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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 1;{nU.If  
    Nr)DU.f  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YD9vWk \/  
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    建模任务 x5;D'Y t"|  
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    概述 "fSaM&@[B  
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    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ? IlT[yMw  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yiH;fK+x  
    K)Z~ iBRM  
     j b'M  
    *&h]PhY  
    光线追迹仿真 !mwMSkkq  
    ~-%z:Re'_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 IC$"\7 @  
    •单击go！ gOE ?  
    •获得了3D光线追迹结果。 gF2 93Ez  
    :8N by$#V  
     ^Mhh2v  
    9j-;-`$S  
    光线追迹仿真 !Zc#E,  
    A%&lW9z7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4[%_Bnv#AJ  
    •单击go！ qkC{IBN92  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #BH]`A J  
    sdd%u~4,X  
     m?4HVv  
    ku>Bxau4>  
    场追迹仿真 [IHG9Xg  
    8QI+O`  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0dD.xuor  
    •单击go！ L$,Kdpj  
    8LuU2Lo  
    m>!o Yy_  
     GFnwj<V+{  
    场追迹仿真（相机探测器） PBL=P+  
    ~~p)_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a |]}uFr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B~O<?@]d  
    *W 04$N  
     M3JV^{O/DV  
    C8(0|XX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <0Gk:NB,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w`=XoYQl~*  
    3?!c<^"e  
    F"23v G>3  
     7Fzr\&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5OAb6k'  
     6"r _Y7%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,~Lx7 5{  
    CRNt5T>qH  
     I(/*pa?m{  
    xxC2 h3  
    文件信息 _@_EQ!=  
    [BEQ ~A_I  
     B,ao%3t  
    _]0<G8|Rv  
     # 3FsK  
    QQ：2987619807 @$~;vS  
     
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