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摘要 14oD^`-t sB7DF<91 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6K `frt
*ArzXhs[
 kZz;l(?0
E8%O+x} 建模任务 K\?vTgc( ?)]sfJG  /&kZ)XOi 概述 "<!|am( 4`Fbl]Q •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j:<E=[Kl •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 F>^k<E?,C ` aw k@
 j1/J9F' :&_@U $ 光线追迹仿真 CZ]+B8Pl(x |2n2 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :M=!MgD3w •单击go！ 3l4k2 •获得了3D光线追迹结果。 $Q47>/CUc^ bzUc;&WDz
 ^GRd;v =-@ +?mZ_sf8w 光线追迹仿真 r43dnwX -$e\m]
}Z •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 zao ZCyJT% •单击go！ M.|hnGX N •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <Xl G :nmY s[xdID^3.
 ^]aDLjD W:9L!+m^ 场追迹仿真 pdtK3Pf WBC' ~ h<@ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B623B HwS •单击go！ w7dG=a& #}k^g:l1  [b Gdg
@ <alWBS 场追迹仿真（相机探测器） N k^#Sa? 56TUh_ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %kV pW&
~ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JY>]u*= \J 1Jn~
 OM, uR3, M% $zor 场追迹仿真（电磁场探测器） :k(aH U a •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %PkJ7-/b|^ :T'"%_d5  C9bf1ddCW&
=&}dP%3LC) 场追迹仿真（电磁场探测器） |@d7o]eM|
CZbp}:| •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?]sj! 7 8c ~b7F
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 I^lb;3uR B d\p!f< 文件信息 s q :ff S{
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