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摘要 8{R_6BS jW-;4e*H=V
cQ8dc+ { "| Kf'/r 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 /635B*g t*{,Gk 建模任务 kWB, ;7 "'['(e+7
#F_'}?09% 9<xTu>7J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 %x&F4U BJ~ivT<
cyW;,uT)D M'yO+bu 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 1#grB(p? Da"yZ\4
- #3{{ Q]< (bD.7 文件信息 12 idM* C&=x3Cz
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