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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 x=yBB;&  
    ,T_HE3K  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R{kZKD=  
    c+#GX)zh\G  
    ~f 2H@#  
     {Q^P<  
    建模任务 5) o-$1s A  
    t/HMJ  
    D0=D8P}H:  
    概述 :*#AJV)  
    #b []-L!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 L.lmbxn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ; P I=jp  
    ROr$ Sz  
     #\iQ`Q<B  
    sN 1x|pkN  
    光线追迹仿真 ' A= x  
    S0 M-$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }Gr5TDiV0\  
    •单击go！ c[?S}u|['  
    •获得了3D光线追迹结果。 Lie\3W  
    3Z NYR'  
     d~uK/R-KD  
    cC1nC76[  
    光线追迹仿真 XCoN!~  
    |HI =ykfI  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ps7(4%  
    •单击go！ j% !   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pNr3u  
    ^o,Hu#  
     )!hDF9O  
    4vPQuk!  
    场追迹仿真 dgE|*1/0  
    )-#%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,d<wEB?\`  
    •单击go！ . [+ObF9=  
    /"tVOv#  
    0FsGqFt  
     FVT_%"%C9  
    场追迹仿真（相机探测器） "T?%4^:g  
    (A\qZtnyl  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qbu Lcy3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ["Ep.7=SU  
    CspY+%3$  
     tn+i5Eso  
    i*..]!7e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） i;y<gm"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5R?iTB1,  
    prb;q~  
    -lRXH7|X  
     9yajtR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~EW (2B{u  
     %A`f>v.7 c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x&+/da-E/5  
    nORm7sa9  
     !FZb3U@  
    -uqJ~gD  
    文件信息 E@hvO%  
    ?%i|].<-'  
     4Wk/^*?  
    )MHvuk:I)  
     bqFGDmu6'  
    QQ：2987619807 ^F5[2<O/!  
     
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