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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 1[gjb((  
    L$u&~"z-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5k%N<e` `  
    <R~~yW:H  
    aji~brq  
     Zs$RKJ7  
    建模任务 P=sK+}5`q  
    6dS1\Y  
    ,~N+?k_  
    概述 /"%IhX-  
    RkH oT^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9CU6o:'fW  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 n"d)  
    #PLB$$  
     D 917[ <$  
    SE}RP3dF!  
    光线追迹仿真 \I,Dje/:w  
    -Ib+/'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x+:,b~Skk  
    •单击go！ |7Xpb  
    •获得了3D光线追迹结果。 `1d`9AS2g  
    W Pp\sIP  
     I`$I0  
    iQ}sp64  
    光线追迹仿真 $:gSc &mx  
    sv{0XVn+^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :Ye#NPOI  
    •单击go！ io?{ew  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *sIG&  
    \PMKmJ X0O  
     Y %D*O  
    v^18o$=K",  
    场追迹仿真 v/ 00L R  
    !e\R;bYM  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vb ^!(  
    •单击go！ bb :|1D  
    X$h~d8@r  
    wZ3 vF)2s  
     J!fc)h  
    场追迹仿真（相机探测器） ; 7v7V  
    FZ.z'3I  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -MW(={#   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =jv$ 1  
    *(q8?x0>  
     TYS\:ZdXF  
    dpn&)?f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `"=L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (xSi6EZ6;  
    8J?`_  
    L\?g/l+k  
     nIKT w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >iWf7-:  
     % m5^p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +?txGHQq  
    /R$x-7t)^(  
     %TTL^@1!b  
    f5qHBQ  
    文件信息 O+Lb***b"  
    [tK:y[nk  
     @C [|'[xQ  
    k|c0tvp  
     Ihq@|s8  
    QQ：2987619807 j72] _G  
     
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