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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ?Tuh22J{Q  
    _?G\^^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2IjqT L  
    a]X6)6  
    N)poe2[  
     Jq6p5jr"  
    建模任务 yWzvE:!)  
    u"T5m  
    PNc200`v4_  
    概述 Dj!J 4uD  
    0?p_|X'_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8.-PQ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -HoPECe  
    }GkEv}~t  
     $,i:#KT`  
    X0vkdNgW  
    光线追迹仿真 ,?&hqM\  
    8(3vNuyP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Q|5wz]!5Y(  
    •单击go！ tm]75*?  
    •获得了3D光线追迹结果。 D<xPx  
    .\U+`>4av  
     ? 5B}ZMW  
     ~-M7  
    光线追迹仿真 bO2$0!=I  
    QJ"B d`wc  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 T$}<So|  
    •单击go！ U +mx@C_  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {xM%3  
    _^a.kF  
     Nm,v E7M  
    *3 9sh[*}  
    场追迹仿真 =z=Guvcn`  
    d+&V^qLJ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #mllVQ  
    •单击go！ 4uNcp0  
    hJd#Gc~*M  
    sXhtn' <v  
     }Bc6:a  
    场追迹仿真（相机探测器） Wb4sfP_  
    m%Ef]({I  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .7) A8R7Wt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !/jx4 w~R  
    ,YkQJ$  
     *\joaw  
    vxqMo9T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <M$hj6.tn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q!AS}rV  
    -Q$$2QW!  
    ! prU!5-  
     1/&j'B  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a#raUF7e  
     aB'<#X$x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !o.g2  
    <c\aZ9+V  
     I) Y$?"  
    RsV<*s  
    文件信息 =r_ S MTu  
    l|&|+u#  
     =} vG|  
    (O<lVz@8  
     ;l`8w3fDt  
    QQ：2987619807 0c3G_I=  
     
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