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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 { .*y  
    u(OW gbA3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ALEnI@0  
    Ov#=]t5  
    S.Z9$k%   
     e#,~,W.H  
    建模任务 #U*_1P0h  
    PG8^.)]M  
    ?-tVSRKQ  
    概述 dB+N\HBY  
    kPQtQh]y%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y3h/~bM%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 BW"&6t#kA  
    FSRm|  
     ATy*^sc&"  
    rJa$9B*^  
    光线追迹仿真 (ZL sB{r^  
    gORJWQv  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XxDaz1  
    •单击go！ ur vduE  
    •获得了3D光线追迹结果。 2o#,kGd  
    sHcTd>xS  
     /B5-Fx7j3  
    :K ~  
    光线追迹仿真 h(qQsxIOhS  
    $!5\E>y#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U xD5eJJ  
    •单击go！  e(NLX`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x+]!m/  
    S!PzLTc  
     w nTV|^Q  
    %+ FG,d  
    场追迹仿真 >HPdzLY?  
    H'MJ{r0,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X[2[!)Rk  
    •单击go！ 7~ztwL  
    Z_gC&7+  
    (~$/$%b  
     Qu< Bu)`  
    场追迹仿真（相机探测器） pxSX#S6I  
    8 4i_k  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v`V7OD#:j]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *WE1;msr  
    @\w,otT  
     _SACqamo5s  
    (_r EAEo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） '!P"xBVAu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &TG5rUUg  
    LkLN7|  
    ;pD)m/$h`  
     )2DQ>cm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \@}#Gez  
     Xnuzr" 4u  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p"*y58  
    @<M*qK1h  
     hI pKJ&hm  
    $T<}y_nHl  
    文件信息 aS|wpm)K>8  
    7Z UiY  
     $6F)R|  
    Dml*T(WM>  
     L:M0pk{T  
    QQ：2987619807 1Uf*^WW4  
     
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