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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 =V[uXm  
    FTf#"'O  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 x4oWZEd  
    s/E|Z1pg3  
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     j]Jgz<  
    建模任务 DxJ;C09xNa  
    tAdE<).!  
    0zaK&]oY0  
    概述 S/nPK,^d2  
    EY,jy]|#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bGPE0}b  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 558P"w0"X  
    [9 W@<p  
     eTiTS*`u  
    -8Jw_  
    光线追迹仿真 rtV`Q[E  
    P {TJ$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 E TT46%Y  
    •单击go！ O>~,RI!  
    •获得了3D光线追迹结果。 U1[)eD`  
    Qp>leEs]+6  
     l8\UO<^fY  
    t|aV:x  
    光线追迹仿真 ~r1pO#r-  
    %rzPh<>e  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eb62(:=N6  
    •单击go！ ,_2-Op  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 " kDiK`i  
    o ).deP s-  
     3JCo!n0   
    %#HU~X:  
    场追迹仿真 h051Ol\v*  
    1Kg0y71"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !"rPSGK*  
    •单击go！ #B `?}a=  
    dzf2`@8#  
    Ql*zl  
     "mlQ z4D)5  
    场追迹仿真（相机探测器） ;G[V:.o-  
    _yg_?GH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 t]/eCsR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,X4e?$7g  
    <W4F`6`x  
     !?2)a pM  
    mk-{@$QJb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） RK3y q$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nhV"V`|d  
    bc)>h!'Y  
    o[|[xuTm  
     nbi7r cT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /%wS5IZ^  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8nz({Mb9Z  
    +$2{u_m,  
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    S@qp_!  
    文件信息 <`H0i*|Ued  
    R.~[$G!  
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    YOCEEh?  
     K1& QAXyP  
    QQ：2987619807 'h>uR|  
     
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