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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 g Oe!GnO  
    ~Kt1%&3{a?  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 FNuE-_  
    gKl9Nkd!R  
    b9#(I~}  
     `A%WCd60Tc  
    建模任务 P9qIq]M  
    Tg"? TZO~  
    #;~HoOK*#  
    概述 ^"D^D`$@  
    Hi=</ Wy;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _k26(rdI@-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 q^<HG]  
    GS=E6  
     hSw=Oq82  
    $[Z~BfSQ  
    光线追迹仿真 MJqWc6{ n  
    3~bB2APk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EpNN!s=Q  
    •单击go！ W90!*1  
    •获得了3D光线追迹结果。 "^6Fh"]  
    w&p(/y  
     ~v;+-*t  
    =f y|Dm74  
    光线追迹仿真 * 30K}&T  
    Q&vdBO/  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _J!&R:]$  
    •单击go！ ^~-YS-.J#,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {&>rKCi  
    l*z% Jw  
     u>.a;BO  
    p*,T~(A6  
    场追迹仿真 ,3 /o7'  
    !CX WoM  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -JF^`hBD-  
    •单击go！ {R-o8N  
    "r_wgl%  
    / @"{u0  
     po*8WSl9c[  
    场追迹仿真（相机探测器） ~?Ky{jah:^  
    cZ?$_;=  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  {Ba&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 PIa!N Py  
    V=*^C+6s  
     <^Vj1s  
    =xIZJ8e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t!3N|`x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f0 sGE5  
    vio>P-2Eho  
    p9?kJKN  
     CA0XcLiFt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） clV^Xg8D  
     }' AY#g  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )h]#:,pm  
    O1\Hx8^  
     iBAP,cR?`  
    ]$Z:^" JS3  
    文件信息 MXcW & b  
    *PnO$q@`  
      &Q~W{.  
    zq{UkoME  
     WM ?a1j  
    QQ：2987619807 *"8Ls0!  
     
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