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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 BH6)`0&2*N  
    r8>(ayJ,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 BK`NPC$a  
    &J(+XJM%  
    $BHbnsaQ  
     Otq`45  
    建模任务 yN}upYxp  
    1{D_30sG.  
    ^*JpdmVhu  
    概述 hbl%<ItI49  
    #yz5CWu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 QcQQQM  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0qP&hybL[(  
    XJJdCv^  
     uG<VQ2LM  
    r*?rwtFtg  
    光线追迹仿真 J |4q9$  
    '](4g/%  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !R p  
    •单击go！ EC9D.afy&  
    •获得了3D光线追迹结果。 4Uz1~AuNxb  
    lS1-e0,h1  
     6G2s^P1Dl@  
    &%J+d"n(  
    光线追迹仿真 7 0pt5O3]  
    0zH^yx:ma  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Xc)V;1  
    •单击go！ x~1.;dBF  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UrAg*v!Qy  
    },1**_#<Br  
     ~yacJU=  
    yLv jfP1  
    场追迹仿真 [f`^+,U  
    @L?X}'0xI4  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^Ej4^d  
    •单击go！ w\(LG_n|  
    QG{).|pm  
    Hgu:*iYA  
     -^A=U7  
    场追迹仿真（相机探测器）  3Ee8_(E\  
    /rMxl(wD'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \=n0@1Q=>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 aJh=4j~.  
    *Nfn6lVB  
     _PTo !aJL  
    b1X.#pz7F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .-kqt^Gc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $#Mew:J  
     }qf9ra  
     $^&SEz  
     Znl&.,c)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XD1 x*#  
     /t "p^9!^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6 yIl)5/=  
    *~p~IX{  
     !83x,*O  
    >)Ih[0~M  
    文件信息 lHYu-}TNP  
    >{DHW1kF?  
     3F%Q q7v  
    Ef fp^7 3  
     P1P P#>E-2  
    QQ：2987619807 zs+[Aco)  
     
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