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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 l9$"zEC  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~w$ ^`e!]  
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    建模任务 6.QzT(  
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    概述 *f+DV[DF  
    +C[%^G-:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $%3%&+z$I  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 e:WKb9nT  
    &B ^LaRg  
     J?bx<$C@  
    E$E #c8I:  
    光线追迹仿真 )ocr.wU@  
    /.[78:G\,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7a<:\F}E0  
    •单击go！ ^9?IS<N0]  
    •获得了3D光线追迹结果。 e[L%M:e9U  
    `9p;LZC1K  
     *#CUZJN\  
    T [2l32  
    光线追迹仿真 C.9l${QU  
    t\\`#gc9~i  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &qae+p?  
    •单击go！ 7,Q>>%/0P  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xEqr3(  
    05o 1  
     `-82u :"  
    Z(a,$__  
    场追迹仿真 j.7BoV  
    3etW4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9g`o+U{  
    •单击go！ nK9?|@S*'  
    5X,|Pn  
    Ex$i8fO(  
     aqN6.t  
    场追迹仿真（相机探测器） WBY_%RTx  
    EHX/XM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YS+|n%?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xg_9#  
    JY6^pC}*  
     jkfc=O6^  
    &O.lIj#F R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xh9Os <  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QL`Hb p  
    *t,1(Gw|7q  
    Al pk5o5B  
     K+ @R [  
    场追迹仿真（电磁场探测器） BDz 7$k]  
     gX!-s*{E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wOs t).  
    )>U7+ Me  
     Dt=@OZW  
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    文件信息 )@[##F2  
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    QQ：2987619807 sA!$}W  
     
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