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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 N*KM6j  
    >^v,,R8j  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |9)y<}c5oM  
    z:08;}t  
    d:h X3  
     0{stIgB$  
    建模任务 aOEW$%  
    FX~pjM  
    kcP&''  
    概述 +@do<2l]  
    4EhWK;ra  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Fl\kt.G  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 i}C%`1+(  
    n,p \~Tu,  
     Qqp=  
    !!])~+4pP  
    光线追迹仿真 LEAU3doK;  
    3\|PwA9fN8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W)`H(J  
    •单击go！ zbDK$g6  
    •获得了3D光线追迹结果。 4@@gC&:Y  
    (V`ddP-  
     Xs)?PE [  
    6h&i<->  
    光线追迹仿真 ItG|{Bo  
    8]JlYe  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hNF,sA  
    •单击go！ n%{oFTLCo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Gx(%AB~9$  
    KwxJ{$|xH  
     wR9gx-bE 4  
    3`ze<K((  
    场追迹仿真 }G<A$*L1  
    ho6,&Bp8  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '~pZj"uy  
    •单击go！ mXUe/*r0T  
    ,"T[#A~  
    / KKA/  
     =jvN8R*[  
    场追迹仿真（相机探测器） 0"u=g)3  
    .1[pO_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 22D,,nC0+=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tBE-:hX*  
    (FOJHjtkM  
     ?M04 cvm  
    t=dZM}wj_\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D^w<V%] .  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !jN$U%/,%.  
    TA+/35^?  
    /O$)m[  
     Xgo`XsA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7 '7a`-W  
     ''CowI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `R o>?H  
    Q8bn|#`  
     &fifOF#[ e  
    T`)uR*$  
    文件信息 (9!kKMQW'  
    N{fYO4O  
     lziC.Dpa  
    i$4lBy_2  
     s9BdmD^|#  
    QQ：2987619807 *q(HW  
     
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