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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 !,uE]gwLw  
    (x|T+c"bAX  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 +E+p"7  
    C& f= ywi0  
    }K>d+6qk5  
     %0?KMRr  
    建模任务 *Q.>-J<S  
    i"FtcP^  
    8`{:MkXP  
    概述 }tu C}  
    S?LQu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }&D WaO]J7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iVr JQ  
    nF:4}qy\  
     <dNOd0e  
    Hio0HL-  
    光线追迹仿真 Pm?KI<TH~  
    Y-z(zS^1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 B mb0cF Q  
    •单击go！ est9M*Fn  
    •获得了3D光线追迹结果。 /s?`&1v|r  
    W i.& e  
     Lb-OsKU  
    #%2rP'He  
    光线追迹仿真 Uc>lGo1j  
    $wa{~'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {Mk6T1Bkq  
    •单击go！ SulY1,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6|=f$a  
    t}4, ]m s  
     RP|`HkP-2  
    MN>b7O \.?  
    场追迹仿真 =svN#q5s  
    Ix}sK"}[n  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7A7?GDW  
    •单击go！ JR|ck=tq  
    372rbY  
    N~gzDQ3  
     :OZrH<SW  
    场追迹仿真（相机探测器） t?gic9 q  
    r5/0u(\LB  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s8Q 5ui]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 f~[7t:WD*  
    gJ{)-\  
     ?^{Ah}x  
    ajT*/L!0_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kTB 0b*V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }8z?t:|S  
    D_7,m%Z:  
    =qIp2c}Rx  
     Or+U@vAnk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 00y!K m_D  
     ,0sm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eByz-,{P  
    =nS3p6>rZ  
     *&W"bOMH*  
    ]6` %  
    文件信息 @.l@\4m  
    "S]TP$O D  
      (ZizuHC  
    Vb_4f"  
     BU_nh+dF  
    QQ：2987619807 T^KKy0ZGM  
     
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