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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 mMZ=9 ?m  
    ]%7m+-h@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 oM n'{+(w  
    +CEt:KQ   
    |L;Hd.l7^*  
     6EWCJ%_  
    建模任务 KPK`C0mg@k  
    WVyq$p/V  
    Q\~#cLJ/  
    概述 99zMdo S  
    ,=ju^_^sA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @ bvWqMa  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 UA0R)BH'  
    3wgZDF38  
     ,({% t  
    _}`y3"CD7  
    光线追迹仿真 u7wZPIC{_  
    {=^<yK2q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cJ,`71xop,  
    •单击go！ 2zjY|g/  
    •获得了3D光线追迹结果。 + L 5  
    kvN6K6  
     v<} $d.&*  
    Q!fk|D+j  
    光线追迹仿真 )/v`k>E  
    d D^?%,a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,(yaWd6  
    •单击go！ uvD*]zX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n*=Tm KQ  
    'xOH~RlE  
     \ ]h$8JwV  
    |R Qa.^.  
    场追迹仿真 zt )WX9  
    Zvz}Z8jW  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p_sqw~)^%  
    •单击go！ xO 1uHaL  
    6nk.q|n:g  
    w4&-9[@Y  
     m`3gNox  
    场追迹仿真（相机探测器） 7mS_Cz+cB  
    28,HZaXhc  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;xE1#ZT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?rwHkPJ{*  
    fVBu?<=d  
     =~ j S  
    ~!dO2\X+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k:E+]5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t9kqX(!  
    y=WCR*N  
    Z@>WUw@ F  
     FiNB$A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }Mh`j $  
     /%)x!dmy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !L' O")!3  
    ^d/,9L\U  
     I* JSb9r  
    hrnY0  
    文件信息 Yh;A  
    o,y {fv:ki  
     2W`<P2IA  
    =^3B&qQNq  
     "C%* 'k  
    QQ：2987619807 ![@\p5-e  
     
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