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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `a%MD>R_Lg  
    >%ovL8F  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _ 6SAU8M,  
    QC?~$>h!?  
    n y cn  
     cNbUr  
    建模任务 r'`7}@H*  
    2Rt6)hgY  
    P)kJ[Zv>f  
    概述 ^v `naA(  
    sH.=Faos  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hrm<!uKn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Vr|e(e.%  
    W6Mq:?+D  
     !~&& &85  
    o{6q>Jm  
    光线追迹仿真 ~o>Gm>5!HH  
    m<49<O6o  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  vTgx7gP  
    •单击go！ @0 'U p  
    •获得了3D光线追迹结果。 _1NK9dp:  
    xbBqR _ H_  
     J\Hv42  
    i!zFW-*5  
    光线追迹仿真 |{&M#qXe  
    >{N}UNZ$}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 FpiTQC7d  
    •单击go！ d=n@#|3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @AF<Xp{  
    \n t~K}a  
     (-g*U#   
    i84!x%|P  
    场追迹仿真 e{7\pQK  
    +Q[uq!<VJk  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 UrHndnqM  
    •单击go！ 4 s ax  
    0:`|T jf_  
    %uN<^`JZ  
     d)e mTXB(  
    场追迹仿真（相机探测器） 00.x*v  
    ."H;bfcL_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  ]'`E  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6q\*{_CPB  
    @uH!n~QV  
     [Q0V5P~Q'  
    a8f#q]TyQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X3\PVsH$K  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "~5cz0 H3v  
    H.m]Dm,z  
    J7* o%W*V  
      <@<bX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `R$i|,9 )  
     a(|6)w-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7-``J#9=  
    \y5lYb,*c_  
     l[Z o,4*  
    @QQ%09*  
    文件信息 J(l\VvK  
    c1"wS*u  
     b2OwLt9  
    $ ]s^M=8  
     "5&"Ij,/  
    QQ：2987619807 @"@|O>KJ  
     
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