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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 u"VS* hSH  
    Mn^zYW|(  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1IA5.@G:  
    d;suACW  
    ij)Cm]4(2  
     +$beo2x6  
    建模任务 r:.uBc&_  
    ?s{C//  
    99ASIC!  
    概述 D,W\ gP/h%  
    mb\t/p  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 $-pbw@7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0g(6r-2)7  
    =&NOHT>  
     H*U`  
    [QEwK|!L  
    光线追迹仿真 d?Y-;-|8Qh  
    Sni=gZK  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 B\<ydN  
    •单击go！ 6Dzs?P  
    •获得了3D光线追迹结果。 m4**>!I  
    LcUlc)YH5  
     {OxWcK\2@h  
    _`aR_ %Gx  
    光线追迹仿真 X5E '*W  
    (:}<xxl  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Va9q`XbyO  
    •单击go！ #MM &BC  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,t~sV@ap  
    l BiovT  
     cF.mb*$K  
    8W{~wg`  
    场追迹仿真 %h*5xB]Tt  
    EzP#Mnz^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NNX% Bq  
    •单击go！ ER<eX4oU  
    5#u.pu  
    o>u!CL<  
     9.8,q  
    场追迹仿真（相机探测器） ZlM_ m >,o  
    2v^lD('  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Jr?!Mh-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )5i* /I\  
    ?'+8[OHiF^  
     #:W%,$ 9\P  
    x(6vh2#vD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /+P5)q TKL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :@e\'~7sH  
    q%.bnF/Yd  
    8nu> gA  
     |uQ[W17^N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]PVt o\B=  
     @U7Dunu*f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 syMm`/*/G-  
    }bgo )<i  
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    >Fh#DmQ  
    文件信息 &<{}8/x8(  
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    -7 L  
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    QQ：2987619807 0%;M VMH  
     
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