切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1149阅读
    • 0回复

    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6634
    光币
    27319
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 e sDd>W  
    hkoCbR0}8  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 4pC.mRu 0  
    `&!J6)OJ  
    :y8wv|m  
    VmTPE5d  
    建模任务 ?JI:>3e  
    gbL!8Z1h  
    j/PNi@  
    概观 18];fC  
    $9Asr07  
    59Lmv &s  
    光线追迹仿真 Y!nxHRE  
    (OT&:WwW  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 kSq1Q#Bxq  
    7qT>wCVT  
    •点击Go！ e9@7GaL`"S  
    •获得3D光线追迹结果。 9>1Gj-S2:  
    4Y:[YlfD.  
     ,+hH|$  
    ^*A8 NdaB  
    光线追迹仿真 M73d^z  
    > nOU 8  
    w|0w<K  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 [(PD2GO+  
    •单击Go！ ">hOD'PG  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     XLxr@1   
    W&Pp5KR  
    j& ~`wGM  
    y8|?J\eRy  
    场追迹仿真 .uwD;j +#  
    'mR9Uqq\  
    ]v,>!~8r  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 i1k#WgvZR  
    •单击Go！     q#!]5  
    ;Uv/#"r  
    /2#1Oi)o  
    [d}AlG!  
    场追迹结果（摄像机探测器） r[Zg$CW  
     K>x+*UPL  
    u[;,~eB%w  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 WjVj@oC  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 /n&Y6@W  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 = gbB)u-Pc  
    daakawn+  
    'g7eN@Wh.z  
     o2 vBY]Tj  
    场追迹结果（电磁场探测器） 1Zj NRg=  
    k;W`6:Kjp  
    4<{]_S6"0y  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     :\<D q 71  
    V.U9Q{y"  
    L/sMAB  
    文件信息 (;.wsz &K  
    MrGq{,6C  
     *dw6>G0U  
    {Z^  G]@  
     C~:@ETcbil  
    QQ：2987619807 gvLzE&V}  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表