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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ]*zF#Voc  
    y=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G*J(4~Yw}  
    BLMcvK\9  
    GIZNHG   
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    建模任务 fCEd :Kr  
    8 LaZ5  
    -P'>~W,~  
    概述 rM>&! ?y+  
    `I m;@_J  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 g08=D$P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 JZP2NB_xt  
    $T3/*xN  
     J anLJe)  
    mT-5Ok&TUe  
    光线追迹仿真 /I6?t= ?<  
    06Uxd\E~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3)dT+lZ  
    •单击go！ M6DyOe<  
    •获得了3D光线追迹结果。 Y|B/(  
    @uH7GW}$g  
     ]/d2*#  
    Jw {:1  
    光线追迹仿真 MgtyO3GUAD  
    9 lA YCsX  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =1+I<Ljk  
    •单击go！ c+4SGWmO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #+_Oy Z*  
    iZ_R oJ  
     4r5,kOFWb  
    Y{p *$  
    场追迹仿真 162qxR[.  
    (iWNvVGS  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Gl1`Nx0  
    •单击go！ wlKL|N  
    Pv/P<i^  
    "_q5\]z\O  
     \LM'KD pP_  
    场追迹仿真（相机探测器） cwpDad[Kx  
    KrbNo$0%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %LVk%kz  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4Nq n47|>e  
    ]L_HnmD6  
     gNZ^TeT  
    4 6e;UUf!d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S2fw"1h*x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1/#N{rZ  
    q5OW1%  
    E+7S:B  
     C %EQ9Iq6r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f-{[ushj  
     Q&F@[k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1W/= =+%I  
    9Pem~<  
     uHf~KYL  
    h_CeGl!M}  
    文件信息 ZFdQ Z=.'  
    VVe>}  
     {b#c0>.8-  
    *~:@xMa  
      j, G/[V  
    QQ：2987619807 o[cKh7&+  
     
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