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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 5QJL0fc  
    su;S)yZb  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 CaBS0' n  
    KCE-6T  
    ;r"B?]JO  
     ^;Q pE  
    建模任务 RfG$Px '  
    C:MGi7f  
    jqWvLBU!  
    概述  u$8MVP  
    GTl(i*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T(^8ki  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C/Bx_j((  
    T9-a uK0d  
     GQq'~Lr5  
    v^fOT5\  
    光线追迹仿真 3G|fo4g  
    #/<Y!qV&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `|Z@UPHzG  
    •单击go！ J6D$ i+  
    •获得了3D光线追迹结果。 a&Du5(r;!  
    P%HyIODS  
     g8A{aHb1}  
    .fY<"2g  
    光线追迹仿真 B Rj KV  
    @|%ICG c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 PJ:5Lb<  
    •单击go！ ky$:C,1t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %MZDm&f>Kk  
    ]},Q`n>$  
     5XO'OSdYq  
    _J~ta.  
    场追迹仿真 ULmdt   
    @i-@mxk6<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FKnQwX.0  
    •单击go！ oHd0 <TO  
    0P3|1=  
    )Q/`o,Vm  
     i}F;fWZ`  
    场追迹仿真（相机探测器） lY9M<8g  
    X]U"ru{1q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JD`;,Md  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?V:]u 3  
    <sYw%9V  
     A<X :K nl  
    mW0&uSM D  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G:C6`uiy`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }6,bq`MN  
    A6y~_dt  
    !vVjZ  
     (i0"hi  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^ R^N`V   
     [piF MxZP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yn]y d1  
    @TPgA(5NR  
     fZ~kw*0*  
    >c\v&k>6.  
    文件信息  [Ro0eH  
    r2F  
     /0&:Yp=>  
    wt=>{JM  
     A.C278^O8  
    QQ：2987619807 m#'rI=}!  
     
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