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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ma26|N5  
    .:s**UiDR  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s"]LQM1|  
    uBC*7Mkm  
    Nb;Yti@Y.  
     c=HL 6v<  
    建模任务 )<jT;cT!&  
    Ow]c,F}^  
    Z$5@r2d)  
    概述 qu/59D  
    dmD ':1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5 gbJTh<JU  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R|AG N*.  
    21U,!  
     8[;U|SR"  
    ve / Q6j{  
    光线追迹仿真 'rdg  
    `ja**re  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kST  
    •单击go！ wBXgzd%L  
    •获得了3D光线追迹结果。 `795 K8  
    5ff66CRw  
     ;dYpdy  
    2 }Q)&;u  
    光线追迹仿真 =jmn  
    `+QrgtcEy4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8f|  
    •单击go！ x_ \e&"x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R('44v5JQp  
    A{hWFSv  
     _dq.hW7  
    !W8'apG&[  
    场追迹仿真 2,<!l(X  
    HtIM8z#/  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 A:ef}OCL  
    •单击go！ MqI!i>  
    -U=bC   
    h7  >  
     }45&s9m=  
    场追迹仿真（相机探测器） /cDla5eej  
    t{K1ht$[:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'on, YEp  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 P{)eZINlE  
    nQvv'%v0   
     cX553&  
    F,`y_71<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） I "9S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Zcv1%hI  
    9[B*CD |  
    jQ_j#_Vle  
     0=&Hm).  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a3037~X  
     U)+Yh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fXBA P10#  
    _y),C   
     icHc!m?  
    Hc4]2pf  
    文件信息 Qg9 N?e{z  
    5B@+$D[0?3  
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    x2[A(O=  
     a%sr*`  
    QQ：2987619807 W)?B{\  
     
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