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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Y~#m-y  
    F|3Te?_  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Gs;wx_k^  
    )isz }?Dj  
    }Tf~)x  
     &?flH;  
    建模任务 /]m5HW(P7K  
    6r{NW9y'  
    |;e K5(|  
    概述 ~kPHf_B;z  
    L#mf[a@pCn  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TeaP\a  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^N#B( F  
    ;"46H'>!  
     2\80S[f  
    =aZgq99  
    光线追迹仿真 Uo?g@D  
    _K["qm{X_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 69ZGdN  
    •单击go！ %^tKt  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]R[j ]E.  
    a)w *  
     5<ZE.'O  
    ))m\d*  
    光线追迹仿真 y(/"DUx  
    v&Xsyb0CaM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 T1AD(r\W5  
    •单击go！ 0N.B =j|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 L!G]i;=:  
    v,bCj6  
     Ahl-EVIr<  
    >tc#Ofgzd  
    场追迹仿真 :_9MS0  
    r Q)?Bhf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ramYSX@  
    •单击go！ QS(aA*D  
    *|WS,  
    [`pp[J-~7  
     iY@wg 8ry  
    场追迹仿真（相机探测器） xVYy`_|  
    &%eWCe+ +  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #o`y<1rN  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KA~eOEj M  
    pY@$N&+W  
     IBfLb(I  
    8i$quHd&x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *iLlBE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2kukQj (n  
     W^dk:  
    HK}br!?  
     ].ZfTrM]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @ ;T|`Y=7  
     RHO | g0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aE aU_f /  
    M9[52D!{  
     YA+jLy6ZL  
    ?XCFR t,ol  
    文件信息 @QOlo -u  
    H(|n,c  
     /%&Kbd  
    =n@"lY u[  
     v@,n]"  
    QQ：2987619807 2Xw=kwu  
     
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