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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 pyYm<dn  
    j\k|5 ="w-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _[u&}i  
     u:JD  
    3 5;|r  
     2kb<;Eh`G  
    建模任务 }5 ^2g!M  
    i#]}k  
    ui%B|b&&  
    概述 k=!lPIx  
    KM li!.(b  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6U~AKq"+f  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 OV/H&fe  
    -d5b,leC^  
     .P(k |D&  
    ?!TFoD2'  
    光线追迹仿真 [Z9 lxZ|  
    n]:Xmi8p  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '[(]62j  
    •单击go！ g<U\7Vp\1  
    •获得了3D光线追迹结果。 kT)[<`p  
    3+vbA;R  
     l7#5.%A  
    1oU/gm$7\q  
    光线追迹仿真 VF[$hs  
    ZD!?mR+-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -#@l`kt  
    •单击go！ c"D%c(:4|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N~NUBEKcp  
    /c2| *"@X  
     ov;1=M~RF  
    ayF+2(vch)  
    场追迹仿真 =T"R_3[NC  
    'kBg3E$y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (Y i 1U~{:  
    •单击go！ pGZiADT  
    $fifx>!  
    6[+@#IWx  
     K(jo[S  
    场追迹仿真（相机探测器） n vzk P{  
    (U@Ks )  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k-it#'ll{x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 NJ]AxFG  
    zm>^!j !  
     U]Y</>xGI  
    hK]mnA[Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OHRkhwF.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hp|.hN(kS]  
    '#<4oW\]  
    tKS'#y!R  
     s#Ayl]8r  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w?#s)z4}g  
     SG$V%z"e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a gk w)#  
    deLLqdZa  
     r=}v` R&  
    '[WVP=M<XV  
    文件信息 m&MAA^I  
    HQkK8'\LP  
     j_3`J8WwF  
    uH{oJSrK  
     i0}f@pCB?X  
    QQ：2987619807 ~a$h\F'6  
     
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