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1. 摘要 kbzzage6L nIdB, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 [tYly`F : l>&5w; \Z9+U:n -q1vB8gjj 2. 建模任务 2RXU75VY ({ 'I;]AQ
&LM@_P"T ^ FNvVbK|` 3. 干涉条纹的变化 \GYh"5 $"&0
Eukj2a ol]"r5#Q_H 4. 走进VirtualLab Fusion S^nshQI A41*4!L=
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yS# 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 SrGX4 3vRRL
1{@f:~ v? z5G<h 6. VirtualLab Fusion 技术 j3{8]D J.'}R2gT1
S1oRMd)r 7. 文件信息 pvCn+y/U; .OFwGOL%
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