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1. 摘要 _YG@P1 Z'`\N@c# 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Zo-,TKgY' Y#I8gzv tvf5b8(Y- '.<iV!ZdZ 2. 建模任务 ZB|s/ w_o+;B|I
4i.&geXA. .?rs5[th* 3. 干涉条纹的变化 )5n0P
Zi V)Oot|
NC!B-3?x qLN\>Z,3; 4. 走进VirtualLab Fusion ,t QNL\t 34X]b[^
R<_VWPlj M"W#_wY; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9od c : BriL^]
x1Y/^ks@2 @GD $KR9 6. VirtualLab Fusion 技术 9(qoME}>= Y'jgp Vt
zRmVV}b 7. 文件信息 x0>N{ADXQ n:B){'S
)X," NJG 5FuV=Y uc w)* H&8h@ QQ:2987619807 Du
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