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摘要 fG$.DvJuK w@ylRq 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 z+D,:!yF !>@V#I
IIn\{*|mW h%^kA@3F 建模任务 I64:-P[\
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仿真干涉条纹 yaXa8v'oC :*+BBC BBJ]>lQ 走进VirtualLab Fusion nkj'AH"2 j<P%Uy+ n rB27 ?E_p ,#9j) VirtualLab Fusion中的工作流程 kpw4Mq@ BrcXn@tl •设置输入场 L"IHyUW −基本光源模型[教程视频] r8?Lr-; •使用导入的数据自定义表面轮廓 ~JPzjE •定义元件的位置和方向 \ g(#)f − LPD II:位置和方向[教程视频] *K.7Zf0 •正确设置通道以进行非序列追迹 FH21m wV −非序列追迹的通道设置[用例] ;f^jB;\< •使用参数运行检查影响/变化 0a%ui2k −参数运行文档的使用[用例] "K!BJQ *AQbXw]w knzED~v@( K$5P_~;QL VirtualLab Fusion技术 i4r~eneP CscJy0dB 文件信息 H&IP>8Dk 2^M+s\p QQ:2987619807 :|Nbk58
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