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摘要 Gnkar[oa& 4yl{:!la
YFO{i-*q `geHSx_ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 hS]w
A"\87 jm^.E\_ 建模任务 xVm-4gB X ,QsE{
A]z*#+Sl 9njl,Q: 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Mbi]EZ !/zRw-q3B
ks4`h>i C?<pD+]b_ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 {7NGfzwp;6 QU).q65p
d#ir=+o{h }47h0 i 文件信息 nr!N%Hi OK[J
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cw Obq\ 2{OR#v~ %Y^J'' QQ:2987619807 `Fy-"Uf
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