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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 wMGk!N  
    -K"4rz  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 OB(pIzSe  
    U#bl=%bF  
    ][,4,?T7  
     z"lqrSJ:  
    建模任务 *l{yW"Su  
    oh6B3>>+  
    @:Di`B_{  
    概述 Mi ; glm  
    b/t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \i!Son.<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |g%mP1O  
    4e +~.5r@i  
     P"1 S$oc  
    .e @>   
    光线追迹仿真 QYQtMb,  
    FXV`9uq}Z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6k"P&AD  
    •单击go！ ' _dzcN,z  
    •获得了3D光线追迹结果。 w1r$='*I  
    UNDi_6Dy   
     Q.+|xwz  
    m#f{]+6U  
    光线追迹仿真 - hzjV|  
    T$KF< =  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3NIUW!gr  
    •单击go！ 2| B[tt1Z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;gMgj$mI  
    /- 4$7qd  
     *f5l=lDOB  
    e'2Y1h  
    场追迹仿真 PmR*}Aw  
    w5KPB5/zu  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u=r`t(Z1H  
    •单击go！ #`;/KNp 9  
    R^*K6Ad  
    w8iR|TV  
     at|g%$%  
    场追迹仿真（相机探测器） b.F^vv"]]  
    G^wtE90  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v>A=2i*j  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q7gY3flg  
    "&~ 0T#  
     -x`G2i  
    K93p"nHN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uj|BQ`k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kforu!C  
    in-C/m#  
    cK`"lxO  
     'b/ <x|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pS[KBQ"F  
     nZy X_J,Vd  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;WU<CKYG*  
    c+dg_*^  
     ?!VIS>C(  
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    文件信息 =~KsS }`1,  
    FG@ -bV  
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    5 BtX63  
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    QQ：2987619807 SP]IUdE\  
     
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