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摘要 w}NgFrL gRdE6aIZ
2I ?HBz1v y%TR2CvT 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 =oT@h
9VI ~uC4>+dk 建模任务 yc]ni.Hz 6{azzk8
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tvB{s_ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 (GPJ=r gSR&CnqZ<
1V+1i)+ bHS2;K~ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 @dCu]0oNI 5Tu#o()
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XN=<s;U 文件信息 ~g|e?$j U"m!f*a
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