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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 S!Ue+jW  
    @/h_v#W  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )R$+dPu>  
    54~`8f  
    2GOQ|Z  
     g+Vfd(e  
    建模任务 >!O3 jb k  
    ~01 o  
    ]:`q/iS&  
    概述 wHm{4  
    !9=hUpRN  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3Tze`Q 9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^|y6oj  
    2?YN8 n9n  
     9,|{N(N<!  
    Qr]xj7\@i  
    光线追迹仿真 _[;>V*?zp5  
    ^2E\{$J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T|^rFaA  
    •单击go！ }[ LME Z  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,73 kh  
    lJ.:5$2H  
     e3w4@V`  
    -=BQVJ_dK{  
    光线追迹仿真 "j BrPCB 8  
    4cJ7W_ >i6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H59}d oKH  
    •单击go！ -1).'aJ^  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y<mmv~=  
    }~pT saw  
     e! V`cg0  
    ~]f+   
    场追迹仿真 kKr|PFz  
    QA?e2kd  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3wZA,Z  
    •单击go！ n'R9SnW  
    ipU,.@~#  
    k(1]!c4J0  
     7U68|\fI!  
    场追迹仿真（相机探测器） v0euvs  
    P0O5CaR  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2mUq$kws  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,] HH%/h  
    U-/-aNJ]U  
     l>K z5re^  
    ;=\vm"I?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @IL_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R2{y1b$l  
    q\wT[W31@  
    S1oRMd)r  
     O=E"n*U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0>hV?A  
     UjLZ!-}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +Hx$ABH  
    dqwCyYC  
     j2O?]M  
    df@IC@`pB  
    文件信息 1F?`.~q  
    Lc,`  
     ioxs x>e<  
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     *m2{6N_  
    QQ：2987619807 !DsKa6Zj  
     
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