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1. 摘要 T+q3]& .O1Kwu 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 F s{}bQyQ HXg#iP^tv Z2t
r?] >X$I:M<L 2. 建模任务 kuZs30^ =_@Q+N*]|(
c[6=& +J+[fbqX 3. 干涉条纹的变化 o=}vK[0u f-'$tMs
{0ozpE*( )d^b\On 4. 走进VirtualLab Fusion "(QI7:iM H*H=a
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Q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Fb^Ae6/i GQvJj4LJp
jWX^h^n7K G#f(oGn : 6. VirtualLab Fusion 技术 /yd<+on^ l(fStpP
Qt
VZ)777 7. 文件信息 KD*q|?Z MF}}o0P
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