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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 P5?<_x0v4b  
    +K{LQsR]  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 5=Lq=,K$  
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    仿真干涉条纹 V3.t;.@  
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    走进VirtualLab Fusion CAgaEJhX3  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ,]$A\+m'  
    m{(+6-8|m  
    •设置输入场 Vb)zZ^va+  
    −基本光源模型[教程视频] WzlC*iv  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ;n*J$B  
    •定义元件的位置和方向 jv&+<j`r  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] &]iKr iG  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 bd \=h1  
    −非序列追迹的通道设置[用例] g>0vm2|  
    •使用参数运行检查影响/变化 '3;v] L?G  
    −参数运行文档的使用[用例] V#^yX%  
     w~+aW(2  
    {#hVD4$b  
    t9u|iTY f!  
    VirtualLab Fusion技术 PRr*]$\&Mj  
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    文件信息 U Cb02h  
    /[pqI0sf<A  
    QQ：2987619807 ]WL|~mG  
     
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