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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 +112{v=!i  
    cr!W5+r  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /Pg)7Zn  
    I </P_:4G  
    XMI*obS'z  
     ^~[7])}g6  
    建模任务 nd8<*ru$  
    OX;(Mg|  
    t`K9K"|k  
    概述 eA!Z7 '  
    EE  1D>I  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2O=$[b3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :.+w'SEn4M  
    HqWWWCWal  
     71nZi`AR  
    gGVt ( ^  
    光线追迹仿真 }U_^zQfaj  
    ElW\;C:K*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]vQa~}  
    •单击go！ fS4foMI63)  
    •获得了3D光线追迹结果。 *U1*/Q.  
    F-3=eKZ  
     yf:0u_&]  
    YdCl  
    光线追迹仿真 :5~Dca_iU4  
    #-B<u-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jo"nK,r  
    •单击go！ )W\ )kDh!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~},H+A!?  
    0e8  
     %h ;oi/pe  
    oi0O4J%H  
    场追迹仿真 ]  & ]G  
    tQzbYzGb7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 js"Yh  
    •单击go！ F4\:9ws  
    X]}ai5  
    _]*[TGap  
     h:pgN,W}  
    场追迹仿真（相机探测器） Q+Nnj(AQY  
    TE&E f$h  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E4Q`)6]0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ? /!Fv/  
    3)VO{Cj!  
     9'p| [?]v  
    Z6gwAvf<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~*EipxhstJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <tTNtBb  
    Lb$Uba-_  
    9*iVv)jd  
     d >L8S L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） '(r?($s  
     BpA7 z/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1<x5{/CZ  
    < *iFVjSI(  
     GX19GI@k  
    fPN/Mxu  
    文件信息 @ ~{TL  
    P `<TO   
     71Q`B#t0'Z  
    vyc<RjS_x  
     e{2Za   
    QQ：2987619807 eiOAbO#U  
     
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