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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `\$8`Zb;  
    1cN')"  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "`tXA  
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    建模任务 pJpNO$$w  
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    Ibr%d2yS=  
    概述 1hQN8!:<  
    ^J=hrYGA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 t={0(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H ZJL/=;  
    GRYe<K  
     lPq\=V  
    qc-,+sn(  
    光线追迹仿真 wGKo.lt   
    f_mhD dq  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  .jg0a  
    •单击go！ >=,ua u7  
    •获得了3D光线追迹结果。 6 DF  
    m9$:9yRm  
     xp \S2@<  
    !AHAS  
    光线追迹仿真 BR_TykP  
    fjz) Gp  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {")\0|2\x  
    •单击go！ "cUg>a3  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Gm8E<iTP  
    x-m/SI]_N  
     Z| 6{T  
    2!&pEqs  
    场追迹仿真 iw]k5<qKj  
    '&yg {n  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^QL 877  
    •单击go！ HOW7cV'X  
    fv'4f$U  
    fib#CY  
     `aSM8C\  
    场追迹仿真（相机探测器） ?m%h`<wgMc  
    ISqfU]>[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cnNOZ$)  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [ = M%  
    ]KK`5Dv|,e  
     U@lV  
    wz(K*FP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [s6C ZcL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 khX|" d360  
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     L:f)i,S"5q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UZxmh sv  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [/9(NUf  
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    文件信息 2W$lQ;iO  
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    QQ：2987619807 !k&)EWP?  
     
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