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1. 摘要 [i(Cl} &<gUFcw7Ui 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 BgJkrv7~ MV0<^/p| _kn]#^ucCe |h^K M 2. 建模任务 n> MD\ZS 3TU'*w
& |x d@M-ln v]WH8GI 3. 干涉条纹的变化 *nYB o\@g <ZigCo w gI)w^7Gi s8t f@H4r 4. 走进VirtualLab Fusion "?i>p z 0=OD?48< GhqgRzX `GvA241 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 x8 f6, 3AvVU]@&Z@ [zY!'cz? } c{Fa& 6. VirtualLab Fusion 技术 Z,0O/RFJ.q 1KW3l<v-6 3%XG@OgP 7. 文件信息 T|;^.TZ shM{Y9~O9& $!a?i@ M$,Jg5Dc C0zrXhY_v QQ:2987619807 dKU5;
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