切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 致态 长江存储 1TB SSD固态硬盘 ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 978阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5658
    光币
    22442
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ^F?&|clM/  
    85 EQ5yY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 OD' ]:  
    3@5=+z~CW  
    P oEqurH0  
     n wI!O  
    建模任务 %|G"-%_E  
    Kwc6mlw~M  
    XqM3<~$  
    概述 =^H4Yck/5  
    fgihy  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cRX~z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5[j`6l  
    - 0?^#G}3}  
     d #jK=:eK  
    3\T2?w9u(  
    光线追迹仿真 7d92 Pe  
    ''\;z<v   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ltjbxw"Qd  
    •单击go！ NEa>\K<\  
    •获得了3D光线追迹结果。 (C]o,7cYS  
    i#%aTRKHd6  
     A(]H{>PMy  
    ~b {Gz6u>  
    光线追迹仿真 s,a}?W  
    Be+0NXLVy  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 OFje+S  
    •单击go！ }w4QP+ x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 V.wqZ {G  
    5BBD.!  
     ?f/n0U4w  
    =_YG#yS  
    场追迹仿真 t4?DpE  
    +2 Af&~T  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /c):}PJ^#7  
    •单击go！ R *F l8   
    XD"_Iq!  
    9W5onn  
     o:V|:*1Q  
    场追迹仿真（相机探测器） |p$spQ  
    43V}# DA@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mDZ*E!B  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ax 41N25  
    !nAX$i~  
     {}:ToIp  
    'U'yC2BI n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }^B6yWUN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OT&k.!=  
    F:mq'<Q  
    Rb3V^;i  
     )?wJF<[_#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N>>uCkC  
     O#Wh TDF"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &>H!}"Yk  
    )Wb0u0)_  
     aM4k *|H?  
    r_;9' #&'  
    文件信息 ^U]UqX`  
    " LJq%E  
     fU!<HD h  
    VE8;sGaJ  
     "W(Q%1!Wi  
    QQ：2987619807 ;qBu4'C)T  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表