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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 G`>]ng  
    U{hu7  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 TxP +?1t  
    Xzf,S;XV~  
    .)!QsBU  
     y@!o&,,mq  
    建模任务 ty0P9.Q  
    RE%f'y  
    4<F z![>  
    概述 X4!7/&  
    vb6EO[e% I  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~!r;?38V`  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #T^2=7 w  
    t n5  
     gaY&2  
    Kx] SiejJ  
    光线追迹仿真 }:ZA)  
    !sm/BsmL7T  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "/i$_vl  
    •单击go！ UGhEaKH~R  
    •获得了3D光线追迹结果。 gtA34iw  
    1" cv5U  
     8v& \F  
    =xI'|%  
    光线追迹仿真 !`Rh2g*o9  
    Lau@HYW0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^}d]O(  
    •单击go！ \7/yWd{N$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ns8s2kYcm  
    !-f Bw  
     Pj-INc96  
    ' {,xQf*x  
    场追迹仿真 Y7VO:o  
    EbQLMLD%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 r<e%;S  
    •单击go！ (G>[A}-  
    /8h=6"  
    pFd8p@m_2  
     5:h[%3'bB  
    场追迹仿真（相机探测器） JF .Lo;  
    B;1qy[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w6% Q"%rp  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;hX(/T  
    H,!xTy"Wh  
     o|(5Sr&H  
    7Gc{&hp*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _8VP'S=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z*eBjHbF  
    Cl}nP UoL  
    QOF@Dv Q  
     jmM|on!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ` R6`"hx$  
     '-;[8:y.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ma[EgG  
    L_8zZ8 o  
     IY`p7 )#i  
    ??rS h Mu  
    文件信息 bmfM_oz  
    IU%|K~_n  
     SiratkP9n7  
    yw3"jdcl  
     y/lF1{}5  
    QQ：2987619807 ,fVD`RR(W?  
     
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