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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 )lZb=t  
    ~Y{K ^:wN^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FGC[yz1g:  
    ){v nmJJ%  
    |K]tJi4fz  
     R8HFyP  
    建模任务 mz47lv1?  
    ^Oo%`(D?  
    ` sSI;+  
    概述 m 9r X  
    k{; 2*6b0  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 % 74}H8q_z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dP82bk/e  
    B{44|aq1|  
     gD-<^Q-  
    ZPXxrmq%  
    光线追迹仿真 WkT4&|POJ  
    =7a9~&|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]\{EUx9  
    •单击go！ DUaj]V{_^  
    •获得了3D光线追迹结果。 -0Ps. B  
    ?Pa5skqR  
     2vynz,^ET  
    )gZ yW  
    光线追迹仿真 9Z} -%Z[,)  
    env]*gx+=  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 s q_ f[!  
    •单击go！ H d :2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 kEi!q  
    q%nWBmPZ~y  
     zhS\|tI  
    F8q|$[nH  
    场追迹仿真 f|u!?NGl  
    O9bIo]B  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 L:7%Wdyh  
    •单击go！ L+&$/1h]  
    f mf(5  
    />H9T[3=  
     (<|,LagTuc  
    场追迹仿真（相机探测器） <d8 Yk>R  
    Y-v6xUc{F  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C1hp2CW$5/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T)MKhK9\Ab  
    >o.4sN@  
     .^eajb`:  
    nGq{+ G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F8nR.|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Lc=t,=OhGe  
    `Ps&N^[  
    #mFIZMTRd  
     fC&hi6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） K9]L>Wj  
     X3@Uih}|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .r 4 *?>  
    ka0MuQ M  
     y2KR^/LN|Y  
    0l;TZf=H  
    文件信息 ^? }-x  
    0-6rIdDTM  
     >4 VN1 ^  
    p C^d-Ii  
     MR}=tO  
    QQ：2987619807 4}`z^P<C  
     
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