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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 R vY`9D  
    V*/))n?  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'fgDe  
     %k2zsM  
    iff U}ce  
     `|v#x@s  
    建模任务 `6M(`*Up  
    uD5i5,q1Hs  
    me9RnPe:  
    概述 %Cr- cR0  
    Dp'/uCW)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Tq?W @DM*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O/5W-u  
    1E-$f  
     7>4t{aRf_8  
    ?e ~*,6  
    光线追迹仿真 ?W|POk}  
    Oq.) 8E.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x~mXtqg  
    •单击go！ kz??""G7/  
    •获得了3D光线追迹结果。 im?nR+t+X  
    8(+X0}  
     .K0BK)axO  
    M,[ClQ 9  
    光线追迹仿真 PJ_|=bn  
    6s uc0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G(4k#jB  
    •单击go！ Wqqo8Y~fq  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 LD5'4,%-  
    7X.1QSuE  
     LQS*/s0  
    !P;qc  
    场追迹仿真 I?:V EN:  
    >y=%o~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iUO5hdOM  
    •单击go！ #2dmki"~(  
    Fb*;5VNU.  
    [;b9'7j'  
     |[V(u  
    场追迹仿真（相机探测器） IEA[]eik>  
    n[clYi@e  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,rN7X<s54  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %GIla *  
    Z`f _e?  
     o 1b#q/  
     Wi|.Z/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1n,JynJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F%Xq}LMd  
    6?`py}:  
    D`gY6wX  
     c[YC}@l%a  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z]6D0b  
     W}e5 4-lu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 < /}[x2w?]  
    57#:GN$EL  
     ,5/gNg  
    }skXh_Vu4  
    文件信息 -8TLnl~[  
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    QQ：2987619807 %URyGS]*  
     
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