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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 K.zs;^  
    cv1L!Ce,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :]jtV~E\  
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    gC 4#!P  
     $^>vJk<  
    建模任务 x{5*%}lX8  
    .[A S  
    Ey%NqOs0#  
    概述 ?K#$81;[  
    /Qy0vAvJ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HPB1d!^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {}e IpK,+  
    v$Z1Lh  
     h^,a 1'  
    #YdU,y=B  
    光线追迹仿真 | w -W=v  
    iDJ2dM}v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (%, '  
    •单击go！ Yd'ke,Je  
    •获得了3D光线追迹结果。 " Xc=<rX  
    rK wkj)  
     9b6h!(  
    hI 0l2OE  
    光线追迹仿真 Cv33?l-8%_  
    I^=M>_ s4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 n9DFa3  
    •单击go！ Y.J$f<[R  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WkE;tC*  
    cyyFIJj]  
     GYO"1PM  
    xH uyfQLk  
    场追迹仿真 rD gl@B3  
    IZLX[y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @}:(t{>;e7  
    •单击go！ ;p8xL)mUP  
    F_`Gs8- VH  
    W#7c`nm  
     J%'|IwA  
    场追迹仿真（相机探测器） u#<]>EtbB  
    !WXSrICX[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fsoS!6h0k  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m{|n.b  
    vr$ [  
     b._pG(o1  
    /<~IKVz\&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vSh)r 9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4j5plm=  
    ="4)!  
    *RhdoD|a  
     %BJ V$tO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E),T,   
     t [f]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &I8ZVtg  
    ~Q5HM  
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    文件信息 &>SE9w/ ?o  
    BZ.H6r'Q  
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     TD<.:ul]  
    QQ：2987619807 7o3f5"z  
     
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