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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 S<oQ}+4[~  
    b=LF%P  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h([0,:\  
    :C%47qv  
    I'IB_YRL4  
     ?0J0Ij,  
    建模任务 0j@IxEPs  
    T-P@u-DU  
    Z=9dMND  
    概述 i$O#%12l  
    <xF?~7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 M {xie  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 t<lyg0f  
    wo(j}O-  
     G%OpO.Wf  
    /=M.-MU2  
    光线追迹仿真 4A~)b"j5  
    \Da~p9 T&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `u=<c  
    •单击go！ %HEmi;  
    •获得了3D光线追迹结果。 ? ).(fP  
    nHU3%%%cU  
     z(UX't (q  
    :yD@5)  
    光线追迹仿真 A_Gp&acs$  
    1UyH0`&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y''V"Be  
    •单击go！ jr1Se9u D  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AI fk"2  
    nO [QcOf  
     & =sayP  
    t^$Div_%G  
    场追迹仿真 rxkBg0Z`a  
    Na;t#,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =+Tsknq  
    •单击go！ Ja=N@&Z#  
    :wCC^Y]  
    ]}_,U!`8  
     =0Y'f](2eW  
    场追迹仿真（相机探测器） zf")|9j  
    .Bijc G  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1 ' %-y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A'v[SUW'm  
    5oa]dco  
     Z{16S=0  
    %>]#vQ|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <on)"{W13  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :\T_'Shq  
    %w%zv2d  
    Es,0'\m&  
     rN'k4V"K  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gU*I;s>  
     .=aMjrME  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6!o/~I#  
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    文件信息 L/%xbm~  
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    QQ：2987619807 ,P1G ?,y  
     
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