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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 [sZ ,nB/  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e]@ B61lc  
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     O|0V mm  
    建模任务 Cuc+9  
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    概述 (p(-E  
    ,U.|+i{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]F sr k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !SThK8j$7  
    UcWf O!}D  
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    光线追迹仿真 3j\Py'};  
    >'v{o{k|C  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R<Ct{f!  
    •单击go！ BHR(B]EI  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,e{1l   
    H(DI /"N  
     qv8B$}FU  
    r TK)jxklX  
    光线追迹仿真 G&@_,y|  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 F@1Eg  
    •单击go！ i([|@Y=  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7@Xi*Azd  
    @!B% ynrG  
     UxvT|~"  
    Bs\& '=l  
    场追迹仿真 ese?;1r  
    8>'vzc/* >  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O7yIFqI=/  
    •单击go！ `Gh#2 U  
    "T.Qb/97@  
    -|GX]jx(Y  
     4)d"}j  
    场追迹仿真（相机探测器） ~X,ZZ 9H  
    ZX0!BS  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ( \7Yo^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6o~CX  
    ]EEac  
     uwu`ms7z 2  
    VTn6@z_ x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -Hg,:re2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f&? 8fB8{  
    8 )= "Ee  
    uk)D2.eS,  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） TJs~}&L  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q`BB@E  
    s;xErH@RA  
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    文件信息 %RXFgm!{f  
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    QQ：2987619807 _tfi6UQ&lY  
     
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