切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1235阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6850
    光币
    28400
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 *]* D^'  
    BI 0 A0  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 <^wqN!/  
     RTvzS]  
    w}``2djR'W  
    建模任务 ;>B06v  
    f`8mES'gc8  
    pn4~?Aua0/  
    结果 $nW^Gqwj]1  
    D^\2a;[AxA  
    ,SSq4  
    结果 ;n=A245W\  
    f)!7/+9>  
    [5QbE$  
    结果 5 _ a-nWQ  
    ?FwjbG<  
    6*=7ifS  
    文件信息 -87]$ ax  
    y`.m'n7>P  
    n ^_B0Rkv  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表