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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 C[sh,  
    hX:"QXx  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 zeb=8 Dg :  
    80OtO#1y  
    C1kYl0 zR[  
     AIYmS#V1W2  
    建模任务 R%Y`=pK>}  
    Lh.b 5Q|  
    942lSyix  
    概述 FS6`6M.K  
    4<dcB@v  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r!1D*v5&:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 MRNNG6TUs  
    'k0[rDFc#3  
     &#`l;n:]+  
    "*1 f;+\  
    光线追迹仿真 YyAJ m^o  
    l e4?jQQ@L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m,i,n9C->  
    •单击go！ a' Ki;]q  
    •获得了3D光线追迹结果。 Fb22p6r  
    nfSbM3D]h  
     GPz(j'jU  
    W]M)Q}:Y  
    光线追迹仿真 H,fZ!8(A_)  
    Q_-_^J  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \>LnLH(  
    •单击go！ ]V l]XT$Um  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2WX7nK;I  
    Q 1d'~e  
     lGwl1,=  
    _.IxRk)T  
    场追迹仿真 J%09^5:-z  
    LEMfG~Czq  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F:@70(<w%  
    •单击go！ 9{k97D/  
    ]^':Bmq  
    3vhnwDcK  
     N{ Z  H  
    场追迹仿真（相机探测器） $vC1 K5sLk  
    wO ?+Nh  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @SZM82qU2z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F <>!kK/c  
    r.3/F[.  
     S5~VD?O,  
    f` =CpO*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w(kf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \drqG&wl  
    VE+IKj!VG0  
    7K)6^r^  
     Bm&kkx.9P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /VmR<C?h  
     3)-/`iy#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7VcmVq}X  
    MZ Aij  
     hX `}Q4(k  
    'smWLz}  
    文件信息 @-UL`+  
    pw7[y^[Qg  
     x77l~=P+!  
    ]|`C uc  
     Q+4Xs.#  
    QQ：2987619807 j'9"cE5_  
     
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