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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 )BRKZQN  
    ca+[0w@S  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b!M"VDjQ  
     ~c6}  
    `a9L%z  
     *Q1~S]g  
    建模任务 #-h\.#s  
    :d ~|jS  
    D%JlbH8  
    概述 G7D2{J{1  
    28 3 H  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 eI@ q|"U  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u ElAnrm  
    F{ELSKcp.  
     <8,cuX\  
    @)K%2Y`  
    光线追迹仿真 Z}-Vf$O~  
    @^uH`mc  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }.z&P'  
    •单击go！ KoS*0U<g6  
    •获得了3D光线追迹结果。 bGorH=pb5R  
    7w3CXY  
     Gt wT  
    `c'W-O/  
    光线追迹仿真 X6^},C'E.:  
    ]D,MiDph  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 GIAc?;zY  
    •单击go！ \%p34K\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Z y_V9j[n  
    }6 K^`!  
     not YeY7wR  
    [xKd7"d/n  
    场追迹仿真 2}W0 F2*  
    n#=o?!_4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 GLGz 2 ,#  
    •单击go！ D0BI5q  
    Iuh/I +[7  
    Y F*OU"2U  
     Reu*Pe  
    场追迹仿真（相机探测器） }cN@[3v  
    )$,"u4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]G2uk`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %sRUh0AL  
    t>H`X~SR?  
     07hF2[i  
    ;m2<eS`o'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） YX*Qd$chZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EKp@9\XBC  
    ooV*I|wcI  
    y7^{yS[,  
     sUYxT>R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6eokCc"o  
     uWrQ&}@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D0N9Ksq  
    K x~|jq  
     Ig5L$bAM~  
    n k2om$nN  
    文件信息 5cWw7V<m  
    xB !6_VlB  
     b9XW9O `B  
    Ks\ NE=;5  
     7G)H.L)$m"  
    QQ：2987619807 z(\4 M==2O  
     
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