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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 <N,:w`g#  
    XNQPyZ2@|b  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l-?#oy  
    sMgRpem;  
    =+w!fy  
     g+3_ $qIQ+  
    建模任务 e3,@prr  
    "2z&9`VIY  
    R^&.:;Wi>  
    概述 vq:?a  
    9NeHN@D)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <HH\VG\H6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >9<YQ(  
    r-$VPW  
     @K1'Q!S *  
    _f"KB=A_x  
    光线追迹仿真 o'K= X E  
    V@r V +s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :pvB}RYD  
    •单击go！ ;$'D13  
    •获得了3D光线追迹结果。 & X#6jTh+  
    W0XfU`  
     Hq#q4Y  
    bMB*9<c~  
    光线追迹仿真 HsKq/Oyk  
    5Zn:$?7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5O[\gd-  
    •单击go！ &[P(}??Y\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ujS C  
    ;e6L@)dp9  
     ZC"a#rQ   
    T'!p{Fbg;  
    场追迹仿真 lP *p7Y '  
    V-dyeb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [@Mo3]#\  
    •单击go！ Jw0I$W/  
     lofP$  
    eh}|Wd7J  
     IO7cRg'-F  
    场追迹仿真（相机探测器） ( 'Ha$O72  
    q\xsXM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s*R UYx  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 VUC_|=?dL  
    QL:Qzr[  
     Ffig0K+ `  
    d)GR]^=r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F},kfCFF  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %E[ $np>  
    E+cx 8(   
    ce:wF#Qs  
     b%7zu}F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )j!%`g  
     j\iNag(   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e!vWGnY  
    XZrzG P(  
     }=A+W2D  
    W&HxMi  
    文件信息 =R*IOJ  
    wb ^>/  
     ZEs^b  
    +mN8uU~(kx  
     9<.8mW^68  
    QQ：2987619807 `4wy *!]  
     
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