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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 N>iCb:_ T;  
    |/ 7's'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 M& L0n%,y5  
    tG&B D\  
    -B! TA0=oJ  
     EnAw8Gm*  
    建模任务 p#NZ\qJ  
    cSWVHr  
    O\{_)L  
    概述 2,`mNjHh  
    ZPog)d@!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p{GDW_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5Uz(Bi  
    AE~}^(G`  
     7guxkN#  
    }e|]G,NZO  
    光线追迹仿真 |bUmkw  
    ou4?`JF)-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %gB0D8,vo  
    •单击go！ x=+H@YO\  
    •获得了3D光线追迹结果。 |]^! 4[!U  
    =v;@w$#  
     ~)(Dm+vZ  
    -I<`!kH*  
    光线追迹仿真 ZmF32 Ir  
    s_Gp +-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z 0^d o  
    •单击go！ X^)5O>>|t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5T*7HC[  
    JE!Xf}nEi  
     QJ'C?hn  
    Cl=ExpX/O  
    场追迹仿真 ;bmd<1  
    {%dQV#'c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H%V[% T4=  
    •单击go！ 6jA Q  
    S d -+a  
    CdjGYS  
     'JVvL  
    场追迹仿真（相机探测器） /GNYv*  
    zc5_;!t  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =0|evC  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H|?`n uiD  
    (d\bSo$]  
     B(U`Zd  
    s:{%1/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -tJ*F!w6U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GW#Wy=(_  
    X+ jSB,  
    :}-[%LSV  
     [0emOS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nXjUTSGa)  
     ,\IZ/1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L|Iq#QX|  
    FB`HwE<  
     f #14%?/  
    1lM0pl6M  
    文件信息 !h~\YE)  
    jrR~V* :k  
     g*uO IF  
    3lqhjA  
     ?u|g2!{_  
    QQ：2987619807 f]ef 1#  
     
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