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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 6*{N{]`WZ)  
    TBvv(_  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +^{yJp.H#  
    n\ZDI+X  
    owJPEx  
     {{SeD:hx  
    建模任务 y!)Z ^u  
    iw12x:  
    y`!3Z} 7  
    概述 ` ` 6?;Y  
    Nq"/:3@4  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zgJ%Zr!~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0".pw; .}  
    8 U B?X  
     GNT1FR  
    Ud\Jc:DG  
    光线追迹仿真 $ GL$ iA  
    "fL:scq@0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m("! M~1  
    •单击go！ K9;pX2^z9  
    •获得了3D光线追迹结果。 h7wm xa;  
    RL[?&L$7^%  
     A|O7W|"W  
    x$cs_q]J  
    光线追迹仿真 '@3hU|jO!  
    w q% 4'(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eZ(<hE>  
    •单击go！ {]n5h#c 5*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E dhT;!  
    2fu|X#R  
     7^ A;.x  
    wyMj^+ 2m  
    场追迹仿真 [ft#zxCJ  
    x24  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 l23_K7  
    •单击go！ +FP*RNM  
    k+f!)7_  
    #Wey)DI  
     >sv|  
    场追迹仿真（相机探测器） 35%'HFt_  
    np}F [v  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L 5J=+k,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Hc ]/0:  
    ]!E|5=q  
     #(mm6dj  
    BQ2EDy=}6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ==F[5]?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `7zz&f9dDX  
    }eXzs_  
    : |#Iw  
     .3l'&".'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Xm8 1axyf  
     N 3 i ,_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /%\E2+6  
    a)$"   
     (%ra~s?  
    %3M(!X:[  
    文件信息 E)DdiB'Rh  
    <03@cs  
     ~+d?d6*c  
    //2G5F;  
     u>Z;/kr  
    QQ：2987619807 ,F`:4=H%  
     
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