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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ?z"YC&Tp  
    i@{*O@m  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &<{}8/x8(  
    H /%}R  
    vTcZ8|3e  
     b6Xi  
    建模任务 %#4 +!  
    P8]ORQ6 ZF  
    + o{*r#  
    概述 - #Jj-t_Fe  
    <|Iyt[s  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TPqvp|~2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 D?J#u;h~f  
    !3?~#e{_  
     ;r=?BbND?  
    M%;"c?g  
    光线追迹仿真 , #Ln/;  
    VK$zq5D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kpWzMd &RK  
    •单击go！  I9Om#m  
    •获得了3D光线追迹结果。 u m{e&5jk  
    .SBc5KX  
     @dl<-  
    vhNohCt  
    光线追迹仿真 s/PhXf\MN  
    z^9E;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {)uU6z {'  
    •单击go！ M0 L-u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 L3g9b53\  
    *CT.G'bQX  
     ?0m?7{  
    ac3_L$X[  
    场追迹仿真 PMsC*U,oe  
    W`5a:"Vg  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 YVJ+' A=|  
    •单击go！ .c|9..Cq=  
    ifd}]UMQ  
    [}@n*D$  
     IF^[^^v+H  
    场追迹仿真（相机探测器） q:Wq8  
    "s> >V,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M-vC>u3Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <(Tiazg  
    r /^'Xj'(  
     Qz# 3p3N?  
    9Dy)nm^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >Rr!rtc'x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {dDq*sLf  
    M;V&KG Z  
    <TL])@da  
     d`UF0T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8KZ$ F>T]>  
     $>EqH?EQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3 L*+8a  
    x}_rnf_  
     F@Pem  
    g&q^.7c}  
    文件信息 &bn*p.=G  
    kGruo5A  
     Z0{f  
    2NyUmJ42  
     %;'~%\|dZM  
    QQ：2987619807 " S ?Km  
     
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