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1. 摘要 e)|5P YH&0Vy#c$ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 _] us1 l)Mi?B~N Q 2B ;6*$!^*w 2. 建模任务 66scBi_d =an0PN
]m#*4 i_p-|I:hQ 3. 干涉条纹的变化 6e"Lod_ L (Z Q?1Qxo
m5cRHo<9Y `?SLp 4. 走进VirtualLab Fusion eU\_m5xl" I\|.WrMNi
Jl ?_GX}ZY [!`5kI 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 SxL/]jWR7 Uf~5Fc1d =
i\kDb= jH37{S- 6. VirtualLab Fusion 技术 zEw~t&:e rg I Z
+_ny{i`' 7. 文件信息 ~F>'+9?Sn vHb^@z=
WpC9(AX5g G'{&*]Z\: Xi!e=5&Pa QQ:2987619807 ix5<h }
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