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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 G2$<Q+UYs?  
    ^C=dq(i=[  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "D\>oFu  
    O]4v\~@-j  
    r` B(ucE  
     sX@}4[)<&  
    建模任务 RWg'W,v=!  
    ?rm3Iac0S  
    ( ]E0fjk  
    概述 /0Jf/-}ovn  
    g6 H}a  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &\>=4)HB;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zq6)jHfq.  
    gt(^9t;  
     T,a71"c  
    XE>w&  
    光线追迹仿真 <x8I<K  
    DsB30  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^B_SAZ&%%  
    •单击go！ +\doF  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?gsPHPUS  
    vfd<qdi3p(  
     oE.Ckz~*d  
    ;J@U){R  
    光线追迹仿真 A"B#t"  
    ;A G&QdTMh  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2tb+3K1  
    •单击go！ T@Bu Fr`]<  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 sYq:2Wn>8Q  
    r6eZ-V`4  
     D6dliU?k  
    M }! qH.W  
    场追迹仿真 y7t'I.E[+  
    \#h{bnx  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %[4u #G`  
    •单击go！ ?8do4gT+1  
    ]xkh"j+W  
    F pT$D  
     28LBvJVq@  
    场追迹仿真（相机探测器） ;reBJk  
    HUAbq }  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ih|;H:"^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YV8PybThc  
    \@Gcx}Y8h  
     o}&{Y2!x  
    }rvX}   
    场追迹仿真（电磁场探测器） W ]$/qyc&J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qSDn0^y  
    S"VO@)d  
    **\?-*c=U  
     !F:mD ZeY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） m*L5xxc!  
     =van<l4b#n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !{4'=+  
    Rt5,/Q0  
     `g_r<EY8/  
    m2H?VY .^K  
    文件信息 y^e3Gyk  
    it-]-=mqb  
     FWB *=.A9  
    ]WzeJ"r {3  
     -%0pYB  
    QQ：2987619807 YV _ 7 .+A  
     
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