切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1369阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6593
    光币
    27114
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 vi|Zit  
    N9`97;.X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 PpFsp( )x  
    afUTAP@  
    Rcf=J){D6  
     M=[th  
    建模任务 b{pg!/N4  
    [gZDQcU  
    *B{-uc3o  
    概述 L|J~9FM  
    `xIh\q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 MD4\QNUa)*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @\PpA9ebg%  
    !tBeuemN%  
     4>k I^  
     2d~LNy  
    光线追迹仿真 bKUyBk,\#  
    )&z4_l8`=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N7pt:G2~%  
    •单击go！ d$[8w/5Of  
    •获得了3D光线追迹结果。 =ybGb7?  
    w[sR7T9*  
     Fr;lG  
    _:%U_U  
    光线追迹仿真 [-58Ezyr  
    `:4MMr91  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +5-fk>o  
    •单击go！ Ut_mrb+W  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6(.H3bu  
    }{mG/(LX8  
     7}o6_i  
    !qw4mN  
    场追迹仿真 !7c'<[+Hm  
    Fx5ZwT t  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z(UD9wY5m  
    •单击go！ A$<>JVv  
    i6PE6> 1/  
    @G(xaU'u  
     \k4pK &b  
    场追迹仿真（相机探测器） @'HT;Q!\Vd  
    Q"'V9m7 i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *]2R.u  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 iokPmV  
    9 `INC~h  
     n.Vtc-yZU  
    a[i>;0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SUc6/'Rdr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 n$ dw<y  
    doH2R @  
    8nsZ+,@+[  
     phS>T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @?d?e+B  
     ngLJ@TP-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4Cd#sQ  
    |!xpYT:  
     8T7f[?  
    zLK\I~rU!  
    文件信息 `VXZ khm  
    Of#K:`1@  
     6qDfcs  
    _k|g@"  
     Efvq?cG&  
    QQ：2987619807 hb<k]-'!  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表