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摘要 `2G%&R,k"D `;s#/ `c|/ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 7VfPS5se GM0pHmC
reNUIDt/c FaG&U 建模任务 AnBD~h h Nqbm,s 9*[!ux7h 仿真干涉条纹 bI)%g 94[8~_{fG t"&qaG{ 走进VirtualLab Fusion 9_%??@^> CEI.*Iywu 6k ]+DbT $
3.Y2&$T VirtualLab Fusion中的工作流程 e1R<+`] U/{#~P5s •设置输入场 :CXm@yF~4= −基本光源模型[教程视频] G mmh&Uj •使用导入的数据自定义表面轮廓 x0dBg~I •定义元件的位置和方向 N >];xb> − LPD II:位置和方向[教程视频] {jEEAH) •正确设置通道以进行非序列追迹 x 4`RKv2m −非序列追迹的通道设置[用例] FMqes5\ 3 •使用参数运行检查影响/变化 \8Yv}wQ −参数运行文档的使用[用例] F<2qwP }Y3*X:i7 p{O@ts: Ap<j;s4` VirtualLab Fusion技术 %07vH&<C. %Lfy!]Ru 文件信息 @F!oRm5 *#o2b-[V QQ:2987619807 i[n3ILn
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