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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 2Dgulx5kGZ  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 JKN0:/t7 Q  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 =aR'S\<  
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    •设置输入场 }q7rR:g  
    基本光源模型[教程视频] d~ n|F|`:  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 `p0+j  
    •定义元件的位置和方向 /R\]tl#2j  
    LPD II:位置和方向[教程视频] X!#rw= Q  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 pm`BMy<5PU  
    非序列追迹的通道设置[用例] [*^` rQ  
    •使用参数运行检查影响/变化 H*s_A/$  
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    VirtualLab Fusion技术 |&!04~s;E  
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