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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 w Vmy`OV/  
    ^Tmmx_Xw  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 U %l{>*q  
    {4*%\?c,n  
    d<e.`dhc  
     vkmR cX:/  
    建模任务  }"tYb6*  
    Zv7)+ Q  
    vj0?b/5m  
    概述 FFGTIT# {"  
    TUr}p aw_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P*]g*&*Y +  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +M:Q!'  
    +__Rk1CVh  
     %Kp}Wo6  
    \SR  
    光线追迹仿真 en)DN3  
    )G&OX  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 H R  
    •单击go！ Jsl,r+'H  
    •获得了3D光线追迹结果。 0g\&3EvD  
    Fsh-a7Qp  
     oY:>pxSz<@  
    U>XGJQ<NS  
    光线追迹仿真 ,5:86'p  
    H++rwVwj#h  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9mZ1 a6,x  
    •单击go！ HL]?CWtGP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !$HWUxM;p  
    ?hYe4tc-#  
     #S)*MT4ke  
    DGnswN%n1  
    场追迹仿真 &\r%&IX/  
    hyp`6?f  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Ql 1# l:Q  
    •单击go！ sEa:p: !  
    oCS NA.z  
    `shB[Lt  
     19_F\32  
    场追迹仿真（相机探测器） qMkP/BjV  
    FKP^f\!M  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z[VKB3Pb8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  Bv3v;^  
    _%]H}N Q  
     M<729M  
    1N &U{#4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Velmq'n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =@'"\ "Nh  
    lMP7o&  
    Jc+U$h4  
     VO9<:R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k)J7) L  
     8"@<s?0\"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IO4 IaeM  
    TJ<PT  
     1NTe@r!y  
    yRtFUlm`  
    文件信息 Vswi /(  
     ;"3Mm$  
     yQ}~ aA#h  
    {2nXItso  
     :1iw_GhJf  
    QQ：2987619807 B.|vmq,u  
     
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