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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 r$;u4FR  
    &uG@I=}TIY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _t\)W(E&  
    p(S {k]ZL@  
    3>buZ6vh  
     )W3kBDD  
    建模任务 ug9]^p/)^  
    \%]!/&>{6  
    lxOUV?m^N  
    概述 f5hf<R),A  
    .jbT+hhM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~X1<x4P\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ia*T*q Ju  
    ]Kp -2KW  
     2B=+p83<  
    t$b{zv9C  
    光线追迹仿真 ? -`8w _3  
    -5Ln3\ O@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 S *K0OUq  
    •单击go！ 9l:vVp7Uk  
    •获得了3D光线追迹结果。 H4g1@[{|0O  
    yI_MY L[  
     6yXMre)YV  
    NIxtT>[+3  
    光线追迹仿真 /3Cd P'c  
    EY'48S  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aq%i:};  
    •单击go！ F=~LVaF/_  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y'U-y"7y  
    BYWs\6vK  
     z%Ivc*x5  
    ;v> +D {s  
    场追迹仿真 9Gk#2  
    td\'BV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gL6.,4q+1  
    •单击go！ -3&mgd  
    K8|>"c~  
    *|&&3&7  
     u eV,p?Wo  
    场追迹仿真（相机探测器） EMMp4KKOx+  
    h9WyQl7  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S]}W+BF3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 be:=-B7!  
    !vH={40]  
     ;>h:VnV(>(  
    qJT|om L Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uPBtR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u1_NC;  
    ]5j1p6;(`  
    ^F`\B'8MF  
     tY6QhhuS:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \6K1Z!*;  
     vON1\$bu `  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,U#FtOec  
    5WU ? Km  
     H4JwgQ  
    ^?o>(K  
    文件信息 QeipfK+me  
    Lo^gg#o  
     ({kOgOeC  
    )SsO,E+t=U  
     u^]Z{K_B  
    QQ：2987619807 p )w{}@%r  
     
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