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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Hn)^C{RN*{  
    bb/A}< zD  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 J(,gLl  
    ^?0WE   
    [9CBTS r  
     viS7+E|O  
    建模任务 3XjY  
    Vc|QW  
    F+Hmp\rM#  
    概述 ug`Jn&x!  
    ~|wh/]{b9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .a]av   
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Bb5RZ#oa  
    JHVesX  
     HFj@NRE6  
    &ujq6~#  
    光线追迹仿真 60 p*4>^v  
    Q@l.p-:^U  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 LCpS}L;  
    •单击go！ XlxB%  
    •获得了3D光线追迹结果。 @F5QgO J&r  
    c$%I^f}'  
     Wf$P+i*  
    H]f8W]"c[  
    光线追迹仿真 euh rEjwkH  
    `~W?a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^w}BXVn  
    •单击go！ Ria*+.k@"B  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a*@4W3;7  
    8nRxx`U\q  
     y"0! 7^  
    +@C|u'  
    场追迹仿真  A,|lDsvM  
    $k3l[@;hE  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RZKczZGZg  
    •单击go！ ^pa -2Ao6  
    v/7iu*u  
    7;:Uv=  
     _/[(&}M  
    场追迹仿真（相机探测器） )VR/a  
    h)C `w'L  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %MUwd@,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Jro%zZle  
    wn{DY v7B  
     }#f~"-O  
    .3 T#:Hl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M)CE%/P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Kkds^v6  
    !"x&tF  
    GSu&Z/Jo  
     iYxpIqWw  
    场追迹仿真（电磁场探测器） HOAgRhzE  
     {B lM<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &ffd#2f`@  
    A Pu cA  
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    文件信息 >) PcK  
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    QQ：2987619807 ep2#a#&'  
     
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