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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 hGkJ$QT  
    U (#JC(E-#  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 a ydNSgu  
    G:p85k `  
    $rI 1|;^  
     rlD!%gG2x  
    建模任务 &a;?o~%*]i  
    a6-.|tt#t  
    px "H  
    概述 xP!QV~$>  
    S>r",S  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |-G2pu;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O`Gq7=X  
    NB4O,w  
     fP V n;  
    "L:4 7!8  
    光线追迹仿真 U(9_&sL  
    Z Cjw)To(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t:5-Ro  
    •单击go！ # )y/aA  
    •获得了3D光线追迹结果。 @1Q-.54a  
    o$buoGSPc  
     C!a1.&HHZ7  
    i5t6$|u:&m  
    光线追迹仿真 S.)Jp -&K  
    94?WL  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 80wzn,o S  
    •单击go！ V@!)Pw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4a "Fu<q  
    z8'1R6nq  
     m$kQbPlatN  
    b.@a,:"  
    场追迹仿真  D**GC  
    QCF'/G  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n+Kv^Y`qxO  
    •单击go！ B+j]C$8}  
    J+J,W5t^  
    Ch_rV+  
     0{|HRiQH9+  
    场追迹仿真（相机探测器） E5d$n*A  
    wDZ<UP=X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 WXl+w7jr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `;E/\eG"  
    >w@+cUto  
     .mt%8GM  
    2t-w0~O  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ) ;\c{QF  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |4Q*4s  
    %,kP_[!>Q  
    _!R$a-  
     _XV%}Xb'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [d6!  
     #Ub_m@@ 4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t>I.1AS  
    o@Oz a  
     DPTk5o[  
    {`QHg O  
    文件信息 K>@yk9)vi  
    \ ;npdFy  
     //U1mDFT  
    aa`(2%(:  
     U]iI8c  
    QQ：2987619807 @h%V:c  
     
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