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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 a;=)`  
    i/ED_<_ Vg  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {!? @u?M  
    @Q!Jzw#B  
    l@ +lUx8  
     w! J|KM  
    建模任务 ==zt)s.G(+  
    z >EOQe  
    ?gknJ:  
    概述 W[pOLc-  
    |Ai/q6u  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 y v6V1gK  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b2}>{Li0  
    NSQ}:m  
     ~SI`%^L  
    r57&F`{  
    光线追迹仿真 PI KQ}aq=  
    !Zo we*`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m:kXr^!D  
    •单击go！ M^q< qS>d  
    •获得了3D光线追迹结果。 !+sC'/  
    G`n|fuv  
     #[|~m;K(w  
    nkI+"$Rz0  
    光线追迹仿真 p~Tp=d)/  
    U_s3)/'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xC3h m  
    •单击go！ ,2t|(V*"&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 o1Bn^ w  
    [v@3|@  
     ]><K8N3Z  
    06ndW9>wD)  
    场追迹仿真 N>R\,n|I  
    k|C~qe3E  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Xk9mJ]31LC  
    •单击go！ to2; . ~X  
    |PGF g0li  
    (`W_ -PI  
     iA~LH6  
    场追迹仿真（相机探测器） `,lm:x+(0  
    Rz sgPk  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [Lck55V+Q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z7vc|Z|  
    |j 9d.M  
     uDtml$9rN  
    b 7XTOB_HO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） / @v V^!#1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X;e=d+pw  
    |`T$Iq  
    y4\(ynk  
     pZE}<EX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *5|;eN  
     Vy.gr4Cm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,6J{-Iu  
    !.2tv  
     {GH0> 1&  
    ~FP4JM,y6  
    文件信息 %bN+Y'  
    8v<802  
     M]Kx g;  
    JXx[e  
     g~7x+cu0  
    QQ：2987619807 <?2g\+{s9  
     
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