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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 _#qfe  
    ,KCxNdg^#-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 IN75zn*%  
    g`C\pdX"B  
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     7,zE?KG /  
    建模任务 _2Mpzv  
    ]iMqIh"  
    wXtp(YwlH  
    概述 L{rd',  
    'Y.6sB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '&nQ~=3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  |nfMoUI  
    ,m8mh)K?0>  
     >}:  
    [{`2FR:Cd  
    光线追迹仿真 2;(+]Ad<  
    bz}-[W+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 u 7:Iv  
    •单击go！  md,KRE  
    •获得了3D光线追迹结果。 4xH/a1&p=  
    9F[_xe@  
     5+Ao.3Xn  
    Gt+rVJ=v  
    光线追迹仿真 ,OERDWW|6  
    7MGvw-Tpb7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Qj'Ik`o  
    •单击go！ )N*Jc @Y@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |s;']  
    :yRv:`r3Lt  
     oKCv$>Y  
    #IJe q0TVB  
    场追迹仿真 A$]s{`  
    jwUX?`6jX  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ]T'7+5w  
    •单击go！ a{@}vZx>3  
    4Us_Z{.  
    [(gXjt-  
     xW]65iav  
    场追迹仿真（相机探测器） 'u E;8.,  
    #wo *2 (  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x H&hs$=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Ij$C@hH  
    aZ+><1TD  
     ""Da 2Md  
    6T4I,XrY_F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~USt&?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Zazff@O *  
    loO"[8i.k  
    z~ywFk}KGd  
     _CfJKp)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |q58XwU `  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I/%v`[  
    6pSi-FH  
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    文件信息 15,JD  
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    QQ：2987619807 __2<v?\  
     
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