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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 -^v}T/Kl#  
    vWs c{9  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =fK'Ep[  
    -FV'%X$i  
    T0%TeFY  
     lVtn$frp  
    建模任务 /g'-*:a  
    r:4IKuTR  
    ;bX ~4O&v+  
    概述 y$o=\:  
    WG}CPkj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s$x] fO  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \/'n[3x  
    a] =\h'S  
     Ag0_^  
    @H0%N53nE  
    光线追迹仿真 x=Jn&4q  
    NqE7[wH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ID#qKFFW  
    •单击go！ N09+idg  
    •获得了3D光线追迹结果。 i03}f%JnuO  
    oh0|2IrM  
     `yX+NRi(s  
    E(kpK5h{  
    光线追迹仿真 e.|RC  
    DN':-PK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y zW7;U S  
    •单击go！ 5|G3t`$pa  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nvo1+W(%  
    #r)1<}_e#  
     gzCMJ<3!D  
    $1zeY6O  
    场追迹仿真 U4l*;od  
    }"B? 8T@_~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0$Y 9>)O  
    •单击go！ }9udo,RWu  
    kJi&9  
    OMI!=Upz  
     L Yg$M@  
    场追迹仿真（相机探测器） A2:){`Mw  
    ]q[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GL =XiBt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZQ'  z  
    ;AGs1j  
     "Xk%3\{P  
    ^Xy$is3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |;u%JW$4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A='+tJa  
    ->2wrOH|H  
    (<R\  
     4 Re@QOZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） pebx#}]p-  
     *tfDXQ^mN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hf+/kc!>i  
    l&??2VO/t  
     -8Jl4F ,  
    CziaxJ  
    文件信息 R-A'v&=  
    [zTYiNa  
     O})u'  
    :O'C:n<g  
     E7NbPNd  
    QQ：2987619807 yg-FJ/  
     
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