切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1010阅读
    • 0回复

    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6354
    光币
    25915
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 _ :Ag?2  
    >J9oH=S6  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 !|ak^GE:(%  
    c;?fMX  
    */:uV B,b2  
    ]:>,A@7  
    建模任务 EU7|,>a  
    M(x$xAiD  
    Lk\P7w{  
    概观 jhu07HX_  
    Rk!X]-`=  
    }}v9 `F  
    光线追迹仿真 >/[GTqi  
     ]^'@ [<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 [S5\#=_4S  
    ~5FW [_  
    •点击Go！ LUB${0BrA  
    •获得3D光线追迹结果。 g0R~&AN!g  
    1 zw*/dp  
     %\]* OZ7  
    o1 M$.*  
    光线追迹仿真 7 d LuX   
    c\a_VRN>r  
    8YC_3Yi%  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 .7K7h^*F  
    •单击Go！ > pI;%'  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     vz.>~HBP  
    q`-;AG|xF  
    !*R qCS,  
    Cj~'Lhmv'T  
    场追迹仿真 [!!Q,S"  
    }gJ(DbnV  
    3EJt%}V$k  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 ns6(cJ^a  
    •单击Go！     J8mdoVt  
    d3=KTTi\  
    phM>.y_  
    15o9 .   
    场追迹结果（摄像机探测器） H\TI[JPAl  
     gNt(,_]ZR  
    j4qJ.i  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 4$P0:  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 tQS5hwm*  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 Q%xC}||1s"  
    @`gk|W3  
    V4_=<W  
     6I%5Q4Ll  
    场追迹结果（电磁场探测器） ZIQ [bE7  
    y&V@^ "`  
    =3L;Z[^9  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     Z<vKQ4 G  
    V#iPj'*   
    J:Qa5MTWp  
    文件信息 9jw\s P@  
    YJ\Xj56gv  
     /pT =0=  
    Ymg|4 %O@  
     0N $v"uX@  
    QQ：2987619807 1,% R;7J=g  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表