切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1073阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5963
    光币
    23968
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ;%r#p v~  
    l@ +]XyLj  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #>m#i1Nu  
    i-(^t1c  
    8Y.25$  
     rBv  
    建模任务  g?qh  
    2TN+ (B#Z!  
    2k,!P6fgl  
    概述 fmDU  
    5>J{JW|  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u:+wuyu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k T$yHB #  
    BJgg-z{Y  
     M<t>jM@'A#  
    nu {bEp  
    光线追迹仿真 Pdc- 3  
    w$~|/UrLf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  -lM4*+f  
    •单击go！ S/j~1q_|G  
    •获得了3D光线追迹结果。 S0V%JY;Gv  
    =]h5RC  
     RW!D! ~  
    )NeI]p  
    光线追迹仿真 @Oe!*|?mS  
    tcYbM+4e  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Xp <RG p7E  
    •单击go！ 9/OB!<*V|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 U[\aj;g)  
    _ukKzY  
     i 7:R4G(/#  
    g>h5NrD N  
    场追迹仿真 `A5^D  
    z= pb<Y@X  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ar.w'z  
    •单击go！ ^E&':6(  
    KDP7u  
    Ic 4>kKh  
     M IPmsEdBi  
    场追迹仿真（相机探测器） 0Y#S2ty  
    =T$-idx1l  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S_cba(0-|\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 AY['!&T  
    yW.s?3X  
     ^\kv> WBE  
    (KaP=t}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） * ";A~XNx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D'e'xU  
    ~g$Pb[V  
    #z{9:o7[-  
     *h Ph01  
    场追迹仿真（电磁场探测器） I^'kt[P'FZ  
      ]qCAog  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :(EU\yCzK  
    kQXtO)  
     rt] @Z`w  
    7-81,ADv(  
    文件信息 kKnz F  
    k WYjqv  
     >IO}}USm  
    9,y*kC  
     F,^Q'$ !  
    QQ：2987619807 H XF5fs  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表