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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 !8@8  
    04E S>'@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 W>'KE:!sp  
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     $ vt6~nfI  
    建模任务 %Mxc"% w  
    F`e o3z  
    Evy_I+l  
    概述 k )=Gyv<  
    mJYG k_ua  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 14S_HwX  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }J0HEpn4  
    <KEVA?0>  
     d cG)ql4d  
    1x3>XN]a  
    光线追迹仿真 .*~t2 :  
    PZYVLUw `  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vo!QJ  
    •单击go！ u+Sj#iZ  
    •获得了3D光线追迹结果。 QTmMj@R&(  
    ?Hrj}K27  
     j G^f_w  
    F['%?+<3  
    光线追迹仿真 ur| vh5  
    +]$c+!khj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 j9g0k<eg  
    •单击go！ -& T.rsp  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iw=~j  
    h~-cnAMt  
     #8CeTR23cw  
    XQI!G_\+C  
    场追迹仿真 ]uZaj?%J<  
    n?S~(4%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 q!Q*T^-rO  
    •单击go！ |rL#HG  
    iVZ X  
    xO 6$:o-  
     D^<5gRK?  
    场追迹仿真（相机探测器） f|NWn`#bY  
    W@p27Tiq  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3,dIW*<**  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 R d|M)  
    FC q&-  
     a?]~Sw"@  
    9w}_CCj3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eQ80Kf~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f =kt0  
    v%4zP%4Ak[  
    n,*E s/\  
     LLU]KZhtY|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5]F4.sa  
     5{\;7(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4O>0gK{w  
    9ohO-t$XkY  
     aFd87'^  
    FKU)# Eo  
    文件信息 5-.{RU=  
    flS_rY5  
     4cZlQ3OE.  
    ,nGZ( EBD  
     (5efNugc  
    QQ：2987619807 -}KW"#9c  
     
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