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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ]r6bJ 2  
    N3<Jh  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v_0!uT5~NE  
    K7c8_g*>4=  
    |5Pbc&mH8A  
     =jt_1L4  
    建模任务 rUjr'O0  
    r.;iO0[/  
    ZZ*k3Ce  
    概述 z%tu6_4j  
    ~0|hobk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =1 \wZuK#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C6~dN& q  
    nif' l/@"  
     ^E17_9?  
    ?y)X$D^  
    光线追迹仿真 Ui!|!V-  
    d Al<'~g  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |$2N$6\SP  
    •单击go！ K3DJ"NJ<Ji  
    •获得了3D光线追迹结果。 9AzGk=^  
    j:3Hm0W3  
     nn4Sy,cz  
    qI*1+R}  
    光线追迹仿真 {1|7N GQ  
    T(^8ki  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 NfF:[qwh  
    •单击go！ /8\&f %E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yW?%c#9D  
     LB7I`W  
     &Ld8Z9IeFp  
    [)>8z8'f  
    场追迹仿真 @!3^/D3  
    L$ Ar]O)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I>Fh*2  
    •单击go！ hP8&n9o  
    `+c9m^  
    e~]e9-L>I  
     g8A{aHb1}  
    场追迹仿真（相机探测器） >[4|6k|\x  
    l>Ja[`X@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4^_Au^8R(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 eh4"_t  
    WV"QY/e3  
     VQMd[/  
    *[:CbFE0y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） luk2fi<$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k+GnF00N^8  
    BV?N_/DXp  
    f ?zK "  
     M`pTT5r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~{Rt4o _W  
     SliQwm5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0lr4d Y  
    R${4Q1  
     JO{- P  
    [k 7N+W8  
    文件信息 =M{CZm  
    ` +BaDns  
     qS}RFM5|  
    rRrW   
     {&u7kWD|  
    QQ：2987619807 4$DliP  
     
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