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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 g"f^YEQ_  
    =,]M$M  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Yw `VL)v(y  
    2uEu,YC  
    AG2jl/  
     T]`" Xl8  
    建模任务 1)ne-e  
    (1vS)v $L  
    sJ=B:3jS0  
    概述 AR^Di`n!  
    [8#l~ |U  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Bw[VK7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 PN=yf@<V3F  
    "Q4{6FH+mB  
     #u^d3 $Nj  
    ;GSj }Nq  
    光线追迹仿真 LLiX%XOh  
    p10->BBg  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dZ Z/(oE>  
    •单击go！ *1Q?~  
    •获得了3D光线追迹结果。 Vo()J4L  
    va<pHSX&I@  
     =j-{Mxb3  
    6yqp<D0SP)  
    光线追迹仿真 8qveKS]vZ  
    Jjv&@a}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >{Djx  
    •单击go！ iDr0_y*t  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 `N+ P ,  
    1)y}.y5S  
     {;r5]wimb  
    F44")fY  
    场追迹仿真 v80 e]M!  
    gO%3~f!vY#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1|--Xnv  
    •单击go！ gC.T5,tn  
    zuw6YY8kQ  
    I]58;|J  
     NT0q!r/!  
    场追迹仿真（相机探测器） "- AiC6u  
    7JbrIdDl|  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "\ md  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ryP z q}#  
    ~Q5HM  
     QMP:}  
    %?ad.F+7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） R4?/7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7-)KTBFL  
    * -)aGL  
    udMq>s;  
     TD<.:ul]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <#sK~G  
     %y'#@%kO:S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 38 F8(QU{  
    LvS`   
     zKo,B/Ke4  
    P:G^@B3^  
    文件信息 [LE_lATjU  
    K7|BXGL8r8  
     @L0.Z1 ).  
    *:iFhKFU  
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    QQ：2987619807 B4%W,F:@  
     
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