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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Q*mzfsgr  
    KFBo1^9N  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 y\b.0-z  
    ,p/iN9+Z  
    /w{DyHT  
     ,9gyHQ~  
    建模任务 S`TP#uzKu]  
    ymSGB`CP  
    Rm 1obP  
    概述 dhpEB J  
    XX",&cp02V  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J]5 sWs  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x]lv:m\)jT  
    Q4r)TR,  
     $;Lb|~  
    :BG/]7>|V  
    光线追迹仿真 orCD?vlh  
     Ok[y3S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wy"^a45h  
    •单击go！ x(h(a#,r  
    •获得了3D光线追迹结果。 Se qnO.\  
    0\O*\w?  
     Oz!#);v  
    w}^z1n  
    光线追迹仿真 a(s}Ec${Z  
    {`BC$V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 qYc]Y9fi  
    •单击go！ !Gsr* F{.  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3 <RkUmR  
    5F cKY_  
     #\*ODMk$4|  
    s2L|J[Y"s  
    场追迹仿真 nJ |O,*`O  
    " & 'Jw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 48Y5ppcS  
    •单击go！ X*VHi  
    Q[`J=  
    \^vf`-uG  
     _@jBz"aq\  
    场追迹仿真（相机探测器） c%c/mata?  
    *IUw$|Z6z)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o1='Fr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 He="S3XON  
    1ux~dP  
     Lc(D2=%  
    0{g@j{Lbz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） H[?~u+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1C(6.7l  
    5*~Mv<#  
    G^]T  
     9qkH~B7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8WK%g0gm  
     FCTz>N^p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]8KAat~J  
    q/~U[.C  
     @@K@;Jox  
    #$7 z  
    文件信息 ^l;nBD#nJ  
    K[Bq,nPo  
     Yf >SV #  
    j|!.K|9B  
     2GQ q(_  
    QQ：2987619807 b;K>Q!(|  
     
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