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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 $IX\O  
    cn`iX(ZgR  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wTc)S6%7  
    33Az$GXFsq  
    (xpn`NA  
     C! 9}  
    建模任务 i=S~(gp  
    l \OLyQ  
    w@-M{?R  
    概述 (?0`d  
    L|j%S  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Cu;5RSr2Z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %aRT>_6"  
    !l@zT}i??  
     >ut" OL9J  
    p@ NaD=9  
    光线追迹仿真 <0P5 o|  
    b KtD"JG\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H`9Uf)  
    •单击go！ I\O\,yPhhP  
    •获得了3D光线追迹结果。 (Z] HX@"{J  
    6%G-Vs]*2  
     Mkxi~p%<r  
    p'_%aVm7  
    光线追迹仿真 I:cg}JZ>|  
    o5U(i  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zP\7S}p7%  
    •单击go！ fWnD\mx?0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \3f& 7wU  
    "R>FqX6FB  
     4GdX/6C.  
    ')Y'c  
    场追迹仿真 2_^aw[-  
    (t+;O;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %QmxA 7fW  
    •单击go！ w8S!%abl1  
    Pz*_)N}j >  
    XRx+Dddt;  
     fxaJZz$o  
    场追迹仿真（相机探测器） "TyJP[/  
    +ZMls [  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 G 2bDf-1ew  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *iBTI+"]  
    )SF}2?7e  
     d\{>TdyF  
    ,l YE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ysq'2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `]Fx.)C#  
    EP'h@zdz  
    X|f7K  
     fWfk[(M'9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [qUN4x5b  
     klg25#t  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6tHO!`}1  
    fZ04!R  
     ryF7  
    )a 9 ]US^  
    文件信息 -}O1dEn.  
    {'?)FX*W  
     Vtc36-\1*  
    ?Nf>]|K:Q  
     ]D[DU]K  
    QQ：2987619807 !tfb*@{;'  
     
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