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1. 摘要 c>WpO Z, =.f +}y 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 'oHOFH9:{b >[%.h(h/% )4F/T, {;m 0O['-x 2. 建模任务 qfP"UAc{/ d,J<SG&L& B[/['sD ,ORG"]_F 3. 干涉条纹的变化 bHQKRV HSr"M.k5 l;{N/cS eYD9#y 4. 走进VirtualLab Fusion oA3W
{ mp+\! ^2;(2s Sv~1XL W 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 \l=KWa 3Q ;LF)u2x= <GT>s .iP G /e 6. VirtualLab Fusion 技术 WP%{{zR$ ahi57r[ [;IDTo!<> 7. 文件信息 |p8"9jN@}c 10l1a4 X~)V )'R
uRB)g /VmCN]2AZ QQ:2987619807 /,uSCITD
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