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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 [E9V#J89  
    Gm,vLs9H$T  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ^*CvKCS  
    /RVy?)hVT#  
    Yt]tRqrh;T  
     3V)ef$Y0  
    建模任务 ~SI`%^L  
    r57&F`{  
    PI KQ}aq=  
    概述 !Zo we*`  
    m:kXr^!D  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 M^q< qS>d  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !+sC'/  
    G`n|fuv  
     #[|~m;K(w  
    )7$1Da|.  
    光线追迹仿真 p~Tp=d)/  
    7_OC&hhL  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Gv ';  
    •单击go！ 6`K R  
    •获得了3D光线追迹结果。 UL9]LEGG  
    Rm@#GP`  
     [v@3|@  
    ]><K8N3Z  
    光线追迹仿真 C`G+b{o  
    r7Vt,{4/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `SFA`B)[5@  
    •单击go！ 'eyzH[l,(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vY 0EffZ  
    #&V7CYJ  
     OQlmzg  
    7a$K@iWU  
    场追迹仿真 D4@).%  
    YmrrZ&]q  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v|!u]!JM  
    •单击go！ xq6 eu 9   
    :G.u{cw  
    b 7XTOB_HO  
     / @v V^!#1  
    场追迹仿真（相机探测器） f ZEyXb  
    0+-"9pED>E  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y4\(ynk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,/fB~On-  
    Yfbo=yk  
     a+HGlj 2>  
    Y ~TR`y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {yo{@pdX>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yH=Hrz:<eM  
    ]_"c_QG  
    %bN+Y'  
     O]-)?y/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） c-GS:'J{  
     Abw=x4d(i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l|kGp~  
    8+* 1s7{  
     -dto46X  
    c-jE1y<  
    文件信息 MG}rvzn@  
    jv ;8Mm  
     {6I)6}w!k  
    q1a*6*YB  
     ?&`PN<~2z  
    QQ：2987619807 <r>1W~bp.q  
     
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