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    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 F.9}jd{  
    aJu&h2 G  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 iC"iR\Qu  
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    建模任务 As:O|!F  
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    结果 JJ: ku&Mb  
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    结果 wlS/(:02  
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    P}R:o   
    结果 nm^HL|  
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    文件信息 kiTC)S=])  
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