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摘要 x c[BQ|P= ~<)CI0=
7p!w(N?s GOzV# 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ,^>WCG Yw\7` 建模任务 bM9:h 2&k5X-Y
c^$+=-G{fd Y(`# J[ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Z6`oGFq ?11\@d
+dt b~M DH5]Kzb/ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 8%Wg;:DZx }IRx$cKV
$;ssW"7~Qn VgoN=S 文件信息 :Hn*|+' }EW@/; kC
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