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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 LHy-y%?i  
    f9`F~6$  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R 2.y=P8N  
    E]Wnl\Be  
    %~z/,[wk  
     -s ]  
    建模任务 4i<V^go"  
    ">$.>sn{  
    M{sn{  
    概述 i^Ba?r;*  
    s]=bg+v?j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 MSef2|"P#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 W PDL$y  
    Z{' .fq2A  
     1w30Vj2<  
    .nGYx  
    光线追迹仿真 c UJUZ@ol  
    4JOw@/nE  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {'(1c)q>  
    •单击go！ A4C4xts]N  
    •获得了3D光线追迹结果。 \a\J0&Z  
    ]g}Tqf/N%  
     +i %,+3#6  
    m\h. sg&  
    光线追迹仿真 :Fv d?[  
    4tZnYGvqe  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 lQ t&K1m  
    •单击go！ | .8lS3C  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fe,A\W&8  
    Y(:.f-Du  
     O-5s}RT  
    -Odk'{nW  
    场追迹仿真 \I3={ii0  
    7mUpn:U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;t^8lC?>V  
    •单击go！ .1O  
    vocXk_  
    >icL,n"]  
     a.oZ}R7'Y  
    场追迹仿真（相机探测器） QH?}uX'x)G  
    OJ2O?Te8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Glt%%TJb   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Jl,mYFEZ  
    !'ylh8}  
     e3|@H'~k  
    SI/@Bbd=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nWrkn m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k!%[W,*  
    Iy2KOv@a5  
    aa:97w~s0  
     c(]NpH in  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O{B[iy(C  
     |~6X: M61  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hH=H/L_Z  
    @R!f(\  
     4{[cXM8*j  
    _A8x{[$  
    文件信息 319 &:  
    3jH8pO^  
     z x7fRd$  
    'h?;i2[  
     P^1+;dL,D  
    QQ：2987619807 s'4S,  
     
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