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1. 摘要 /v}P)& 5cyddlaat 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 .-SDo"K.h ~q0I7M j3*M!fM9 7ei>L]gm% 2. 建模任务 ;;EDN45 p{iG{
,{.zh&=4 'i@,~[Z4 3. 干涉条纹的变化 .dD9&n;#^ !GlnQ`T
OOEV-= Q0pC4WJ` 4. 走进VirtualLab Fusion q+YuVQ-fx Z~r[;={,
(H&@u9K?a? 6B7< 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 L8K0^~Mk <lC]>L
O0@w(L- ,\BVV, 6. VirtualLab Fusion 技术
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|0tg:\. 7. 文件信息
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