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摘要 w Vmy`OV/ ^Tmmx_Xw 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 U%l{>*q {4*%\?c,n
d<e.`dhc vkmR
cX:/ 建模任务 }"tYb6* Zv7)+Q vj0?b/5m 概述 FFGTIT# {" TUr}p aw_ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P*]g*&*Y + •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +M:Q!' +__Rk1CVh
%Kp}Wo6 \ S R 光线追迹仿真 en)DN3
)G&OX •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HR •单击go! Jsl,r+'H •获得了3D光线追迹结果。 0g\&3EvD Fsh-a7Qp
oY:>pxSz<@ U>XGJQ<NS 光线追迹仿真 ,5:86'p H++rwVwj#h •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9mZ1 a6,x •单击go! HL]?CWtGP •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 !$HWUxM;p ?hYe4tc-#
#S)*MT4ke DGnswN%n1 场追迹仿真 &\r%&IX/ hyp`6?f •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ql
1# l:Q •单击go! sEa:p:! oCS NA.z `shB[Lt 19 _F\32 场追迹仿真(相机探测器) qMkP/BjV FKP^f\!M •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z[VKB3Pb8 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Bv3v;^ _%]H}N Q
M<729M 1N&U{#4 场追迹仿真(电磁场探测器) Velmq'n •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =@'"\
"Nh lMP7o& Jc+U$h4 VO9<:R 场追迹仿真(电磁场探测器) k)J7) L 8"@<s?0\" •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IO4 IaeM TJ<PT
1NTe@r!y yRtFUlm` 文件信息 Vswi /( ;"3Mm$
yQ}~ aA#h {2nXItso :1iw_GhJf QQ:2987619807 B.|vmq,u
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