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摘要 :i0uPh\0 zIqU,n|]s 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A=$04<nP8!
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&C `Gg< 建模任务 I,E?h? 6Y QE^$=\l0  9 &$y}Y 概述 R[zpD%CI |6.l7u ?d •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LoURC$lS •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "|x^|n8i J4k=A7^N
 _~'=C#XI) |)IlMG 光线追迹仿真 1vS#K=s b
M92dZ1+6 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eQ$Y0qH1E •单击go！ iW)8j 8 •获得了3D光线追迹结果。 Cz9xZA{[M b:U$x20n$
 +jAGGv^ ) b_$4V3TA 光线追迹仿真 KN^=i5K+Y ^%d\qd` •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9e<.lb^tP •单击go！ ts ,ZvY] •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~Q Oe## zG }@0
 e6`Jbu+J<f =J18e H!] 场追迹仿真 E@z<:pG{ Df}A^G >X •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S-a]j;U •单击go！ DF &(8NoX~ ny] ?I  e vya7^,F
a[>/h3 场追迹仿真（相机探测器） WltQ63u qFicBpB •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HCIU!4rH •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]tim,7s `}D,5^9]
 TtK [nP '3R`lv 场追迹仿真（电磁场探测器） S){)Z •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F3y9@dA] 46}g7skD  B |5]Jm]
]V[q (-Jk 场追迹仿真（电磁场探测器） /Y/UM3/
gI&#o@Pm •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a]$1D !Anc |5X^u+_
 V )3KS- \e:7)R2<!x 文件信息 zKyyU}LHH R a O-H
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N&.H|5 QQ：2987619807 df*#!D7oz
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