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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 K[9<a>D`  
    +I')>6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 II2oV}7?  
    VP"L _Um  
    D`gY6wX  
     c[YC}@l%a  
    建模任务 @GEvI2Vf.0  
    '3xSzsDn  
    < /}[x2w?]  
    概述 &Y,Rm78  
    M\GS&K$lq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 i7p3GBXh[  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z6Hl+nq B  
    ;CC[>  
     B>'\g O\2  
    ]l\J"*"aB  
    光线追迹仿真 +uH1rF_&@  
    g,1\Gj%y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <;Xj4 J  
    •单击go！ W[vak F  
    •获得了3D光线追迹结果。 1]qhQd-u  
    3Y8%5/D5  
     O[m+5+  
    ,JjTzO  
    光线追迹仿真 +Gjy%JFp  
    P--#5W;^oB  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ei"FN3Rm  
    •单击go！ 1,/oS&?E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m3,v&Z  
    +[>m`XTq  
     Coyop#q#"{  
    lKa}Bcd  
    场追迹仿真 cL}g7D  
    s*Fmu7o43  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 rj6wKf z  
    •单击go！ _ '}UNIL  
    [k.<x'#  
    P3:hGmk8|j  
     p3-sEIw}Ru  
    场追迹仿真（相机探测器） 5bAy@n  
    S |B7HS5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x;C\G`9N  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 i#eb%9Mn  
    VfQSfNsi  
     -dza_{&+iZ  
    }6o` in>M  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =T+<>/[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {% ;tN`{M  
    5` Q#2  
    {5RM)J1  
     PsTwJLY   
    场追迹仿真（电磁场探测器） Wx^L~[l  
     {>syZZ,h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k6$.pCH6  
    R@ihN?k  
     +H+OYQ>^  
    ;]'mx  
    文件信息 "zYlddh  
    L-q.Q  
     /9i2@#J}W1  
    VJm).>E3k  
     -MeGJX:^I  
    QQ：2987619807 g }5lGz4  
     
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