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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 1eQa54n  
    [F{q.mZj  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y1?w f.  
    qE?*:$  
    D]n9+!Ec1f  
     ={P  
    建模任务 I:M]#aFD  
    'oSs5lW  
    ~/s(.oji  
    概述 DU(QQ53  
    /KGVMBifM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s<,[xkMB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 h^o>9s/|/H  
    7(c7-  
     W(U:D?e  
    ?IRp3H  
    光线追迹仿真 2k}~"!e1  
    KY 085Fvs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =yo?]ZS  
    •单击go！ ~k>H4hV3  
    •获得了3D光线追迹结果。 x9S~ns+r  
    zzOc # /  
     8U}BSM_<2  
    &`"Q*N2{  
    光线追迹仿真 A'Q=Do E  
    ?t<yk(q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =_~bSEqyRI  
    •单击go！ p2T<nP<Pt  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ('k;Ikut  
    n<RvL^T=  
     =(\ /+ 0-[  
    'MZX"t  
    场追迹仿真 Q'-g+aN  
    ~1e?9D  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ( -^-  
    •单击go！ #+$pE@u7A  
    >a;0<Ui&Q  
    pxC:VJ;  
     /S9s%scAy  
    场追迹仿真（相机探测器） fCg"tckE  
    J3/2>N]/}  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S ?v^/F  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 i$`OOV=/e  
    2^Y@e=^A  
     =e\E{K'f@  
    =)tU]kp  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7bcl^~lY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .CU~wB@h  
    bEx8dc`Q  
    w]2tb  
     B#Sg:L9Tr'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |Uf[x[  
     x-W6W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N0UL1[ur  
    g+CTF67  
     {zGM[A  
    Tz/=\_}  
    文件信息 FUy!j|W6f  
    xOfZ9@VU  
     M@)^*=0H  
    4DGc[  
     ruqx #]-  
    QQ：2987619807 Hz A+Oi  
     
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