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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 >8QLo8)3C  
    `Up3p24  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ':J[KWuV  
    pWeKN`  
    [ibnI2I]`  
     g }5lGz4  
    建模任务 2x t 8F  
    N U\B  
    O$KLQ'0"n  
    概述 ^ @sg{_.~l  
    =r#of|`Q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %[5hTf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8I`>tY  
    LG@5Z-  
     XB^o>/|@S  
    PjDYdT[  
    光线追迹仿真 >DPC}@Wl  
    m{;2!  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }c^`!9  
    •单击go！ +Y6=;*j$  
    •获得了3D光线追迹结果。 TU^UR}=lP  
    A-qdTJP  
     gm(`SC?a  
    oBpHmMzA  
    光线追迹仿真 pFx7URZA  
    G D$o |l]\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3Oy?_a$  
    •单击go！ x}{/) ?vC  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Jzo|$W  
     lEh;MJ  
     Etj@wy/E  
    ( hp 52Vse  
    场追迹仿真 JN,4#,  
    &Y4S[-   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  $TGE  
    •单击go！ `$Z:j;F  
    % tTL  
    ]MKW5Kq  
     $qV, z  
    场追迹仿真（相机探测器） >^=up f/  
    &gR)Y3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]ri5mnB  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !:]CKbG  
    UP'~D]J  
     C8W#$a  
    #rD0`[pz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） JZ3CCf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?0*,x)t  
     qr~P$  
    ]?rVram;z  
     `tw[{Wb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B]iPixA6  
     iHBetkAu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (E[c-1s  
    >"5 f B  
     )31{.c/  
    nvY%{Zf$}  
    文件信息 D~P3~^  
    =HapCmrx8  
     >xsbXQ>.  
    >}? jOB  
     ,a 2(h  
    QQ：2987619807 +Np[m$Z *  
     
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