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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ~$jRn(2  
    9U4 D$M  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,v#O{ma  
    0t(2^*I?>  
    D%*Ryg  
     u\q(v D.  
    建模任务 3jx/1VV  
    TZ#^AV=ae  
    >+9:31p  
    概述 pCC3r t(  
    qs>&Xn  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8gxo{<,9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6&;h+;h  
    V<ii  
     _%wB*u,X  
    U'LPaf$O  
    光线追迹仿真 jx#9  
    }z F,dst  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b#( X+I  
    •单击go！ D]twid~OS  
    •获得了3D光线追迹结果。 &EhOSu  
    {8"Uxj_6V  
     "$.B@[iY@  
    CI1K:K AM  
    光线追迹仿真 pv,z$3Q  
    3Mq%3jX  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Zg9VkL6Z6  
    •单击go！ +`7!4gxwK!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A_Y5{6@  
    quS]26wQz  
     vDIsawbHD  
    84 <zTmm  
    场追迹仿真 *z^Au7,&  
    jN!VrRA  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L;=3n[^x  
    •单击go！ ?-'GbOr!  
    nG%<n  
    SB`xr!~A]  
     p_i',5H(  
    场追迹仿真（相机探测器） gnadx52FP  
    ?u5jX J0L  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )"J1ET,z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?e\u_3- 9  
    kDG?/j90D  
     VAp 1{  
    uANpqT}!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） qIxe)+.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oA8A @,-L  
    -EE}HUP)  
    b3ys"Vyn  
     Js(MzL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） U ]7;K>.T  
     Z= =c3~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iO"ZtkeNr  
    !+DhH2;)F  
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    文件信息 eH~T PH  
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    QQ：2987619807 `~D{]'j  
     
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