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摘要 [cT7Iqip
pXf5/u8& |3=tF"h SOeRQb' 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 4_w{~ _F3=
H]P 建模任务 w"OeS;#e: c1h?aP %$=}ePD ?}<Wmy2A 由于组件倾斜引起的干涉条纹 fX}dQN~z J>^KQ o_?A^u L lVE5f? 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 J4jL%5t vR'rYDtU@ ju(QSZ|; ::!{f+Up 文件信息 m ?jF:]^ :{x
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