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1. 摘要 3J|F?M"N7 aa/(N7 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 SBk4_J/_ 6@F9G4<Z ;)z:fToh ;rGwc$?| 2. 建模任务 BLf>_bUk '9Xu
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Hc$O{]sq m6\E$;` 3. 干涉条纹的变化 rCbDu&k] jB Z&Ad@e
;LPfXpR b)5uf'?- 4. 走进VirtualLab Fusion 0#s"e}@v G+"t/?/
g<;q.ZylT 7<#U(,YEA 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 c&?m>2^6 g._]8{K
kY|utoAP bL+_j}{:N 6. VirtualLab Fusion 技术 m_?~OL S %G/hD
17[3/m8a 7. 文件信息 oAJM]%g{ SpLzm A
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