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摘要 9vQI
~rz? 4jOq.j 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @>r3=s.Q
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~HFqAOr 建模任务 Bb,l.w 7s2 l 3  kB2]Z} 概述 6a w1 FZt a •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 G^G= .9O •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -`I&hzl6E o9<)rUy
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5 f~49(v] 光线追迹仿真 Oc
Gg'R7 W> +/N4 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6njwrq o •单击go！ sjZ@}Vk3b •获得了3D光线追迹结果。 D OsQVdH K &Sz8# +
 A~@u#]]<n U#qs^f7R 光线追迹仿真 hT=6XO od4 bAUruTn •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6m ~ N 2^z •单击go！ sp-){k •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 T 5AoBUw IO@T i(,
 )K.'sX{B \y7kb 场追迹仿真 dcd9AW= }ak F=/M •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F[ '<;} •单击go！ ?o D]J CDT%/9+-  g'%^-S ]
i$z).S?1 场追迹仿真（相机探测器） (}4]U=/nV pX/42W •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |z +K]R8_ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~+~^ c| zra zbHI
 j><8V Qx 4Odf6v,*@ 场追迹仿真（电磁场探测器） x1O]@Z{d\ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ? BEO(;' z'!sc"]W6  'QP~uK
smJ#.I6/L 场追迹仿真（电磁场探测器） < %t$0'
YQ`m;< •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t0"2S i C)RJjaOr
 '",+2=JJ (QFu``a e+ 文件信息 <y! (X"n` 2," (
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