切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1097阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 \h7XdmA]~  
    Z n]e2  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 ,\E5et4  
     *G;D u`;  
    \t]aBT,  
    建模任务 p0j-$*F  
    _ +A$6l  
    j0IuuJ+  
    结果 {m 5R=22^  
    b ;t b&o  
    [N guQ]B.  
    结果 )\,hc$<=m  
    r2>y !Q?  
    &6@e9ff0  
    结果 QNCG^ub  
    7\JA8mm  
    DqlspT  
    文件信息 R86:1  
    CiC@Z,ud`  
    }J\KnaKo  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表