切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1285阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 z|b4w7 I  
    pb{P[-f  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ldX]A#d.  
    t'Q48QAb?  
    +u=xBhZ  
     r\3In-(AT  
    建模任务 WJ.PPq>]F  
    /BIPLDN6  
    y~luuV;uj  
    概述 ADBw" ? >  
    gN]`$==c[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .M! (|KE4  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DSjo%Brd-  
    lpp'.HTP  
     kv5Qxj}  
    Ti)n(G9$  
    光线追迹仿真 XW#4C*5?d  
    e+6~JbMV  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 gEe}xI  
    •单击go！ p~mB;pZ%;  
    •获得了3D光线追迹结果。 gvU6p[D  
    V+Tj[:ok  
     *"4<&F S  
    q@!:<Ra,){  
    光线追迹仿真 =[k9{cVW  
    =az$WRV+7!  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SA&wW\Ym]  
    •单击go！ Sph+kiy|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e!-'O0-Kw  
    ;,A\bmC  
     sS|zz,y  
    };+s0:H  
    场追迹仿真 @!MbPS  
    f@}(<#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zV &3l9?U  
    •单击go！ t!=S[  
    g&bO8vR=  
    Qpc{7#bp  
     0PfFli`2;  
    场追迹仿真（相机探测器） } F.1j!71L  
    +\ySx^vi  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >r*Zm2($MR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `Q8 D[  
    @3@%9E  
     &q U[ wn:1  
    B%pvk.`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |}}]&:w2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gt%kok  
    Kaa*;T![  
    @$*c0 . |z  
     4(&'V+o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M,@SUu v"  
     !eq]V9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JU@$(  
    8j$q%g  
     4 5lg&oO  
    cm3Y!p{p"  
    文件信息 [Ok8l='  
    $>UzXhf}\  
     (wfg84  
    [GuDMl3hC  
     ?MYD}`Cv  
    QQ：2987619807 >guQY I@4,  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表