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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Ad^dF'SN  
    92s4u3 L;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *@CVYJ'<  
    !&qx7eOSpP  
    +d.u##$  
     3(aRs?/ O  
    建模任务 2TE\4j  
    G!nl'5|y  
    [SK2x4  
    概述 1aBD^^Y  
    5BrU'NF  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )>ug{M%g  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7F,07\c  
    iz Xbp02  
     rH[5~U  
    r;c' NqP  
    光线追迹仿真 bjuYA/w<  
    u wH)$Pl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s4x'f$r  
    •单击go！ YI L'YNH  
    •获得了3D光线追迹结果。 -kWO2  
    uCY(:;[<  
     ~C%2t{"  
    PthId aN@  
    光线追迹仿真 y2oB]^z&n  
    Su$18a"Bc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0eQ~#~j&  
    •单击go！ xeJ9H~^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 b\kN_  
    eV"dv*R  
     =6.8bZT\  
    b{Z^)u2X  
    场追迹仿真 1_N~1Ik  
    kA?X^nj@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 W Atg  
    •单击go！ Q2JdO 6[96  
    jjJc1p0  
    $ \? N<W  
     j)g_*\tQ  
    场追迹仿真（相机探测器） C!oS=qK?]  
    it(LphB8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^</65+OT+  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Nr> c'TH  
    *LY~l  
     @N,:x\  
    h$E\2lsE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )B -MPuB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FZ[@])B  
    jA20c(O  
    xI=}z  
     s`$NW^']  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <dju6k7uz  
     6Cz7A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 BSx j~pun  
    KzEuPJ?  
     <'PR;g^#  
    Tns?mQ  
    文件信息 zvek2\*rO  
    -ET*M<  
     r Iya\z1W  
    ig2{lEkF  
     .V5q$5j  
    QQ：2987619807 $nUd\B$.=  
     
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