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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 MQv2C@K9F  
    8[|RsM   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q'~2,%3<  
    6(`Bl$M9  
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     clZ jb  
    建模任务 Z+< zKn}  
    )NwIEk>Tf  
    <d\Lvo[  
    概述 9aE!! (E  
    ^=nJ,-(h_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6-@ X  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;{e;6Hq  
    , LP |M:  
     5Y\wXqlY  
    9*+%Qt,{B  
    光线追迹仿真 :Q\{LBc  
    $Y!$I.+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 CmNd0S4v  
    •单击go！ 8yH*  
    •获得了3D光线追迹结果。 vElVw. P  
    0!c^pOq6  
     6Y|jK< n?H  
    Qifjv0&;u  
    光线追迹仿真 *jps}uk<  
    < xm>_~,w  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =?} t7}#  
    •单击go！ $~|#Rz%v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  lqO"  
    3@r_t|j  
     CV~\xYY  
    0{/P1  
    场追迹仿真 l;I)$=={=  
    U`D.cEMfH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7[wHNJ7)r  
    •单击go！ )19As8rL/o  
    a$7}_kb  
    vpy_piG|  
     HeagT(rN'  
    场追迹仿真（相机探测器） f#RI&I\  
    Xj/U~  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b5hJaXJN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Dl kHE8r\  
    qV%t[>  
     . mDh9V5  
    :&#HrD[KT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sbZ$h <  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Im;8Abf  
    'sCj\N  
    %z6.}4h  
     oJ cR)H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nDh]: t=  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2 0Xqs,  
    HSk gS  
     OC|9~B1  
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    文件信息 IR(6  
    4~Ptn/ g  
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     #"^F:: b-  
    QQ：2987619807 TO.71x|  
     
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