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摘要 Ul EP; c=-2c&=& 对于实际成像系统,孔径对其性能影响很大。在不同的系统配置和不同的光照条件下,孔径的实际形状可能会有很大的不同。为了研究这种影响,我们模拟了一个由准直物镜和人眼组成的成像系统。通过对不同光照条件下,PSF和MTF的计算,研究了全孔径照明和部分孔径照明的案例。 limzDQ^ c/c%-=
kOe~0xoT@u ,Cj8{s&; 1. 建模任务 wq( m%F D(GAC!|/]
(\^)@Y @c8s<9I] kZlRS^6 2. 结果 P'nbyF :EUV#5V. Q~'a1R ^z[-pTY
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N1V qK FC= %_y 3. 文件和技术信息
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