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    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 oU/CXz?H  
    @JJ,$ ?  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 SN w3xO!;&  
     k?(x}IZdG  
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    建模任务 80qSPitj  
    E=N44[`.G  
    XLwmXi  
    结果 5:3%RTLG  
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    -M]NdgI  
    结果 %:61@<  
    l#40VHa?S  
    :|j,x7&/{  
    结果 w[`2t{^j  
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    -1\*}m%1e  
    文件信息 LjZvWts?  
    "9mVBa|Q  
    n*%o!=  
    QQ：2987619807
     
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