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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 VZl0)YLK  
    DO*C]   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B_1u<00kg  
    nmAXU!t'  
    Ft>8 YYyU  
     ) FsSXnZL  
    建模任务 =hb87g.  
    f)fw87UPc  
    f;6d/?=~  
    概述 |W[rywxx  
    z{_Vn(Kg   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _Xe< JJvq  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +OP'/  
    TW? MS em  
     JG$J,!.\  
    KPrxw }P  
    光线追迹仿真 l$@lk?dc  
    5,fzB~$TX(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uv d>  
    •单击go！ "lAS <dq  
    •获得了3D光线追迹结果。 8z v6Mx  
    1Ez A@3:{  
     [^P2Kn  
    D~);:}}>  
    光线追迹仿真 i oQlC4Y  
    ~|]\. ^B  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 yQ2[[[@k@  
    •单击go！ x$4'a~E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 1.CYs<  
    w%na n=  
     fR{7780WZ  
    3_:k12%p  
    场追迹仿真 5T*7HC[  
    JE!Xf}nEi  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BGOI  
    •单击go！ xJlq2cK  
    \|s/_35(  
    P]^] T}5  
     ;B@l0)7(x  
    场追迹仿真（相机探测器） eZo%q,L  
    WR%iUO40  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ru Lcu]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^|z>NV5>  
    T!r7RS  
     C\K--  
    X[}%iEWzT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CQHlSV W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C5?M/xj  
    4G2V{(@QiZ  
    2q bpjm  
      \ Ld7fP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L"0L_G  
     z9ZAY!Zhq]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .`9KB3  
    stScz#!  
     (Nf.a4O  
    YFY)Z7fK  
    文件信息 ml2HA4X&$Y  
    ^W*/!q7H  
     {I ,'  
    Q)/q h;R u  
     |ouk;r24V  
    QQ：2987619807 ,v+SD\7|  
     
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