切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1327阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6519
    光币
    26744
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 %;-r->  
    e00s*LdC  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p/4}SU  
    O@7={)6qc  
    rpn&.#KS  
     7a5G,C#QQ  
    建模任务 &l;wb.%ijW  
    ~H\1dCW  
    <HMmsw  
    概述 {Ip)%uR  
    G}N T[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 } :9UI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 88~ lP7J  
    wU(N<9  
     &?(472<f**  
    5lYzgt-oP  
    光线追迹仿真 geJO#;  
    N3SB-E+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^ygh[.e,  
    •单击go！ gVU&Yl~/^  
    •获得了3D光线追迹结果。 wpS $ -  
    )sBbmct_S  
     ^h~oxZJw  
    0OF]|hH  
    光线追迹仿真 eczS(KoL4  
    W;y ,Xs  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MB3 0.V/\  
    •单击go！ b _%W*Q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J]mq|vE  
    <h[l)-86  
     A;e0h)F$-  
    /Z m5fw9  
    场追迹仿真 $,DX^I%!  
    6,:`esl  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~RIn7/A  
    •单击go！ ns;nle|m  
    C Y K W4  
    M%@ =BT  
     @ 9q/jv`  
    场追迹仿真（相机探测器） Tj_~BT  
    M-+pYv#&P  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 O({vHqN>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x39n7+j4  
    Yh 9fIRR  
     u[yUUYe  
    _?J:Z*z?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6z>Zm1h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w 7Y>B`wm?  
    Tt*n.HA  
    /m+q!yi &  
     o])2_e5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7\p<k/TS  
     N,Ys}qP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7.DAwx.HYK  
    q)E J?-  
     a eo/4  
    ;zZGV4Qc~  
    文件信息 p@x1B &Z  
    A"` (^#a  
     (y;8izp9!  
    {S;/+X,  
     AroXf#.  
    QQ：2987619807 EPMdR66  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表