切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1355阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6561
    光币
    26954
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 L-`V^{R]  
    iKo2bC:.&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C1NU6iV^z  
    kV1L.Xg  
    BmV `<Q,  
     .4v?/t1  
    建模任务 23r(4  
    k( 0;>)<i  
    qj~=qV0p  
    概述 op`9(=DJ]  
    7k*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 x"q]~u<rB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #@DJf  
    SWzqCF  
     cV6H!\  
    @LOfqQ$FE  
    光线追迹仿真 m"~ddqSMT  
    H]tD~KM<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |j0_^:2r=  
    •单击go！ gamB]FPZ  
    •获得了3D光线追迹结果。 BO*)cLQ  
    j?u1\<m  
     LA;f,CQ  
    Ct-eD-X{  
    光线追迹仿真 +m./RlQ{  
    >s/_B//[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )dfhy  
    •单击go！ Kuh3.1#o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZX&e,X~V  
    f@;pN=PS  
     -sA&1n"W&5  
    dUa>XkPa\2  
    场追迹仿真 goiI* " 6M  
    !$l<'K$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !T<,fR+8X  
    •单击go！ L[2N zw O  
    /#vt \I<x  
    }i^M<A O  
     c!\T 0XtT  
    场追迹仿真（相机探测器） BGi'UL,  
    o}r_+\n  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yn!;Z ._  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Nsh/  
    (km $qX  
     ,X3D< wl  
    _k]R6V:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y}BP ]#1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +PE-j| D  
    ggPGKY-b=  
    O$,  
     S}rEQGGR{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T P#Ncqh  
     +i}H $.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M 0}r)@  
    fUf 1G{4  
     IN3-ZNx  
    cr-5t4<jK  
    文件信息 qnyacI  
    +)yoQRekX  
     v\bWQs1  
    G.O;[(3ab  
     1v:Ql\^cT  
    QQ：2987619807 TI8\qIW  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表