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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 *P; cSx?2  
    :v Do{My^1  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 9=5xt;mEs}  
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    仿真干涉条纹 CY</v,\:#  
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    走进VirtualLab Fusion )[np{eF.k  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ~m6b6Aj@6  
    !4vepa}Y  
    •设置输入场 Q`)iy/1M  
    −基本光源模型[教程视频] Wo2W/{  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 c_Lcsn  
    •定义元件的位置和方向 von<I  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] y"T(Unvc  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 h]>7Dl]  
    −非序列追迹的通道设置[用例] OSY.$$IO  
    •使用参数运行检查影响/变化 ?8-ho0f0  
    −参数运行文档的使用[用例] K:L_y 1!T  
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    VirtualLab Fusion技术 |7)oX  
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    文件信息 {JlSfJw !  
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    QQ：2987619807 rr^?9M*{V  
     
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