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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 c`>\R<Z ]  
    }iC~B}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y!`?q8z$G  
    W@G[ gS\T  
    6M6QMg^  
     ^Y&Cm.w  
    建模任务 0L1P'*LRU  
    NqWHR~&  
    pFK |4u  
    概述 Z 0:2x(x9  
    8x{vgx @M  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l=oVC6C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 EK'&S=]  
    e%P;Jj476  
     7m jj%  
    ~L1O\V i  
    光线追迹仿真 lVFX@I=pI  
    y((_V%F}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AWi87q  
    •单击go！ (H F,p,h_  
    •获得了3D光线追迹结果。 4"2/"D0  
    Lr^xp,_n  
     EzyIsp> _  
    @b/2'  
    光线追迹仿真 DG-vTr  
    CvW((<?  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (w- u"1&  
    •单击go！ pxbNeqK@p  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lEDHx[q  
    oL@ou{iQ  
     F:g{rm[  
    zJ:r0Bt  
    场追迹仿真 ob7_dWAG  
    VqrMi *W6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^;3rdBprm  
    •单击go！ c 2@@Rd~M  
    OW}A48X[+  
    +m.8*^  
     $iPN5@F  
    场追迹仿真（相机探测器） tb{{oxa,k  
    Fdw[CYHz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FNM"!z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =Q}mJs  
    Sg$\ab$  
     0%F.]+6[O4  
    E, fp=.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6y_Z'@L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h yKg=Foq  
    QL2y,?Mz7  
    orHD3T%&  
     Y/66`&,{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cv4M[]U~  
     \Ji2u GT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;8T=uCi  
    I 6YT|R  
     \#jDQ  
    HdUW(FZ  
    文件信息 cmU+VZ#pk  
    CD1=2  
     O`jA-t  
    T:">,* |  
     UMwMXmZNJ  
    QQ：2987619807 [Be53U{=  
     
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