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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 'fo.1  
    {&3{_Ml  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4Kl{^2  
    4 s&9A/&pC  
    ,]FcWx \u  
     V d`}F0WD  
    建模任务  {@E(p4W  
    cI #! Y  
    5,vw%F-m  
    概述 mqrV:3}  
    ?xX9o  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HnlCEW,^o  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^t0Yh%V7  
    ~3'}^V\  
     qE:/~Q0  
    n.L/Xp@gc  
    光线追迹仿真 ,2>nr goM  
    9=o;I;I  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #I &#x59  
    •单击go！ MqKf'6z  
    •获得了3D光线追迹结果。 vXI2u;=y  
    zb_nU7Eg  
     4s_|6{ANS  
    x%]5Q/|Ur  
    光线追迹仿真 3OZu v};k  
    P[L] S7FTr  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M dKkj[#  
    •单击go！ GI. =\s  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xQKRUHDc  
    D:Rr|m0Tk  
     v$JhC'  
    {BI5lvx:  
    场追迹仿真 1ZZ}ojq  
    DuvI2Z WP]  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $_5a1Lq1  
    •单击go！ 7iijATc  
    3q}fDM(@J  
    L!qXt(`  
     0pW?v:!H  
    场追迹仿真（相机探测器） I%?ia5]H  
    GeydVT-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Or:a\qQ1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u&-Zh@;Q7  
    P-Up v6J3  
     8`]1Nt!*B  
    kZU v/]Y.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P/?'ea  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5&Vp(A[m[  
    }K3!ujvR  
    4z*An}ol]  
     I&Dp~aEM]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -ufO,tJRLL  
     ]>_Ie?L)<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @gM>Lxj  
    iVdY\+N!<  
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    文件信息 :*<UCn""  
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    QQ：2987619807 }@Dgr)*+  
     
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