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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 tn(JC%?^  
    ?XrQ53  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l;R%= P?'F  
    <D<4BnZ(  
    Pg,b-W?n*  
     Wbr|_W  
    建模任务 n}F&1Z  
    \<JSkr[h!"  
    yu!h<nfzA  
    概述 _x%7@ .TB  
    EMwS1~3dD  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Cl; oi}L  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l=S35og  
    ~.{/0T  
     LClNxm2X  
    \F1_lq;K  
    光线追迹仿真 dP# |$1  
    (eI5_`'VC  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i2E )P x  
    •单击go！ !=;+%C&8y  
    •获得了3D光线追迹结果。 nw-xSS{  
    Cn'(<bl  
     G18F&c~  
    wvO|UP H\  
    光线追迹仿真 )97SnCkal  
    Dv|#u|iw  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bLlKe50  
    •单击go！ K0-ypU*P  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "?]{ %-u  
    2D75:@JL}|  
     B~]k#Ot)  
    <sWprR  
    场追迹仿真 cii_U=   
    O@u?h9?cf>  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |L%Z,:yO  
    •单击go！ z.7cy@N6  
    QS%%^+E2  
    :[wsKFaV+  
     *W.C7=  
    场追迹仿真（相机探测器） od IV:(  
    JJP08 oP  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $Z.7zH  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xf<at->  
    +c(zo4nZ  
     YLqGRE`W  
    9>l*lCA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rSZd!OQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $+P>~X)  
    ^8 zR  
    YPU*@l>  
     X &uTSgN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )m`<H>[Eb=  
     l==``  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <v)1<*I  
    -m)X]]~C  
     cJ{ Nh;"  
    m_.>C  
    文件信息 G9Y#kBr  
    4lr(,nPRD  
     #r#1JtT  
    J2::'Hw*s  
     SQ44  
    QQ：2987619807 wP6 Fl L  
     
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