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摘要 |"}F cS
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['~E _z ..FEyf 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 EI+RF{IKh uJxT)m!/ 建模任务 2bu,_<K. `<Ry_}V
kwI[BF Z5x&P_.x[ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ,|5|aVfh g=G>4Ua3
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AW{"9f4 mVaWbR@HS 文件信息 >:C0ZQUW Ms4~P6;%
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