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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 I9E]zoj8  
    |(O _K(  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ahx*Ti/e  
    0ZjinWkR[  
    e$=0.GWT  
     br_D Orq|  
    建模任务 mybvD  
    $C~OV@I  
    &/tGT3)  
    概述 6qkMB|@Ix  
    LSW1,}/B  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 !i*bb~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qo62!q  
    E6mwvrm8  
     gDBdaxR<  
    j SXVLyz  
    光线追迹仿真 pG(%yIiAi  
    t&L+]I'P3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b$G &i'd  
    •单击go！ YQ#o3 sjs  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~ (/OB w  
    |*-&x:p7O  
     #JIh-h@  
     2/v9  
    光线追迹仿真 +-+%6O<C  
    #gd`X|<Ch  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =TG[isC/F9  
    •单击go！ UgjY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 tNbZ{=I>  
    O0Sk?uJ <  
     K|g+W t^tQ  
    8 s#2Zv  
    场追迹仿真 uDXRw*rTv  
    B+8B<xZ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 XAF*jevr  
    •单击go！ E+xC1U 3  
    ]E!b&  
    98x&2(N  
     #)hJ.0~3  
    场追迹仿真（相机探测器） 1L\\](^ 3  
    _Nmc1azS  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [~#]p9|L  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5h6c W  
    eW>Y*l% B  
     AV%t<fDG#  
    i{+W62k*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1P[[PvkD6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jj$D6f/mOG  
    1Ff Sqd  
    9C_Vb39::$  
     gJUawK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xYUC|c1Q9  
     %SHgXd#X  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mv;;0xH  
    :G\X  
     C0> Z<z  
    n?=d)[]  
    文件信息 f;7I{Z\<  
    y/(60H,{{  
     =Mby;wQ?|  
    H;.${u^lhd  
     MJDW-KL-  
    QQ：2987619807 [W#M(`}D  
     
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