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1. 摘要 &xMJ^Nv "gl:4|i' 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 y:|Xg0Kp fuIv,lDA %N AFU/& r&l*.C* 2. 建模任务 V?L$ys #B.w7y5*
GJl@ag5h]! :\w[xqH 3. 干涉条纹的变化 E[htB>< "8iyMP%8
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4. 走进VirtualLab Fusion =='{[[J GVHfN5bTqn
_XO)`D~ '2qxcc o 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 U(&nh? K1wN9D{t'
q9]^+8UP g:3'x/a1 6. VirtualLab Fusion 技术 1&dsQ,VDl G]NtX4'4
|% YzGgp7 7. 文件信息 K7R])*B.~ oTV8rG
X!A]V:8dk SAo\H Wj{Rp{}3 QQ:2987619807 LXfeXWw?,
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