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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Ca%g_B0t  
    =9kN_:-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 | ohL]7b<  
    O62b+%~F  
    >5R <;#8  
     i,13b e  
    建模任务 &a/__c/l  
    [D5t{[i  
    |QV!-LK  
    概述 ~gz^Cdh  
    y9#$O(G  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qb8KPpd  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2_Wg!bq  
    6#j$GH *  
     0&ByEN9 9  
    SI:U0gUc  
    光线追迹仿真 7iJ&6=/  
    JQ :Ri  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AmwWH7,g  
    •单击go！ X(jVRr_m9  
    •获得了3D光线追迹结果。 ) 'j:  
    9WJz~SP+vR  
     @aQ1khEd  
    47r_y\U h  
    光线追迹仿真 jGrN\D?h  
    .To;"D;j,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g*w<*  
    •单击go！  FgL,k  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Jc)^49Rf  
    65ly2gl  
     ;n\= R 5.  
    r_EcMIuk  
    场追迹仿真 *5<Sr q'  
     p!Eft/A(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 A`{y9@h(  
    •单击go！ l{w#H|]  
    ??hJEE  
    [sW.CK= 3  
     EBtLzbj  
    场追迹仿真（相机探测器） R:p62c;Tv0  
    @|a>&~xX  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "U. ^lkN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~j#~ \Ir  
    6 z,&i  
     CIjZG?A  
    }HEvr)v9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B*htN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :|o<SZ  
    "m{,~'x  
    $3D'4\X~?  
     bslrqUk_`=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1_$xSrwcF  
     PX|=(:(k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )XQ`M?**M  
    \, !Q Jp4  
     J/7R\;q`~o  
    4h6k`ie!$  
    文件信息 Y-ux7F{=z  
    E&yD8=vw  
     >pkT1Z&'  
    74<!&t  
     A?G IBjs  
    QQ：2987619807 C8a*Q"  
     
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