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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `Ph4!-6#  
    /:yKa=$  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7F|T5[*l  
    2!]':(8mR  
    F P mLost  
     c/T]=S[  
    建模任务 %@H;6   
    %I6iXq#  
    Q CfA3*  
    概述 ,p$1n;  
    T=b5th}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n]9y Cr  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I!# 42~\  
    %\r4c*O1q  
     l Fzb$k}_{  
    Q6.},o  
    光线追迹仿真 s`H}NjWx  
    TmzEZ<} &7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =H!u4  
    •单击go！ ?"qU.}kGL  
    •获得了3D光线追迹结果。 WNd(X}  
    =UTv  
     lQ! 6n  
    x]y~KbdeB  
    光线追迹仿真 !Otyu6&  
    $[FO(w@f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 lXv{+ic  
    •单击go！ lg1?g)lv  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~Qzm!Po,  
    x8zUGvtQ  
     G+\2Aj  
    Eer rIV  
    场追迹仿真 =P0~=UP  
    , Y9lp)w  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7*@qd&  
    •单击go！ i'`Z$3EF)  
    $+7M Y-9T  
    K-p1v!IC  
     Sfh\4h$H  
    场追迹仿真（相机探测器） AbLOq@lrK  
    dk{yx(Ty  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #W!@j"8eK  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'y;[ fwo7  
    O v?k4kJ  
     AX]lMe  
    %3z-^#B=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q| gG{9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _E&*JX  
    t55 '  
    DFR.F:O%  
     /Pi{Mv eZM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ":eHR}Hzx  
     uN6TV*]:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JsVW:8QO~  
    `C] t2^  
     =$Xdn'  
    `4w0 *;k;  
    文件信息 9<\wa/#  
    qrm~=yU%  
     "'II~/9  
    O1rnF3Be  
     3x 'BMAA+  
    QQ：2987619807 [<f\+g2ct  
     
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