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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 s{iYf :  
    #K)HuT  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #x%O0  
    ;TW@{re  
    YK[O#V  
     5Cz:$-+  
    建模任务 +>:X4A *  
    ;w6\r!O,  
    VUt 6[~?  
    概述 <XLATS8Y  
    }'X}!_9w>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]\3dJ^q|%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k2;8~LqF  
    <N`rcKE%~P  
     bpU^|r^W  
    *aT!|;  
    光线追迹仿真 6Q wL  
    P)}:lTe  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Nv ew^c)x  
    •单击go！ _@RW7iP>  
    •获得了3D光线追迹结果。 t(_XB|AKm  
    4l3N#U0Q  
     W%$p,^@S5  
    <$=8'$T81  
    光线追迹仿真 R0=/ Th -  
    om/gk4S2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Hv IN'  
    •单击go！ '$U"RP^(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4Fz^[L}[  
    :#|77b0  
     |mM7P^I  
    t)v#y!Ci"  
    场追迹仿真 ,~kMkBkl~  
    ^#Z(&/5f0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Cn{UzSKfs  
    •单击go！ o1g[(zky  
    97&6iTYA  
    [ z&y]~  
     N4}h_mh^'  
    场追迹仿真（相机探测器） >l7 o/*4  
    WW_X:N~~e\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 NCsUC  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lA ,%'+-  
    oC?b]tzj  
     1ii.nt1 u  
    i&KbzOY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =kCpCpET  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mee-Qq:}  
    n/ 8fv~zU  
    [+%*s3`c#  
     ~/.&Z`ls  
    场追迹仿真（电磁场探测器） REsThB  
     $i2gOz  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZcQm(my  
    UnMDdJ\  
     C[s*Na-  
    lWdE^-  
    文件信息 c8Opc"UE  
    q)vD "{0.  
     m|y]j4  
    K0#tg^z5d  
     z/T ZOFaM  
    QQ：2987619807 $C>EnNx  
     
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