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摘要 Ca%g_B0t =9kN_:- 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 |
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e 建模任务 &a/__c/l [D5t{[i |QV!-LK 概述 ~gz^Cdh y9#$O(G •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qb8KPpd •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2_Wg!bq 6#j$GH *
0&ByEN99 SI:U0gUc 光线追迹仿真 7iJ&6=/ JQ:Ri •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AmwWH7,g •单击go! X(jVRr_m9 •获得了3D光线追迹结果。 )
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@aQ1khEd 47r_y\U h 光线追迹仿真 jGrN\D?h .To;"D;j, •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g*w<* •单击go! FgL,k •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Jc)^49Rf 65ly2gl
;n\= R 5. r_EcMIuk 场追迹仿真 *5<Sr q' p!Eft/A( •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 A`{y9@h( •单击go! l{w#H|] ??hJEE [sW.CK=3 EBtLzbj 场追迹仿真(相机探测器) R:p62c;Tv0 @|a>&~xX •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "U.^lkN •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ~j#~\Ir 6z,& |