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摘要 q *&H zU&Iy_Ke. 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 + m-88 6I"KomJ9
)v_Wn[Y.H FJtmRPP[r 建模任务 -\f7qRW^U VU,G.eLW <?7qI8 5OT 仿真干涉条纹 1cOR?=G~ ,M3hE/rb/ (dSYb&] 走进VirtualLab Fusion Ct)58f2 ({t^/b*8 MygAmV& yk?bz VirtualLab Fusion中的工作流程 xcW\U^1d K{DC{yLu •设置输入场 {UP[iw$~ −基本光源模型[教程视频] d9S/_iCI •使用导入的数据自定义表面轮廓 c%pf,sm' •定义元件的位置和方向
g}<jn'@{ − LPD II:位置和方向[教程视频] ~#)hqU' •正确设置通道以进行非序列追迹 Bp7p X −非序列追迹的通道设置[用例] 8C*@d_=q •使用参数运行检查影响/变化 &f.|MNz; −参数运行文档的使用[用例] )v;O2z p\=T#lb 17KQ {OPEW`F VirtualLab Fusion技术 ?3BcjD0 =_-u;w1D 文件信息 % vUU
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