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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 hDmtBdE  
    X^%I 3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 J&^r}6D  
    1j o.d  
    :d/Z&LXD  
     8>j+xbw  
    建模任务 <9-tA\`8N  
    SAs'u"EB  
    GK/a^[f+'l  
    概述 /7@@CG6b  
    >IfJ.g"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q "bpI8j  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ",E6)r  
    :*t v`:;p  
     HG@!J>YaD  
    vb: '%^v  
    光线追迹仿真 ,!kyrk6  
    6BW-AZc  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R-`{W:S  
    •单击go！ 5g F}7D@  
    •获得了3D光线追迹结果。 [HF)d#A  
    la)f\Nk  
     r-]R4#z>  
    C,]Q/6'>  
    光线追迹仿真 -iBu:WyY$  
    qfC9 {gu  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #.9Xkn9S  
    •单击go！ zQ]IlMt  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tl;?/  
    ^!{oyw   
     $0LlaN@e  
    QI=SR  
    场追迹仿真 ,-] JCcH  
    -# <,i '  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 z&<Rx[  
    •单击go！ m>:%[vm  
    g?j"d{.9t  
    2_r}4)z  
     NWCnt,FlY  
    场追迹仿真（相机探测器） 2:pq|eiF  
    >z^T~@m7l  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ys+?+dY2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 fbw {)SZ  
    wO8^|Yf  
     +Ya-h~7;g#  
    A*E4hop[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7{<F6F^P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )QBsyN<x6  
    cR@z^  
    9D<^)ShY  
     9\Xl 3j!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ACyQsmqm:  
     t"0~2R6i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v Z]gb$  
    B]*&lRR  
     OPKX&)SE-  
    pQVi&(M  
    文件信息 oAvJ"JH@i  
    X/7: *  
     , R^Pk6m>  
    U4N S.`V  
     L~mL9[(,  
    QQ：2987619807 w-\fCp )  
     
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