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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 JK^[{1 JI  
    /.ZaE+  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 22vq=RO7Z  
    ;Q90Y&{L=$  
    P`2&*2,  
     x7gjG"V  
    建模任务 ADBpX>  
    cHEz{'1m  
    kH2oK:lN  
    概述 2FT-}w0;  
    pzSqbgfrQ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 nP u`;no  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 n_;S2KM  
    4?]ZV_BD  
     =h[yA f  
    j 0?>w{e  
    光线追迹仿真 s!`H  
    E0jUewG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MCd F!{  
    •单击go！ d#7]hF  
    •获得了3D光线追迹结果。 `oPLl0  
    -pX|U~a[  
     x\]z j!  
    w .l|G,%=  
    光线追迹仿真 9<Ag1l  
    MA"#rOcP  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 id4]|jb  
    •单击go！ 5% 'S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 gPp(e j7  
    ?&\h;11T  
     pj@Yqg/  
    H9:%6sds  
    场追迹仿真 X\'E4  
    bN!u}DnN  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^\{J5  
    •单击go！ 8E 9{ Gf  
    #~*XDWvIS~  
    1W0.Ufl)  
     }bCK  
    场追迹仿真（相机探测器） uZ<%kV1B  
    W/a,.M  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 r hZQQOQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F'ENq6  
    G V=OKf#  
     b_ZNI0Hp@  
    a>?p.!BM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]'6'<S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R @OSqEnr  
    A{M+vsL  
    3Cd<p[%3#,  
     q>P[nz%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^+URv  
     unJ iE!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =!YP$hfY  
    bu_/R~&3{  
     nrF!;:x  
    )FV6,  
    文件信息 B3eNFS  
    +R9%~Z.=  
     Fdr*xHx$P  
    Mc!2mE%47m  
     nZ541o@t9  
    QQ：2987619807 gh'kUZG a  
     
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