切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 963阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 D=sc41]  
    _O,ZeES  
    半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 +* {5ORq=  
    ;OJ0}\*iP8  
    JsEEAM:w  
    建模任务 _:p_#3s$  
    9:w,@Phe  
    . \0=1P:  
    结果 I8]NY !'cW  
    X3O$Sd(D  
    SY)$2RC+}  
    结果 Iw7r}G  
    Hll}8d6[  
    BIf].RY  
    结果 Y(Ezw !a  
    2I 7`  
    NB +O;  
    文件信息 swL|Ff`$  
    VDY1F_Fk  
    HWOH8q{f!  
    QQ:2987619807
     
    分享到