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摘要 v)zxQuH]^ x+Ly,9nc$ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _(@V f=t
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ronZa0 建模任务 H,!yG5yF ICWH Eot  ~>%% kQt 概述 xCu\ jc)2 RS{ E| •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &_]bzTok •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }qhND-9#@ ]e? L,1-
 E,A9+OKxJ "t>H
B6^ 光线追迹仿真 sg<c 1 / EVXkf0 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $cO-+Mr-~ •单击go！ . •获得了3D光线追迹结果。 TPi{c_
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 # *7ImEN ` P*PCiZos 光线追迹仿真 #<w2 xR]: Oh7wyQiV •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 J>0RN/38o •单击go！ T'14OU2N{Y •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 X'7MW?
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 xZMAX}8 v -wnBdL 场追迹仿真 X/S%0Aw Z ,Mn?h\ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rWuqlx# •单击go！ Q3LScpp *nY$YwHB  -
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DPlmrN9@= 场追迹仿真（相机探测器） Rd y-6 U]i Z3^8VT •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |OBZSk1jp •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tj" EUqKQ ) ! l1
 >6z7. d 9 E 场追迹仿真（电磁场探测器）
11-?M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aw1 f;&K4 r
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dYp} R>+ 场追迹仿真（电磁场探测器） 8wzQr2:
Y:5Gp8Vi •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V_ H0z FzQ6UO~'
 ;#dzw!+Y +2^Mz&I@b 文件信息 iaQ3mk# >m` <AynJ
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P<R'S QQ：2987619807 q<Wz9lDMNR
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