切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1324阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6519
    光币
    26744
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 i)A`Vpn  
    .q AQP L  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0SAG6k~x  
    Rh wt<  
    [{hLF9yPx  
     n,C D4Nv  
    建模任务 Y9z:xE  
    !X \Sp}  
    QT7w::ht  
    概述 nEjo,   
    O JZ!|J8?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {Hktu|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !Ei Ze.K  
    WyKUvVi  
     |N phG|  
    T{5M1r  
    光线追迹仿真 |U;w!0  
    V Z4nAG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $ioaunQKP  
    •单击go！ *#X+Gngo  
    •获得了3D光线追迹结果。 VZ9e~){xA  
    T>AI0R3  
     f~n' Ki+'  
    |q1b8A\  
    光线追迹仿真 {[(W4NAlH  
    -jcrXskb&N  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @j)f(Zlu#  
    •单击go！ g4BwKENM  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7LyV`6{70  
    +oxqS&$L  
     'ugR!o1  
    i]h R7g<  
    场追迹仿真 \kua9bK  
    QjW~6Z.tI  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ijR-?nrR  
    •单击go！ tA;ZW2$#  
    V!yp@%D  
    D 9@<#2-  
     ,=XS%g}l4  
    场追迹仿真（相机探测器） +E""8kW- Z  
    RN cI]oJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b_)QBE9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qqO10~Xc  
    6 ^6uK  
     y7}~T!UyfF  
    7@e[:>e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） A-@-?AR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ed ?Yk* 4  
    MOH,'@&6^  
    unbcz{&Hb[  
     XH_qA[=c]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /ab K/8ZQ  
     $)i"[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SbQ{ >  
    v~W6yjp  
     fu7[8R"{  
    ":ws~Zep  
    文件信息 sov62wuqU  
    HjE Tinm"  
     I{X@<o}  
    Q%b46"  
     CsQ}P)  
    QQ：2987619807 '&o> %V  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表