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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 td+[Na0d  
    >2)!w  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P+3)YO1C  
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    \y/+H  
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    建模任务 .]Z,O>N  
    . LNqU#a  
    q}5&B =2pM  
    概述 II_MY#0X  
    Xgm9>/y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dnTXx*I:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *-9b!>5eD  
    :Ee5:S   
     #D!3a%u0  
    jNseD  
    光线追迹仿真 VAR/"  
    @KYmkx W  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <kor;exeJ  
    •单击go！ {EupB?  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~9ILN~91  
    RwwX;I"o%  
     Qod2m$>wp}  
    K#{E87G(  
    光线追迹仿真 (.3L'+F  
    x]U (EX`t$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _'oy C(:}  
    •单击go！ iJE|u  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [G|2m_  
    h Tn^:%(  
     `o*g2fW!  
    Dy^4^ J5+  
    场追迹仿真 3/@'tLtN  
    W.,J'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M>k7 '@G  
    •单击go！ aa1XY&G"!  
    QX~*aqS3s8  
    9tC8|~Q  
     \9k{"4jX\  
    场追迹仿真（相机探测器） M !OI :v  
    \>/:@4oK  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |@-WC.  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #(*WxVE  
    I.e'  
     [%nG_np  
    = -pss 47  
    场追迹仿真（电磁场探测器） z?"5= "D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aLXA9?  
    cuk2\> Xl  
    Azz]TO  
     PvT8XSlTx!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M7Hk54U +t  
     pr0V)C6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :g9z^ $g  
    #-HN[U?Gs  
     khv!\^&DD  
    TcfBfscU  
    文件信息 r IK|}5  
    ?s"v0cg+  
     *u{.K:.I  
    F<(x z=  
     kyo ,yD  
    QQ：2987619807 Z%OSW  
     
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