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摘要 ;GxKPy iY1JU-S 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 U ()36 wrW768WR
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GzosUt 建模任务 w;Na9tR JB= L\E} 3 aG?^z 仿真干涉条纹 Gvw:h9v <$'OSN`! 5rpTR 走进VirtualLab Fusion q\g|K3V) f=Rx8I Ey!+rq} ']ussFaQ VirtualLab Fusion中的工作流程 bO%bMZWB!y ca1A9fvo •设置输入场 !bG%@{W T −基本光源模型[教程视频] rOu7r 4 •使用导入的数据自定义表面轮廓 LCRZ<?O[| •定义元件的位置和方向 iWZrZ5l − LPD II:位置和方向[教程视频] cmv&!Egd •正确设置通道以进行非序列追迹 P p[?E.]P −非序列追迹的通道设置[用例] ga~C?H,K •使用参数运行检查影响/变化 g2v0! −参数运行文档的使用[用例] @<O
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