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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 X=-gAutfE=  
    &*LA_]1@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )@sJTAK  
    w50.gr7  
    9 kTD}" %2  
     Ki&WS<,0Z  
    建模任务 sj?`7kg  
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    概述 ym-lT|>Z  
    mdmZ1:PBM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 rQ 9?N^&!%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (xjoRbU*  
    .Bm^3A  
     q!u lE{ ^  
    U4 go8  
    光线追迹仿真 ^!-E`<jW8  
    )Gu0i7iN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Rh05W_?Js  
    •单击go！ n0>5'm%ES  
    •获得了3D光线追迹结果。 Q6e'0EIKC  
    N{0+C?{_  
     ZEXj|wC  
    J7 Oa})-+'  
    光线追迹仿真 '=Ip5A{S/  
    c,{&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 bahc{ZC2  
    •单击go！ J,(U<%n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0%q{UW2  
    )- Wn'C'Z  
     xIq"[?m  
    n9mM5H47  
    场追迹仿真 BIHHRCe:@n  
    %nG~u,_2f  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 WsK"^"Z  
    •单击go！ P^uP$D  
    "`8H:y  
    )f:!#v(K  
     6cgpg+-a  
    场追迹仿真（相机探测器） `gBXeG2fn  
    %Hl:nT2M  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 D!OG307P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !)l%EJngL  
    t2!$IHE:  
     m,"cbJ /  
    o q'J*6r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） b'Piymx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 leX7(Y;!a7  
    ~8n~4  
    (dGM;Dq8  
     z wniS6R1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CoKj'jA  
     X<@y*?D9D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sWpRX2{5,  
    PL$(/Z  
     VK@i#/jm  
    `hQ!*f6  
    文件信息 %+j]vP  
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     ngH~4HyT  
    l#5k8+s  
     *9U4^lJjn  
    QQ：2987619807 yg]nS<K~4  
     
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