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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 {= F /C,-  
    J/[=p<I)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Jo@|"cE=  
    @te!Jgu{  
    ~ xft  
     Z yE `/J'  
    建模任务 :9^;Qv*  
    gqu?o&>9  
    PfC!lI BU  
    概述 vTlwRG=5  
    !V i@1E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Si6al78  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .HkL2m  
    _nbBIaHN{  
     YKO){f5  
    fjs [f'L  
    光线追迹仿真 =8; {\  
    o1FF"tLkN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?kB2iU_f+  
    •单击go！ b\-&sM(W"  
    •获得了3D光线追迹结果。 wnM9('\  
    DDPxmuNG  
     rdJ d#S  
    5[* qi?w=  
    光线追迹仿真 Z;:u'=  
    d5D$&5Ec  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YN!>}  
    •单击go！ ^(|vsFzn  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2\7`/,U6  
    .zn;:M#T  
     ]cGA~d  
    z#]Jv!~EPE  
    场追迹仿真 (&+kl q  
    ?sMP~RHQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rz@=pR :  
    •单击go！ b+f'[;  
    , ]+z)   
    Y0_),OaY  
     ++V=s\d7  
    场追迹仿真（相机探测器） i1>- QDYnJ  
    q^r#F#*1l  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y@b.sMg{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :&:JTa1cv  
    mw='dFt  
     :j]vf8ec  
    &<UMBAS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） lsy?Ac  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :1iqT)&|8F  
    /Rg*~Ers *  
    76Vl6cPu>  
     +=.W<b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） m<0&~rg   
     Fv Jd8kV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w0C~*fn3l  
    @O[}QB?/fi  
     ho0@ l  
    %5A+V0D0'  
    文件信息 sfOHarww  
    Oh'Y0_oB>  
      \o/n  
    I+dbZBX  
     ;~\MZYs3m  
    QQ：2987619807 qt;y2gf=  
     
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