切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1234阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6374
    光币
    26015
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 J/]o WC`u  
    ^:cb $9F  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7}#*3*]  
    H)j [eZP  
    ,Ou1!`6?t  
     U+9- li  
    建模任务 [$1: &!(!  
    [U%ym{be ^  
    r3[t<xlFf  
    概述 =qV4Sje|q  
    aeuf, #  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PuCwdTan_  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [Hv*\rb  
    I8<Il ^  
     KlVi4.]  
    ~{1/*&P  
    光线追迹仿真 C}(<PNT  
    8m/FKO (r  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <K DH  
    •单击go！ ,<0Rf  
    •获得了3D光线追迹结果。 w&wA >q>&  
    gtaV6sD  
     bxd3  
    TZ&4  
    光线追迹仿真 [|:QE~U@  
    ;xW8Z<\-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ! F0rd9  
    •单击go！ PZ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 0v_6cYA  
    * 1 |YLy  
     ":UWowJO  
    msA' 5>  
    场追迹仿真 Ax5mP8S  
    3iu!6lC  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 G*P[z'K=  
    •单击go！ KXoL,)Hl  
    L?=#*4t  
    ^3Z7dIUww  
     7af?E)}v  
    场追迹仿真（相机探测器） eW\?eq+ `A  
    JYZ2k=zh  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 88Fb1!a5Z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -:)DX++  
    J- t=1  
     wb(*7 &eP:  
    A|p@\3 P*A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ( GFgt_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c8^+^.=pX  
    &ui:DZAxj|  
    Zw;$(="  
     |Hx%f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kJ%{ [1fr  
     /[\6oa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 33=Mm/<m$P  
    ~mN g[]  
     ?60>'Xj j  
    _v1bTg"?  
    文件信息 (\Rwf}gyR  
    X4d Xm>*?=  
     Nc G,0K  
    AC 9{*K[  
     fC=fJZU7$  
    QQ：2987619807 E)KB@f<g*  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表