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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 F =*4] O  
    \p.yR.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fwA8=o SZd  
    8oI|Z=  
    ;!VxmZ:j[  
     K/Pw;{}  
    建模任务 F7j/Zuj  
    - 7T`/6  
    NZZy^p&O  
    概述 |,=^P` #%  
    : qK-Rku  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |/xx**?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 MCEHv}W  
    5oCg&aT  
     }wp/,\_ >  
    aaKf4}  
    光线追迹仿真 W 2[]m>;  
    KIv_ AMr  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sCt)Yp+8}B  
    •单击go！ `V<jt5TS  
    •获得了3D光线追迹结果。 ORF:~5[YS`  
    *U%3 [6hm  
     VJTO:}Q  
    7$g$p&,VX  
    光线追迹仿真  yZ[g2*1L  
    ^dk$6%0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 J]Z~.f="  
    •单击go！ "9c=kqkX  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 573,b7Yf  
    #| ,cy,v4  
     flC%<V%'-  
    li\=mH,Wr  
    场追迹仿真 #O;JV}y  
    GrJLQO0$N  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [|c%<|d2  
    •单击go！ 6YNL4HE?  
    a,S;JF)v  
    !dGu0wE  
     u<cnz% @  
    场追迹仿真（相机探测器） <,GVrVH=t"  
    ej}S{/<*n  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $F# 5/gDVQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZfqN4  
    [yk-<}#B  
     eZU9L/w:  
    jy2gR1~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0'Ho'wDb  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7`A]X,:  
    o.fqJfpj  
    mrnPZf i  
     J=$\-  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =(7nl#o  
     b=/'c Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LYRpd  
    +ppA..1  
     xIa7F$R 0  
    r <5}& B`  
    文件信息 :p: C  
    YVDFcN9v  
     ]"{8"+x  
    RM `qC  
     u>:(MARsR  
    QQ：2987619807 KB](W  
     
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