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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 !j& #R%D  
    !8YA1 o  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 q7pe\~q  
    7M~/[f7Z{  
    `i!fg\qnK  
     }tQ^ch;Q  
    建模任务 pjma<^|F  
    Fw8b^ew  
    }lP`3e  
    概述 $WO{!R  
    @}s EP&$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X%T%N;P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )SJ"IY\P  
    tNQACM8F;  
     y[zjs^-vCv  
    fRHzY?n9;  
    光线追迹仿真  6),!sO?  
    S~>R}=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T!i$nI&  
    •单击go！ yG;@S8zC  
    •获得了3D光线追迹结果。 !;Ke#E_d  
    aMGyV"6(-6  
     i v.G  
    h@TP=  
    光线追迹仿真 Yy;BJ_  
    #|T2`uYotf  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P26"z))~d  
    •单击go！ 211V'|a_ >  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5}b) W>3@`  
    xz~Y %Y|Z  
     z0%tBgqY(  
    X|aD>CT  
    场追迹仿真 =2YXh,i  
    fYW9Zbov-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @1i<=r  
    •单击go！ JIsi  
    FF;Fo}no-  
    o$Y#C{wC%  
     06?d#{?M1o  
    场追迹仿真（相机探测器） Er - rm  
    r7^v@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {vT9I4d8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 zN=s]b=/  
    ]^Xj!01~  
     >s )L(DHa"  
    !N!AO(Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E^0a; |B[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xZY7X&C4  
    x&r f]R  
    SE(c_ sX  
     SM1L^M3)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4aW[`  
     :, 3S5!(y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z:^ S-h  
    ~SmFDg$/m  
     s< Fp17  
    Xq<_r^  
    文件信息 +~=j3U  
    SbQ:vAE*ho  
     ; rNX  
    G&t|aY-   
     rHuzGSX54  
    QQ：2987619807 5" (FilM  
     
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