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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 n|&=6hiI  
    KFHZ3HZ:>  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `| ?<KF164  
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    建模任务 &d2L9kTk  
    x0J W  
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    概述 7 uL.=th'  
    5)T[ha77u  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LX7P?j  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $&Vba@v  
    m\XsU?SuX  
     6`Tx meIP  
    cYK:Y!|`F  
    光线追迹仿真 g^+p7G  
    CO@G%1#  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 SR?mSpq5  
    •单击go！ NL$z4m0  
    •获得了3D光线追迹结果。 EA>.SSs!  
    :G@z?ZJ[  
     =EFh*sp  
    (FApkvy  
    光线追迹仿真 f;BY%$  
    6_KvS  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4jebx jZ  
    •单击go！ hQ<7k'V  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tUx H 6IS  
    j}//e%$a  
     w=;>  
    uc@4fn  
    场追迹仿真 s=(q#Z  
    dV38-IfGkl  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 SkmTW@v  
    •单击go！ Zw0KV%7hD  
    y4h =e~  
    R&.&x'<  
     T.;{f{  
    场追迹仿真（相机探测器） yPtE5"(o  
    TYGI f4z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /}~=)QHH  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Itr 4 Pr  
    bpZA% {GS  
     @a@}xgn{  
    PY7H0\S)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） __ 9FQ{Ra  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _J6 Xq\  
    ?j/FYi  
    )m;*d7l~p  
     W..*!UGl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3JQ7Cc>  
     @ !su7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wjl2S+Cc  
    q`r| DcN~  
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    G$TO'Ciu:  
    文件信息 Z[*unIk  
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     7 nnF!9JOv  
    C\5G43`  
     6 ScB:8M  
    QQ：2987619807 )TiM>{  
     
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