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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 O%f8I'u$  
    i1oKrRv  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6] z}#"  
     UkfB^hA  
    3I|3wQ&#(  
     XTeb9h)3  
    建模任务 .A1\J@b  
    >~\w+^2f8  
    *zWWmxcJa  
    概述 S:8OQI  
    ]bgY6@M  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }E}8_ 8T6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &*&?0ov^"  
    "Jy~PcJZ1  
     [<wbbvXR  
    =C f(B<u  
    光线追迹仿真 O{k:yVb  
    eX2<}'W<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [ B0K  
    •单击go！ 15zrrU~D  
    •获得了3D光线追迹结果。 !RlC~^ -  
    uO >x:*^8  
     @("}]/O V:  
    On1v<SD$[  
    光线追迹仿真 0m+8P$)C%  
    D6Y6^eS-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \NXQ  
    •单击go！ z8Q"% @  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xq!IbVV/h  
    BN@,/m9OQ%  
     YCw('i(|  
    ]=D5p_A(  
    场追迹仿真 )9P&=  
    ex?\ c"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t#<KxwhcN  
    •单击go！ u8OxD  
    T+RZ  
    L8V3BH7B  
     `<j_[(5yb  
    场追迹仿真（相机探测器） Y5-kj,CB  
    mjEs5XCC"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 djT. 1(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m1.B\~S3  
    g]`bnZ7  
     kd;'}x=5yP  
    ?An,-N-ezf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H2Eb\v`#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4w{-'M.B  
    k_3j '  
    H_X?dj15  
     h)E|?b_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;IC'Gq  
     hXX1<~k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?En7_X{C?  
    *`KrVu 6s  
     DzPs!(5[I  
    Y&,rTa  
    文件信息 FD6v /Y  
    y3yvZD  
     lEfBe)7+  
    (G8  
     +AK:(r  
    QQ：2987619807 :pd&dg!5  
     
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