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摘要 S =3 H.D!f Q`BB@E 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %=5 m!"F
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建模任务 )gNVJ V0y_c^x  jiP^Hz "e
概述 Hf9F:yH .>@]Im •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B2,JfKk/ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 td |O #R @<B$LJ|jdG
 q oOq47F RNb" O{3 光线追迹仿真 cT# R B7 8v\^,'@ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 TTz_w-68 •单击go！ >0 I\w$L •获得了3D光线追迹结果。 )0{ZZ-beG F,JqHa9
 n w [\.@,Y0j 光线追迹仿真 {\ J%i|u e%KCcU •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 90!67Ap`x •单击go！ dA$qzQ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D*!9K8<o 7DIFJJE'
 =VF %Z[Gm M(<.f}yZQ 场追迹仿真 9/6=[) _hi8m o •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >\Ml \CyL •单击go！ SHN'$f0Mb ;% PI  Z1oUAzpj4
<@+{EK'`q 场追迹仿真（相机探测器） = Y-mc#{8 jU=n\o=? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1D)=q^\I •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 nmUMg w7yz4_:x^
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{ Pa
*/&WeB 场追迹仿真（电磁场探测器） :PQvt/-'(D •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _r vO#h \Wf1b8FW  a<v!5\dq!
4 ! DXj0^ 场追迹仿真（电磁场探测器） iU?xw@W R
zC_@wMWB •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 n^%",*8gD* N6%M+R/Q
 td(4Fw||1y ~3qt<" 文件信息 Y]H,rO ,=`iQl3(y/
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