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1. 摘要 l()MYuLNV Wo9psv7. 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
uV}WSoq[ q6JW@GT (S)E|;f%C 1~5q:X 2. 建模任务 R 4$Q3vcH ~/jxB)t
O< tnM<"( Jp3di&x 3. 干涉条纹的变化 }#HTO:r JV]u(PL
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Q]$d =6Sj}/ 4. 走进VirtualLab Fusion vV6Lp C7 ]DJn
"4ozlWx >[H&k8\7n 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 FL#g9U> 2@R8P~^W
^/C$L8# CI!Eq&D, 6. VirtualLab Fusion 技术 v=.z|QD^1 @9uYmkcV
`!omzE*bk5 7. 文件信息 ,]uX:h-EM 9U=fJrj'u
w~$c= JO# ?#* D,dHP-v QQ:2987619807 c/=y*2,zo
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