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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 h cu\c+ A  
    73_-7'^mQ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 V|*3*W  
    zQUNvPYM  
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     8i<]$  
    建模任务 3Jq GLR`z3  
    $BG]is,&5  
    z46Sh&+  
    概述 AJ3Byb=.  
    *y$CDv  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _lRIS_^;eE  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~-uDN)  
    6E(..fo:"  
     nT(AO-Ue^  
    sE!g!ht  
    光线追迹仿真 q-,`\ TS  
    "v0SvV<7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -.L )\  
    •单击go！ a4Z e!l(  
    •获得了3D光线追迹结果。 ikb77 ?.  
    a=vH:D  
     &l4kwds R  
    4$U^)\06W  
    光线追迹仿真 G|||.B 8  
    tZFpxyF  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 A]drNFE  
    •单击go！ ou`KkY||  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y^;izM}  
    ~dP\0x0AB  
     /}iBrMD{[  
    ;E>#qYC6  
    场追迹仿真 w@n}DCFt  
    #7}YSfm^6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e<FMeg7n  
    •单击go！ }OTJ{eG  
    <:mK&qu f  
    <'7s3  
     ,dVJAV7v  
    场追迹仿真（相机探测器） ! CJ*zZ*  
    }U4mXkZF  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ={;+0Wjb8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?IoA;GBg  
    4gUx#_AaG  
     X|QokAR{$>  
    Pv3G?u=4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @O-\s q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 " SP6o  
    JZE@W -2  
    \w(0k^<7  
     wb h=v;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |2rOV&@l9  
     LnsYtkb r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  obPG]*3  
    (hIo0 .  
     6BM$u v4  
    Z+[W@5q  
    文件信息 ?,%PemN  
    F~bDg tN3  
     'op_GW  
    'fk6]&-I  
     gr{*wYL  
    QQ：2987619807 NA`8 ^PZ  
     
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