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1. 摘要 dL4VcUS. : 9(kU 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 PtUS7[] 'MYKAnZ-i N)H+Ng[ }OcrA/ 2. 建模任务 r0k:RJP ~DxuLk6
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']2d^'TH *^] 3. 干涉条纹的变化 P]}:E+E<.I Y{e,I-"{
y=\&z&3$ 9HN&M*} 4. 走进VirtualLab Fusion a>4q"IT6
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-,/6 Wn'j J_&cI%. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 YG*<jKcX {-7ovH?
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6. VirtualLab Fusion 技术 3nhQ^zqf n=d#Fm0<
D8w.r"ne 7. 文件信息 0[
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