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摘要 \kG;T=H W6jdS;3 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 17+2`@vJgM 15CKcM6
x"{WLZ $m;DwlM 建模任务 :7)lg iM2 %)sG 34
Mc<O ~ 仿真干涉条纹 {vU;(eN XG01g3 tlcNGPa 走进VirtualLab Fusion #9(L/)^ .{4U]a;[ .a7!*I#g fm$)?E_Rp VirtualLab Fusion中的工作流程 HD153M, g @qrVQv •设置输入场 @h!nVf%fe −基本光源模型[教程视频] G }U'?p •使用导入的数据自定义表面轮廓 E{xcu9 •定义元件的位置和方向 OtZc;c − LPD II:位置和方向[教程视频] l1eF&wNC •正确设置通道以进行非序列追迹 U flS` −非序列追迹的通道设置[用例] UzT"Rb:e •使用参数运行检查影响/变化 W \XLf,_+ −参数运行文档的使用[用例] Z^O_7I<5E cCO2w2A[* dQJ)0!B -;j
'=? VirtualLab Fusion技术 k@>y<A{;D BTDUT%Yfg 文件信息 VQ^}f/A ~;yP{F8? QQ:2987619807 J3c8WS{:
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