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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 022nn-~  
    oS3}xT" U  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 OT-!n  
    Np$peT[  
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     FnkB z5D  
    建模任务 =~;SUO  
    $@]tTz;b  
     cTpmklq  
    概述 v4_p3&aj  
    a3}#lY):  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "{a-I=s\C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Om #m":  
    o#(z*v@  
     m|mY_t  
    }*vUOQQp*  
    光线追迹仿真 88c-K{} 3  
    o5~o Rmsr  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ) xRm  
    •单击go！ N^i<A2'6S;  
    •获得了3D光线追迹结果。 NyHHK8>  
    iq s  
     &+t! LM  
    Fqtgw8  
    光线追迹仿真 o80?B~o  
    9rhIDA(wc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P}=u8(u  
    •单击go！ (#zSVtZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J LOTl.  
    (W*~3/@D  
     WxNPAJ6YH  
    Y6LoPJ  
    场追迹仿真 %EC{O@EAk  
    53y,eLf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F_8 < tA6  
    •单击go！ ]-  
    $L|YllD%  
    8<cD+Jtj  
     %;5AF8#c  
    场追迹仿真（相机探测器） x9fNIuAQ  
    RRYm.dMIw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 UclQo~ 3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U}9B wr^  
    6U{&`8C  
     Z#8O)GK  
    YS$?Wz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :H}a/ x*ur  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4]\ f}  
    B~p` 3rC  
    &[]0yNG  
     dWC[p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R-v99e iN  
     &r0b~RwUv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PFP/Pe Ng;  
    Ift @/A  
     hdFIriE3  
    wd4wYk\  
    文件信息 tx-HY<  
    $6p_`LD0  
     {? -@`FR-  
    ] i;xeo,  
     J{98x zb  
    QQ：2987619807 E1,Sr?'  
     
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