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摘要 !pI)i*V| uV<I!jyI 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 5,!,mor$] <Gzy*1 Q&
 c8mcJAc 'j=7'aX>K 建模任务 ~~ ]/<d yn<z!z%mz ug!DL=ZW 仿真干涉条纹 "HFS5B j' +F ~;Q$T x KKL4ws 走进VirtualLab Fusion S1^u/$*6 dwks"5l  D"fE )@Q@Y ann!" s_ VirtualLab Fusion中的工作流程 ((rk)Q+;v QLo^6S5! •设置输入场 p2|c8n==
−基本光源模型[教程视频] MJ[#Gq\0R
•使用导入的数据自定义表面轮廓 FQ?,&s$Bmd
•定义元件的位置和方向 z<rdxn,9
− LPD II：位置和方向[教程视频] NLM ]KT
•正确设置通道以进行非序列追迹 HGmgQ>q@M$
−非序列追迹的通道设置[用例] R sU= fe,
•使用参数运行检查影响/变化 `pY\Mmgv1
−参数运行文档的使用[用例] eSXt "t
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9"R]"v3BA VirtualLab Fusion技术 5=Mm=HyI2 Y- &r_s_~ 文件信息 hNUAwTH 6 N]: "3?% QQ：2987619807 sd\> |N?'
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