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摘要 [P,1UO|$B tb^3-ZUb 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 a4O!q;tu7 9Jaek_A`
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}6" w~X1Il7A 建模任务 cPkN)+K l^WFMeMD3a x}].lTjD 概述 kT!FC0E{ 2U)H2% •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'C!b($Y •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pX*Oc6.0mu 7[ *,t
J*A<F'^F1 @ 4j#X 光线追迹仿真 iVREkZ2SC %dKUB4 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 > & \QLo[5 •单击go! `4gm'C •获得了3D光线追迹结果。 6ZR'1_i6i= 9=K=gfZ
O. V!L aB#qzrr['8 光线追迹仿真 CXb)k.L 7P.C~,+D%P •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jun>(7 •单击go! Ks{^R`Oau •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 )1Z*kY?f! q_ykB8Ensa
w<tr<Pu' yv[s)c} 场追迹仿真 vn KKK. E k#w[GL|T •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,ZC ^,Vq •单击go! AFF7fK +i!/J =k2In_ =ugxPgn 场追迹仿真(相机探测器) BOoLs(p 6&`.C/"2 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~ubGx •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 L/_OgL]YdI ;%"UZ~]f
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WKH 场追迹仿真(电磁场探测器) +3(1QgYM% •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H B_si =P<gZ-Cm ^^qB=N['; ,)@Q,EHN; 场追迹仿真(电磁场探测器) g PU|Gv5 i<YatW~Pu •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~B'K_# k`F$aQV9`
S>Z V8 Ig-9Y;hdmn 文件信息 !i&^H, FYFP6ti
!=;^Grv> )Fe-C ]s?BwLU6 QQ:2987619807 %K@D{)r_^
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