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摘要 BH6)`0&2*N r8>(ayJ, 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 BK`NPC$a &J(+XJM%
$BHbnsaQ Otq`4 5 建模任务 yN}upYxp 1{D_30sG. ^*JpdmVhu 概述 hbl%<ItI49 #yz5CWu •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
QcQQQM •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0qP&hybL[( XJJdCv^
uG<VQ2LM r*?rwtFtg 光线追迹仿真 J|4q9$ '](4g/% •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !Rp •单击go! EC9D.afy& •获得了3D光线追迹结果。 4Uz1~AuNxb lS1-e0,h1
6G2s^P1Dl@ &%J+d"n( 光线追迹仿真 70pt5O3] 0zH^yx:ma •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Xc)V;1 •单击go! x~1.;dBF •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 UrAg*v!Qy },1**_#<Br
~yacJU= yLv jfP1 场追迹仿真 [f`^+,U @L?X}'0xI4 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^Ej4^d •单击go! w\(LG_n| QG{).|pm Hgu:*iYA -^A=U7 场追迹仿真(相机探测器) 3Ee8_(E\ /rMxl(wD' •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \=n0@1Q=> •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 aJh=4j~. *Nfn6lVB
_PTo!aJL b1X.#pz7F 场追迹仿真(电磁场探测器) .-kqt^Gc •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $#Mew:J }qf9ra $^&SEz Znl&.,c) 场追迹仿真(电磁场探测器) XD1x*# /t"p^9!^ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6yIl)5/= *~p~IX{
!8 3x,*O >)Ih[0~M 文件信息 lHYu-}TNP >{DHW1kF?
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