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    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 !}mM"|<  
    e GAto  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 9;*B*S~znW  
    TRgj`FG  
    _W Hi<,-  
    =<(6yu_  
    建模任务 qOD^ P  
    (@ BB @G  
    |w~*p N0  
    概观 s 64@<oU<"  
    @QpL*F  
     R'_F9\  
    光线追迹仿真 C.u) 2[(  
    UaXIrBc  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 asvM/ 9  
    R-iWbLD  
    •点击Go！ Ea" -n9  
    •获得3D光线追迹结果。 Y^#>3T  
    'g<FL`iP  
     W>CG;x{  
    ;&w_.j*Is  
    光线追迹仿真 %dd B$(  
    _jCu=l_  
    E_D@ 7a  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 xOxyz6B\  
    •单击Go！ m=iKu(2xRq  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     *g'%5i1ed  
    +*qTZIXj  
    Sng3B  
    BG-nf1K(  
    场追迹仿真 A$zC$9{0I  
     GVu-<R  
    R6GlQ G  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 <pT1p4T<  
    •单击Go！     \@NnL\ t u  
    cE,,9M@^  
    ZD?LsD3  
    >Zm|R|{BE  
    场追迹结果（摄像机探测器） 8"wavh|g4  
     Z2]\k|%<Fa  
    >I/~)B`jhE  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 1OK~*=/4  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 S6yLq|W0  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 L6=5]?B=  
    !r*JGv=  
    O~Dm|hP  
     kQ6YQsJ.*  
    场追迹结果（电磁场探测器） wD pL9q  
    tD,~i"0;  
    unN*L  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     EF6"PH+J@  
    !1+!;R@&H>  
    :WSszak  
    文件信息 i@YM{FycX  
    Oh=Kl3xs  
     #@uF?8u  
    `C*psS  
     f1Gyl  
    QQ：2987619807 f5CnJhE|)  
     
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