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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 [P,1UO|$B  
    tb^3-ZUb  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 a4O!q;tu7  
    9Jaek_A`  
    !2$O^ }6"  
     w~X1Il7A  
    建模任务 cPkN)+K  
    l^WFMeMD3a  
    x}].lTjD  
    概述 kT!FC0E{  
    2U)H2 %  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'C!b($Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pX*Oc6.0mu  
    7[ *,t  
     J*A<F'^F1  
    @ 4j#X  
    光线追迹仿真 iVREkZ2SC  
    %dKUB4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >& \QLo[5  
    •单击go！ `4g m'C  
    •获得了3D光线追迹结果。 6ZR'1_i6i=  
    9=K=gfZ  
     O.  V!L  
    aB#qzrr['8  
    光线追迹仿真 CXb)k.L   
    7P.C~,+D%P  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jun>(7  
    •单击go！ Ks{^R`O au  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )1Z*kY?f!  
    q_ykB8Ensa  
     w<tr<Pu'  
    yv[ s)c}  
    场追迹仿真 vn KKK.E  
    k#w[G L|T  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,ZC^,Vq  
    •单击go！ AFF7fK  
    + i!/J  
    =k2In_  
     =ugxPgn  
    场追迹仿真（相机探测器） BOoLs(p  
    6&`.C/"2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~ubGx  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L/_OgL]YdI  
    ;%"UZ~]f  
     <9@I5 0;  
    1t WKH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +3(1QgYM%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H B_si  
    =P<gZ-Cm  
    ^^qB=N[';  
     ,)@Q,EHN;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g PU|Gv5  
     i<YatW~Pu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~B'K_#  
    k`F$aQV9`  
     S>Z V8  
    Ig-9Y;hdmn  
    文件信息 !i&^H,  
    FYFP 6ti  
     !=;^Grv>  
    )Fe-C  
     ]s ?BwLU6  
    QQ：2987619807 %K@D{ )r_^  
     
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