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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 &bO5+[  
    a7Fc"s*  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z[{k-_HgAm  
    }&{z-/;H  
    O5:2B\B  
     n)'5h &#  
    建模任务 :Vyr8+]  
    ">pt, QV  
    _ Db05:r@  
    概述 =oPc\VYW  
    AM ZWPU  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lwU$*?yv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1 ynjDin<  
    zAxscD f'  
     8'Y7lOXS  
    j.FW*iX1C  
    光线追迹仿真 *Ou)P9~-L  
    gPu0j4&-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }9qbF+b  
    •单击go！ 1JIo,7  
    •获得了3D光线追迹结果。 A"`^A brm  
    Zss `##  
     2unaK<1s  
    W]t!I}yPR  
    光线追迹仿真 }zkMo ?  
    ZM~kc|&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8<VO>WA>E  
    •单击go！ Hik :Sqpox  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5:o$]LkOWC  
    *nPB+@f  
     A* =r~T5B  
    [9:'v@Ph  
    场追迹仿真 *+-L`b{SX  
    ,bQbj7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2'38(wXn#  
    •单击go！ d0;$k,  
    Y)-)owx7  
    6^oQ8unmS  
     g@<E0 q&`$  
    场追迹仿真（相机探测器） =deqj^&@  
    _7O;ED+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1ud+~y$K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,1s,G]%M  
    ;-OnCLr  
     L6xLD X7y  
    XYOPX>$T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t#Q" ;e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nJvDkh#h1  
    `o.DuvQ E  
    e+!+(D  
     t~l uBUF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $E_9AaX  
     T.fmEl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gl1Qbd0  
    |7K[+aK  
     !F|mCEU  
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    文件信息 }w#Ek=,s#o  
    Z=B6fu*  
     x}`]9XQ  
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    QQ：2987619807 2f%G`4/p  
     
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