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摘要 }N^.4HOS8 _2+}_ >d 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6}" P m
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xWlj.Tjt} 建模任务 ;$Q `JN= <a7y]Py  9,\b $?9 概述 ei)ljvvmHP v'uWmL7C •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B}_*0D •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Xdj` $/RI | k$^RU<OF
 TUoEk IiTV*azVh 光线追迹仿真 NNSHA'F,.\ j\&
` •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =Tv|kJ|
j •单击go！ heJ I5t, •获得了3D光线追迹结果。 V(Ll]g/T_; h^R EBPe
 9}4P%>_ mne4u W 光线追迹仿真 `Yn:fL7S |kJ'FZZd •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8A/" ia •单击go！ $5kb3x<W •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y}5V 3)P 9/3gF)I}
 Q qG f* S]&f+g}&w 场追迹仿真 o))z8n?b -d]-R ?mQ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t E3#Uq •单击go！ %+gYZ v- #DK@& Gv  Xkc y~e
)90 Q 场追迹仿真（相机探测器） .CGP G,\2 @9_H4V •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 A+P9M \u. •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZXV_Dc "SC }C
 +(n&>7 5 &#!5I;3EN 场追迹仿真（电磁场探测器） IcmTF #{D •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j"6r]nc& qv\n]M_&  y#F`yXUj
lz2B,# 场追迹仿真（电磁场探测器） o2 M+=O@
Xg+Eeg# •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y,Bz BUWK }ie O
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