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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 00p 7sZU^  
    N'1~wxd  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g}-Z]2(c#  
    D^{:UbN  
    MocH>^,  
     v3"xJN_,[p  
    建模任务 NZuFxJ-`  
    M&FuXG%  
    e2fct|'  
    概述 Zy%Z]dF  
    C] w< &o  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h~@+M5r,  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 c v 9 6F  
    )8SP$  
     k ))*z FV  
    %np#Bv-L  
    光线追迹仿真 lo:~~l  
    Om  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )'~FDw\6  
    •单击go！ }v,THj  
    •获得了3D光线追迹结果。 Y zS*p~|  
    r\d:fot  
     p#d UL9  
    <T[N.mB  
    光线追迹仿真 +a-@ !J~:  
    HH?*"cKF~  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 to 6Q90(  
    •单击go！ +d f?N  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 A.O~'')X  
    (Y)h+}n5N  
     %#9~V  
    PNgMLQI6  
    场追迹仿真 \T9UbkR  
    1,QZnF!.x  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e9_+$Oo  
    •单击go！ ]gksyxn3  
    Ba0D"2CgY  
    kVnyX@  
     |vz;bJG  
    场追迹仿真（相机探测器） sjgR \`AU  
    (N|xDl &;  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I;-5]/,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?w/nZQWi  
    z|*6fFE   
     %k #Nu  
    ;/ KF3 %  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vXyo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p,\bez  
    Q+(:n)G_6E  
    tq[",&K  
     i%PHYSJ.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T zYgH  
     *u'`XRJU/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xl6ZV,1=n7  
    \BaN5+ B6  
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    文件信息 !a(qqZ|s  
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     1r& ?J.z25  
    vC<kpf!  
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    QQ：2987619807 \w[ZY$/  
     
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