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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 lUMdrt0@z  
    x$(f7?s] 1  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ] }X  
    6d~'$<5on  
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     -D~%|).'  
    建模任务 ]J]h#ZHx  
    L{Vqh0QD&  
    -H-~;EzU  
    概述 0Y5_PTWb+Y  
    @=f\<"$vt  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f`66h M[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;xn0;V'=  
    k~z Iy;AZ  
     M rb)  
    ku M$UYTTX  
    光线追迹仿真 1m0c|ckb  
    3HK\BS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ] @fk] ]R  
    •单击go！ )Xyn q(  
    •获得了3D光线追迹结果。 I1&aM}y{G  
    IO:G1;[/2L  
     f(7GX3?  
    *}W_+qo"  
    光线追迹仿真 bi;1s'Y<D  
    "tpSg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L9#g)tf 8T  
    •单击go！ C+&l< fM&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B4 }bVjs  
    "@8li^  
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    lU8Hd|@-  
    场追迹仿真 }\k"n{!"  
    .(2ik5A%9  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;i+#fQO7Q  
    •单击go！ FJ?IUy 6  
    \Y}8S/]  
    8, >P  
     u\nh[1)a)  
    场追迹仿真（相机探测器） ^_mj  
    U~7c+}:c  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "g8M0[7e3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b>JDH1)  
    ^K@C"j?M/  
     ]e@Oiq  
    $L]lHji  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;sFF+^~L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g eCM<]  
    FaJ&GOM,  
    5l*&>C[(i  
     nzeX[*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jRV/A!4  
     SasJic2M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q> C'BIr  
    >[*qf9$  
     4+ Z]3oIRE  
    (Ep\Z 6*  
    文件信息 /&94 eC  
    6)Lk-D  
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     6!FQzFCZq  
    QQ：2987619807 ~&bq0 (  
     
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