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1. 摘要 /j4G} &FT`z"^ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 vM5/KrW J5HK1 NCG;`B`i s@7h oU-+ 2. 建模任务 Ut;4`>T g52)/HM
3W_7xLA \4G9YK-N> 3. 干涉条纹的变化 7Re\*[)T nqUnDnP2c
HF_8661g 9X;*GC;d 4. 走进VirtualLab Fusion N#"l82^H* PuGs%{$(h
?Z?(ky! ;DYS1vG o 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 "G.X=,
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.udLMS/_ ,(K-;Id4 6. VirtualLab Fusion 技术 at@tS>Dv U0:*?uA.
B>!mD{N 7. 文件信息 <4vCx 1 Ga3[g
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