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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Fw|5A"9'a'  
    qYE-z( i  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +f+\uObi:  
    >q`G?9d2  
    SkY|.w.   
     7%X$6N-X  
    建模任务 : "UBeo<Z  
     `=oN&!  
    " `lRX  
    概述 rVkHo*Q  
    :g Ze>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >LjvMj ]  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _r&#Snp  
    )UWE.o BI  
     #CM2FN:W  
    mFT[[Z#  
    光线追迹仿真 c| E  
    oYu5]ry  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I` /'\cU9  
    •单击go！ L|v1=qNH4  
    •获得了3D光线追迹结果。 Fd2zvi  
    xD1w#FMlQs  
     u ; I5n  
    &D/_@\ 0  
    光线追迹仿真 TK'(\[E  
    eI- ~ +.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X _XqT  
    •单击go！ KnlVZn[3t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WO]dWO6Mm  
    )5B90[M|t  
     B;^7Yu0,  
    #[IQmU23  
    场追迹仿真 i2EB.Zlv  
    #\w~(Nm-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #  *\PU  
    •单击go！ HdVGkv/  
    *K!V$8k=99  
    MSw/_{  
     e KET8v[  
    场追迹仿真（相机探测器） 8He^j5  
    (ZDRjBth[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }nu hLt1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \ B<(9  
    NFsMc0{  
     V+_L9  
    %T!UEl`v  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x2;92I{5C,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `XQM)A  
    Z|E( !"zE9  
    'R= r9_%  
     6X)8vQH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） EY':m_7W  
     IeE+h-3p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]x! vPIyq  
    amOBUD5Ld`  
     "h\{PoG  
    R|`}z"4C  
    文件信息 zkB_$=sbn#  
    ACc.&,!IZ  
     -49OE*uF  
    v$lP?\P;}X  
     dX` _Y  
    QQ：2987619807 az\ ;D\\  
     
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