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1. 摘要 )]6hy9< HTjkR*E 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |CD"*[j] $K}DB N; 4 ^q[gxuL_ rxZi8w>} 2. 建模任务 o+ O}Te +g *k*e>l K`%tGVY -.I4-6~ 3. 干涉条纹的变化 R`'1t3p0i %Q"(/jm? v1G"3fy9 W#F Q,+0) 4. 走进VirtualLab Fusion XFwLz S7iDTG_@t ~eh0[mF^] <O~WB 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 x34f9!
't K|S:{9Q W#w.h33)#6 F3U` ueP 6. VirtualLab Fusion 技术 9i$NhfOe T/r#H__` W_YY#wf_ 7. 文件信息 %8.J=B ]2SF9p_ T3%C%BcX |9K<-yD "h"NW[R QQ:2987619807 3)Ac"nuyqH
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