切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1092阅读
    • 0回复

    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6519
    光币
    26744
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 {`Z)'G\`  
    _F E F+I  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 M3kE91  
    x6tY _lzJ  
    cf'Z#NfQ  
    A-$BB=Ot  
    建模任务 2ZeL  
    5?MvO]_  
    k:xV[9ev:  
    概观 +s}28U!  
    B=Os?'2[  
    }tPl?P'`  
    光线追迹仿真 ](D [T  
    Yw<:I&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 Wg1WY}zG  
    )f rtvN7  
    •点击Go！ U\{Z{F%8  
    •获得3D光线追迹结果。 { Se93o  
    ffVYlNQ7L  
     xWm'E2  
    8ic_|hfY  
    光线追迹仿真 mUbaR  
    bJD"&h5  
    =Yk$Q\c  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 ez>@'yhK  
    •单击Go！ m}(DJ?qP  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     fZO /HzX  
    KWo)}m*6  
    4`F*] Ft  
    8Bvjj|~ (@  
    场追迹仿真 ^-_!:7TH]  
    $;1~JOZh  
    u4'Lm+&O  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 d\f 5\Y  
    •单击Go！     D4wB &~U  
    K\q/JuDfc  
    eC-TZH@  
    "e"`Or  
    场追迹结果（摄像机探测器） ^ytd~iK8  
     F t}tIP7  
    j; C(:6#J  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Y>+D\|%Q  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 n_<]9  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 ^9nM)[/C?  
    o%.cQo=v*  
    rSk $]E]Z  
     "n:9JqPb  
    场追迹结果（电磁场探测器） 83a Rq&(R  
    b/EvcN8 }  
    `dK\VK^  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     M: 6 cma5  
    \Mi< ROp5  
    `6A"e Da  
    文件信息 82vx:*Ip!}  
    bCF63(0  
     LHz{*`22q  
    \WTg0b[  
     weOMYJO;8  
    QQ：2987619807 ZttL*KK  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表