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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Y&S24aql  
    q=%RDG+  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |$vX<. S  
    mS^tX i5hg  
    pi Z[Y 5OE  
     %>~sJ0  
    建模任务 43mP]*=A  
    EB2w0a5  
    +z9Q-d%O  
    概述 MUTj-1H6)  
    K('hC)1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I1pWaQ0  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -o!$tI&  
    )Xv ilCk1  
     ,q}ML TS i  
    )(ImLbM)  
    光线追迹仿真 q(`/Vo4g(  
    @JD;k>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 NWMFtT  
    •单击go！ 9aze>nxh.  
    •获得了3D光线追迹结果。 Nv(9N-9r  
    ldiD2 Q  
     4)A#2  
    k@/sn (x  
    光线追迹仿真 5*Y^\N  
    ;1%-8f:lW  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ti I.W  
    •单击go！ sg$rzT-S4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7R6ry(6N  
    Q36qIq_0e  
     .P[ _<8  
    Bj1?x  
    场追迹仿真 aqj@Cjk4Z  
    KY51rw.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 czS+< w  
    •单击go！ )N7Y^CN~  
    uI1 q>[  
    ,N!o  
     mt,OniU=Q  
    场追迹仿真（相机探测器） ;[M}MFc/`  
    z^#;~I @M  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 45,1-? -!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j)<IRD^  
    ;<j0f~G`  
     &Low/Y'.jJ  
    q,93nhs "  
    场追迹仿真（电磁场探测器） NT e5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,*7 (%k^`  
    3|'>`!hb  
    ?~hHGf\^b6  
     @d mV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #a'Ex=%rM  
     +^=8ge}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l'/R&`-n  
    kBD>-5Sn_T  
     =;2%a(  
    apg=-^L'  
    文件信息 d@XV:ae  
    - jb0o/:  
     -f%'  
    I %sFqh>  
     JM x>][xD  
    QQ：2987619807 \s=t|Wpu2  
     
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