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摘要 8j d;JPz@\ h U` wVy 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {1V ($aBl
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Mr;E<Lj ^K 建模任务 uw [<5 M=1n QF2J  Mn9dqq~a 概述 2 ^mJ+v< _,xc[ 07 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 YP .5fq: •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SSz~YR^}Sr .z)%)PVV
 E~ %jX
}/ 0Fk5kGD,&K 光线追迹仿真 0y
7"SiFY @y='^DQ* •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 > TOu|r •单击go！ MHh~vy'HB5 •获得了3D光线追迹结果。 U7 `A497Z m@"QDMHk.
 J?Ra bYd ~ ]Y2RqXA* 光线追迹仿真 :n0vQ5a 9Wnn'T@Tl •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x^ kp^
/f •单击go！ 8Eakif0CO •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G B>QK w8kOVN2b
 4SlADvGl r G4';V^q 场追迹仿真 _CW(PsfY } \HN&@ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "}pNe"ok •单击go！ bn^ {c txiP!+3OWB  j Dy-)2<
O-LO/*5MI 场追迹仿真（相机探测器） ^Wc@oa` -u2P ?~ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5Yl <h)1 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k `0>36 EQf[,
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Z%9_$Z <_3b1VhZ 场追迹仿真（电磁场探测器） 0BIy>wy: •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z&|Kki* X:6c}p%,!  @&X|5p"[g
rW+ =,L 场追迹仿真（电磁场探测器） @xbQ Ye%J
W7U2Mq Q •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^c&L,!_)H 'R
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 $u 9K+>. *Eo?k<:zPm 文件信息 pgO QIzu $e*ce94
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