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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 54,er$$V  
    W)/#0*7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =wJX 0A|  
    F@t3!bj9  
    ,6/V" kqIP  
     qK+5NF|  
    建模任务  }ZI7J  
    R_KH"`q  
    s~>}a  
    概述 B~mj 8l4  
    wzA$'+Mb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 aXVFc5C\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zA 3_Lx!  
    1 zZlC#V  
     9$t( &z=  
    #E[0ys1O  
    光线追迹仿真 Xvv6~  
    F [M,]?   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |pK !S  
    •单击go！ 1oS/`)  
    •获得了3D光线追迹结果。 '91/md5  
    1\Xw3prH  
     0sqFF[i  
    oDR%\VY6T  
    光线追迹仿真 \zY!qpX<  
    9x8fhAy}4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7_L;E~\  
    •单击go！ LLo;\WGZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y73C5.dNcE  
    [GR; ?R5  
     \RiP  
    ixFi{_  
    场追迹仿真 @F eTz[  
    eDMO]5}Ht  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6<]lW  
    •单击go！ rsQtMtS2  
    |=w@H]r  
    S!UaH>Rh  
     H)?z #x  
    场追迹仿真（相机探测器） Wri<h:1  
    )UR7i8]!0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I0 -MRU~[K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZH8,K Y"  
     &HW9Jn  
     CY1Z'  
    t!XwW$@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WLT"ji0w2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (e~Nq  
    +2{Lh7Ks  
    qna8|3eP  
     NOva'qk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gJXaPJA{  
     DI>s-7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 29Ki uP  
    HtFDlvdy]  
     0S"MC9beg  
    h0$iOE  
    文件信息 $i&zex{\  
    _b 0& !l<  
     )pa]ui\t  
    w{KavU5W  
     Da|z"I x  
    QQ：2987619807 oU8q o-J1H  
     
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