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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `3:%F>  
    T:&+#0<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t;1NzI$^  
    D{l((t3=T  
    m&%b;%,J  
     "%]dC {  
    建模任务 ~z}au"k  
    @6!JW(,]\  
    I{PN6bn{>  
    概述 RVsNr rZ  
    / fq6-;co+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?:nZv< x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -CrZ'k;4  
    bsr y([N>w  
     7. .vaq#  
    B# fzMaC  
    光线追迹仿真 z)~!G~J]  
    3$cF)5Vf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \PONaRK|[z  
    •单击go！ u3:Qt2^S  
    •获得了3D光线追迹结果。 k#(cZ  
    `[\phv  
      o %%fO  
    w0!,1 Ry  
    光线追迹仿真 9%qMZP0]  
    Q2NnpsA^6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d/>,U7eS[+  
    •单击go！ +CT$/k  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4g9b[y~U  
    sJ/e=1*  
     2>k)=hl:  
    eeZysCy+DY  
    场追迹仿真 Y(zN  
    c1J)yv1y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 PuJ{!S\T7  
    •单击go！ !f-o,RJ  
    0gD0}nH  
    H@ms43v\  
     bl?%:qb.V  
    场追迹仿真（相机探测器） h.;CL#s  
    ?myXG92  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?ljod6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Ib8i#DV  
    EiN)TB^]  
     +[ /r^C  
    f](uc(8Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &R*5;/ !  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t1{}-JlA  
    d %W}w.  
    @a\SR'8  
     b6vYM_ Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pHB35=p28  
     JvL'gJ$70  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \_AEuz3 F  
    D(6x'</>?  
     uO(guA,C  
    V55J[s*6!  
    文件信息 c dbSv=r  
    N%A`rY}u  
     7&1~O#  
    5MY}(w  
     Cw&D}  
    QQ：2987619807 i:M*L< +  
     
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