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1. 摘要 M`)3(|4 R[QBFL< 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 <" 0b8 Z j|[ >f "wxyY^" &F*eo`o}6 2. 建模任务 S&Hgr_/}c v[jg|s&6"
sy6[%8D$ \#C]|\ 3. 干涉条纹的变化 y6H`FFqK Oz<#s{Z
z.tN<P 7 \GK]6VW 4. 走进VirtualLab Fusion /
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j) fd&>p 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 u!t<2`:h L9!\\U
1`~.!yd8( 7IrH(~Fo 6. VirtualLab Fusion 技术 I`x[1%y2 F IUD@Kf]S
Sj viH 7. 文件信息 4lwoTGVZj Z
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HY(XI u +.uQToqy &fE2zTz QQ:2987619807 z]&?}o
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