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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 R=dC4;  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -12U4h<e  
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    VQs5"K"  
     ;*N5Y}?j'  
    建模任务 XuTD\g3)  
    5bIw?%dk(  
    u y+pP!<  
    概述 =vPj%oLp'a  
    So;<6~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 XG?8s &  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 GVz6-T~\>  
    ibw;}^m(  
     [m -bV$-d  
    q| 7(  
    光线追迹仿真 LscGTs,  
    S @Y39  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 edD)TpmE,  
    •单击go！ 0%B/,/PxD  
    •获得了3D光线追迹结果。 9^x> 3Bo  
    : DNjhZ  
     vIvIfE  
    k!^{eOM  
    光线追迹仿真 =%7-ZH9  
    H+#FSdy#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^pS~Z~[d/  
    •单击go！ $xqa{L%B  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jCY %|  
    =AT."$r>  
     ni<(K 0~  
    <%^&2UMg  
    场追迹仿真 'R)Tn!6  
    6b,V;#Anj  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7^Uv7< pw  
    •单击go！ y} '@R$  
    d5b%  W3  
    zCA2X !7F  
     y7{?Ip4[  
    场追迹仿真（相机探测器） GY*p?k<i  
    @iiT<  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +_!QSU,@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?0.NIu,,o  
    VUc%4U{Cti  
     } \f0 A-  
    !Cs_F&l"j  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sA~]$A;DM!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y5r4&~04  
    km(Po}  
    s~>}a  
     #tHK"20  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wzA$'+Mb  
     aXVFc5C\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0K+ne0I  
    dr(*T  
     kstIgcI  
    GyIV Hby  
    文件信息 @~e5<:|5#  
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    QQ：2987619807 3]>|  i  
     
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