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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 v^Fu/Y  
    *sB'D+-/  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @gf <%>  
    b%"/8rK  
    IDqUiN  
     Iix:Y}  
    建模任务 x5smJ__/  
    .=G3wox3  
    Qh Rj*,  
    概述 +8 \?7,FY  
    ^{0*?,-x  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U1/ww-!Z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'x? |tKzd  
    d!Y%7LmSE@  
     3d1xL+  
    Zm++5b`W/[  
    光线追迹仿真 l& sEdEA  
    &"T7KXx  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 GyxLzrp  
    •单击go！ O tQ]\:p7  
    •获得了3D光线追迹结果。 o>d0R w4h  
    QKvaTy#  
     %t1Z!xv_  
    BonjK#  
    光线追迹仿真 UL&>]aQ  
     vmfFR  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?;5/"/i  
    •单击go！ }7{( o-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :nqDX  
    g}hNsU=$5~  
     =Y!.0)t;*  
    i88`W&tI{  
    场追迹仿真 YbWz!.WPe  
    ~mah.8G  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |na9I6  
    •单击go！ 4 8 J{Y3F  
    {IBbN05 ;  
    O)&ME  
     asp\4-?$o  
    场追迹仿真（相机探测器） 6fBA #Kb  
    F`,bFQ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7OXRR)]V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3]'h(C  
    6wq%4RI0  
     vKdS1Dn1  
    i^ILo,Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P&Xy6@%[Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m%"=sX7/9  
    #%OS=.V  
    } MP_  
     g}9heR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 94*MRn1E  
     k!+v*+R+V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N5cC!K  
    aGE} EK}  
     c1*^ \   
    n36@&q+B&  
    文件信息 [,~;n@jz  
    9 v ,y  
     *8%uXkMm  
    <FZ*'F*M  
     i#4E*B_-  
    QQ：2987619807 a~-k} G5  
     
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