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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ?v^NimcZ  
    <q63?Ms'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `_/bg(E  
    NuZ2,<~9  
    W>3S%2d  
     LV}R 9f  
    建模任务 U`v2Yw3E  
    -wU]L5uP  
    ,dC.|P' `  
    概述 W(q3m;n  
    17hoX4T  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H'A N osv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 j~v`q5X  
    d/_D|ivZ=  
     \`Hp/D1  
    c 4z&HQd  
    光线追迹仿真 RZ6y5  
    *g5bdQ:Av~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hHJiGVJ=V  
    •单击go！ 1>(EvY}Y\  
    •获得了3D光线追迹结果。 U>tR:)  
    #XQ/y}(  
     %.Y5%T yP  
    IQ&PPC  
    光线追迹仿真 aH }/+Hu-  
    bBIh}aDN  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0ix(1`Z  
    •单击go！ *aErwGLB8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e=;A3S  
    1UP {j`-K|  
     v[L+PD U  
    HT<p=o'$Z  
    场追迹仿真 n#!c!EfG  
    ; Y/nS  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }rQQe:{]B  
    •单击go！ Jg#0g eU  
    fHiL%]z  
    sL@\,]Y  
      3IxC@QR  
    场追迹仿真（相机探测器） \,S |>CPQ  
    ~n=DI/AJ@-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a1pp=3Pd?~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 M?l v  
    bPVk5G*ruP  
     ~'M<S=W  
    aRTy=~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v_KO xV:<`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gC}}8( k  
    $RDlM  
     X}(s(6  
     >0HH#JW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /&Q{B f  
     ] SJ#:7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y[N0P0r l:  
    Gz&}OO  
     y:)^*2GA-B  
    !!\}-r^y%  
    文件信息 ]i {yJ)i  
    sVx}(J  
     88HqP!m%P:  
    AM+5_'S,  
     dWz?`B{'  
    QQ：2987619807 O9daeIF0#  
     
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