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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Vh1{8'G Q  
    WMfu5x7e4  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #MYhKySku  
    t. B %7e  
    R:HF~}  
     \A'MEd-  
    建模任务 !l1UpJp  
    Qm86!(eZ-  
    xv;'27mUt  
    概述 VE{[52  
    {iiHeSD  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3]Rb2$p[=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 'ms&ty*T  
    d7Lna^  
     ~*R"WiDtI  
    0X =Yly*m@  
    光线追迹仿真 L/,#:J  
    d;UP|c>2  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @KRr$k  
    •单击go！ 6FuZMasr*  
    •获得了3D光线追迹结果。 3}{od$3G  
    Oi# F  
     3>%oGbo  
    j8kax/*[  
    光线追迹仿真 NU>={9!  
    g2;!AI5f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e\%emp->  
    •单击go！ kd^CZ;O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k fS44NV  
    W9>q1  
     K~Lh'6  
    lJHV c"*/  
    场追迹仿真 O^(ji8[l  
    5*QNE!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ul#||B .c{  
    •单击go！ tVJ}NI #  
    ?g*#l d()  
    K cI'P(  
     ;`<uo$R  
    场追迹仿真（相机探测器） ]A)`I  
    2L}F=$zz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 []R`h*#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c zTr_>  
    U_!Wg|  
     L|hsGm\  
    [:Kl0m7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D90m..\w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZZ/F}9!=  
    R_iQLBrd  
    LliOhr4  
     O_@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O/EI8Qvm  
     26n+v(re  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yhF{ cK =  
    4t3Y/X  
     -yKx"Q9F  
    Hrb67a%b  
    文件信息 7q_B`$ata  
    zq ;YE  
       -58  
    3q7Z?1'o  
     pRS+vV3  
    QQ：2987619807 yk r5bS  
     
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