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摘要 e sDd>W hkoCbR0}8 高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 4pC.mRu
0 `&!J6)OJ :y8wv|m VmTPE5d 建模任务 ?JI:>3e gbL!8Z1h j/PNi@ 概观 18];fC $9Asr07 59Lmv
&s 光线追迹仿真 Y!nxHRE (OT&:WwW •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 kSq1Q#Bxq 7qT>wCVT •点击Go! e9@7GaL`"S •获得3D光线追迹结果。 9>1Gj-S2: 4Y:[YlfD.
,+hH|$ ^*A8 NdaB 光线追迹仿真 M73d^z >nOU 8 w|0w< |