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1. 摘要 V'~]b~R ;A~S){ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 S2K_>kvG)~ F ^Rt
6Io 0\%/:2 Kxz<f>`b/ 2. 建模任务 O>xGH0H "aK3
ylz; n'0^l?V /j./ 3. 干涉条纹的变化 Gvv~P3Dm npg.*I/> 0 V*Di2 -_.)~)P 4. 走进VirtualLab Fusion /ZZo`
kVw5z3]Xg !>-cMI6E ed4:r/Dpo 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ),0_ C\ 0/S|P1!b +ZtqR |r 1\ 6. VirtualLab Fusion 技术 R_\{a*lV0 pj&vnX6O^ vL@N21u 7. 文件信息 Bp6jF2 ?`Qw=8]` K>6#MI P%f],f _Xd,aLoo QQ:2987619807 jI(~\`
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