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摘要 ;IZ*o<_ 5%BexIk 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 sD H^l)4h ,pM~Phmp
]VtVw^ ir 0{^@kxV 建模任务 9 js!gJC }Qyuy~-&^ Ydm0 仿真干涉条纹 $&&mGD;?K m5m}RWZ# $\M<gW6 走进VirtualLab Fusion U_i%@{ 'n4Ro|kA eG&\b-% 3#N'nhUzA VirtualLab Fusion中的工作流程 +Z> Y// I,TJV)B •设置输入场 fFDI qX −基本光源模型[教程视频] %:2EoXN" •使用导入的数据自定义表面轮廓 Fa<>2KkOr •定义元件的位置和方向 p4mi\~Q − LPD II:位置和方向[教程视频] POvxZU •正确设置通道以进行非序列追迹 -FQ! −非序列追迹的通道设置[用例] 701a%Jq_2 •使用参数运行检查影响/变化 )3K# ${p −参数运行文档的使用[用例] OAJGwm ~puXZCatN qTSyy= 1 aWzd[i VirtualLab Fusion技术 ha[c<e]uo[ G>Fk
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