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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 u{*SX k  
    [3@):8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $ mI0Bk  
    }oNhl^JC  
    yfm^?G|sW  
     $5*WLG&AK  
    建模任务 a|?4 )  
    {>F7CT'G6  
    M{*Lp6h  
    概述 uh?>- ]r`  
    .<Zy|1 4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [AW" D3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FD8N"p  
    -k"^o!p  
     IhA*"  
    vo#UtN:q  
    光线追迹仿真 V?=8".GiX  
    DuOG {  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %Jrt4sg[j-  
    •单击go！ @0SC"CqM  
    •获得了3D光线追迹结果。 TqddOp  
    19j+lCSvH  
     :Cp'm'omb  
    ?'<nx{!c  
    光线追迹仿真 jb^N|zb  
    \xS&v7b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 GPGm]Gt  
    •单击go！ FG) $y[*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ANps1w#TP  
    n2fbp\I  
     /\W Qx e  
    2!$gyu6bpG  
    场追迹仿真 `^4vT3e  
    FGh] S-A  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %,k] [V  
    •单击go！ XGkkB  
    T"0,r $3:  
    j<)9dEM'  
     |e2be1LD  
    场追迹仿真（相机探测器） y})70w@ +_  
    (bh95X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4`8<   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 npNB{J[  
    6A=8+R'`F  
     4M^G`WA}t9  
    HVC >9_:]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (1NA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 44F`$.v96  
    b&5lYp"d  
    hjQ~uqbg  
     ;j)FnY=:-  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ._+J_ts  
     Y]3>7q%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {4-[r#R<M  
    b@2J]Ay E*  
     A4]s~Ur  
    w&x!,yd;  
    文件信息 Iy6$7~  
    >~Qr  
     RJ$7XCY%`*  
    fa<v0vb+  
     PtTHPAKj  
    QQ：2987619807 E]6z8juO6  
     
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