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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 J)*8|E9P  
    x%6hM |U  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Xhse~=qA  
    >jMH#TZaX  
    2h )8Fq_"  
     BC({ EE~R)  
    建模任务 z h%qS~8Yv  
    OR;&TbWF(R  
    bnr|Y!T}Bi  
    概述 BFh$.+D  
    U Du~2%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *S4aF*Qk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :Fw?{0  
     hgO?+x  
     Dx3%K S  
    M/#U2!iFk  
    光线追迹仿真 W 2<3C  
    JYV\oV{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v9rVpYc"  
    •单击go！ #ZWl=z5aBi  
    •获得了3D光线追迹结果。 OQFi.  8  
    -B 9S}NPo  
     wyw<jH  
    j"hASBTgp  
    光线追迹仿真 JZ=5Bpw  
    t$ZkdF  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <*Ub2B[m  
    •单击go！ jNc<~{/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Qh-4vy =r  
    m*oc)x7'  
     T3z(k la  
    DYRE1!  
    场追迹仿真 tU:FX[&?R  
    i03gX<=*  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 85z;Zt0{  
    •单击go！ z+/LS5$  
    Q2c*.Y  
    d#\W hRE  
     kcS6_l  
    场追迹仿真（相机探测器） /9_#U#vhY  
    T~J? AKx  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C[YnrI!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &fSTR-8ev#  
    J+Bdz6lt  
     u+2Lm*M  
    10MU-h.)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |C D}<r(N  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @~o`#$*|  
    U3F3((EYJ  
     %+wF"  
     cy1jZ1)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O,mip  
     YwAnqAg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /s[DI;M$o  
    -t4 [oB  
     7lU.Ni t  
    KzVTkDn,  
    文件信息 254~:eB0  
    Jqru AW<  
     ~E*d G  
    V`k8j-*s  
     4;*f1_;f~  
    QQ：2987619807 xo WT*f  
     
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