切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1008阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 x_ySf!ih  
    -HTL5  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /s-d?  
    -~'kP /E^  
    'aPCb`^;w  
     5 TET<f6R  
    建模任务 h]C2 8=N  
    /$OIlu  
    ^%zNa6BL  
    概述 Fhi5LhWe+.  
    aa=b<Cd  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <W|1<=z(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !'PlDGD  
    ~mcZUiP9  
     ]1Qi=2'  
    iJ*%dio  
    光线追迹仿真 9R:(^8P8  
    tD^a5qPh  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (v|`LmV  
    •单击go！ </hR!Sb]  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]84YvpfW  
    MZiF];OY  
     agTK =  
    a?\ `  
    光线追迹仿真 HtS#_y%(  
    @ YrGyq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9>zDJx  
    •单击go！ |Qq+8IeYG  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j5A\y^Kv  
    U*xxrt/On/  
     5z[6rT=a  
    k^yy$^=<  
    场追迹仿真 SJF2k[da  
    hf[IEK  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TQ2i{e  
    •单击go！ %SFw~%@3&~  
    6<Be#Y]b  
    :!hk~#yvJ9  
     '&{(:,!B  
    场追迹仿真（相机探测器） 9Iy[E,j  
    l85CJ+rg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @hBx, `H^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MSF Nw  
    ~EPjZ3 ?  
     ;p.j  
    @]yQJuXA&Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !zl/0o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q2D`1nT  
    [y$j9  
    @)06\ h  
     DvU~%%(0^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） r$Kh3EEF`E  
     hiT9H5 6 >  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cRPr9LfD@  
    t>=GVu^  
     l!Nvn$h m  
    CcbWW4 )  
    文件信息 KS8\F0q  
    c '/2F0y  
     \y<+Fac1S  
    r]xdhR5  
     baA HP "  
    QQ：2987619807 mT}Aje-L  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表