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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 XKq@]=\F  
    C=VIT*=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MB* u-N0v  
    Sue 6+p  
    2z98 3^  
     [F|+(}  
    建模任务 viuiqs5[Bi  
    Q @2(aR  
    m{&w{3pQk  
    概述 Q-R}qy5y  
    jX|=n.#q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8Z:Ezg3^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M^ 5e~y  
    K&UE0JO'  
     F^'v{@C  
    0yHjrxc$  
    光线追迹仿真 PV,"-Nv,  
    <*Y O~S(R  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 e~Hr(O+;e6  
    •单击go！ n(jjvLf  
    •获得了3D光线追迹结果。 ck$2Ue2`@w  
    ZPF7m{S  
     `{G?>z Fp  
    S+FQa7k  
    光线追迹仿真 C|6{fd4?  
    pGGV\zD^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Dq`~XS*  
    •单击go！ j@ C0af  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 u)7 ]1e{  
    pAg$oe#  
     l<2oklo5  
    g9qC{x d  
    场追迹仿真 Q>IH``1*e  
    dwp: iM  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4p x_ZD#J  
    •单击go！ E0`[G]*G  
    P Ey/k.  
    y#bK,}  
     8&T,LNZoY  
    场追迹仿真（相机探测器） M;qb7Mu  
    p1 4d ,}4W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sJ7sjrEp 1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 WFj*nS^~l  
    M@~ o6^  
     Bj&_IDs4  
    "!a`ygqpT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） A|C_np^z2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \[k% )_  
    K6(.KEW  
    1uC;$Aj6:  
     #gI&lO*\gr  
    场追迹仿真（电磁场探测器） IM$0#2\  
     WQ.i$ID/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^vn\4  
    :p&IX"Hh  
     ;ct)H* y  
    Q,n4i@E  
    文件信息 fwH`}<o  
    tO4):i1  
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    >3+FZ@.iT  
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    QQ：2987619807 '&)D>@g  
     
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