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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ~+C#c,Nw  
    U[D<%7f  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !m|%4/ M@  
    ncdr/(`  
    RM+E  
     5l}h8So4  
    建模任务 *a%PA(%6  
    RGLA}|  
    \veL5  
    概述 9.=#4OH/  
    x+e _pb   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UVJ(iNK"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X8x>oV;8  
    eFI4(Y  
     ~m?~eJK#a  
    e"6i >w!  
    光线追迹仿真 y21uvp'  
    i=oa"^c4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 fLoVcl  
    •单击go！ ZRm\d3x4  
    •获得了3D光线追迹结果。 g:M7/- "  
    LeyDs>! 0  
     \AzcW;03g[  
    l7!)#^`2_  
    光线追迹仿真 8!6*|!,:?n  
    OF/)-}!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9Ol_z\5  
    •单击go！ iGMONJRO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  Zwns|23n  
    UJ$:5*S=u  
     p&mtKLv  
    3rg^R"&  
    场追迹仿真 zpqNmxmF  
    a?~csP^?}  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 c.Z4f 7  
    •单击go！ mm-UQ\h  
    u g"<\"  
    a[g|APZz  
     ok2~B._+;  
    场追迹仿真（相机探测器） "@w%TcA  
    i%4k5[f.:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H<}eoU.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =>\-ma+  
    B!ibE<7,  
     '\B"g@if  
    '2$!thm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~!9Px j*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .<^Y E%  
    WcO,4:  
    \N , '+  
     oImgj4C2L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zf>^2t*\  
     6n\z53Mk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '#PqI)P  
    :;;WK~* #  
     H&Y{jqua  
    cN lY=L  
    文件信息 -Dxhq& }Y  
    ?VP!1O=J  
     S/<"RfVU#o  
    Z WRRh^  
     D#Yx,`Ui  
    QQ：2987619807 EQ63VF  
     
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