切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1066阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 s`2Hf&%aZJ  
    - V Rby  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 1:I47/  
     YG<7Zv  
    q4)8]Y2  
    建模任务 vM5u]u!  
    V,=V   
    AplXl=  
    结果 T\g%.  
    6PETIs  
    _KSYt32N  
    结果 S<Zb>9pl  
    jPG&Ypm1   
    `@MY}/ o.  
    结果 vas   
    4%#C _pE9  
    ^+CTv  
    文件信息 4zyy   
    I2JE@?  
    I4%&/~!  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表