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摘要 Zn9u&!T& O:0{vu9AQ
v]SxZLa #Vum 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 fTj@/"a zQ+Mu^|u+ 建模任务 O>DS%6/G Tx}Nr^
N}#Rw2Vl bUcp8 由于组件倾斜引起的干涉条纹 s)WA9PiC .2%t3ul[
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