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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 (3 ,7  
    =M{&g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .&=\ *cZc  
    q89yW)XG  
    lYS4Q`z$  
     cLp9|y0r  
    建模任务 GNG.N)q#C  
    Q2|6WE  
    Q#*qPg s  
    概述 HVC|0}  
    z:n JN%Qb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O[ans_8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Pi&\GMzd  
    Kd#64NSi$A  
     b9f5  
    yYC\a7Al4  
    光线追迹仿真 #.j:P#  
    $~EY:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ht:L L#b*(  
    •单击go！ esTK4z]  
    •获得了3D光线追迹结果。 F7p`zf@O]  
    8W.-Y|[5?  
     fQU_A  
    RvW>kATb_F  
    光线追迹仿真 ^-}3 +YA  
    +c'I7bBr  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @[(%b{TE;  
    •单击go！ gn 9CZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t5p#g <$  
    k/xNqN(  
     _*(:6,8  
    w68VOymD/  
    场追迹仿真 87V XVI  
    <>1*1%m  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !hPe*pPVV)  
    •单击go！ g.EKdvY"%H  
    T/7[hj  
    7"_g X  
     6 dCqS  
    场追迹仿真（相机探测器） %8L5uMx  
    64!V8&Ay  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ks7kaX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  s@3<]  
    VM ny>g&3  
     `=foB-(zt  
    20uR?/|@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =>h~<88#5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j[1^#kE  
    jr5x!@rb  
    t#J #DyY5  
     Y)4D$9:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (aH_K07  
     2|^bDg;W+u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Urj:l  
    jZY9Lx8o  
     (3G]-  
    7~q'3 N  
    文件信息 seH#v  
    w4+bzdZ  
     whg?X&j\V  
    pRdO4?l  
     1z(y>`ZBq  
    QQ：2987619807 dQFx]p3L  
     
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