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1. 摘要 Gx)D~7lz f^ qQ5N 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ;k]pq 4E $4pW#4/4 HDOa N !5-[kG& 2. 建模任务 I'wAgf6W fCR;Fk2B
)9O{4PbU! KNhH4K2iP8 3. 干涉条纹的变化 P@#6.Bb#V rO GJ%|%(
cAS5&T< ?~Des"F6)1 4. 走进VirtualLab Fusion Lif mYn[ Kkm7L-
.wywO| kcb'`<B 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 W%o){+, ^9i^Ci9
8}"j#tDc I$&/?ns@O 6. VirtualLab Fusion 技术 -~g3?!+Hb gFH_^~7i8p
>vhyKq|g< 7. 文件信息 ?W(f%/B# Gmb57z&:
jWz-7BO >*MB_m2| {mDaK&]Oh QQ:2987619807 FYJB.lAT
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