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摘要 z#tIa *)RmX$v3 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 I=0c\ U} 8Qg10Yjy
54_}9_g op6]"ZV-C 建模任务 5)#j }`6 cJ4My#w >fBPVu\PA 仿真干涉条纹 -r\jIO_ ]Z!Y*v }t)+eSUA 走进VirtualLab Fusion l/N<'T_G t1']q" n7!T{+ge A,~3oQV VirtualLab Fusion中的工作流程 mfraw2H i KSRr#/ •设置输入场 sVFO&|L −基本光源模型[教程视频] 4Q|>k)H •使用导入的数据自定义表面轮廓 =g#PP@X]D! •定义元件的位置和方向 KdEvu? − LPD II:位置和方向[教程视频] =6sP`: •正确设置通道以进行非序列追迹 7
Lm9I −非序列追迹的通道设置[用例] 8+'}` •使用参数运行检查影响/变化 T)! }Wvv −参数运行文档的使用[用例] <XeDJ8
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