  
    L:'Y#VI{  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 AjZT- Q0L  
    •单击go！ |Q7Ch]G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Z-:$)0f  
    ~L?p/3m   
     L*FnFRhU  
    (L~3nN;rr  
    场追迹仿真 \Ud2]^D=  
    y_J{+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Jq.26I=  
    •单击go！ S:DB%V3  
    dAga(<K  
    N["(ZSS   
     =lVfrna  
    场追迹仿真（相机探测器） m@jOIt!<  
    y*zZ }>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b5yb~;0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 q.MM|;_u`  
    !lHsJ)t  
     9WBDSx_(Q  
    `5x,N%9{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dLjT^ 9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !WDdq_n*v  
    c5Offnq'1  
    K5k,47"  
     B{zIW'Ld  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q>||HtF$A  
     c-gaK\u}j}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wlt shZo  
    9#_49euy|P  
     \)r#?qn4z;  
    L9G=+T9  
    文件信息 Xf#uK\f  
    .%D] z{''  
     sYXVSNonm  
    iPE-j#|  
     S$V'_  
    QQ：2987619807 heRQ|n.Dz)  
     
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