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摘要 kf\PioD8 R^8o^z['6u 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xk9% F?)
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 {K~ 'K+TPu
. Bl\Z 建模任务 M~Tuj1? y1jCg%'H  1W
c=5 ! 概述 Ea=8}6`s 1SQ3-WU s •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1sy[ @Q2b •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nSDMOyj+ 1 fp?
 >jDDQ@ ( U D nsF 光线追迹仿真 ;>%r9pz ~ kUb>^-
-K •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 CImWd.W9~ •单击go！ ].avItg •获得了3D光线追迹结果。 k& M;,e3v6 } ?$F}s-
 YH }'s>xZz ydEoC$?0 光线追迹仿真 ^ox=HNV v4!V r I •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x;O[c3 I •单击go！ C!O 0xhs •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
_O)>$.^6 ( q/e1L-S
 ~p6 V,Q 1;bh^WMJ 场追迹仿真 ;DQ ZT g\|Pco Lm •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N@4w!
HpJ •单击go！ w?PkO p `G BW%X/  L]|gZ&^
/aCc17>2V{ 场追迹仿真（相机探测器） #Qw0&kM7I {S]}.7`l9( •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @(w@e\Bq •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 +%z> H"J. U7,e/?a
 Df-DRi ' `[&}R 场追迹仿真（电磁场探测器） vQG5*pR*w •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4d4ZT? V[ d UE,U=  -a}Dp~j
PA{PD.4Du 场追迹仿真（电磁场探测器） [-1^-bb
l+K'beP •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D(op)]8 biD$ qg
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