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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 >e^bq/'  
    Q<0X80w>  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 SP.k]@P  
    S#kYPe  
    KT[ZOtu  
     $7" Y/9Y  
    建模任务 qF\w#nG  
    qA0PGo  
    -^+fZBU;  
    概述 rU+3~|m  
    0 30LT$&!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u8.F_'`z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Jr5dw=B gw  
    ,oykOda:|  
     t0,=U8]w  
    F/x2}'  
    光线追迹仿真 DL`8qJ'mJs  
    A3)"+`&PUl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /k8I6  
    •单击go！ 3^[P  
    •获得了3D光线追迹结果。 _B>'07D0  
    wx^Det  
     =p^$>o  
    nrHC;R.nE  
    光线追迹仿真 ;4l8Qg 7  
    Idb*,l|<  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 A'BqNsy  
    •单击go！ P -NR]f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h4jo<yp\  
    |.VSw  
     hr;^.a^  
    Fei5'  
    场追迹仿真 "4\k1H"_  
    EB| iW2'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 r4pX4 7H  
    •单击go！ tL3R<'  
    &Ts!#OcB,  
    NB1KsvD{  
     ,`JYFh M  
    场追迹仿真（相机探测器） b"uO BB  
    <pfl>Uf  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2TU V9Z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U$mDAi$  
    )by7 [I0v  
     md*U  
    VcGl8~#9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UAPd["`)y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~n- Px)  
    Pr1q X5>=  
    y{/7z}d  
     Kf1J;*i|\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <4+P37^ ~  
     5CZyA`3V^5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PJiU2Y33  
    yAfwQ$Ll7  
     K fD. J)  
    KJRAW]?{  
    文件信息 ;+<IWDo  
    )O"E#%  
     kL%ot<rt)w  
    9Q=VRH:  
     ._^}M<o L  
    QQ：2987619807 yI 2UmhA  
     
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