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摘要 UV=TU=A\o fK[9<"PC0
HwOw.K< g&"Nr aQM9 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 .!&YO/
*J6qL! [" 建模任务 $*tuv? 3B,nHU
dX<UruPA 79&Mc,69 由于组件倾斜引起的干涉条纹 cq/)Yff@: G|o-C:~
ym:JtI69 y
jb.6 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 PRs[:we~~ ;qvZ *
*H;&hq E-r/$&D5mP 文件信息 B]jh$@ ;$nK
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P0W%30Dh n^'{{@&(v 3>;U||O QQ:2987619807 \4V'NTjB
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