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摘要 I5 o)_nc c }Ft^Il 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 a
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8Wrh]egu1 建模任务 h58`X H @Owb?(6?  dt \TQJc~ 概述 y I HXg# V+*
P2| •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gp };D •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0bc eI <Swt);
 T 6O::o6 \ \r)Ue] 光线追迹仿真 s:>Va GC Y>|B;Kj0( •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1L%CJ+Q#0i •单击go！ X[*<NN •获得了3D光线追迹结果。 Qw Nly4 9oRy)_5Z(=
 x[wq]q#* Q8:Has 光线追迹仿真 m'Amli@[ D"Bl:W'?j •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wxR,OR •单击go！ R@58*c:U( •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j`JMeCG=Ee $:=A'd2
 0[R L>;D: 4,bv)Im+ ` 场追迹仿真 |'.*K]Yp G"-?&)M#a •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 hv`~?n)D66 •单击go！ )JDs\fUE 6*PYFf`  H{@Yo\J
I?h)OvWd 场追迹仿真（相机探测器） iQ tN Aj a=1NE D' •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 AYt%`Y.! •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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 ZOft.P O &v$rn#l 场追迹仿真（电磁场探测器） 8>trS=;n •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K$&s=Hm 6%'.A]"  ~qcNEl\-y
q$ZHd 场追迹仿真（电磁场探测器） HK U~UTRnZ
KX76UW •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C\S3Gs zjJ *n8l
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OglEt[ " QQ：2987619807 \.C +ue
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