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1. 摘要 %'t~+_ ,R*ru* 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 *crpM3fO> _X;5ORH" GD.mB[f* DhkzVp_ 2. 建模任务 v)J6}H}e ~vaV=})
\+S~N:@><k lusINILc 3. 干涉条纹的变化 H}JH339 /koNcpJ
#p*OLQ3~ q4(&.Al\@ 4. 走进VirtualLab Fusion )SUT+x(DU ^vo^W:
0.|tKetHq v@"xEf1n[ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 --.: eFE/ \asF~P
r~TiJ?8I lHz:Iibt 6. VirtualLab Fusion 技术 Lj({
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